JPH07325009A

JPH07325009A - 散乱型液晶パネルの点灯検査装置

Info

Publication number: JPH07325009A
Application number: JP6120055A
Authority: JP
Inventors: Kunifumi Nakanishi; 邦文中西; Masaaki Nakano; 雅章中野; Mitsuyuki Takada; 充幸高田; Hidefumi Mifuku; 英史御福; Mutsuhiro Shima; 睦宏嶋; Toshio Oonawa; 登史男大縄; Yasushi Ouchida; 裕史大内田
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1994-06-01
Filing date: 1994-06-01
Publication date: 1995-12-12
Also published as: FR2720836A1; KR960001741A; KR0146860B1; US5459594A; FR2720836B1

Abstract

(57)【要約】【目的】小型化でき、検査時の表示画像の視認性を高
くし、点灯検査を容易に行うことができる散乱型液晶パ
ネルの検査装置を提供する。【構成】点灯検査される液晶パネル８を支える支持手
段９と、前記液晶パネルの画素に電気信号を印加する信
号印加手段１０３と、前記液晶パネルへ光を照射する光
照射手段１３、１４とからなる散乱型液晶パネルの点灯
検査装置であって、前記光照射手段は平板導光体１３と
該平板導光体の側部に設けられた光源１４とからなり、
該平板導光体の一方の面にギャップを介して光吸収層１
８が設けられ、該平板導光体の他方の面を前記液晶パネ
ルと密着させる手段１６、１９が設けられている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は駆動ＩＣ実装前の散乱型
液晶パネルの点灯検査装置に関する。さらに詳しくは、
直視検査することにより装置を小型化した散乱型液晶パ
ネルの点灯検査装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】薄膜トランジスタ（以下、ＴＦＴとい
う）が各画素ごとにスイッチング素子として用いられる
アクティブマトリクス型の液晶パネルは、ＴＦＴがマト
リクス状に設けられたＴＦＴアレイ基板と該基板に対向
して設けられる対向基板とからなり、２枚の基板間には
液晶材料が封入されている。ＴＦＴアレイ基板は、ガラ
ス基板上に走査線とデータ線がマトリクス状に配線さ
れ、両配線が交差する画素部には、スイッチング素子で
あるＴＦＴと透明電極が形成されている。対向基板は全
面に透明電極が形成され、各画素間に遮光膜が形成され
ている。

【０００３】この液晶パネルは、ＴＦＴアレイ基板と対
向基板がそれぞれ薄膜の成膜工程とパターニング工程に
より製造されたのち、両基板を一定のギャップを介して
重ね合わせ、このギャップ間に液晶材料を注入して製作
される。そののち、ＴＦＴ駆動用のＩＣがＴＡＢ方式や
ＣＯＧ方式により、液晶パネルに実装される。検査は製
品が完成するまでの各工程において行われるが、このう
ちＩＣ実装前の液晶パネルの検査は、液晶パネルの特性
そのものを光学的に評価できるため、非常に重要とな
る。また、この検査において、不良品は除かれ、良品と
なった液晶パネルにのみ、液晶パネル駆動用のＩＣが実
装されるため、高価な駆動ＩＣが有効に利用される。

【０００４】図２６は、従来例による駆動ＩＣ実装前の
液晶パネルの点灯検査装置の構成を示す概略図である。
駆動ＩＣ実装前の液晶パネル１０１は剛体（図示せず）
上に、高精度で固定される。この液晶パネル１０１の走
査線、データ線はそれぞれ、ＩＣ用の端子電極（図示せ
ず）に接続されると共に、画像表示領域の４辺に設けら
れた検査用の端子電極１０２_S1、１０２_S2、１０２_G1、
１０２_G2に接続されている。（ここで、添字Ｓ１、Ｓ２
はデータ線用、Ｇ１、Ｇ２は走査線用であることを示
す。）これらの端子電極１０２_S1、１０２_S2、１０
２_G1、１０２_G2はそれぞれデータ線または走査線と同数
の端子からなる。１０３_S1、１０３_S2、１０３_G1、１０
３_G2は検査用の端子針（プローブピン）であり、液晶パ
ネル上の端子電極１０２_S1、１０２_S2、１０２_G1、１０
２_G2と同一のピッチで同一の数の針から構成されてい
る。１０４はバックライトのユニットであり、蛍光灯１
０５と拡散板１０６からなる。液晶パネルの点灯検査に
おいてはプローブピン１０３_S1、１０３_S2、１０３_G1、
１０３_G2を検査端子１０２_S1、１０２_S2、１０２_G1、１
０２_G2に高精度で接触させ、走査線およびデータ線に信
号を入力し、画像表示部に所望の画像を表示させ、液晶
パネルの裏面に設置されたバックライト１０４により拡
散光を照射し、目視あるいは実体顕微鏡やＴＶカメラに
より、画素あるいはラインごとの欠陥などを検査する。

【０００５】前記液晶パネル１０１に用いられる液晶材
料は、通常ツイストネマチック（以下、ＴＮという）型
の液晶材料であり、液晶パネルは２枚の偏光板によって
挟持される形で使用される。しかし、近年、投写型のＬ
ＣＤディスプレイにおけるライトバルブでは、偏光板が
不要となるため明るい投写画像がえられる散乱型の液晶
材料を用いた液晶パネルが用いられるようになってき
た。この散乱型の液晶材料を用いた液晶パネルでは、画
素のＯＮ（オン）、ＯＦＦ（オフ）を液晶材料の光に対
する透過、散乱特性の変化によって制御するため、バッ
クライトとして前記のような拡散光を用いると画像のＯ
Ｎ状態、ＯＦＦ状態の差が区別しにくくなり、液晶パネ
ルの点灯検査は非常に困難となる。

【０００６】そこで、これを解決するために、特開平４
−２４８４３５号公報に記載された図２７に示すＬＣＤ
パネルの検査装置が提案されている。図２７において、
１０１は液晶パネル、１０７はプロジェクタ、１０８は
反射ミラー、１０９は投写レンズ、１１０はスクリー
ン、１１１は信号発生回路、１１２はドライブ信号線で
ある。散乱型液晶によるＬＣＤパネルでは偏光板１１３
は不要となる。またプロジェクタ１０７からの射出光
は、投写レンズ１０９の開口部での光束の広がりが、開
口の大きさとほぼ等しくなるように収束されている。つ
ぎに、散乱型液晶による液晶パネルの検査において、本
検査装置を用いたときの動作について説明する。液晶が
透過状態の場合には、プロジェクタ１０７からの射出光
は反射ミラー１０８で反射されて方向を変え、投写レン
ズ１０９の開口にそのまま入射後、スクリーン１１０に
達し、スクリーン１１０の輝度が高くなる。一方液晶が
散乱状態の場合には、プロジェクタ１０７からの射出光
は液晶により散乱され、投写レンズ１０９の開口に入射
しないため、スクリーン１１０に達せず、スクリーン１
１０の輝度が低くなる。このようにして、液晶の透過、
散乱状態がスクリーン上の輝度差として視認される。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】従来の駆動ＩＣ実装前
の液晶パネルの点灯検査装置は、以上のように構成され
ており、散乱型の液晶による液晶パネルの検査において
は、投写光学系を組む必要があり、装置が巨大になると
いう問題がある。

【０００８】本発明は、前記のような問題を解決するた
めになされたもので、散乱型の液晶による液晶パネルの
点灯検査装置を小型化すると共に、検査時の表示画像の
視認性を高くし、点灯検査を容易に行える散乱型液晶パ
ネルの検査装置を提供することを目的としている。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明にかかる散乱型液
晶パネルの点灯検査装置は前記目的を達成するため、点
灯検査される液晶パネルを支える支持手段と、前記液晶
パネルの画素に電気信号を印加する信号印加手段と、前
記液晶パネルへ光を照射する光照射手段とからなる散乱
型液晶パネルの点灯検査装置であって、前記光照射手段
は平板導光体と該平板導光体の側部に設けられた光源と
からなり、該平板導光体の一方の面にギャップを介して
光吸収層が設けられ、該平板導光体の他方の面を前記液
晶パネルと密着させる手段が設けられている。

【００１０】また、前記液晶パネルの支持手段は剛体で
形成され、該剛体の前記液晶パネルが設置される中心部
にロ字型開口部が形成され、該開口部に前記平板導光体
が挿入され、該平板導光体を前記液晶パネルに押しつけ
る押出手段が設けられていることが液晶パネルは剛体の
みにより確実に支持されると共に、平板導光体と液晶パ
ネル面との段差による隙間をなくすことができるため好
ましい。

