JP5826690B2 - 配線欠陥検出装置、配線欠陥検出方法、配線欠陥検出プログラムおよび配線欠陥検出プログラム記録媒体 - Google Patents
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エリア内に検出される発熱は、真の短絡欠陥(以下、真欠陥と記載する)ではない、いわば擬似欠陥によるものがある。
アクティブ素子がマトリクス状に配設されたアクティブエリアと、当該アクティブエリアの周囲にある周辺エリアとに渡って配された配線を有する配線パネルの配線の欠陥の検出をおこなうための配線欠陥検出装置であって、
上記配線の端子に電圧を印加する電圧印加手段と、
上記電圧印加手段によって上記電圧が印加された配線を含む、上記周辺エリアの少なくとも一部の領域およびアクティブエリアの少なくとも一部の領域を、マクロ撮影用赤外線カメラを用いてマクロ撮影するマクロ撮影手段と、
上記赤外線カメラによって得られる赤外画像から、上記周辺エリアの少なくとも一部の領域およびアクティブエリアの少なくとも一部の領域のそれぞれに、発熱箇所が在るか否かを特定する発熱箇所特定手段と、
上記発熱箇所特定手段にて上記周辺エリアの少なくとも一部の領域およびアクティブエリアの少なくとも一部の領域のそれぞれに発熱箇所が在ると特定された場合、上記周辺エリアの少なくとも一部の領域に在る発熱箇所と、上記アクティブエリアの少なくとも一部の領域に在る発熱箇所とが、電圧印加時において同一電流経路にあるかを判定する判定手段と、
上記判定手段にて上記同一電流経路にあると判定された場合、当該同一電流経路にある
上記アクティブエリアの少なくとも一部の領域に在る発熱箇所を含む領域のミクロ撮影を、当該同一電流経路にある上記周辺エリアの少なくとも一部の領域に在る発熱箇所を含む領域のミクロ撮影よりも優先しておこなうよう撮影優先順位を調整する調整手段と、
上記調整手段によって調整された撮影優先順位に基づいてミクロ撮影用赤外線カメラを用いてミクロ撮影するミクロ撮影手段と、を備えていることを特徴としている。
上記配線パネルの上記配線が上記アクティブエリアおよび上記周辺エリアに渡って一直線に配されている場合には、上記判定手段は、上記周辺エリアの少なくとも一部の領域に在る発熱箇所の位置座標と、上記アクティブエリアの少なくとも一部の領域に在る発熱箇所の位置座標とを比較して、所定の許容誤差範囲内にあれば、発熱箇所同士が上記同一電流経路に在ると判定することが好ましい。
陥によるものであり真欠陥ではないと判定して、周辺エリア内の当該発熱箇所のミクロ撮影の優先順位を下げる、すなわち周辺エリア内の当該発熱箇所のミクロ撮影を後回しにすることができる。
上記配線が、上記アクティブエリアに配されている部分に対して、上記周辺エリアにおいて配されている部分が傾斜している場合には、上記判定手段は、当該配線を含む所定の範囲を特定し、上記周辺エリアの少なくとも一部の領域に在る発熱箇所と、上記アクティブエリアの少なくとも一部の領域に在る発熱箇所とが当該所定の範囲内に在れば、発熱箇所同士が上記同一電流経路に在ると判定することが好ましい。
アクティブ素子がマトリクス状に配設されたアクティブエリアと、当該アクティブエリアの周囲にある周辺エリアとに渡って配された配線を有する配線パネルの配線の欠陥の検出をおこなうための配線欠陥検出方法であって、
上記配線の端子に電圧を印加する電圧印加工程と、
上記電圧印加工程にて上記電圧が印加された配線を含む、上記周辺エリアの少なくとも一部の領域およびアクティブエリアの少なくとも一部の領域を、赤外線カメラによってマクロ撮影するマクロ撮影工程と、
上記マクロ撮影工程によって得られる赤外画像から、上記周辺エリアの少なくとも一部の領域およびアクティブエリアの少なくとも一部の領域のそれぞれに、発熱箇所が在るか否かを特定する発熱箇所特定工程と、
上記発熱箇所特定工程にて上記周辺エリアの少なくとも一部の領域およびアクティブエリアの少なくとも一部の領域のそれぞれに発熱箇所が在ると特定された場合、上記周辺エリアの少なくとも一部の領域に在る発熱箇所と、上記アクティブエリアの少なくとも一部の領域に在る発熱箇所とが、電圧印加時において同一電流経路にあるかを判定する判定工程と、
