KR100996549B1 - 액정표시소자의 패턴검사시스템과 이를 이용한 패턴검사및 패턴복원방법 - Google Patents
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Abstract
Description
상기 패턴검사부는 상기 액정패널에 형성된 복수 패턴의 자기저항값을 측정하는 자기저항센서, 상기 자기저항센서의 자기저항값을 증폭하는 증폭수단 및 상기 증폭된 자기저항값에 기초하여 패턴의 불량을 판단하는 자기저항센서 제어부를 포함한다.
상기 불량위치검출부는 상기 패턴검사부에 의해 불량이 확인된 패턴을 촬영하는 CCD(Charge Coupled Device)카메라, 상기 CCD카메라에 의해 촬영된 영상을 처리하여 데이터를 출력하는 화상처리부, 상기 화상처리부로부터 출력된 데이터에 기초하여 패턴의 불량 위치를 파악하는 CCD제어부 및 상기 CCD제어부의 제어에 따라 상기 패턴의 불량형상을 촬영하는 카메라를 포함한다.
상기 패턴복원부는 상기 주제어부로부터 입력된 정보에 기초하여 불량 위치를 확인하는 좌표입력부 및 상기 좌표입력부로부터 입력된 패턴의 불량 위치로 이동하여 상기 패턴을 용융하는 레이저를 포함한다.
상기 액정패널의 정보, 불량패널 및 불량위치를 표시하는 표시부를 포함한다.
상기 패턴은 게이트라인 및 데이터라인을 포함한다.
상기 패턴의 불량은 게이트라인과 공통전극의 단락이다.
상기 패턴의 불량은 데이터라인과 화소전극의 단락이다.
Claims (35)
- 유리기판에 형성된 적어도 하나의 액정패널의 패턴불량을 검사하는 패널검사부;상기 패널검사부에 의해 불량이 검출된 패널에 형성된 패턴을 검사하는 패턴검사부;상기 패턴검사부에 의해 불량이 검출된 패턴의 실제 불량위치를 검출하는 불량위치검출부;상기 불량위치검출부에 의해 파악된 불량부위의 패턴을 가공하여 불량을 제거하는 패턴 복원부; 및상기 패널검사부와 패턴검사부 및 불량위치 검출부를 제어하며, 상기 패널검사부와 패턴검사부 및 불량위치 검출부로부터 입력되는 정보에 기초하여 상기 패턴복원부를 작동시키는 주제어부를 포함하며,상기 패널검사부는 상기 액정패널에 각각 형성된 패턴에 접촉되는 적어도 하나의 프로브;상기 프로브에 접속되어 입력되는 신호를 스위칭하는 릴레이스위치부;상기 릴레이스위치부로부터 제공되는 패턴의 저항값을 산출하는 계측부; 및상기 계측부에서 산출된 저항값을 설정값과 비교하여 산출값과 다른 경우 패턴에 불량이 발생하였음을 판단하는 프로브제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 패턴검사시스템.
- 제1항에 있어서, 상기 패턴검사부는,상기 액정패널에 형성된 복수 패턴의 자기저항값을 측정하는 자기저항센서;상기 자기저항센서의 자기저항값을 증폭하는 증폭수단; 및상기 증폭된 자기저항값에 기초하여 패턴의 불량을 판단하는 자기저항센서 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 패턴검사시스템.
- 제1항에 있어서, 상기 불량위치검출부는,상기 패턴검사부에 의해 불량이 확인된 패턴을 촬영하는 CCD(Charge Coupled Device)카메라;상기 CCD카메라에 의해 촬영된 영상을 처리하여 데이터를 출력하는 화상처리부;상기 화상처리부로부터 출력된 데이터에 기초하여 패턴의 불량 위치를 파악하는 CCD제어부; 및상기 CCD제어부의 제어에 따라 상기 패턴의 불량형상을 촬영하는 카메라를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 패턴검사시스템.
- 제1항에 있어서, 상기 패턴복원부는,상기 주제어부로부터 입력된 정보에 기초하여 불량 위치를 확인하는 좌표입력부; 및상기 좌표입력부로부터 입력된 패턴의 불량 위치로 이동하여 상기 패턴을 용융하는 레이저를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 패턴검사시스템.
- 제1항에 있어서, 상기 액정패널의 정보, 불량패널 및 불량위치를 표시하는 표시부를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 패턴검사시스템.
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- 제1항에 있어서, 상기 패턴은 게이트라인 및 데이터라인을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 패턴검사시스템.
- 제1항에 있어서, 상기 패턴의 불량은 게이트라인과 공통전극의 단락인 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 패턴검사시스템.
- 제1항에 있어서, 상기 패턴의 불량은 데이터라인과 화소전극의 단락인 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 패턴검사시스템.
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