KR20140139929A - 표시 패널의 검사 장치 및 검사 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 단위 액정표시패널의 절단면에 라인 조명을 조사하는 라인 조명부를 구비한 검사 장치 및 이의 검사 방법으로써 액정표시패널의 절단면에 형성된 크랙의 유무를 정밀히 검출하여 신속하고 경제성 있는 검사장치를 제공한다.

Description

표시 패널의 검사 장치 및 검사 방법{Display Panel Inspection Apparatus and Its Method}
본 발명은 표시패널의 검사 장치 및 검사 방법에 관한 것이다.
본 발명은 표시 패널의 검사 장치 및 검사 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 대면적의 모기판 상에 제작된 복수개의 표시 패널들을 개별적인 단위 표시 패널로 절단하고 절단된 단위 표시패널의 절단 면에 형성될 수 있는 크랙을 검사하는 장치 및 검사 방법에 관한 것이다. 최근 정보 디스플레이에 관한 관심이 고조되고 휴대가 가능한 정보매체를 이용하려는 요구가 높아지면서 기존의 표시장치인 브라운관(Cathode Ray Tube; CRT)을 대체하는 경량 박막형 평판표시장치(Flat Panel Display; FPD)에 대한 연구 및 상업화가 중점적으로 이루어지고 있다. 특히, 이러한 평판표시장치 중 액정표시장치(Liquid Crystal Display; LCD)는 액정의 광학적 이방성을 이용하여 이미지를 표현하는 장치로서, 해상도와 컬러표시 및 화질 등에서 우수하여 노트북이나 데스크탑 모니터 등에 활발하게 적용되고 있다.
표시패널을 제조하기 위해서 먼저 박막트랜지스터기판과 컬러필터기판을 제조한 후 상기 박막트랜지스터기판과 상기 컬러필터기판을 조립 공정을 통해 접합시킨다. 그 후 상기 박막트랜지스터기판과 상기 컬러필터기판이 접합되면 절단 공정을 통해 각 단위 표시 패널로 분리하게 된다. 여기서 분리된 각 단위 표시 패널은 LCD 셀을 의미할 수 있다. 각 단위 패널은 LCD 셀이 분리되면 절단 공정을 통해 잘려진 에지면에 크랙이 발생될 수 있다.
상기 표시장치에 대해서 상세히 설명한다.
일반적인 표시장치는 구동회로 유닛(unit)을 포함하는 액정표시패널, 상기 액정표시패널의 하부에 설치되어 상기 액정표시패널에 빛을 방출하는 백라이트(backlight) 유닛, 상기 백라이트 유닛과 액정표시패널을 지지하는 몰드 프레임(mold frame) 및 케이스(case) 등으로 이루어져 있다.
도1는 종래의 액정표시패널을 나타낸 도면이다.
도1을 참조하여 상기 액정표시패널을 구체적으로 설명한다.