上記判定工程にて上記同一電流経路にあると判定された場合、当該同一電流経路にある上記アクティブエリアの少なくとも一部の領域に在る発熱箇所を含む領域のミクロ撮影を、当該同一電流経路にある上記周辺エリアの少なくとも一部の領域に在る発熱箇所を含む領域のミクロ撮影よりも優先しておこなうよう撮影優先順位を調整する調整工程と、
上記調整工程によって調整された撮影優先順位に基づいてミクロ撮影するミクロ撮影工程と、を含むことを特徴としている。
図1の(a)は、本実施形態における配線欠陥検出装置100の構成を示すブロック図であり、図1の(b)は、配線欠陥検出装置100を用いて配線欠陥検出される対象であるマザー基板1の斜視図である。
示すように、基台上に、マザー基板1が載置されるアライメントステージ11が設置されている。アライメントステージ11は、プローブ移動手段4およびカメラ移動手段6のXY座標軸と平行に位置調整される。このとき、アライメントステージ11の位置調整には、アライメントステージ11の上方に設けられた、マザー基板1の位置を確認するための位置確認用光学カメラ12が用いられる。
撮像視野範囲の大きさに比べて液晶パネル2の大きさが例えば上述した60型のように大きい場合であっても、撮像による欠陥検出を実現することができる態様となっている。詳細は後述するが、それを実現することができるのは、赤外線カメラ5の撮像視野範囲に合わせて、液晶パネル2を複数の検査領域に分割して、赤外線カメラ5を移動させながら、液晶パネル2の全領域の欠陥検出をおこなうためである。
図6は、本実施形態に係る配線欠陥検出装置100を用いた配線欠陥検出方法のフローチャートである。
(i) 配線端子に電圧を印加する電圧印加工程と、
(ii) 上記電圧印加工程にて上記電圧が印加された配線を含む、周辺回路部18の少なくとも一部の領域および画素部17の少なくとも一部の領域を、赤外線カメラによってマクロ撮影するマクロ撮影工程と、
(iii)上記マクロ撮影工程によって得られる赤外画像から、周辺回路部18の少なくとも一部の領域および画素部17の少なくとも一部の領域のそれぞれに、発熱箇所が在るか否かを特定する発熱箇所特定工程と、
(iv) 上記発熱箇所特定工程にて周辺回路部18の少なくとも一部の領域および画素部17の少なくとも一部の領域のそれぞれに発熱箇所が在ると特定された場合、周辺回路部18の少なくとも一部の領域に在る発熱箇所と、画素部17の少なくとも一部の領域に在る発熱箇所とが、電圧印加時において同一電流経路にあるかを判定する判定工程
(v) 上記判定工程にて上記同一電流経路にあると判定された場合、当該同一電流経路にある画素部17の少なくとも一部の領域に在る発熱箇所を含む領域のミクロ撮影を、当該同一電流経路にある周辺回路部18の少なくとも一部の領域に在る発熱箇所を含む領域のミクロ撮影よりも優先しておこなうよう撮影優先順位を調整する調整工程
(vi) 上記調整工程によって調整された撮影優先順位に基づいてミクロ撮影するミクロ撮影工程と、
を含んでいる。
れ、電流経路が発熱し始めるのと同時に、制御部7による制御を受けてマクロ計測用の赤外線カメラ5aが撮像(マクロ撮影)を開始する(マクロ撮影工程)。マクロ計測用の赤外線カメラ5aは、液晶パネル2の画素部17と周辺回路部18とを一度に撮影することができる視野を有している。そして、電流経路が発熱する前の赤外線画像と電流経路が発熱した後のマクロ撮影赤外線画像を用い、その赤外線画像の差画像(すなわち、電圧印加前後の液晶パネルの温度差)に基づいて赤外線検査が行われ、所定の温度差を越えた発熱箇所を特定する(発熱箇所特定工程)。また、以上の処理では、発熱箇所を欠陥と仮定して、その欠陥種も特定することができる。
箇所)の欠陥種が走査線と走査線との間で発生している短絡欠陥であることを示している。ここで、図11に示されている欠陥種の名称についてそれぞれ説明すると、Gは走査線を意味し、Sは信号線を意味し、Csは補助容量線を意味しており、SSは、欠陥(と仮定している発熱箇所)の欠陥種が信号線と信号線との間で発生している短絡欠陥であることを示している。また、SCsは、欠陥(と仮定している発熱箇所)の欠陥種が信号線と補助容量線との間で発生している短絡欠陥であることを示している。また、GCsは、欠陥(と仮定している発熱箇所)の欠陥種が走査線と補助容量線との間で発生している短絡欠陥であることを示している。また、SGは、欠陥(と仮定している発熱箇所)の欠陥種が信号線と走査線との間で発生している短絡欠陥であることを示している。また、CsCsは、欠陥(と仮定している発熱箇所)の欠陥種が補助容量線と補助容量線との間で発生している短絡欠陥であることを示している。