【００１１】また、前記剛体の開口部周囲に中空部が設
けられ、該中空部を介して前記液晶パネルが真空吸着さ
れて前記剛体に固定されていることが、検査時にのみ、
中空部を減圧することにより、液晶パネルは剛体方向に
吸引され、確実に固定することができるため好ましい。

【００１２】また、前記平板導光体に中空部が設けら
れ、該中空部を介して前記液晶パネルが真空吸着されて
固定されていることが、液晶パネルは負圧により、確実
に固定されると共に、平板導光体面と液晶パネル面の段
差による隙間をなくすことができるため好ましい。

【００１３】また、前記平板導光体は透明剛体と透明樹
脂とにより構成されていることが、液晶パネルが接する
面を強固に形成でき耐久性をよくすることができるため
好ましい。

【００１４】また、前記平板導光体は、前記液晶パネル
の画像表示領域に相当する部分の厚さが他の部分の厚さ
より厚く形成されていることが、平板導光体に装着する
光源および光吸収層の取付け領域を広くすることができ
るため好ましい。

【００１５】また、前記平板導光体の厚さが厚く形成さ
れた肉厚部の側面の周囲に反射面を該平板導光体に向け
た反射板が設けられていることが、この反射板に照射し
た光源光も液晶パネルの画像表示領域に送ることがで
き、表示画像の視認性の検査が容易にできるため好まし
い。

【００１６】また、前記平板導光体と液晶パネルとのあ
いだに透明液体が介在されていることが、平板導光体と
液晶パネルのあいだにわずかな隙間があっても、透明液
体により隙間をなくすことができ、点灯検査が容易にで
きるため好ましい。

【００１７】また、前記平板導光体と液晶パネルとのあ
いだに透明弾性体が設けられていることが、透明液体を
滴下する工程を設けることなく、平板導光体と液晶パネ
ルを空気層なく密着設置でき、点灯検査が容易にできる
ため好ましい。

【００１８】また、前記平板導光体の液晶パネルと接す
る平面部に、液体が満たされる凹部が設けられているこ
とが、平板導光体と液晶パネルを空気層なく密着設置で
きると共に、平板導光体と液晶パネルとのあいだに混入
した異物が平板導光体や液晶パネル面に付着しないため
好ましい。

【００１９】さらに、前記平板導光体に設けられた凹部
に液体を供給する供給経路が設けられると共に、前記液
晶パネルに接する平面部に空気抜き溝が設けられている
ことが、透明液体を滴下する工程を設けることなく、平
板導光体と液晶パネルを完全に空気層なく密着設置で
き、点灯検査が容易にできるため好ましい。

【００２０】また、前記液晶パネルの支持手段は液晶パ
ネルが設置される面にコ字型開口部を有する剛体からな
り、該開口部に前記平板導光体が挿入され、該平板導光
体は前記液晶パネル面に平行な断面が該液晶パネルの外
形よりも突出した部分を有するように形成されているこ
とが、液晶パネルの装着後に液晶パネルと平板導光体が
空気層なく密着できるとともに、観測する液晶パネル面
を水平面に対して傾けることができるうえで好ましい。

【００２１】また、前記平板導光体の側部に設けられた
複数の光源はそれぞれ異なる発光色であり、該光源に対
面する側部には該側部と対向する側部の光源の色の光を
反射させるダイクロイックミラーが設けられていること
が、各色の光源光を散乱型液晶パネルに照射させること
ができるため好ましい。

【００２２】また、前記信号印加手段に画素部の実効電
圧を変化させる電圧調節手段が設けられ、かつ、前記画
素部の輝度を測定する手段が設けられていることが、画
素部の光学応答特性を確実に把握することができるため
好ましい。

【００２３】

【作用】本発明における散乱型液晶パネルの点灯検査装
置は、側部に光源を設けた平板導光体を、検査時にの
み、液晶パネルと密着設置させ、平板導光体の底面に光
吸収層を設けた構成としているため、光源から放射され
た光が散乱型液晶パネルの散乱状態の画素のみから効率
よく射出され、透過状態の画素からは射出されず、表示
画像の視認性を高くできると共に、液晶パネルの脱着が
容易となる。

【００２４】

【実施例】

［実施例１］図１は本発明散乱型液晶パネルの点灯検査
装置の第１の実施例の斜視図である。図１において、１
は検査装置本体、１０３_S1、１０３_S2、１０３_G1、１０
３_G2はそれぞれ液晶パネルの端子（図示せず）に信号を
印加する信号印加手段となる検査針（プローブピン）
で、液晶パネル上のデータ線、走査線に接続された端子
電極と同数のピン（針）からなる。（ここで添字Ｓ１、
Ｓ２はデータ線用、Ｇ１、Ｇ２は走査線用であることを
示す。）３はプローブピンを支持するプローブベース、
４は液晶パネルを支持し固定するチャックユニット、５
はプローブピンの位置あわせの確認および、点灯検査用
の実体顕微鏡である。６は検査装置本体のベース部であ
り、水平面に対して約３０゜傾けられており、ステージ
７を介してチャックユニット４を載置している。図１に
示すように、このベース部６の面上にＸ−Ｙ−Ｚ軸をと
ったとき、チャックユニット４は、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向
および、Ｘ−Ｙ平面内の角度θ方向に可動なステージ７
を介して、Ｘ−Ｙ−θ方向に動かされる。また、プロー
ブベース３はベース部６の面に平行に、Ｚステージを介
して設置されている。

【００２５】チャックユニット４の斜視図を図２に、断
面図を図３に示す。図２および３において８は点灯検査
が行われる散乱型液晶パネルで、９は液晶パネルを支持
するための剛体で構成された支持手段となるテーブル、
１０は減圧部となる溝、１１はトンネル、１２は真空パ
イプ、１３は平板導光体、１４は光源、１５はフィルム
状の反射板、１６は押出手段としてのばね、１７はガイ
ド、１８は光吸収シート、１９は水である。平板導光体
１３と光源１４により光照射手段を構成している。な
お、平板導光体１３は、図３に示されるように、肉厚部
を有するものも含む意味である。

【００２６】散乱型液晶パネル８は、特開平２−９６７
１４号公報に示されているのと同様に２枚の透明基板９
５、９６間に液晶材料が高分子ポリマー中に分散保持さ
れた高分子分散型液晶材料（以下ＰＤＬＣと略す。）９
７が封入されている。液晶パネル８は透明基板９５に図
示していないＴＦＴなどの能動素子とマトリクス状の配
線、画素ごとの透明電極が形成され、透明基板９６の全
面に透明電極が形成されたアクティブマトリクス型のも
の、あるいは透明基板９５、９６に互いに直交するスト
ライプ状の透明電極が形成された単純マトリクス型のも
のとなっている。１０２_S1、１０２_S2、１０２_G1、１０
２_G2は液晶パネル８上に形成された端子電極群であり、
それぞれ走査線または信号線と同数の端子からなる。

【００２７】テーブル９は液晶パネル８を支持するため
の剛体で構成された支持手段で本実施例においてはステ
ンレス製のテーブルで構成され、液晶パネル８と接する
面は高い平面度で製作されている。前記テーブル９はス
テンレス製のほか、アルミニウム製、真ちゅう製などで
あってもよい。テーブル９の表面には、静電気によるＴ
ＦＴの破壊を防止するとともに、外光を遮光するため
に、導電性の黒色塗料が塗布されている。またテーブル
９の中央部には、液晶パネル８の画像表示領域よりもや
や大きい矩形の開口が設けられている。さらに、このテ
ーブル９の上面の矩形の開口の周囲には、幅約３ｍｍ、
深さ約２ｍｍの矩形の溝１０が設けられており、この溝
１０はテーブル９の内部に掘られたトンネル１１を通じ
て、真空パイプ１２に接続されている。

【００２８】またテーブル９上に固定されたプラスチッ
ク製の円形のガイド１７が配設され、液晶パネルの下辺
を２個で、左辺を１個で支持し、液晶パネル８の概略の
位置合わせをする。

【００２９】平板導光体（以下導光体という）１３は断
面形状が凸型で中心部に肉厚部を有するように形成され
た透明樹脂（アクリル、ポリカーボネートなど）製、ま
たはガラス製であり、上部の平面形状は、上記テーブル
９の開口よりもひとまわり小さい矩形形状に形成されて
いる。この導光体１３の全面は鏡面加工されている。

