JP4291310B2 - 薄膜トランジスタアレイ検査装置 - Google Patents
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Description
10 真空チャンバー
30 電子銃
31 レンズユニット
32 デフレクションユニット
33 電子ビーム
40 ステージ
41 第1端部
42 第2端部
43 1対の貫通穴
44 ストッパー
50 昇降ユニット
51 胴体部
52 ピストンロッド
60 電子検出ユニット
Claims (19)
- 真空チャンバーと、
前記真空チャンバー内に配置され、検査する薄膜トランジスタアレイが安置されるステージと、
前記真空チャンバーにおいて前記ステージと対向するように配置され、前記薄膜トランジスタアレイに電子ビームを照射する電子銃と、
前記電子ビームにより前記薄膜トランジスタアレイから放出される2次電子を検出する電子検出ユニットと、
前記薄膜トランジスタアレイが、水平位置と該水平位置に対して一定角度を有する傾斜位置との間で移動するように制御する少なくとも一つの昇降ユニットと、を備え、
電子ビームの照射位置を設定するレンズユニットと、
前記電子銃から照射される電子ビームの方向に配置され、前記レンズユニットを通過した電子ビームを偏向させて前記薄膜トランジスタアレイに照射するデフレクションユニットと、をさらに備えることを特徴とする薄膜トランジスタアレイ検査装置。 - 前記電子銃は、前記真空チャンバーより上に配置され、
前記ステージは、前記真空チャンバーの下部に配置され、
前記昇降ユニットは、前記ステージの第1端部に配置されることを特徴とする、請求項1に記載の薄膜トランジスタアレイ検査装置。 - 前記ステージの第2端部には上向きに突出するストッパーが配置され、
前記薄膜トランジスタアレイは、第2端部が前記ストッパーに係止された状態で、第1端部が前記昇降ユニットにより持ち上げられて傾斜位置に移動することを特徴とする、請求項2に記載の薄膜トランジスタアレイ検査装置。 - 前記電子検出ユニットは、前記ストッパーより上に垂直に設置され、前記薄膜トランジスタアレイから放出される2次電子を検出することを特徴とする、請求項3に記載の薄膜トランジスタアレイ検査装置。
- 前記昇降ユニットは、油圧シリンダータイプであることを特徴とする、請求項1に記載の薄膜トランジスタアレイ検査装置。
- 真空ポンプにより真空に維持される真空チャンバーと、
前記真空チャンバーに投入された薄膜トランジスタアレイに電子ビームを照射する電子銃と、
前記電子銃からの電子ビームによって前記薄膜トランジスタアレイから放出される2次電子を検出する電子検出ユニットと、
前記薄膜トランジスタアレイが、水平位置と該水平位置に対して一定角度を有する傾斜位置との間で移動するように制御する少なくとも一つの昇降ユニットと、を備え、
電子ビームの照射位置を設定するレンズユニットと、
前記電子銃から照射される電子ビームの方向に配置され、前記レンズユニットを通過した電子ビームを偏向させて前記薄膜トランジスタアレイに照射するデフレクションユニットと、をさらに備えることを特徴とする薄膜トランジスタアレイ検査装置。 - 前記電子銃は、前記真空チャンバーより上に配置され、
前記薄膜トランジスタアレイは、前記真空チャンバーの下部に設置され、
前記昇降ユニットは、前記薄膜トランジスタアレイの第1端部に配置され、前記薄膜トランジスタアレイの一端部を昇降させることを特徴とする、請求項6に記載の薄膜トランジスタアレイ検査装置。 - 前記電子検出ユニットは、前記薄膜トランジスタアレイの第2端部より上に垂直に配置され、前記薄膜トランジスタアレイから放出される2次電子を検出することを特徴とする、請求項7に記載の薄膜トランジスタアレイ検査装置。
- 真空チャンバーと、
前記真空チャンバーに投入されたトランジスタアレイ上に電子ビームを照射する電子銃と、
前記電子銃からの電子ビームによって前記トランジスタアレイから放出される2次電子を検出する電子検出ユニットと、