Cs線は、画素部17から周辺回路部18へ出た直後に直角に曲がっている。画素部17の水平Cs線は、画素部17から周辺回路部18へ出た直後に直角に曲がっている。この直角に曲がる場所は、層間接続された箇所になるため、配線よりも抵抗値が大きく、発熱が多くなっている。そのため、欠陥と誤認識しやすくなっている。このように、Cs線は水平線もしくは垂直線しかないため、SブロックやGブロックのような矩形領域内の探索にしていない。
5に移行する。ステップSC5では、抽出した各欠陥の属性BlockS(Sブロック番号)を算出し、ステップSC6では、各欠陥の欠陥テーブルの属性BlockS(Sブロック番号)を更新する。続いて、ステップSC7にて、属性BlockS(Sブロック番号)がBkNoである同一欠陥種の画素部17内欠陥が1つでも存在するかどうか探索し、ステップSC8にて、存在すると判断されれば戻り値=3とし、存在しないと判断されれば戻り値=0として、Sブロック探索を完了する。なお、画素部17内欠陥のBlockSは、初回のみ(一回のみ)計算すればよい。
いる。また、画素部(AA)内の発熱箇所が真欠陥であることはマクロ撮像によって判る。
グループ1:画素部内の複数の発熱箇所(真欠陥であることが前提)
グループ2は、周辺回路部内にあり、「グループ1」由来の複数の発熱箇所(疑似欠陥)グループ3は、周辺回路部内にある真欠陥(グループ2以外の発熱箇所)
に大別される。そこで、グループ2は、疑似欠陥なので、優先順位は最も低くなり、グループ1と3は、どちらも真欠陥なので、別の観点から順位付けする必要がある。別の観点とは、
1.論理的に発生しない場合は事前に除外する。例えば、走査線と信号線との間で発生する欠陥種SGは、走査線と信号線とが交差している領域でしか発生しない。従って、この領域以外の場所において検出されたSGは、論理的に発生しないため、除外することができる(ミクロ測定しない)。
2.レーザー照射装置による欠陥修正が成功しやすい順(あるいは修正しやすい順)。
3.欠陥発生頻度の高い順(発生頻度が高いほど、真欠陥である確からしさが高まる)。が考えられ、これらに基づいて最終的なミクロ撮影優先順位を決定する。
最後に、配線欠陥検出装置100に含まれる各ブロックは、ハードウェアロジックによって構成すればよい。または、次のように、CPU(Central Processing Unit)を用いてソフトウェアによって実現してもよい。
い。
本実施形態によれば、周辺回路部内に特定された発熱箇所が真欠陥による発熱なのか擬似欠陥による発熱なのかを区別して、擬似欠陥である場合には当該発熱箇所のミクロ撮影の優先順位を下げる。そのため、真欠陥の検出率を向上させることができる。
の発熱箇所と、画素部の発熱箇所(欠陥)とが含まれる場合には、周辺回路部の発熱箇所が当該欠陥による発熱である、すなわち、周辺回路部の発熱箇所は擬似欠陥によるものであり真欠陥ではないと判定して、周辺回路部の発熱箇所のミクロ撮影の優先順位を下げる、すなわち周辺回路部の発熱箇所のミクロ撮影を後回しにすることができる。
2 液晶パネル(配線パネル)
3 プローブ(電圧印加手段)
4 プローブ移動手段
5 (マクロ計測用の)赤外線カメラ(マクロ撮影赤外線カメラ)
5a 赤外線カメラ
5a−1〜5a−4 赤外線カメラ
5b (ミクロ測定用の)赤外線カメラ(ミクロ撮影赤外線カメラ)
6 カメラ移動手段
7 制御部(発熱箇所特定手段、判定手段、調整手段、マクロ撮影手段、ミクロ撮影手段)
8 抵抗測定部
9 電圧印加部(電圧印加手段)
10 データ記憶部
11 アライメントステージ
12 位置確認用光学カメラ
13、13a〜13f ガイドレール
14a〜14d マウント部
16 位置合わせ用光学カメラ
17 画素部(アクティブエリア)
18 周辺回路部(周辺エリア)
19 パッド(端子)
19a〜19d パッド