【００３０】光源１４はバックライトとして用いられ、
熱陰極型の蛍光灯であり、導光体１３の下方の４側面に
設置されている。反射部１５は光源１４側の光を導光体
１３側に反射させて光源１４の光を効率よく利用するた
めのもので、フィルム状に形成されている。

【００３１】ばね１６は導光体１３と蛍光灯からなる光
源１４を充分支えるだけの弾性力をもっている。このば
ね１６の弾性力を調整することにより、無負荷の状態で
は、導光体１３の上面がテーブル９の平面部より１ｍｍ
程度突出すると共に、少し負荷をかけた状態では、容易
に導光体１３の上面がテーブル９の平面部と同じ位置に
下降するようにされている。

【００３２】光吸収シート１８は導光体１３側が黒色ビ
ロード布などで形成されて光を吸収するようにされ、空
気層を介して、周囲をテープなどで接着することにより
導光体１３に装着されている。液晶パネル８と導光体１
３の間隙には、純水、水道水のような水１９が空気層が
なくなるように充填されている。この水１９と押出手段
１６とにより平板導光体１３と液晶パネル８とを密着さ
せる手段を構成している。

【００３３】つぎに動作について説明する。まず、プロ
ーブベース３を上昇させたのち、導光体１３の上面に注
射器などで数滴の水１９をたらす。ここに、ＩＣ実装前
の液晶パネル８を導光体とのあいだに空気層が入らない
ように静かに押し当て、ガイド１７に合わせて固定す
る。ここで真空パイプ１２を通じて、トンネル１１、溝
１０を減圧したのち、液晶パネル８をテーブル９の平面
部へ押し当て、液晶パネル８を真空吸着する。これによ
り、液晶パネル８はテーブル９に確実に固定されると共
に、導光体１３はばね１６の弾性力により液晶パネル８
方向に押され、水１９を介して空気層なく、液晶パネル
８と密着している。この状態で顕微鏡５を見ながら、Ｘ
−Ｙ−θステージ７を動かし、プローブピン１０３_S1、
１０３_S2、１０３_G1、１０３_G2と液晶パネル８上の端子
電極１０２_S1、１０２_S2、１０２_G1、１０２_G2の位置合
わせをする。

【００３４】そして、プローブベース３を下降させ、プ
ローブピン１０３_S1、１０３_S2、１０３_G1、１０３_G2と
液晶パネル上の端子電極１０２_S1、１０２_S2、１０
２_G1、１０２_G2を接触させる。データ信号線側のプロー
ブピン１０３_S1、１０３_S2からはデータ信号を、走査信
号線側のプローブピン１０３_G1、１０３_G2からは走査信
号をそれぞれ印加し、液晶パネルの画像表示部に所望の
画像を表示させる。

【００３５】さらに図３を用いて、本発明による表示画
像の視認原理について説明する。光源１４から発し、導
光体１３の側面からθ（図３参照）の入射角で導光体中
に入射した光は、導光体１３の屈折率を１．５とする
と、スネルの法則より、導光体中入射後は θ´＝ｓｉｎ^-1｛（ｓｉｎθ）／１．５｝の角度で進行する。

【００３６】ここで、θ＝−９０゜〜９０゜であるか
ら、θ´＝−４２゜〜４２゜となる。この光は、導光体
１３の各面のうち、光の入射面に垂直な上面および、下
面には、それぞれの面の法線に対して、｜φ｜＝４８゜
〜９０゜の角度で入射する。この入射角は、導光体１３
と空気との臨界角である４２゜よりも大きいため、この
面で光は全反射して導光体中を進行する。これらの光は
導光体の凸部にも達するが、水１９および液晶パネル８
の透明基板９５の屈折率も導光体の屈折率とほぼ等しい
ため、そのまま直進し、画像表示部のＰＤＬＣ９７面に
達する。

【００３７】本発明で検査する散乱型液晶パネルは、特
開平２−９６７１４号公報で説明されているのと同様
に、画素のＯＮ／ＯＦＦを印加電圧による光の透過、散
乱特性の変化によって制御している。すなわち、前記画
像表示部のうち充分な電圧が印加された画素部のＰＤＬ
Ｃ９７は、液晶粒滴と高分子ポリマーの屈折率が等し
く、ＰＤＬＣ層で屈折率の不連続面が存在しないので、
ＰＤＬＣ９７中を通過する光は直進し、液晶パネルの対
向基板表面９６に達する。この面での光の入射角も、前
記同様空気との臨界角である４２゜よりも大きいため、
光は全反射し、液晶パネル８外へは射出されない。この
ため、液晶パネル８を視認したときには、導光体１３の
下面に設置された光吸収シート１８の面だけが観測され
る。光吸収シート１８の面では、前記同様、光源１４か
らの光が導光体表面で全反射するため、この光を受けな
い。また液晶パネル８の表面から入射する外部からの光
は吸収し反射しないため、光吸収シート面は輝度の低い
黒い面として視認される。

【００３８】一方、画像表示部のうち電圧が印加されて
いない画素部のＰＤＬＣ層９７は屈折率の不連続面が存
在するので、光を散乱させる状態となっており、ＰＤＬ
Ｃ部分９７まで直進してきた光はあらゆる方向に散乱
し、液晶パネル８の前面から空気中に射出する光が生じ
る。このとき、液晶パネル８を視認したときには、明る
く見える。以上の原理により、ＰＤＬＣ９７が透過状態
である画素と、散乱状態である画素とは、明暗のコント
ラストが高くなり、はっきりと識別ができる。これによ
り、液晶パネル８の不良画素や断線部などを検出するこ
とができる。

【００３９】このようにして液晶パネル８の点灯検査が
終了すると、プローブベース３を上昇させたのち、真空
パイプ１２に接続された弁（図示せず）を閉じる。この
とき液晶パネル８とテーブル９との負圧がなくなるた
め、ばね１６の弾性力により、導光体１３が、液晶パネ
ルと共に上昇する。この状態で、液晶パネル８は導光体
１３から容易に取り外される。

【００４０】以上のように、散乱型液晶パネル８の点灯
検査装置１の照明光学系として、側面に光源１４が設置
された導光体１３を、水１９を介して液晶パネル８に密
着する方式としたので、投写光学系を用いることなく、
高いコントラストの表示画像がえられ、装置を小型化で
きる。また、液晶パネル８自身の固定は、剛性のあるテ
ーブル９上で真空吸着により行い、導光体１３は下部に
設置されたばね１６により、液晶パネル８に空気層なく
圧着する構造であるので、液晶パネル８が高精度で固定
できると共に、脱着が容易となる。

【００４１】なお、本実施例では、液晶パネルの端子に
信号を供給するための手段としてプローブピンの例を示
したが、スプリングピンや導電ゴムなどによるものでも
よい。また、導光体１３と液晶パネル８とを空気層なく
密着させるために水１９を用いたが、純水を用いること
によって、異物の混入や、導光体１３の化学変化などに
よる劣化を防止することができる。

【００４２】［実施例２］図４は本発明の散乱型液晶パ
ネルの点灯検査装置の第２の実施例で前記実施例１の導
光体１３部分の他の構造例を説明する断面図である。図
４において、９１は透明アクリル製の導光体の本体であ
り、前記実施例１の導光体１３と同一形状であるが、厚
肉部９１ａの厚さ（高さ）を前記導光体１３よりも約１
ｍｍ薄くしている。９２は厚さが約１ｍｍのガラス板で
あり、導光体９１の凸部の上面形状と同一の外形をして
いる。９３は屈折率が導光体９１およびガラス板９２と
ほぼ同一である透明接着剤である。透明接着剤９３とし
てはたとえば２液付加反応型シリコーンＲＴＶ樹脂（信
越化学工業（株）製、商品名ＫＥ１６０３Ａ／Ｂ）を用
いることができる。ガラス板９２と導光体９１は透明接
着剤９３により、空気層なく接続されている。その他の
構成は前記実施例１に示すものと同一である。

【００４３】本実施例では、ガラス板９２、導光体９１
および透明接着剤９３はほぼ同一の屈折率であるため、
前記実施例と同一の作用を示すが、導光体の液晶パネル
と接する面がガラス板であるため、導光体の重量をそれ
ほど大きくすることなく、液晶パネルの取り替えごとに
導光体と液晶パネルのガラス基板が接触しても上面部が
傷つきにくくなる。