상기 액정표시패널(2)은 액정 셀들이 매트릭스 형태로 배열되는 화상표시부(50)와 상기 화상표시부(50)의 게이트라인(7)들과 접속되는 게이트 패드부(8) 및 데이터라인(6)들과 접속되는 데이터 패드부(9)로 구성된다. 이때, 상기 게이트 패드부(8)와 데이터 패드부(9)는 컬러필터 기판과 중첩되지 않는 박막 트랜지스터 어레이 기판(3)의 가장자리 영역에 형성되며, 상기 게이트 패드부(8)는 게이트 구동부(미도시)로부터 공급되는 스캔신호를 화상표시부(50)의 게이트라인(7)들에 공급하고, 데이터 패드부(9)는 데이터 구동부(미도시)로부터 공급되는 화상정보를 화상표시부(50)의 데이터라인(6)들에 공급한다. 도면에 도시하지는 않았지만, 상기 컬러필터 기판(4)은 색상을 구현하는 적(Red; R), 녹(Green; G), 청(Blue; B)색의 서브컬러필터로 구성되는 컬러필터와 상기 서브컬러필터 사이를 구분하고 액정층을 투과하는 광을 차단하는 블랙매트릭스(black matrix), 그리고 상기 액정층에 전압을 인가하는 투명한 공통전극으로 이루어져 있다. 또한, 상기 어레이 기판(3)은 상기 기판 위에 종횡으로 배열되어 복수개의 화소영역을 정의하는 복수개의 게이트라인(7)과 데이터라인(6), 상기 게이트라인(7)과 데이터라인(6)의 교차영역에 형성된 스위칭소자인 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor; TFT) 및 상기 화소영역 위에 형성된 화소전극으로 구성된다. 이와 같이 구성된 상기 어레이 기판(3)과 컬러필터 기판(4)은 화상표시부(50)의 외곽에 형성된 실 패턴(5)에 의해 대향하도록 합착되어 액정표시패널(2)을 구성하며, 상기 어레이 기판(3)과 컬러필터 기판(4)의 합착은 상기 어레이 기판(3) 또는 컬러필터 기판(4)에 형성된 합착키를 통해 이루어진다. 일반적으로, 액정표시장치는 수율 향상을 도모하기 위해 대면적의 모기판에 박막 트랜지스터 어레이 기판(3)들을 형성하고, 별도의 모기판에 컬러필터 기판(4)들을 형성한 다음 두 개의 모기판을 합착함으로써 다수의 액정표시패널(2)들을 동시에 형성하게 되는데, 이때 상기 액정표시패널(2)들을 다수의 단위 액정표시패널로 절단하는 공정이 요구된다.
한편 다수의 단위 액정표시패널로 절단하는 공정 후 절단면에 형성된 크랙을 검사하는 것이 필요하다. 상기 크랙은 상기 액정표시패널의 강성 테스트(test)시 액정표시패널을 파손시키는 원인을 제공한다. 즉, 액정표시패널의 강성 테스트 과정에서 상기 크랙의 정도가 진전됨으로써 상기 액정표시패널이 파손되는 불량이 발생하게 된다.
이하 상기 액정표시패널의 크랙의 정도를 검사하는 장치 및 검사 방법을 상세히 설명한다.
도2는 종래의 액정표시패널의 크랙 검사장치를 나타낸 도면이다.
도2를 참조하면, 종래의 단위 액정표시패널의 크랙 검사장치는 이동 스테이지(10), 제1 및 제2 카메라 이동부(31, 32), 제1 및 제2 검사 카메라(41, 42)를 포함한다. 이동 스테이지(10)는 크랙 검사장치(1)입된 단위 액정표시패널(20)을 화살표 방향으로 이동 및 회전 시키는 역할을 한다. 상기 크랙 검사장치(1)의 A 영역으로 투입된 단위 액정표시패널은 B 영역으로 이동이 된다. B 영역으로 이동된 단위 액정표시패널은 절단 면은 제1 카메라 이동부(31)에 배치된 제1 검사 카메라(41)에 의하여 상기 단위 액정표시패널(20)의 일 측면이 촬영되고, 상기 제2 카메라 이동부(32)에 배치된 제2 검사 카메라(42)에 의하여 상기 단위 액정표시패널(20)의 타 측면이 촬영된다. 상기 단위 액정표시패널(20)이 가진 4 개의 측면 중 2 개의 측이 촬영되고, 상기 단위 액정표시패널(20)은 C 영역으로 이동되고 90도 회전을 하게 된다. 90도 회전된 상기 단위 액정표시패널(20)은 D 영역으로 이동하여 상기 단위 제1 및 제2 카메라 이동부(31, 32)에 배치된 제1 및 제2 검사 카메라(41, 42)에 의하여 촬영되지 않은 상기 단위 액정표시패널(20)의 나머지 측면 영역이 촬영되게 된다. 그리고 상기 단위 액정표시패널(20)은 E 영역으로 이동하여 다시 90도 회전하게 되고 배출구인 F 영역으로 이동하게 된다.