21 プローブピン
21a〜21d プローブピン
23 欠陥部
30 共通線
31〜35 走査線(配線)
41〜45 信号線(配線)
50 短絡箇所
100 配線欠陥検出装置
CsDiffX 許容誤差
CsDiffY 許容誤差
Claims (4)
- アクティブ素子がマトリクス状に配設されたアクティブエリアと、当該アクティブエリアの周囲にある周辺エリアとに渡って配された配線を有する配線パネルの配線の欠陥の検出をおこなうための配線欠陥検出装置であって、
上記配線の端子に電圧を印加する電圧印加手段と、
上記電圧印加手段によって上記電圧が印加された配線を含む、上記周辺エリアの少なくとも一部の領域およびアクティブエリアの少なくとも一部の領域を、赤外線カメラによってマクロ撮影するマクロ撮影手段と、
上記赤外線カメラによって得られる赤外画像から、上記周辺エリアの少なくとも一部の領域およびアクティブエリアの少なくとも一部の領域のそれぞれに、発熱箇所が在るか否かを特定する発熱箇所特定手段と、
上記発熱箇所特定手段にて上記周辺エリアの少なくとも一部の領域およびアクティブエリアの少なくとも一部の領域のそれぞれに発熱箇所が在ると特定された場合、上記周辺エリアの少なくとも一部の領域に在る発熱箇所と、上記アクティブエリアの少なくとも一部の領域に在る発熱箇所とが、電圧印加時において同一電流経路にあるかを判定する判定手段と、
上記判定手段にて上記同一電流経路にあると判定された場合、当該同一電流経路にある上記アクティブエリアの少なくとも一部の領域に在る発熱箇所を含む領域のミクロ撮影を、当該同一電流経路にある上記周辺エリアの少なくとも一部の領域に在る発熱箇所を含む領域のミクロ撮影よりも優先しておこなうよう撮影優先順位を調整する調整手段と、
上記調整手段によって調整された撮影優先順位に基づいてミクロ撮影するミクロ撮影手段と、を備えており、
上記配線パネルの上記配線が上記アクティブエリアおよび上記周辺エリアに渡って一直線に配されている場合には、上記判定手段は、上記周辺エリアの少なくとも一部の領域に在る発熱箇所の位置座標と、上記アクティブエリアの少なくとも一部の領域に在る発熱箇所の位置座標とを比較して、所定の許容誤差範囲内にあれば、発熱箇所同士が上記同一電流経路に在ると判定することを特徴とする配線欠陥検出装置。 - アクティブ素子がマトリクス状に配設されたアクティブエリアと、当該アクティブエリアの周囲にある周辺エリアとに渡って配された配線を有する配線パネルの配線の欠陥の検出をおこなうための配線欠陥検出装置であって、
上記配線の端子に電圧を印加する電圧印加手段と、
上記電圧印加手段によって上記電圧が印加された配線を含む、上記周辺エリアの少なくとも一部の領域およびアクティブエリアの少なくとも一部の領域を、赤外線カメラによってマクロ撮影するマクロ撮影手段と、
上記赤外線カメラによって得られる赤外画像から、上記周辺エリアの少なくとも一部の領域およびアクティブエリアの少なくとも一部の領域のそれぞれに、発熱箇所が在るか否かを特定する発熱箇所特定手段と、
上記発熱箇所特定手段にて上記周辺エリアの少なくとも一部の領域およびアクティブエリアの少なくとも一部の領域のそれぞれに発熱箇所が在ると特定された場合、上記周辺エリアの少なくとも一部の領域に在る発熱箇所と、上記アクティブエリアの少なくとも一部の領域に在る発熱箇所とが、電圧印加時において同一電流経路にあるかを判定する判定手段と、
上記判定手段にて上記同一電流経路にあると判定された場合、当該同一電流経路にある上記アクティブエリアの少なくとも一部の領域に在る発熱箇所を含む領域のミクロ撮影を、当該同一電流経路にある上記周辺エリアの少なくとも一部の領域に在る発熱箇所を含む領域のミクロ撮影よりも優先しておこなうよう撮影優先順位を調整する調整手段と、
上記調整手段によって調整された撮影優先順位に基づいてミクロ撮影するミクロ撮影手段と、を備えており、
上記配線が、上記アクティブエリアに配されている部分に対して、上記周辺エリアにおいて配されている部分が傾斜している場合には、上記判定手段は、当該配線を含む所定の範囲を特定し、上記周辺エリアの少なくとも一部の領域に在る発熱箇所と、上記アクティブエリアの少なくとも一部の領域に在る発熱箇所とが当該所定の範囲内に在れば、発熱箇所同士が上記同一電流経路に在ると判定することを特徴とする配線欠陥検出装置。 - アクティブ素子がマトリクス状に配設されたアクティブエリアと、当該アクティブエリアの周囲にある周辺エリアとに渡って配された配線を有する配線パネルの配線の欠陥の検出をおこなうための配線欠陥検出方法であって、