前記トランジスタアレイと前記電子銃及び電子検出装置のいずれかとの間の相対的位置を変更し、前記検出された2次電子によって前記トランジスタアレイに不良が発生したか否かが判別されるようにする少なくとも一つの昇降ユニットと、を備え、
電子ビームの照射位置を設定するレンズユニットと、
前記電子銃から照射される電子ビームの方向に配置され、前記レンズユニットを通過した電子ビームを偏向させて前記薄膜トランジスタアレイに照射するデフレクションユニットと、をさらに備えることを特徴とするトランジスタアレイ検査装置。 - 前記真空チャンバーは床部を有し、少なくとも一つの前記昇降ユニットは、
胴体部と、
該胴体部に連結され、前記床部に対してトランジスタアレイを昇降させるピストンロッドと、
を備えることを特徴とする、請求項9に記載のトランジスタアレイ検査装置。 - 前記胴体部は、前記真空チャンバーの外側に配置され、
前記ピストンロッドは、前記真空チャンバーの床部に穿孔された穴を通じて前記トランジスタアレイを昇降させることを特徴とする、請求項10に記載のトランジスタアレイ検査装置。 - 前記真空チャンバー内に配置されたストッパーをさらに備え、
前記ピストンロッドは、前記ストッパーにより前記トランジスタアレイの第2端部が支持された状態で、前記トランジスタアレイの第1端部を昇降させることを特徴とする、請求項10に記載のトランジスタアレイ検査装置。 - 前記真空チャンバー内に配置され、前記トランジスタアレイが置かれるステージをさらに備え、
少なくとも一つの前記昇降ユニットは、前記ステージに対して前記トランジスタアレイを昇降させることを特徴とする、請求項9に記載のトランジスタアレイ検査装置。 - 前記真空チャンバーは床部を有し、前記電子銃及び電子検出ユニットは前記真空チャンバーに固定され、
少なくとも一つの昇降ユニットは、前記相対的位置に基づいて、前記トランジスタアレイが前記床部に対して回るように制御することを特徴とする、請求項9に記載のトランジスタアレイ検査装置。 - 前記真空チャンバーは床部を有し、
前記少なくとも一つの昇降手段は、前記トランジスタアレイが前記相対的位置に基づいて前記床部に対して一定角度を有する位置に移動するように制御することを特徴とする、請求項9に記載のトランジスタアレイ検査装置。 - 前記トランジスタアレイは、第1及び第2表面積の一つを有し、前記電子ビームを受光して前記2次電子を放出し、
前記少なくとも一つの昇降ユニットは、前記トランジスタアレイを、前記電子銃及び電子検出ユニットに対応する前記真空チャンバーの床部に対して第2表面積が前記第1表面積と同じ有効面積を有するように前記相対的位置に移動するように制御することを特徴とする、請求項9に記載のトランジスタアレイ検査装置。 - 前記トランジスタアレイは、
第1表面積を有する第1トランジスタアレイと、
前記第1表面積よりも大きい第2表面積を有する第2トランジスタアレイと、からなり、
少なくとも一つの前記昇降ユニットは、前記第1トランジスタアレイが水平位置に配置されるようにし、前記第2トランジスタアレイが前記水平位置に対して所定角度を有する傾斜位置に移動させることによって、前記第1トランジスタアレイの第1表面積と第2トランジスタアレイの第2表面積が、前記電子銃及び電子検出ユニットに対して同一の有効面積を有するようにすることを特徴とする、請求項9に記載のトランジスタアレイ検査装置。 - 前記トランジスタアレイは、
第1表面積を有する第1トランジスタアレイと、
前記第1表面積よりも大きい第2表面積を有する第2トランジスタアレイと、
からなり、
前記第1トランジスタアレイの第1表面積と前記第2トランジスタの第2表面積が前記電子銃からの電子ビームにより照射され、前記相対的位置において前記2次電子により前記前記電子検出ユニットで検出されることを特徴とする、請求項9に記載のトランジスタアレイ検査装置。 - 少なくとも一つの前記昇降手段は、前記トランジスタアレイを前記相対的位置に基づいて前記電子銃及び電子検出ユニット対して移動させ、検出するトランジスタアレイの表面積に拘わらず該トランジスタアレイを検査することを特徴とする、請求項9に記載のトランジスタアレイ検査装置。
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