KR20050041357A - 액정표시소자의 패턴검사시스템과 이를 이용한 패턴검사및 패턴복원방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (35)
- 유리기판에 형성된 적어도 하나의 액정패널의 패턴불량을 검사하는 패널검사부;상기 패널검사부에 의해 불량이 검출된 패널에 형성된 패턴을 검사하는 패턴검사부;상기 패턴검사부에 의해 불량이 검출된 패턴의 실제 불량위치를 검출하는 불량위치검출부; 및상기 패널검사부와 패턴검사부 및 불량위치 검출부로부터 입력되는 정보에 기초하여 상기 패널검사부와 패턴검사부 및 불량위치 검출부를 제어하는 주제어부로 구성된 액정표시소자의 패턴검사시스템.
- 제1항에 있어서, 상기 액정패널은 횡전계모드 액정패널인 것을 특징으로 하는 시스템.
- 제2항에 있어서, 상기 패턴은 게이트라인을 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
- 제3항에 있어서, 상기 패턴의 불량은 게이트라인과 공통전극의 단락인 것을 특징으로 하는 시스템.
- 제2항에 있어서, 상기 패턴은 데이터라인을 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
- 제5항에 있어서, 상기 패턴의 불량은 데이터라인과 화소전극의 단락인 것을 특징으로 하는 시스템.
- 제1항에 있어서, 상기 패널검사부는액정패널에 각각 형성된 패턴에 접촉되는 적어도 하나의 프로브;상기 프로브에 접속되어 입력되는 신호에 의해 패턴의 저항값을 산출하는 계측부; 및상기 계측부에서 산출된 저항값을 설정값과 비교하여 산출값과 다른 경우 패턴에 불량이 발생하였음을 판단하는 프로브제어부로 이루어진 것을 특징으로 하는 시스템.
- 제7항에 있어서, 상기 패널검사부는 상기 프로브에 접속되어 입력되는 신호를 스위칭하는 릴레이스위치부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
- 제1항에 있어서, 상기 패턴검사부는,패널에 형성된 복수 패턴의 자기저항값을 측정하는 자기저항센서; 및상기 자기저항센서에서 측정된 자기저항값에 기초하여 패턴의 불량을 판단하는 자기저항센서 제어부로 이루어진 것을 특징으로 하는 시스템.
- 제9항에 있어서, 상기 패턴검사부는 자기저항센서에 의해 측정된 자기저항값을 증폭하는 증폭수단을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
- 제1항에 있어서, 상기 불량위치 검출부는,상기 패턴검사부에 의해 불량이 확인된 패턴을 촬영하는 CCD(Charge Coupled Device)카메라;상기 CCD카메라에 의해 촬영된 영상을 처리하여 데이터를 출력하는 화상처리부; 및상기 화상처리부로부터 출력된 데이터에 기초하여 패턴의 불량 위치를 파악하는 CCD제어부로 이루어진 것을 특징으로 하는 시스템.
- 제11항에 있어서, 상기 불량위치 검출부는 패턴의 불량형상을 촬영하는 카메라를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
- 제1항에 있어서, 상기 불량위치 검출부에 의해 파악된 불량 부위의 패턴을 가공하여 불량을 제거하는 패턴복원부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
- 제13항에 있어서, 상기 패턴복원부는,상기 주제어부로부터 입력된 정보에 기초하여 불량 위치를 확인하는 좌표입력부; 및상기 좌표입력부로부터 입력된 패턴의 불량 위치로 이동하여 상기 패턴을 용융하는 레이저로 이루어진 것을 특징으로 하는 시스템.