상기 단위 액정표시패널(20)은 상기 스테이지(10)를 이동하면서 4개의 측면이 촬영되고 촬영된 이미지를 분석하여 상기 단위 액정표시패널(20) 상에 형성된 크랙의 유무와 그 정도를 검사하게 된다. 상기 단위 액정표시패널(20)의 크랙 검사에 사용되는 제1 및 제2 검사 카메라(41, 42)의 해상도는 검출하고자 하는 크랙의 사이즈에 따라서 달라질 수 있다. 즉 정밀한 측정을 위해서는 사용되는 검사 카메라의 해상도가 높아야 하고 이는 고가의 검사 카메라가 사용되어야 하는 문제가 되었다.
본 발명은 단위 표시패널에 형성된 크랙의 검출 능력을 향상 시킨 검사 장치를 제공하고, 상기 단위 표시 패널에 형성된 크랙의 검출 시간을 단축 시킨 검사 장치를 제공하고, 이의 검사 방법을 제공한다.
본 발명에 따른 단위 표시패널 검사 장치는 표시 패널이 투입되는 스테이지; 상기 표시 패널의 제1 내지 제4 측면에 라인 조명을 조사하는 라인 조명부; 상기 표시 패널의 상부면을 촬영하는 제1 검사 카메라; 상기 제1 검사 카메라로부터 촬영된 영상을 분석하여 상기 표시 패널에 형성된 크랙의 존부를 판단하는 분석부를 포함한다.
본 발명에 따른 단위 표시패널 검사 장치는 상기 라인 조명부를 이동시킬 수 있는 조명 이동부를 더 포함한다.
본 발명에 따른 단위 표시패널 검사 장치는, 상기 표시 패널의 제1 내지 제4 측면을 촬영하는 제2 검사 카메라; 상기 분석부에서 분석된 상기 표시 패널에 형성된 크랙의 위치 정보를 이용하여 상기 제2 검사 카메라의 위치를 제어하는 제어부를 더 포함한다.
본 발명에 따른 단위 표시패널 검사 장치는 상기 제2 검사 카메라를 이동시킬 수 있는 카메라 이동부를 더 포함한다.
본 발명에 따른 단위 표시패널 검사 장치는 상기 제2 검사 카메라는 상기 제1 검사 카메라보다 해상도가 높다.
본 발명에 따른 단위 표시패널 검사 장치는 표시 패널을 표시 패널 검사 장치에 투입하는 단계; 상기 표시 패널의 제1 내지 제4 측면에 라인 조명을 조사하는 단계; 상기 표시 패널의 상부면을 촬영하여 제1 영상을 생성하는 단계; 및 상기 제1 영상을 분석하여 상기 표시 패널에 형성된 크랙의 위치 정보를 분석하는 단계; 를 포함한다.
본 발명에 따른 단위 표시패널 검사 장치는 상기 위치 정보를 바탕으로 상기 표시 패널의 크랙이 형성된 영역을 촬영하여 제2 영상을 생성하는 단계; 및 상기 제2 영상을 분석하여 상기 표시 패널의 불량 여부를 분석하는 단계를 더 포함한다.
본 발명은 단위 표시 패널의 절단면에 라인 조명을 조사하는 라인 조명부를 구비한 검사 장치 및 이의 검사 방법으로써 표시 패널의 절단면에 형성된 크랙의 유무를 정밀히 검출하여 신속하고 경제성 있는 검사장치를 제공한다.
도1는 종래의 액정표시패널을 나타낸 도면이다.
도2는 종래의 액정표시패널의 크랙 검사장치를 나타낸 도면이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 단위 표시패널의 검사 장치를 나타낸 도면이다.
도 4는 본 발명에 따른 표시 패널 검사 장치에서 라인 조명부와 제1 검사 카메라를 나타낸 도면이다.
도 5 및 6은 제1 내지 제4 라인 조명부(401~404) 및 제1 검사 카메라(503)를 통해서 단위 표시 패널(200)의 크랙을 검사하는 원리를 나타낸 도면이다.
도 7은 본 발명이 제2 실시예에 따른 단위 표시 패널의 검사 장치를 나타낸 도면이다.