【００４４】なお、本実施例では導光体の上面部にガラ
ス板を接着する構成としたが、ガラス板の代わりに石英
板を用いることもできる。

【００４５】［実施例３］図５は、図１に示した点灯検
査装置のチャックユニット部４についての本発明の第３
の実施例を説明する断面図であり、図６は上面図であ
る。チャックユニット以外の検査装置の構成は前記実施
例１に示すものと同一である。１０２、１０３、８、１
４、１５、１８は前記実施例１に示すものと同じ部分で
ある。

【００４６】図５において、２２は液晶パネル８を支持
するテーブルであり、前記実施例１に示すテーブル９と
同様の外形をしているが、真空溝および真空トンネルは
形成されていない。２３は透明アクリル製の直方体の導
光体であり、上面から見た形状は液晶パネル８の画像表
示部よりもやや大きい長方形となっている。この導光体
２３は、上面がテーブル２２の平面よりも約０．１ｍｍ
低くなるように、チャックユニットの底板２０に支持具
２１を介して固定され、液晶パネル８と導光体２３との
間隙には純水１９を浸透させている。１７は円形ガイド
であり、液晶パネル８の左辺および、底辺に対応する位
置にそれぞれ２個ずつ、テーブル２２上に固定されてい
る。２５は液晶パネル８の右辺および、上辺に対応する
位置に設置されたプラスチック製の押さえ板で、テーブ
ル２２上に固定されたばね２６によって、液晶パネル８
をストッパー２４方向へ密着させ固定する。

【００４７】つぎに検査時における液晶パネルの設置方
法を説明する。まず、前記実施例１と同様に、プローブ
ベース３を上昇させたのち、導光体２３の上面に注射器
などで数滴の純水１９をたらす。そして、２個の押さえ
板２５を右方または上方に充分押さえたまま、液晶パネ
ル８を導光体２３とのあいだに空気層が入らないように
静かに押し当て、円形ガイド１７に合わせて固定する。
ここで、押さえ板２５から手を放すことによって、液晶
パネルは円形ガイド１７方向へ密着させ固定される。こ
ののちの検査方法、および動作原理は前記実施例１に示
すものと同様である。

【００４８】以上のように、本実施例では前記実施例１
と同様に、散乱型液晶パネル８の点灯検査を、視認性の
高い表示画像を用いて行うことができる。また、液晶パ
ネル８の固定を板ばね２６の弾性力によって行い、導光
体２３はチャックユニットに固定されているので、装置
の構成が簡単になる。

【００４９】［実施例４］図７は本発明の装置の第４の
実施例を説明するチャックユニット４部の断面図、図８
はその平面図である。図７、図８において、８、１４、
１５、１８、１９、２０は前記実施例１に示すものと同
じ部分を示す。２７は前記実施例１と同様の透明アクリ
ル製の導光体であるが、本実施例では、上面形状が液晶
パネル８の外形よりもひとまわり大きい長方形である直
方体としている。また導光体２７の上面には、液晶パネ
ル８の画像表示部よりも大きく、液晶パネルの外形より
も小さい矩形の溝１０が設けられている。この溝１０は
幅約３ｍｍ、深さ約２ｍｍで、導光体２７の内部に掘ら
れたトンネル２８を通じて、真空パイプ１２に接続され
ている。この導光体２７はチャックユニット４の底板２
０に支持具２１を介して固定されている。

【００５０】つぎに、本実施例による液晶パネルの設置
方法を説明する。まず、前記実施例１と同様に、プロー
ブベースを上昇させたのち、導光体２７の上面に注射器
などで数滴の水をたらす。そこに液晶パネル８を導光体
２７とのあいだに空気が入らないように静かに押し当て
る。この状態で真空パイプ１２により減圧し液晶パネル
８を導光体２７に真空吸着する。このように、本実施例
では、液晶パネル８の固定と、導光体２７の液晶パネル
８への密着が同時に、同一面上で行われる。このあとの
検査方法、および動作原理は前記実施例１に示すものと
同様である。

【００５１】以上のように、本実施例では前記実施例１
と同様に、散乱型液晶パネル８の点灯検査を、視認性の
高い表示画像を用いて行うことができる。また、導光体
２７中に設けたトンネルは、液晶パネルの画像表示領域
外としているので、画像の視認上において悪影響を及ぼ
すことはない。さらに、液晶パネル８と導光体２７との
密着面と、液晶パネルを固定する面とが、同一面上であ
るため、構成が非常に簡単で小型にできると共に、導光
体２７の密着精度を高くできる。

【００５２】なお本実施例では、平板導光体をアクリル
製としたが、ガラス製あるいは石英製とすることもでき
る。このばあいは、平板導光体が傷つきにくくなる上、
ガラスあるいは石英の方がアクリルより平面度が高く、
熱による変形も少ないので、液晶パネルの固定精度を高
くできる。さらに、液晶パネル８と導光体２７とのあい
だに垂らす水の代わりに、エタノールなどの液体を用い
れば、導光体が侵食されることがないため、装置を錆び
にくくすることができる。

【００５３】［実施例５］図９は本発明の装置の第５の
実施例を説明する平板導光体の断面図である。本実施例
の導光体は上部導光体３０と下部導光体３１とからな
り、上部導光体３０はガラス製あるいは石英製とし、下
部導光体３１は透明アクリル製としている。上部導光体
３０には前記実施例３と同様の溝１０およびトンネル２
８が掘られている。上部導光体３０および下部導光体３
１は、それらとほぼ等しい屈折率をもつ透明接着剤３２
により空気層なく接着されている。透明接着剤３２とし
ては、たとえば２液付加反応型シリコーンＲＴＶ樹脂
（信越化学工業（株）製、商品名ＫＥ１６０３Ａ／Ｂ）
を用いることができる。その他の構成は前記実施例４に
示すものと同一である。

【００５４】本実施例では、導光体の上部導光体３０、
下部導光体３１および透明接着剤３２はほぼ同一の屈折
率としているので、前記実施例４と同じ光学的効果が生
じる。そして、本実施例に示す導光体は、前記実施例４
に示す透明アクリル製の導光体に比べて、平板導光体と
液晶パネルが接する上面部が傷つきにくくなる上、実施
例４と同じく液晶パネルの固定精度を高くできる。また
全体をガラス製あるいは石英製としたばあいよりも平板
導光体の軽量化を図れる。

【００５５】［実施例６］図１０は本発明の装置の第６
の実施例を説明する平板導光体の断面図、図１１は図１
０の平板導光体の平面図である。本実施例の導光体の下
部導光体３４は前記実施例４に示す平板導光体２７と同
様の溝１０およびトンネル２８が掘られている。３３は
ガラス製または石英製の薄板からなる上部導光体であ
る。図１１にこの上部導光体３３の平面図を示す。図１
１において、一点鎖線Ａは検査対象とする液晶パネル８
の外形を、破線は下部導光体３４に設けられた溝１０を
示す。上部導光体３３には、溝１０に対応した位置に直
径約３ｍｍの貫通孔３５が数カ所にあけられている。こ
のガラス板からなる上部導光体３３および下部導光体３
４は透明接着剤３２により空気層がなく接着されてい
る。その他の構成は前記実施例４に示すものと同じであ
る。

【００５６】本実施例における導光体は、平板導光体と
液晶パネルが接する部分をガラス製としているため、上
面部が傷がつきにくくなる上、液晶パネルの固定精度を
高くできる。また、ガラスまたは石英への加工は孔あけ
だけでよいので、導光体の全体あるいは、真空吸引用の
トンネル部分をガラス製にするのに比べて、製作が非常
に容易になる。

【００５７】［実施例７］図１２は本発明の装置の第７
の実施例を説明するチャックユニット部の断面図であ
る。図１２において、８は検査される散乱型液晶パネル
である。また、９〜１５および１９は前記実施例１に示
す構成要素と同じ部分を示す。３６、３７は導光体１３
の押出手段として働く同極性の平板状の黒色磁石であ
り、３６は導光体１３の底面に空気層３８を介して設置
され、３７はチャックユニットの底板２０に固定されて
いる。磁石３６、３７の反発力を調節することにより、
導光体１３に負荷がかからない状態では、導光体１３の
上面がテーブル９の平面部より１ｍｍ程度突出すると共
に、上から少し負荷をかけた状態では、導光体１３の上
面がテーブル９の平面部と同じ位置に下降するようにさ
れている。また導光体１３の凸部とテーブル９に設けら
れた開口部との隙間は０．５ｍｍ以下とし、導光体１３
が液晶パネル８の面に垂直に上昇、下降するようにされ
ている。

