JP5628410B2 - 欠陥検査方法、欠陥検査装置、及び基板の製造方法 - Google Patents
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Description
2 液晶パネル
3 プローブ
4 プローブ移動手段
5、5a、5b 赤外カメラ
6 カメラ移動手段
7 主制御部
8 抵抗測定部
9 電圧印加部
10 データ記憶部
Claims (7)
- 複数の配線基板が形成されたマザー基板の中から欠陥位置を検出するための欠陥検査方法であって、
前記複数の配線基板をそれぞれ抵抗検査することにより、欠陥部が含まれる欠陥ブロックを検出する工程と、
前記欠陥ブロックに電圧を印加し、前記欠陥部を発熱させる工程と、
前記欠陥部が発熱した前記欠陥ブロックを第1の赤外カメラで撮影する工程と、
前記第1の赤外カメラで撮影した画像から前記欠陥部の位置をマクロ計測する工程とからなり、
前記第1の赤外カメラは、前記マザー基板の大きさよりも狭い視野を持ち、
前記欠陥ブロックは、前記第1の赤外カメラの前記視野内に収まる大きさであり、
前記欠陥ブロックを検出する工程では、前記抵抗検査した全領域から前記欠陥ブロックに絞り込み、
前記第1の赤外カメラで撮影する工程では、前記第1の赤外カメラを走査させることなく前記欠陥ブロックについてのみ撮影することを特徴とする欠陥検査方法。 - 前記欠陥部の位置を、第2の赤外カメラで撮影する工程と、
前記第2の赤外カメラで撮影した画像から前記欠陥部の位置をミクロ計測する工程とを含むことを特徴とする請求項1に記載の欠陥検査方法。 - 複数の配線基板が形成されたマザー基板の中から配線の欠陥位置を検出するための欠陥検査方法であって、
前記複数の配線基板をそれぞれ抵抗検査することにより、欠陥部が含まれる欠陥ブロックを検出する工程と、
前記欠陥ブロックに電圧を印加し、前記欠陥部を発熱させる工程と、
前記欠陥部が発熱した前記欠陥ブロックを第1の赤外カメラで撮影する工程と、
前記第1の赤外カメラで撮影した画像から前記欠陥部の位置を計測する工程と、
を含み、
前記第1の赤外カメラは、前記マザー基板の大きさよりも狭い視野を持ち、
前記欠陥ブロックは、前記第1の赤外カメラの前記視野内に収まる大きさであり、
前記欠陥ブロックを検出する工程では、前記抵抗検査した全領域から前記欠陥ブロックに絞り込み、
前記第1の赤外カメラで撮影する工程では、前記第1の赤外カメラを走査させることなく前記欠陥ブロックについてのみ撮影することを特徴とする欠陥検査方法。 - 前記計測する工程は、マクロ計測工程であり、
上記欠陥検査方法は、さらに、
前記欠陥部の位置を、第2の赤外カメラで撮影する工程と、
前記第2の赤外カメラで撮影した画像から前記欠陥部の位置をミクロ計測する工程と、
を含むことを特徴とする請求項3に記載の欠陥検査方法。 - 基板上に、ゲート電極、ソース電極、および、ドレイン電極のうちの少なくとも1つの配線を形成して、複数の配線基板が形成されたマザー基板を形成する基板形成工程と、
前記複数の配線基板をそれぞれ抵抗検査することにより、欠陥部が含まれる欠陥ブロックを検出する工程と、
前記欠陥ブロックに電圧を印加し、前記欠陥部を発熱させる工程と、
前記欠陥部が発熱した前記欠陥ブロックを第1の赤外カメラで撮影する工程と、
前記第1の赤外カメラで撮影した画像から前記欠陥部の位置をマクロ計測する工程と、
を含み、
前記欠陥ブロックを検出する工程では、抵抗検査することにより、前記第1の赤外カメラの前記視野内に収まる大きさの前記欠陥ブロックを、前記抵抗検査した全領域から絞り込み、
前記第1の赤外カメラで撮影する工程では、前記欠陥ブロックを、前記第1の赤外カメラを走査させることなく撮影することを特徴とする基板の製造方法。 - 複数の配線基板が形成されたマザー基板の中から欠陥位置を検出するための欠陥検査装置であって、
前記複数の配線基板をそれぞれ抵抗検査する抵抗測定部と、
前記抵抗測定部による抵抗検査により欠陥部を有すると判明した欠陥ブロックに電圧を印加する電圧印加部と、
前記マザー基板の大きさよりも狭い視野を持ち、且つ、前記電圧印加部により電圧が印加された前記欠陥ブロックの全体を視野に収めることができ、当該欠陥ブロックを走査することなく撮影することができる第1の赤外カメラと、
前記第1の赤外カメラで撮影した画像から前記欠陥部の位置を計測する制御部と、
を備え、
前記第1の赤外カメラは、前記抵抗検査した全領域から絞り込まれた前記欠陥ブロックについてのみ撮影することを特徴とする欠陥検査装置。 - 前記欠陥部の位置を撮影する第2の赤外カメラを更に備え、
上記第1の赤外カメラは、上記第2の赤外カメラよりも視野が広く、また、前記第2の赤外カメラは、上記第1の赤外カメラよりも分解能が高いことを特徴とする請求項6に記載の欠陥検査装置。
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