도 8은 본 발명의 단위 표시 패널의 검사 과정을 나타낸 흐름도이다.
이하, 본 발명의 실시예에 의한 단위 표시 패널 검사 장치의 도면을 참고하여 상세하게 설명한다. 다음에 소개되는 실시 예들은 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 예로서 제공되는 것이다. 따라서, 본 발명은 이하 설명되는 실시 예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 그리고, 도면들에 있어서, 장치의 크기 및 두께 등은 편의를 위하여 과장되어 표현될 수도 있다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조 번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 단위 표시패널의 검사 장치를 나타낸 도면이다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 단위 표시패널의 검사 장치는 스테이지(100), 이동부(101), 제1 내지 제4 조명 이동부(301, 302, 303, 304), 제1 내지 제4 라인 조명부(401, 402, 403, 404), 제1 카메라 이동부(501, 502) 및 제1 검사 카메라(503)를 포함할 수 있다.
상기 단위 표시 패널(200)은 단위 표시 패널의 검사 장치(1)인 스테이지(100)의 A 영역에 투입되어 상기 스테이지(100)의 이동부(101)를 따라서 A, B C 영역 순으로 이동할 수 있다. A 영역에 투입된 단위 단위 표시 패널(200)은 얼라인(Aline)되고 상기 B영역으로 이동될 수 있다. 상기 B영역으로 이동된 단위 표시 패널(200)은 제1 검사 카메라(503)에 의하여 검사가 수행될 수 있다. 상기 단위 표시 패널(200)의 절단면인 4개의 측면은 제1 내지 4 라인 조명부(401~404)에 의하여 조명이 조사될 수 있고, 상기 단위 표시 패널(200)의 상면은 제1 검사 카메라(503)를 통해서 검사될 수 있다.
제1 내지 제4 조명 이동부(301~304)는 제1 내지 제4 라인 조명부(401~404)를 고정할 수 있고, 상기 제1 내지 제4 라인 조명부(401~404)가 이동될 수 있는 수단을 구비할 수 있다. 상기 제1 내지 제3 조명 이동부(301~303)를 구체적으로 살펴보면, 상기 제1 조명 이동부(301)의 양 측면으로부터 연장 형성된 제2 및 제3 조명 이동부(302, 303)를 구비할 수 있고, 상기 제1 조명 이동부(301)에는 제1 라인 조명부(401)가 배치될 수 있고, 상기 제2 및 제3 조명 이동부(302, 303) 각각에는 제2 및 제3 라인 조명부(402, 403)가 배치될 수 있다. 검사되는 단위 표시 패널(200)의 사이즈에 따라서 상기 제1 내지 제3 라인 조명부(401~403)가 상기 제1 내지 제3 조명 이동부(301~303)를 따라 이동하면서 상기 단위 표시 패널(200)의 측면 전체에 조명이 조사될 수 있도록 위치가 조절될 수 있다. 상기 제4 조명 이동부(304)에는 상기 제4 라인 조명부(404)가 배치될 수 있고, 상기 제4 라인 조명부(404)는 상기 제4 조명 이동부(304) 상에서 이동될 수 있고 이를 통해 검사되는 단위 표시 패널(200)의 일 측면 전부에 조명이 조사될 수 있도록 할 수 있다.
라인 조명은 레이저빔을 선형으로 검사 대상물에 조사하여 라인 조명을 생성할 수 있다. 구체적으로 라인 조명은 직진성이 강한 빛이 라인으로 조사되는 장치로써 라인 조명을 표시 패널의 측면에 조사하는 경우 빛의 선이 상기 표시 패널의 외곽부를 비추게 된다.
상기 제1 내지 제4 라인 조명부(404)에 의하여 상기 단위 표시 패널(200)의 4개의 측면부인 절단면에 조명이 조사되고 상기 단위 표시 패널(200) 상부에 배치된 제1 검사 카메라(503)에 의하여 상기 단위 표시 패널(200)은 촬영할 수 있다.