上記配線の端子に電圧を印加する電圧印加工程と、
上記電圧印加工程にて上記電圧が印加された配線を含む、上記周辺エリアの少なくとも一部の領域およびアクティブエリアの少なくとも一部の領域を、赤外線カメラによってマクロ撮影するマクロ撮影工程と、
上記マクロ撮影工程によって得られる赤外画像から、上記周辺エリアの少なくとも一部の領域およびアクティブエリアの少なくとも一部の領域のそれぞれに、発熱箇所が在るか否かを特定する発熱箇所特定工程と、
上記発熱箇所特定工程にて上記周辺エリアの少なくとも一部の領域およびアクティブエリアの少なくとも一部の領域のそれぞれに発熱箇所が在ると特定された場合、上記周辺エリアの少なくとも一部の領域に在る発熱箇所と、上記アクティブエリアの少なくとも一部
の領域に在る発熱箇所とが、電圧印加時において同一電流経路にあるかを判定する判定工程と、
上記判定工程にて上記同一電流経路にあると判定された場合、当該同一電流経路にある上記アクティブエリアの少なくとも一部の領域に在る発熱箇所を含む領域のミクロ撮影を、当該同一電流経路にある上記周辺エリアの少なくとも一部の領域に在る発熱箇所を含む領域のミクロ撮影よりも優先しておこなうよう撮影優先順位を調整する調整工程と、
上記調整工程によって調整された撮影優先順位に基づいてミクロ撮影するミクロ撮影工程と、を含み、
上記配線パネルの上記配線が上記アクティブエリアおよび上記周辺エリアに渡って一直線に配されている場合には、上記判定工程において、上記周辺エリアの少なくとも一部の領域に在る発熱箇所の位置座標と、上記アクティブエリアの少なくとも一部の領域に在る発熱箇所の位置座標とを比較して、所定の許容誤差範囲内にあれば、発熱箇所同士が上記同一電流経路に在ると判定することを特徴とする配線欠陥検出方法。 - アクティブ素子がマトリクス状に配設されたアクティブエリアと、当該アクティブエリアの周囲にある周辺エリアとに渡って配された配線を有する配線パネルの配線の欠陥の検出をおこなうための配線欠陥検出方法であって、
上記配線の端子に電圧を印加する電圧印加工程と、
上記電圧印加工程にて上記電圧が印加された配線を含む、上記周辺エリアの少なくとも一部の領域およびアクティブエリアの少なくとも一部の領域を、赤外線カメラによってマクロ撮影するマクロ撮影工程と、
上記マクロ撮影工程によって得られる赤外画像から、上記周辺エリアの少なくとも一部の領域およびアクティブエリアの少なくとも一部の領域のそれぞれに、発熱箇所が在るか否かを特定する発熱箇所特定工程と、
上記発熱箇所特定工程にて上記周辺エリアの少なくとも一部の領域およびアクティブエリアの少なくとも一部の領域のそれぞれに発熱箇所が在ると特定された場合、上記周辺エリアの少なくとも一部の領域に在る発熱箇所と、上記アクティブエリアの少なくとも一部
の領域に在る発熱箇所とが、電圧印加時において同一電流経路にあるかを判定する判定工程と、
上記判定工程にて上記同一電流経路にあると判定された場合、当該同一電流経路にある上記アクティブエリアの少なくとも一部の領域に在る発熱箇所を含む領域のミクロ撮影を、当該同一電流経路にある上記周辺エリアの少なくとも一部の領域に在る発熱箇所を含む領域のミクロ撮影よりも優先しておこなうよう撮影優先順位を調整する調整工程と、
上記調整工程によって調整された撮影優先順位に基づいてミクロ撮影するミクロ撮影工程と、を含み、
上記配線が、上記アクティブエリアに配されている部分に対して、上記周辺エリアにおいて配されている部分が傾斜している場合には、上記判定工程において、当該配線を含む所定の範囲を特定し、上記周辺エリアの少なくとも一部の領域に在る発熱箇所と、上記アクティブエリアの少なくとも一部の領域に在る発熱箇所とが当該所定の範囲内に在れば、発熱箇所同士が上記同一電流経路に在ると判定することを特徴とする配線欠陥検出方法。
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