【００５８】本実施例による液晶パネル８の設置は、導
光体１３をばねで支持する前記実施例１による方法と同
様に行われる。さらに、液晶パネル８の検査方法も前記
実施例１によるものと同様である。

【００５９】本実施例では、磁石の反発力により導光体
を液晶パネルに密着する方式としたので、前記実施例１
に示すばねが不要となるため、ばねの長期間の使用によ
る密着力の低下が生じない。また、散乱型液晶パネルが
透光状態になったときの黒レベルを低くし、表示画像の
コントラストを高くするために、導光体の下面に設置す
る光吸収層を黒色磁石によって兼ねることができるた
め、部品点数を減らすことができる。

【００６０】［実施例８］図１３は本発明の装置の第８
の実施例を説明するチャックユニット部の断面図であ
る。図１３において、８は検査される散乱型液晶パネル
である。また、９〜１２、１４、１５および１９は前記
実施例１に示す構成要素と同じ部分を示す。３９は透明
の導光体であり、比重が０．８４ｇ／ｃｍ³、屈折率
１．４７であるポリメチルペンテンの加工により製作さ
れている。４１は水４０が満たされた透明の水槽であ
り、底部の外面には黒色ビロード布１８が空気層を介し
て設置されている。光源１４が装着された導光体３９は
下部が水中に浸され、水４０に浮くようにされている。
また、水槽４１の水位を調節することにより導光体の押
出手段として働かせるものであり、導光体３９に負荷が
かからない状態では、導光体の上面がテーブル９の平面
部より１ｍｍ程度突出すると共に、上から少し負荷をか
けた状態では、導光体３９の上面がテーブル９の平面部
と同じ位置に下降するようにされている。また導光体３
９の凸部とテーブル９に設けられた開口部との隙間は
０．５ｍｍ以下にし、導光体３９が液晶パネル８面に垂
直に上昇、下降するようにされている。

【００６１】本実施例では、比重が０．８４ｇ／ｃｍ³
の導光体３９を用い、適当な水位に調節された水槽に浸
されているため、水に対する浮力により、導光体の上面
が液晶パネル面に密着される。本実施例による液晶パネ
ル８の設置は、導光体をばねで支持する前記実施例１に
よる方法と同様に行われる。さらに、液晶パネル８の検
査方法も前記実施例１によるものと同様である。

【００６２】本実施例では、導光体の水に対する浮力に
より導光体３９を液晶パネル８に密着させる方式とした
ので、前記実施例１に示すばねが不要となるため、ばね
の長期間の使用による密着力の低下が生じない。また、
導光体３９を液晶パネル８に密着させる圧力の調節は、
導光体３９を浮かせている水を適当な水位にするだけで
行われるので、容易にしかも確実に導光体３９と液晶パ
ネル８を密着でき、高い視認性が実現できる。

【００６３】なお、本実施例では平板導光体をポリメチ
ルペンテン製とし、水に浮かせる構成としたが、導光体
が液体に浮くような比重関係であり、導光体と液体の屈
折率が液晶パネル基板の屈折率にほぼ等しければ、上記
以外のものでもよい。

【００６４】［実施例９］図１４は本発明の装置の第９
の実施例を説明するチャックユニット部の断面図であ
る。図１４において、８は検査される散乱型液晶パネル
である。また、９〜１２、１４、１５および１８、１９
は前記実施例１に示す構成要素と同じ部分を示す。さら
に、４１は前記実施例８に示すものと同じのものであ
る。４３は透明アクリル製の導光体である。４４は発泡
スチロールであり、導光体４３の底面の周囲に設置さ
れ、光源１４が装着された導光体４３を水４０に浮かせ
ている。

【００６５】本実施例では、前記実施例８と同様な操作
により液晶パネル８の点灯検査が行われるが、発泡スチ
ロールの浮力によって導光体４３を水に浮かせる構成と
したので、導光体４３が安価な透明アクリルで作製でき
る。

【００６６】なお、本実施例ではアクリル製の導光体を
水に浮かせる手段として発泡スチロールを用いたが、空
気の封入されたビニールあるいはゴムチューブを用いる
ことも可能である。

【００６７】［実施例１０］図１５は本発明の装置の第
１０の実施例を説明するチャックユニット部を構成する
平板導光体の断面図である。図１５において、４５は前
記実施例１に示した平板導光体と同じ作用をするもの
で、側面には光源１４と、光源１４を包囲してフィルム
状の反射板１５が装着されている。４６は平板導光体４
５の側面のうち、フィルム状の反射板１５が設置されて
いない部分に、設けられた反射板である。反射板４６は
反射面を導光体４５側に向けて、透明接着剤などで導光
体４５に密着して設置されている。平板導光体４５以外
の構成は前記実施例１に示すものと同一である。

【００６８】つぎに本実施例による動作を説明する。前
記実施例１で説明したように、光源１４から発し導光体
４５の側面から導光体４５中に入射した光のうち、この
入射面に直角な面に達した光５０は、この面で全反射
し、導光体４５の外部に射出することなく導光体４５中
を進行し、液晶パネル（図示せず）が密着された上面４
７へ達する。一方導光体４５中に入射した光のうち、入
射面に平行な面４８に達した光５１は、この面４８への
入射角が界面の臨界角度以下であるため、ある屈折角を
もって導光体外へ射出する。本実施例ではこの面４８に
反射板４６を設けているため、この光５１は反射板４６
の表面で全反射し、再び導光体４５中を直進し、上面４
７へ達する。

【００６９】以上のように本実施例では、平板導光体４
５の側面のうち、バックライト用の反射板１５が設置さ
れていない部分にも反射板４６が密着して設けられる構
成としたので、光源１４からの光が導光体４５の側面か
ら射出されることなく、液晶パネル８の方向へ導くこと
ができるので、光源１４の光を効率よく利用できると共
に、明るくコントラストの高い表示画像がえられる。

【００７０】［実施例１１］図１６は本発明の装置の第
１１の実施例を説明するチャックユニット部を構成する
平板導光体の断面図である。図１６において、８は散乱
型液晶パネルであり、５２は前記実施例１に示したもの
と同じ作用をする平板導光体である。５３は導光体５２
のうち、液晶パネル８と接する上面に固定装着された約
２ｍｍ厚の透明弾性体層である。透明弾性体層５３とし
てはたとえば２液付加反応型シリコーンＲＴＶ樹脂（信
越化学工業（株）製、商品名ＫＥ１６０３Ａ／Ｂ）が用
いられ、平板導光体５２の上面全面に塗布したのち、乾
燥させることによって導光体５２に固定装着されてい
る。液晶パネル８の下方から平板導光体５２を適当な圧
力で押しつけることにより、平板導光体５２と液晶パネ
ル８は透明弾性体層５３を介して、空気層がなく密着さ
れている。平板導光体５２以外の構成は前記実施例１に
示すものと同じであるが、平板導光体５２と液晶パネル
８とのあいだに水１９は浸透させていない。

【００７１】本実施例では前記実施例１と同様の動作に
より、光源１４からの光が導光体５２の内部を進行し、
導光体５２の上面に達する。この光は、導光体５２、透
明弾性体５３および液晶パネル８のガラス基板の屈折率
がほぼ等しく、しかもこれらのあいだに空気層は存在し
ないため、ほとんど屈折せず散乱型液晶面に達すること
ができる。この作用により、前記実施例１と同様に液晶
パネル８の点灯検査が行われる。

【００７２】以上のように本実施例では、平板導光体５
２の上面に透明弾性体層５３が固定装着されているの
で、水などの液体を用いることなく液晶パネル８と平板
導光体５２が空気層なく完全に密着される。従って、液
晶パネルの検査の度ごとに平板導光体の上面に水を滴下
する工程が不要となり、検査が迅速に行われる。さら
に、水により検査装置が錆びつく恐れがなくなり、装置
の長寿命化が可能になる。