상기 제1 검사 카메라(503)는 제1 카메라 연결부(502)를 통해서 제1 카메라 이동부(501)와 연결할 수 있다.
검사에 사용되는 단위 표시 패널(200)의 사이즈에 따라서 제1 검사 카메라(503)는 이동될 필요가 있고 이 경우 상기 제1 카메라 이동부(501)의 제어에 의하여 이동될 수 있다. 상기 제1 검사 카메라(503)는 Area Camera가 되어 상기 단위 표시 패널(200)의 상부면 전체를 촬영할 수 있다.
상기 제1 검사 카메라(503)에 의하여 촬영된 상기 단위 표시 패널(200)은 C 영역인 배출구를 통해서 배출되면 단위 표시 패널 검사가 종료될 수 있다.
한편 상기 단위 표시 패널 검사장치(1)는 상기 제1 검사 카메라(503)를 통하여 촬영된 영상을 분석하여 상기 단위 표시 패널(200) 상에 형성된 크랙의 존부를 판단하는 분석부(미도시)를 더 포함할 수 있고, 상기 분석부는 상기 단위 표시 패널 검사장치(1) 외부에 설치될 수 도 있다. 상기 분석부는 상기 단위 표시 패널(200) 상에 크랙이 존재하는지 여부를 분석하여 상기 단위 표시 패널(200)의 불량 유무를 판단할 수 있다.
도 4는 본 발명에 따른 표시 패널 검사 장치에서 라인 조명부와 제1 검사 카메라를 나타낸 도면이다.
도 4를 참조하면, 단위 표시 패널(200)은 크랙(201)를 포함하고 있고, 제1 내지 제4 라인 조명부(401~404)에 의하여 조사된 라인 조명은 상기 단위 표시 패널(200)의 4개의 측면부에 조사되는 경우 상기 크랙(201)은 산란 효과에 의하여 상기 크랙(201)은 증폭되어 나타나므로 상기 단위 표시 패널(200) 상부에 배치된 제1 검사 카메라(503)에 의하여 용이하게 촬영될 수 있다. 상기 크랙(201)이 매우 미세한 크기를 가진다고 하여도 라인 조명에 의한 산란 현상에 따라서 상기 크랙(201) 주변으로 빛 번짐이 상기 제1 검사 카메라(503)를 통해서 검출될 수 있다.
도 5 및 6은 제1 내지 제4 라인 조명부(401~404) 및 제1 검사 카메라(503)를 통해서 단위 표시 패널(200)의 크랙을 검사하는 원리를 나타낸 도면이다.
도 5 및 6을 참고하여 제1 내지 제4 라인 조명부(401~404) 및 제1 검사 카메라(503)를 통해서 단위 표시 패널(200)의 크랙을 검사하는 원리를 구체적으로 살펴본다.
도 5 및 6을 참고하면, 단위 표시 패널(200)의 절단면에 크랙이 형성되지 않은 경우 도 5와 같이 상기 제1 내지 제4 라인 조명부(401~404)로부터 방출된 빛은 상기 단위 표시 패널(200)를 그대로 투과할 수 있다. 그러나 도 6과 같이 단위 표시 패널(200)의 절단면 상에 크랙이 형성되어 있는 경우에는 상기 제1 내지 제4 라인 조명부(401~404)로부터 방출된 빛은 상기 단위 표시 패널(200)의 절단면에서 크랙이 형성된 지점에서 산란 현상이 일어날 수 있다. 따라서 제1 검사 카메라(503)에 의하여 이를 촬영할 수 있고, 상기 단위 표시 패널(200)의 절단면 중에서 크랙이 형성된 지점을 쉽게 검출할 수 있다.