- 제1항에 있어서, 액정패널의 정보, 불량패널 및 불량위치를 표시하는 표시부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
- 패턴의 형성된 복수의 액정패널영역을 구비한 기판을 준비하는 단계;상기 액정패널영역을 검사하여 패턴불량이 발생한 액정패널영역을 판단하는 단계;패턴불량이 확인된 액정패널영역에 형성된 복수 패턴을 검사하여 패턴불량이 발생한 패턴을 판단하는 단계; 및상기 패턴불량이 발생한 패턴을 검사하여 불량위치를 검출하는 단계로 구성된 액정표시소자의 패턴검사방법.
- 제16항에 있어서, 상기 액정패널영역을 검사하는 단계는,액정패널에 형성된 패턴의 저항값을 측정하는 단계; 및상기 측정된 저항값을 설정값과 비교하여 패턴불량이 발생한 액정패널을 판단하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 방법.
- 제17항에 있어서, 패턴의 저항값 측정은 복수의 액정패널에서 일시에 이루어지는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제16항에 있어서, 상기 액정패널의 패턴을 검사하는 단계는,액정패널영역에 형성된 복수의 패턴에 전류를 인가하여 자기장을 형성하는 단계;자기저항센서로 복수의 패턴의 자기저항값을 측정하는 단계; 및측정된 자기저항값에 기초하여 불량이 발생한 패턴을 판단하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 방법.
- 제16항에 있어서, 상기 패턴의 불량위치를 검출하는 단계는,CCD(Charge Coupled Device)카메라로 불량이 발생한 패턴을 촬영하는 단계;촬영된 영상을 처리하여 데이터를 생성하는 단계; 및생성된 데이터에 기초하여 불량위치를 검출하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 방법.
- 제16항에 있어서, 불량위치의 패턴을 가공하여 불량을 제거하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제21항에 있어서, 상기 패턴의 불량을 제거하는 단계는,검출된 불량위치로 레이저를 이동하는 단계; 및레이저로 불량위치의 패턴을 가공하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 방법.
- 복수의 영역을 구비하는 기판을 영역단위로 검사하여 패턴불량이 발생한 영역을 검출하는 영역검사부; 및상기 영역검사부에 의해 불량이 검출된 영역에 형성된 복수 패턴의 불량을 검사하는 패턴검사부로 이루어진 것을 특징으로 하는 패턴검사시스템.
- 제23항에 있어서, 상기 기판은 인쇄회로기판인 것을 특징으로 하는 시스템.
- 제23항에 있어서, 상기 기판은 반도체기판인 것을 특징으로 하는 시스템.
- 제23항에 있어서, 상기 영역은 액정패널영역인 것을 특징으로 하는 시스템.
- 제23항에 있어서, 상기 패턴검사부에 의해 불량이 검출된 패턴의 불량위치를 검출하는 불량위치검출부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
- 복수의 패턴이 형성된 복수의 영역을 구비하는 기판을 검사하여 패턴불량의 위치를 검사하는 패턴불량검사수단; 및상기 패턴불량검사수단에 의해 검출된 불량위치의 패턴을 가공하여 패턴을 복원하는 패턴복원수단으로 구성된 패턴복원시스템.
- 제28항에 있어서, 상기 패턴복원수단은 패턴을 용융하는 레이저를 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
- 복수의 영역을 구비한 기판을 준비하는 단계;상기 영역단위로 패턴불량을 검사하여 패턴불량이 발생한 영역을 판단하는 단계;패턴불량이 확인된 영역에 형성된 복수 패턴을 검사하여 패턴불량이 발생한 패턴을 판단하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 패턴검사시스템.
- 제30항에 있어서, 상기 기판은 인쇄회로기판인 것을 특징으로 하는 방법.
- 제30항에 있어서, 상기 기판은 반도체기판인 것을 특징으로 하는 방법.
- 제30항에 있어서, 상기 기판은 액정패널영역을 포함하는 유리기판인 것을 특징으로 하는 방법.
- 제30항에 있어서, 상기 패턴불량이 발생한 패턴을 검사하여 불량위치를 검출하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제34항에 있어서, 상기 불량위치에 레이저를 조사하여 패턴불량을 제거하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
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