【００７３】［実施例１２］図１７は本発明の装置の第
１２の実施例を説明するチャックユニット部を構成する
平板導光体の断面図である。また図１８は図１７の平板
導光体の平面図を示す。図１７〜１８において、８は散
乱型液晶パネルである。５４はアクリル製の平板導光体
の本体であり、上面には２段の凹部５５、５６が設けら
れている。凹部５５は深さが約２ｍｍ、外形が液晶パネ
ル８の外形よりも縦横２０ｍｍずつ大きくしている。凹
部５６は深さが約２ｍｍ、外形が液晶パネル８の画像表
示部よりも大きく、前記凹部５５よりも小さくしてい
る。また凹部５５の直交する２辺には、ばね５７が装着
された押さえ板５８が設置されている。この凹部５５、
５６には純水９８が満たされ、水位が凹部５５の底面５
９よりも約０．５ｍｍ高くなるようにしている。チャッ
クユニット部以外の構成は前記実施例１に示すものと同
じである。

【００７４】本実施例では、凹部５５、５６に純水を満
たしたのち、押さえ板５８を導光体の壁側へ押さえたま
ま、液晶パネル８を凹部５５の押さえ板５８のない壁５
５ａ側にあて、静かに底５９に置く。そして、押さえ板
５８を解放することによって、液晶パネル８は凹部５５
の壁５５ａに密着させ固定される。前記実施例１と同様
の動作により、光源１４からの光は導光体５４の内部を
進行する。凹部５５、５６に達した光は純水９８の屈折
率が導光体５４の屈折率に近いため、ほとんど屈折せず
にそのまま直進し、液晶パネル８面へ達する。このあと
の動作は前記実施例１に示すものと同様で、液晶パネル
８の点灯検査が行われる。

【００７５】以上のように本実施例では、平板導光体５
４に２段の凹部が設けられ、この凹部５５、５６に純水
を満たした構成としているので、注射器で水を滴下する
工程を設けることなく、液晶パネル８と平板導光体５４
を、空気層なく完全に密着できると共に、平板導光体と
液晶パネルとのあいだに混入した異物により、平板導光
体や液晶パネルを傷つける恐れがなくなる。

【００７６】［実施例１３］図１９は本発明の装置の第
１３の実施例を説明するチャックユニット部を構成する
平板導光体の断面図、図２０は図１９の平板導光体の上
面図である。図１９および２０において、８は散乱型液
晶パネルである。２４はアクリル製の平板導光体の本体
であり、液晶パネル８が設置される上面には深さ５ｍｍ
で液晶パネル８の画像表示領域よりもやや大きい矩形状
の槽６０が形成されている。この槽６０は平板導光体２
４中に形成されたトンネル６１およびパイプ６２を通じ
て外部タンク６３に通じている。これらの槽６０および
外部タンク６３には純水６７が満たされている。また、
平板導光体２４の上面には槽６０から外部に通じる深さ
０．５ｍｍ、幅３ｍｍの空気抜き溝６４が２本設けられ
ている。さらに平板導光体２４の上面には、２本の真空
溝６５がコの字型に槽６０を包囲する形で設けられてい
る。この真空溝６５は幅３ｍｍ、深さ２ｍｍとし、平板
導光体２４中に形成されたトンネル６６を通じて外部の
減圧ポンプ（図示せず）へ接続されている。また、平板
導光体２４の側面には前記実施例１と同様の光源（図示
せず）が装着されている。この平板導光体２４はチャッ
クユニットの底板（図示せず）に固定されている。チャ
ックユニット部以外の構成は前記実施例１に示すものと
同じである。

【００７７】つぎに本実施例による液晶パネルの点灯検
査方法について説明する。まず外部タンク６３を下降さ
せ、槽６０の純水６７の水位が平板導光体２４の上面よ
りも１ｍｍ以上低くなるようにする。ここで平板導光体
２４の上面に検査する液晶パネル８を設置し、減圧ポン
プによりトンネル６６を減圧し、液晶パネル８を平板導
光体２４上に真空吸着させる。つぎに外部タンク６３を
上昇させることにより、槽６０の純水６７と液晶パネル
基板とのあいだの空気は、空気抜き溝６４を通じて平板
導光体２４の外部へ抜ける。このあとの点灯検査方法は
前記実施例１に示すものと同じである。

【００７８】以上のように、本実施例では平板導光体２
４の上面に空気抜き溝６４をもつ槽を形成し、この槽に
外部に設けたタンクから純水を供給する構成としている
ので、注射器で水を滴下する工程を設けることなく、液
晶パネル８と平板導光体２４を空気層なく完全に密着で
きると共に、液晶パネルの脱着が容易となる。

【００７９】［実施例１４］図２１は本発明の装置の第
１４の実施例を説明するチャックユニット部の一部の平
面図、図２２はその側面からみた断面図を示す。図２１
〜２２において、７０は剛体製のテーブルであり、上面
から見た形状が上方に開放部をもつコの字型としてい
る。このコ字型開口部は液晶パネル８（一点鎖線で示
す）の画像表示領域（二点鎖線で示す）よりもやや大き
い矩形状であり、開口部の周囲には液晶パネル８の外形
よりも内側の領域に、幅３ｍｍ、深さ２ｍｍの溝７１が
開口部を囲むようにコ字型に形成されている。溝７１は
トンネル７２を通じて減圧ポンプ（図示せず）に接続さ
れている。７３はアクリル製の平板導光体であり、側面
からみた断面形状がＬ字型で、上方の凸部の上面形状は
矩形形状で、矩形の３辺方向はテーブル７０の開放部よ
りやや小さく、液晶パネル８の表示領域よりもやや大き
くし、矩形の１辺方向はテーブル７０の開放部よりも大
きくされている。平板導光体７３には光源１４、反射板
１５、光吸収層１８が装着されている。平板導光体７３
の下面には支柱７４が固定され、この支柱にはばねがは
められ、チャックユニットの底板２０に固定されたシリ
ンダー７５に挿入されている。チャックユニット全体は
水平面に対して約３０゜傾けられている。

【００８０】つぎに本実施例による液晶パネル８の点灯
検査方法について説明する。まず減圧ポンプを始動さ
せ、検査する液晶パネル８をコ字型の溝７１を覆うよう
にテーブル７０上に位置させる。そして液晶パネル８を
テーブル７０の平面部に押し当てることにより、平板導
光体７３をやや押し下げ、液晶パネル８を真空吸着す
る。ここで平板導光体７３が液晶パネル８よりも外部に
突出している位置で、液晶パネル８と平板導光体７３の
接する辺に、スポイトにより純水７６を数滴垂らす。純
水７６は毛細管現象により、液晶パネル８と平板導光体
７３のあいだの全面に浸透し、空気層なく液晶パネル８
と平板導光体７３が密着される。このあとの点灯検査方
法については前記実施例１に示すものと同じである。

【００８１】以上のように本実施例では、液晶パネルを
固定する剛体製のテーブル７０をコ字型にし、平板導光
体７３が液晶パネル８の外形よりも外部に突出する部分
を形成しているので、液晶パネル８の装着後に、その部
分に純水を滴下するだけで、液晶パネル８と平板導光体
７３が空気層なく密着できる。したがって液晶パネルの
装着が非常に容易になると共に、液晶パネル面を水平面
に対して傾けることができるため、液晶パネルの点灯検
査を着座姿勢にて行うことができる。

【００８２】［実施例１５］本発明の装置の第１５の実
施例を説明するチャックユニット部の一部の上面図を図
２３に示す。図２３において１３は前記実施例１に示す
ものと同じ平板導光体であり、上面形状は矩形、断面形
状（図示せず）は凸型とされている。破線で示した８は
検査される散乱型液晶パネルである。平板導光体１３の
底面側の対向する側面には、赤色光を発する光源の冷陰
極管８０および、青色光を発する他の光源である冷陰極
管８２がそれぞれ反射板１５に包囲されて設置されてい
る。また、他の２側面の内側面には緑色光を発する光源
の冷陰極管８１が反射板１５に包囲されて設置されてい
る。赤色冷陰極管８０の設置されている側面には、青色
光を反射させるダイクロイックミラー８３が平板導光体
１３に密着設置され、青色冷陰極管８２の設置されてい
る側面には、赤色光を反射させるダイクロイックミラー
８４が平板導光体１３に密着設置されている。また、緑
色冷陰極管８１の設置されている側面に対向する側面に
はミラー８５が設置されている。チャックユニット部以
外の構成は前記実施例１に示すものと同じである。