상기 단위 표시 패널(200)의 절단면에 형성된 크랙이 1um 이하의 작은 사이즈를 가진다고 하여도 상기 라인 조명을 받게 되면 산란 현상이 일어나게 되고 이러한 현상은 고 해상도의 검사 카메라가 아니더라도 제1 검사 카메라(503)를 통해서 촬영될 수 있다. 따라서 종래의 단위 표시 패널 검사 장치와 비교해 적은 수의 검사 카메라가 필요하게 되고, 검사에 사용되는 검사 카메라로써 저 해상도의 카메라를 사용할 수 있기 때문에 검사 비용을 절감하는 효과 및 정밀한 불량 검출 시스템을 구비할 수 있게 된다. 뿐만 아니라 검사 대상인 단위 표시 패널(200)을 90도 이동시키지 않고도 상기 단위 표시 패널(200)의 4개의 측면을 전부 검사할 수 있기 때문에 검사 시간을 줄이는 효과를 가진다.
도 7은 본 발명이 제2 실시예에 따른 단위 표시 패널의 검사 장치를 나타낸 도면이다.
도 7을 참고하면, 본 발명의 제2 실시예에 따른 단위 표시 패널 검사 장치는 스테이지(100), 이동부(101), 분석부(700), 제어부(800), 제1 내지 제4 조명 이동부(301~304), 제1 내지 제4 라인 조명부(401~404), 제1 내지 제3 카메라 이동부(501, 601, 604) 및 제1 내지 제3 검사 카메라(503, 603, 605)를 포함할 수 있다.
상기 제1 내지 제4 조명 이동부(301~304)에 배치된 제1 내지 제4 라인 조명부(401~404)는 단위 표시 패널(200)의 4개의 측면에 라인 조명을 조사할 수 있다. 라인 조명이 조사된 상태에서 상기 단위 표시 패널(200)의 상부면에 배치된 제1 검사 카메라(503)에 의하여 상기 단위 표시 패널(200)의 상부면이 촬영될 수 있다.
예를 들어 상기 단위 표시 패널(200)의 절단면의 X 및 Y 영역에 크랙이 형성된 경우를 살펴본다. 이 경우 상기 크랙에 의하여 빛이 산란되고, 이는 제1 검사 카메라(503)에 의하여 촬영될 수 있다. 상기 제1 검사 카메라(503)를 통해서 촬영된 영상은 분석부(700)에서 분석되어 상기 단위 표시 패널(200)에 포함된 크랙의 위치를 검출할 수 있다. 상기 단위 표시 패널(200)에 포함된 크랙의 위치에 대한 정보는 제어부(800)에 제공될 수 있다.
B 영역에 제1 검사 카메라(503)를 통해서 촬영된 단위 표시 패널(200)은 C 영역으로 이동하여 제2 및 제3 검사 카메라(603, 605)에 의하여 검사 될 수 있다.
상기 제2 및 제3 검사 카메라(603, 605)는 상기 제어부(800)에 의하여 상기 단위 표시 패널(200)에 형성된 크랙이 있는 지점으로 이동하면서 상기 크랙을 촬영할 수 있다. 상기 제어부(800)는 상기 단위 표시 패널(200)에 형성된 크랙의 위치 정보를 가지고 있고 이를 바탕으로 상기 제2 및 제3 검사 카메라(603, 605)를 제어하여 상기 제2 및 제3 검사 카메라(603, 605)가 크랙이 형성된 지점으로 신속히 이동하게 할 수 있다.
상기 제2 검사 카메라(603)는 제2 연결부(602)를 통하여 제2 카메라 이동부(601)에 연결될 수 있다. 상기 제2 카메라 이동부(601)는 상기 제2 연결부(602)를 이동시킬 수 있고 결과적으로 상기 제2 검사 카메라(603)가 이동될 수 있도록 할 수 있다. 상기 제2 검사 카메라(603)는 상기 제2 연결부(602) 상에서 회전 이동할 수 있고, 이 경우 상기 단위 표시 패널(200)의 제1 측면(202), 제2 측면(203) 및 제3 측면(204)를 모두 촬영할 수 있다. 그리고 상기 제 3 검사 카메라(605)는 제3 카메라 이동부(604)에 연결되어 상기 단위 표시 패널(200)의 제4 측면(205)를 검사할 수 있다. 상기 제3 검사 카메라(605)는 상기 제3 카메라 이동부(604)상에서 이동할 수 있도록 하여 상기 단위 표시 패널(200)의 제4 측면(205)을 모두 촬영할 수 있다.