【００８３】つぎに本実施例による液晶パネル８の点灯
検査方法について説明する。液晶パネルの設置方法は前
記実施例１に示すものと同じである。まず、赤色冷陰極
管８０のみを点灯させると、赤色光はダイクロイックミ
ラー８３を通過し平板導光体１３中に入射する。この光
の内、ミラー８５あるいは対向するダイクロイックミラ
ー８４に達したものはそのまま全反射する。これらの赤
色光は前記実施例１と同様の作用により液晶パネルの表
示面に到達し、点灯検査が行われる。青色冷陰極管８２
のみを点灯させたばあいも同様の動作により、青色光に
対する点灯検査が行われる。つぎに緑色冷陰極管８１の
みを点灯させたばあいは、光源からの緑色光がそのまま
平板導光体１３中に入射し、ミラー８５で全反射され、
同様の動作により、緑色光に対する点灯検査が行われ
る。また、赤色冷陰極管８０、緑色冷陰極管８１、青色
冷陰極管８２のすべてを点灯させることにより、赤色
光、緑色光、青色光が合成され白色光に対する点灯検査
が行われる。

【００８４】以上のように、本実施例では平板導光体１
３の３側面にそれぞれ赤色光、緑色光、青色光を発する
光源を設置し、対向する側面には対応する色の光を反射
させるダイクロイックミラーを設置しているので、散乱
型液晶パネルの異なる波長の光に対する表示特性を評価
することができる。

【００８５】［実施例１６］本発明の第１６の装置の実
施例を説明する散乱型液晶パネルの点灯検査装置の構成
模式図を図２４に示す。８は散乱型液晶パネル、８６は
前記実施例１に示す点灯検査装置本体である。８７は液
晶パネル８の全部あるいは一部の画素のＰＤＬＣにかか
る実効電圧を制御できる信号印加手段である。８８は液
晶パネルのある部分の画素の輝度を測定する輝度計であ
る。８９はＸ−Ｙステージであり、輝度計８８を液晶パ
ネル８の画像表示部の面内に平行に動かすことができ
る。

【００８６】図２５は、検査対象となるアクティブもし
くは単純マトリクス型液晶パネル８の代わりに、遮光膜
と全面に透明電極が設けられた２枚の基板間にＰＤＬＣ
が封入された基準用散乱型液晶パネルを用いて、あらか
じめこの測定系により印加電圧−輝度特性を測定したも
のである。印加電圧は３０Ｈｚパルスの振幅である。こ
のように、ＰＤＬＣ両端の印加電圧と輝度には一定の関
係がある。なお、この基準用液晶パネルで用いる散乱型
液晶、およびパネル間隙は検査対象とする液晶パネル８
と同一にしている。

【００８７】つぎに本実施例による散乱型液晶パネルの
点灯検査方法について説明する。前記実施例１と同様に
して装着された散乱型液晶パネル８に、信号印加手段８
７により、ある電圧の信号を印加する。この信号の印加
された画素部に輝度計８８の視野を移動させ、この輝度
値を読み取る。この輝度値を図２５の印加電圧−輝度特
性図の縦軸の数値と照らし合せ、横軸の印加電圧を読み
取ることにより、検査する液晶パネル８の画素部のＰＤ
ＬＣに、実際に印加された電圧を推測することができ
る。従ってたとえばＴＦＴによるアクティブマトリクス
型の液晶パネルでは、ＴＦＴ特性の優劣を把握できる。
また、輝度計８８の代わりに、検出電圧−輝度値の較正
がなされたＴＶカメラを用い、画像表示部の全部または
一部の輝度値の分布を測定することにより、ＴＦＴ特性
の面内の分布を検出することもできる。さらに、図２５
の印加電圧−輝度特性の代わりに、パネル間隙の異なる
数種類の基準用散乱型液晶パネルを用いて、ある印加電
圧におけるパネル間隙−輝度特性を測定しておき、その
印加電圧による輝度値を輝度計やＴＶカメラにより検出
することによって、パネル間隙値やパネル間隙の分布を
検出することもできる。

【００８８】以上のように、本実施例によれば、画素部
の実効電圧を変化させる信号印加手段と、画素部の輝度
を測定する手段とを設けたので、画素部の光学応答特性
を検出することができる。これによりある画素のＴＦＴ
特性やパネル間隙の数値やこれらの面内の分布を把握す
ることができる。

【００８９】

【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、以下に記載されるような効果を奏する。

【００９０】エッジ部に光源を設けた平板導光体を液晶
パネルと密着設置させ、平板導光体の底面に光吸収層を
設けた構成としているため、散乱型液晶パネルの点灯検
査を投写光学系を用いずに、直視にて行うことができる
ため、点灯検査装置の小型化が図れると共に、ピント合
わせなどの光学調整が不要となる。

【００９１】また、液晶パネルは、液晶パネル面に平行
な支持面に開口が設けられた剛体からなる支持手段によ
り支持し、剛体の開口の中に導光体を設け、導光体を液
晶パネル方向へ加圧する手段を設けることにより、液晶
パネルを剛体上に高精度で位置合わせできると共に、液
晶パネルと導光体が密着しやすくなり、表示画像の視認
性が高くなる。また、検査時にのみ液晶パネルと導光体
を密着させることができるため、検査における液晶パネ
ルの脱着が容易となる。

【００９２】さらに、液晶パネルを支持する剛体中に減
圧部を形成し、この減圧部を介した負圧を利用して液晶
パネルを剛体に固定されるようにすることにより、液晶
パネルの固定精度を高くできると共に、引き続き点灯検
査の行われる液晶パネルの脱着が容易となる。

【００９３】また、平板導光体の内部に設けた中空の減
圧部を介した負圧により、液晶パネルを固定するように
することにより、液晶パネルと導光体との密着面と、液
晶パネルを固定する面とが同一になるため、構成が非常
に簡単であると共に、密着精度を高くできる。

【００９４】また、平板導光体は透明剛体と透明樹脂に
より構成することにより、液晶パネルの固定精度が高く
できると共に、液晶パネルの脱着により導光体が損傷さ
れにくくなり、点灯検査装置の長寿命化、軽量化が図れ
る。

【００９５】また、平板導光体の厚みを、液晶パネルの
画像表示領域相当部に他の部分より厚い厚肉部を設ける
ことにより、平板導光体に装着する光源および光吸収層
の取り付け領域を広くすることができ、装置の設置の自
由度を高くすることができる。

【００９６】さらに、前記平板導光体の厚肉部の側面の
周囲に、反射面を導光体に向けた反射板を設けることに
より、この反射板に照射した光源光も液晶パネルの画像
表示領域に進行できるようになり、光源光を高効率で利
用できると共に、表示画像の輝度を高くでき、視認性が
増す。

【００９７】また、液晶パネルの支持手段は、液晶パネ
ル面に平行な前記平板導光体面に形成され、該平板導光
体に液晶パネル面に平行な断面が液晶パネルの外形より
も突出した部分をもつ構成にすることにより、液晶パネ
ルの装着後に液晶パネルと導光体が空気層を介在させる
ことなく密着できるとともに、観測する液晶パネル面と
水平面に対して傾けることができ、検査を着座姿勢にて
行うことができる。

【００９８】また、平板導光体と液晶パネルとのあいだ
に透明液体を介在させることにより、平板導光体と液晶
パネルを空気層なく密着設置でき、表示画像の視認性が
増す。さらに、液晶パネルと導光体とのあいだに混入し
た微小な異物により、平板導光体や液晶パネルを傷つけ
る恐れが少なくなる。

【００９９】また、平板導光体と液晶パネルとのあいだ
に透明弾性体を設けたため、透明液体を滴下する工程を
設けることなく、平板導光体と液晶パネルを空気層なく
密着させて固定させることができるため、液晶パネルの
設置時間を短くできる。さらに、透明液体により検査装
置が錆びつく恐れがなくなり、装置の長寿命化が図れ
る。

【０１００】また、平板導光体の液晶パネルと接する平
面部に、液体が満たされた凹部を設けることにより、透
明液体を滴下する工程を設けることなく、平板導光体と
液晶パネルを空気層なく密着設置できる。さらに、平板
導光体と液晶パネルとのあいだに混入した大小の異物に
より、平板導光体や液晶パネルを傷つける恐れがなくな
り、装置の長寿命化や、液晶パネルの品質が向上する。

【０１０１】前記平板導光体に設けられた凹部に液体供
給経路を設けると共に、液晶パネルの接する平面部に空
気抜き溝を設けることにより、透明液体を滴下する工程
を設けることなく、平板導光体と液晶パネルを完全に空
気層なく密着設置でき、検査時間を短くできる。