한편 상기 제2 및 제3 검사 카메라(603, 605)는 상기 제1 검사 카메라(503)보다 더 높은 해상도를 가질 수 있다. 상기 제1 검사 카메라(503)를 통하여 단위 표시 패널(200) 상에 형성된 크랙의 위치를 빠르게 판단하고 상기 제2 및 제3 검사 카메라(603, 605)를 통해서 상기 크랙을 정밀하게 검사할 수 있다. 상기 제2 및 제3 검사 카메라(603, 605)는 상기 크랙의 사이즈 등을 정밀히 촬영하여 상기 크랙이 단위 표시 패널(200)이 불량으로 취급될 정도라고 볼 수 있는지에 관한 정보를 제공하는 역할을 할 수 있다.
종래의 단위 표시 패널 검사장치는 고 해상도를 가진 검사 카메라를 이용하여 단위 표시 패널의 측면 전부를 촬영해야 하므로 많은 시간이 소요되는 문제가 있었으나 본 발명의 제2 실시예에 따른 단위 표시 패널 검사 장치(1)는 제1 검사 카메라(503)를 통해서 단위 표시 패널(200) 상에 형성된 크랙를 촬영하고 분석부(700)를 통해서 상기 크랙의 위치 정보를 분석하고, 제어부(800)를 통해서 크랙이 형성된 지점으로 제2 및 제3 카메라(603, 605)를 신속히 이동시켜 상기 크랙를 정밀히 촬영하는 과정을 거치므로 단위 표시 패널(200)를 신속하게 검사하는 효과를 가질 수 있고, 그 외 제1 실시예에서 설명한 효과를 그대로 가질 수 있다.
단위 표시 패널(200)은 B, C 영역에서 검사를 마치고 D 영역인 배출구로 빠져 나오면서 검사가 종료될 수 있다.
도 8은 본 발명의 단위 표시 패널의 검사 과정을 나타낸 흐름도이다.
도 8을 참조하면, 본 발명에 따른 단위 액정표시패널 검사 단계는 기판투입단계(1000), 제1 및 제2 촬영 단계(1001, 1002), 분석단계(1004), 제어 단계(1005) 및 불량여부판정단계(1003)을 포함할 수 있다. 여기서 기판은 표시 패널을 의미할 수 있다.
상기 기판투입단계(1000)는 검사 대상인 단위 표시 패널(200)이 검사 장치(1)의 스테이지(100) 상의 이동부(101)를 따라 투입부에 투입이 되고 얼라인되는 단계이다. 상기 단위 표시 패널(200)은 검사에 앞서 정확한 위치에 정렬될 필요가 있다.
상기 제1 촬영 단계(1001)에서는 제1 내지 제4 라인 조명부(401~404)를 통해서 단위 표시 패널(200)의 절단면인 제1 내지 제4 측면에 라인 조명이 조사되고, 상기 단위 표시 패널(200)의 상부면 전체를 제1 검사 카메라(503)를 통해서 촬영된다. 상기 제1 검사 카메라(503)를 통해서 촬영된 제1 영상은 분석부(700)에 제공되고 상기 분석부(700)는 상기 제1 검사 카메라(503)로 촬영된 제1 영상을 분석하는 분석단계(1004)를 진행하게 된다. 상기 분석단계(1004)에서 분석된 크랙의 위치에 대한 좌표 정보는 제어부(800)에 제공된다.
상기 제어부(800)는 크랙의 위치에 대한 좌표 정보를 통해서 제2 및 제3 검사 카메라(603, 605)를 제어할 수 있게 되는 제어단계(1005)가 진행된다.