【０１０２】また、平板導光体の側部に設けられた複数
の光源をそれぞれ異なる発光色とし、光源の対面の側部
には対応する色の光を反射させるダイクロイックミラー
を設けることにより、散乱型液晶パネルの異なる波長に
対する表示特性を評価することができ、とくに液晶プロ
ジェクタ用に液晶パネルにおいては、実使用条件に近い
状態で検査することができる。

【０１０３】また画素部の実効電圧を変化させる電圧調
節手段を有する信号印加手段と、画素部の輝度を測定す
る手段とを設けることにより、ある画素のＴＦＴ特性や
パネル間隙の数値やこれらの面内の分布を把握すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の装置の実施例１を示す散乱型液晶パ
ネルの点灯検査装置の斜視図である。

【図２】本発明の装置の実施例１を説明する散乱型液
晶パネルの点灯検査装置のチャックユニットの斜視図で
ある。

【図３】本発明の装置の実施例１を説明するチャック
ユニットの断面図である。

【図４】本発明の装置の実施例２を説明する散乱型液
晶パネルの点灯検査装置の平板導光体の断面図である。

【図５】本発明の装置の実施例３を説明するチャック
ユニットの断面図である。

【図６】図５の平面図である。

【図７】本発明の装置の実施例４を説明するチャック
ユニットの断面図である。

【図８】図７の平面図である。

【図９】本発明の装置の実施例５を説明するチャック
ユニットを構成する平板導光体の断面図である。

【図１０】本発明の装置の実施例６を説明する平板導
光体の断面図である。

【図１１】図１０の平面図である。

【図１２】本発明の装置の実施例７を説明するチャッ
クユニットの断面図である。

【図１３】本発明の装置の実施例８を説明するチャッ
クユニットの断面図である。

【図１４】本発明の装置の実施例９を説明するチャッ
クユニットの断面図である。

【図１５】本発明の装置の実施例１０を説明するチャ
ックユニットを構成する平板導光体の断面図である。

【図１６】本発明の装置の実施例１１を説明するチャ
ックユニットを構成する平板導光体の断面図である。

【図１７】本発明の装置の実施例１２を説明するチャ
ックユニットを構成する平板導光体の断面図である。

【図１８】図１７の平面図である。

【図１９】本発明の装置の実施例１３を説明するチャ
ックユニットを構成する平板導光体の断面図である。

【図２０】図１９の平面図である。

【図２１】本発明の装置の実施例１４を説明するチャ
ックユニットの平面図である。

【図２２】図２１の断面図である。

【図２３】本発明の装置の実施例１５を説明するチャ
ックユニットを構成する平板導光体の平面図である。

【図２４】本発明の装置の実施例１６を説明する構成
模式図である。

【図２５】本発明の装置の実施例１６の構成による散
乱型液晶パネルの印加電圧−輝度特性の測定図である。

【図２６】従来の点灯検査装置を説明する液晶パネル
の点灯検査装置の一部分の構成を示す概略図である。

【図２７】従来の点灯検査装置を示す構成図である。

【符号の説明】

１散乱型液晶パネル検査装置本体、８散乱型液晶パ
ネル、９液晶パネル支持用テーブル、１０真空溝、
１１、２８トンネル、１２真空パイプ、１３導光
体、１４光源（蛍光灯）、１５、４６反射板、１６
ばね、１８光吸収シート、１９、４０透明液体
（水）、２７トンネルつき導光体、３０、３３ガラ
スまたは石英製の上部導光体、３１、３４透明樹脂製
の下部導光体、３６、３７磁石、３９ポリメチルペ
ンテン製導光体、４４発泡スチロール、５３透明弾
性体、５５、５６、６０水槽、６１トンネル、６２
パイプ、６３外部タンク、６４空気抜き穴、７０
コ字型剛体製テーブル、８０赤色冷陰極管、８１
緑色冷陰極管、８２青色冷陰極管、８３青色反射ダ
イクロイックミラー、８４赤色反射ダイクロイックミ
ラー、８５ミラー、８７可変信号印加手段、８８
輝度測定手段、９８水、１０３_G1、１０３_G2、１０３
_S1、１０３_S2 電気信号印加用プローブピン。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者御福英史尼崎市塚口本町８丁目１番１号三菱電機株式会社材料デバイス研究所内 (72)発明者嶋睦宏尼崎市塚口本町８丁目１番１号三菱電機株式会社材料デバイス研究所内 (72)発明者大縄登史男尼崎市塚口本町８丁目１番１号三菱電機株式会社材料デバイス研究所内 (72)発明者大内田裕史尼崎市塚口本町８丁目１番１号三菱電機株式会社材料デバイス研究所内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】点灯検査される液晶パネルを支える支持
手段と、前記液晶パネルの画素に電気信号を印加する信
号印加手段と、前記液晶パネルへ光を照射する光照射手
段とからなる散乱型液晶パネルの点灯検査装置であっ
て、前記光照射手段は平板導光体と該平板導光体の側部
に設けられた光源とからなり、該平板導光体の一方の面
にギャップを介して光吸収層が設けられ、該平板導光体
の他方の面を前記液晶パネルと密着させる手段が設けら
れてなる散乱型液晶パネルの点灯検査装置。
【請求項２】前記液晶パネルの支持手段は剛体で形成
され、該剛体の前記液晶パネルが設置される中心部にロ
字型開口部が形成され、該開口部に前記平板導光体が挿
入され、該平板導光体を前記液晶パネルに押しつける押
出手段が設けられてなる請求項１記載の散乱型液晶パネ
ルの点灯検査装置。
【請求項３】前記剛体の開口部周囲に中空部が設けら
れ、該中空部を介して前記液晶パネルが真空吸着されて
前記剛体に固定されてなる請求項２記載の散乱型液晶パ
ネルの点灯検査装置。
【請求項４】前記平板導光体に中空部が設けられ、該
中空部を介して前記液晶パネルが真空吸着されて固定さ
れてなる請求項１記載の散乱型液晶表示パネルの検査装
置。
【請求項５】前記平板導光体は透明剛体と透明樹脂と
により構成されてなる請求項１、２または４記載の散乱
型液晶パネルの点灯検査装置。
【請求項６】前記平板導光体は、前記液晶パネルの画
像表示領域に相当する部分の厚さが、他の部分の厚さよ
り厚く形成されてなる請求項１、２、３、４または５記
載の散乱型液晶パネルの点灯検査装置。
【請求項７】前記平板導光体の厚さが厚く形成された
肉厚部の側面の周囲に反射面を該平板導光体に向けた反
射板が設けられてなる請求項６記載の散乱型液晶パネル
の点灯検査装置。
【請求項８】前記平板導光体と液晶パネルとのあいだ
に透明液体が介在されてなる請求項１記載の散乱型液晶
パネルの点灯検査装置。
【請求項９】前記平板導光体と液晶パネルとのあいだ
に透明弾性体が設けられてなる請求項１記載の散乱型液
晶パネルの点灯検査装置。
【請求項１０】前記平板導光体の液晶パネルと接する
平面部に液体が満たされる凹部が設けられてなる請求項
１記載の散乱型液晶パネルの点灯検査装置。
【請求項１１】前記平板導光体に設けられた凹部に液
体を供給する供給経路が設けられると共に、前記液晶パ
ネルに接する平面部に空気抜き溝が設けられてなる請求
項１０記載の散乱型液晶パネルの点灯検査装置。
【請求項１２】前記液晶パネルの支持手段は液晶パネ
ルが設置される面にコ字型開口部を有する剛体からな
り、該開口部に前記平板導光体が挿入され、該平板導光
体は前記液晶パネル面に平行な断面が該液晶パネルの外
形よりも突出した部分を有するように形成されてなる請
求項１記載の散乱型液晶パネルの点灯検査装置。
【請求項１３】前記平板導光体の側部に設けられた複
数の光源はそれぞれ異なる発光色であり、該光源に対面
する側部には該側部と対向する側部の光源の色の光を反
射させるダイクロイックミラーが設けられてなる請求項
１記載の散乱型液晶パネルの点灯検査装置。
【請求項１４】前記信号印加手段に画素部の実効電圧
を変化させる電圧調節手段が設けられ、かつ、前記画素
部の輝度を測定する手段が設けられてなる請求項１、
２、３、４、５、６、７、８、９、１０、１１、１２ま
たは１３記載の散乱型液晶パネルの点灯検査装置。