상기 제2 촬영 단계(1002)에서는 상기 제어부(800)를 통해서 제어되는 제2 및 제3 검사 카메라(603, 605)가 단위 표시 패널(200)에서 측면을 정밀히 촬영하고 촬영된 제2 영상을 통해서 불량여부판정단계(1003)에서 단위 표시 패널(200)의 불량여부를 판단하게 된다. 상기 불량여부판정단계(1003)에서는 기준값 이상의 크랙이 표시 패널에서 검출되는 것으로 판정하는 경우에는 검사된 단위 표시 패널(200)이 불량인 것으로 판단할 것이다. 상기 기준값은 검사 대상이 되는 단위 표시 패널(200)의 사이즈에 종류에 따라서 달리 설정될 수 있는 값이다.
이상 검사 대상으로써 표시 패널(200)를 예로 들었으나 이에 한정되는 것은 아니고, 크랙이 형성될 수 있는 기판이라면 어떤 기판이라도 가능하다.
이상에서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술할 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허청구범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.
1. 표시 패널 기판 검사 장치
2. 액정표시패널
3. 어레이 기판
4. 컬러필터 기판
5. 실 패턴
6. 데이터 라인
7. 게이트 라인
8. 게이트 패드부
9. 데이터 패드부
10. 스테이지
20. 표시 패널
31. 제1 카메라 이동부
32. 제2 카메라 이동부
41. 제1 카메라
42. 제2 카메라
50. 화상표시부
100. 스테이지
101. 이동부
200. 표시 패널
301. 제1 조명 이동부
302. 제2 조명 이동부
303. 제3 조명 이동부
304. 제4 조명 이동부
401. 제1 라인 조명부
402. 제2 라인 조명부
403. 제3 라인 조명부
404. 제4 라인 조명부
501. 제1 카메라 이동부
502. 제1 연결부
503. 제1 검사 카메라
601. 제2 카메라 이동부
602. 제2 연결부
603. 제2 검사 카메라
604. 제3 카메라 이동부
605. 제3 검사 카메라
700. 분석부
800. 제어부
1000. 기판투입단계
1001. 제1 촬영 단계
1002. 제2 촬영 단계
1003. 불량여부판정단계
1004. 분석단계
1005. 제어단계

Claims (7)

  1. 표시 패널이 투입되는 스테이지;
    상기 표시 패널의 제1 내지 제4 측면에 라인 조명을 조사하는 라인 조명부;
    상기 표시 패널의 상부면을 촬영하는 제1 검사 카메라;
    상기 제1 검사 카메라로부터 촬영된 영상을 분석하여 상기 표시 패널에 형성된 크랙의 존부를 판단하는 분석부를 포함하는 표시 패널 검사 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 라인 조명부를 이동시킬 수 있는 조명 이동부를 더 포함하는 표시 패널 검사 장치.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 표시 패널의 제1 내지 제4 측면을 촬영하는 제2 검사 카메라;
    상기 분석부에서 분석된 상기 표시 패널에 형성된 크랙의 위치 정보를 이용하여 상기 제2 검사 카메라의 위치를 제어하는 제어부를 더 포함하는 표시 패널 검사 장치.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 제2 검사 카메라를 이동시킬 수 있는 카메라 이동부를 더 포함하는 표시 패널 검사 장치.
  5. 제3 항에 있어서,
    상기 제2 검사 카메라는 상기 제1 검사 카메라보다 해상도가 높은 표시 패널 검사 장치.
  6. 표시 패널을 표시 패널 검사 장치에 투입하는 단계;
    상기 표시 패널의 제1 내지 제4 측면에 라인 조명을 조사하는 단계;
    상기 표시 패널의 상부면을 촬영하여 제1 영상을 생성하는 단계; 및
    상기 제1 영상을 분석하여 상기 표시 패널에 형성된 크랙의 위치 정보를 분석하는 단계; 를 포함하는 표시 패널 검사 방법.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 위치 정보를 바탕으로 상기 표시 패널의 크랙이 형성된 영역을 촬영하여 제2 영상을 생성하는 단계; 및
    상기 제2 영상을 분석하여 상기 표시 패널의 불량 여부를 분석하는 단계를 더 포함하는 표시 패널 검사 방법.
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