JP2003195782A - 表示素子の検査方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 可撓性を有する表示素子（例えば、一対のフ
ィルム基板間にメモリー性を有する液晶を挟持した液晶
表示素子）を、表示状態を維持したままで、その表示特
性を測定する表示素子検査方法を提供する。 【解決手段】 検査時において、可撓性を有する表示素
子６を吸着孔５６ａ，５６ｂを備えたテーブル５２上に
配置する。次に、吸着孔５６ａ，５６ｂを介して表示素
子６に負圧を印加することにより表示素子６をテーブル
５２上に固定する。続いて、表示領域に対応する吸着孔
５６ａを介した負圧印加のみを解除したうえで、表示素
子６の表示特性を測定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、可撓性を有する表
示素子（例えば、液晶表示素子）の表示特性を測定する
表示素子検査方法及び装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示素子として提案されているもの
のうち、メモリー性を有する液晶を利用した液晶表示素
子（以下、メモリ型液晶表示素子という。）が知られて
いる。この表示素子の一例として、一対の基板間にメモ
リー性を有する液晶（例えばカイラルネマチック液晶や
強誘電性液晶など）を挟持するとともに、対向する基板
の表面にそれぞれ電極を形成したものがある。この構成
によれば、対向する電極に電圧を印加し電極間に位置す
る液晶の状態を変えることにより表示を行うが、その後
電圧を印加し続けなくても表示状態を維持することがで
きる。

【０００３】このような特徴を有するメモリ型液晶表示
素子の検査においては、電圧を印加せずに同一の画像を
長時間表示させた後の表示特性を測定し、表示状態が保
たれているか否かを判定することが重要である。特に、
カラー表示可能なメモリ型液晶表素子ではこの点が重要
とされる。

【０００４】表示特性を測定する方法の一つとして、積
分球を用いて液晶表示素子の光学特性を測定する方法が
挙げられる。具体的に、積分球は、中空の球であり、そ
の内壁に高拡散、高反射率の白色塗料をコーティングし
たものである。積分球にはまた、光源用の開口部と試料
用の開口部が形成される。光源用開口部には、積分球の
内壁を照明するための光源が配設される。また、試料用
開口部の近傍には、試料である液晶表示素子の少なくと
も一部が配置される。光源からの光は光源用開口部に対
向する内壁部分で拡散反射された後、積分球内で多重反
射し、試料用開口部近傍に配置された液晶表示素子部分
を一様に照明する。液晶表示素子で反射した光は、受光
部で受光され、受光部に接続された分光装置により液晶
表示素子の分光反射率が求められることとなる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】近年、液晶表示素子の
軽量化に対する要求が高まっており、このため、樹脂な
どの軽くて薄いフィルム基板を、液晶を挟持する基板と
して用いることが考えられる。しかしながら、液晶を挟
持する基板としてフィルム基板を用いた場合、全体とし
て可撓性を有する液晶表示素子を何らかの保持手段によ
り保持しない状態では、フィルム基板は本質的に平坦状
にならず僅かにうねりが生じているため、このままでは
測定場所によって測定距離（積分球と表示素子の距離）
が異なり、液晶表示素子の正確な表示特性の測定を行う
ことができない。そこで、液晶表示素子を平坦面に吸着
固定することでフィルム基板を平坦化することが考えら
れる。また、基板としてフィルム基板を用いた液晶表示
素子は、基板間に例えば球状のスペーサを多数配置する
ことで、基板間のギャップ（以下、セルギャップとい
う。）を一定に保つようになっている。

【０００６】紙などのシート状の物体を平坦面に吸着す
る一般的な方法として、複数の貫通孔を有する平板を用
い、この貫通孔を介して吸引を行うことにより物体を平
板に吸着する方法がある。このような吸着方法を液晶表
示素子の吸着に適用した場合、本発明者の検討によれ
ば、貫通孔に対向した基板部分に負圧が加わるため、該
基板部分近傍にあるスペーサが比較的少なければセルギ
ャップが所望の値より小さくなり、この基板部分での表
示は、貫通孔に対向しない基板部分や、貫通孔に対向す
るが近傍にスペーサが比較的多い基板部分とは異なる場
合のあることが判明した。このため、表示むらが生じ、
液晶表示素子の表示特性を正確に測定できなかった。な
お、スペーサの配置にばらつきがあるのは、主に、液晶
表示素子の製造工程において、スペーサを散布によって
基板上に配置したり、予めスペーサを液晶材料に混ぜて
おき、これを真空注入や滴下によってセル内に封入した
りすることで液晶セルが作製されるという製造上の都合
による。

【０００７】そこで、本発明は、可撓性を有するメモリ
型液晶表示素子を、表示状態を維持したままで、その表
示特性を測定する表示素子検査方法及び検査装置を提供
することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係る検査方法の第１の態様は、可撓性を有
する表示素子を平坦面上に吸着させる工程と、吸着工程
後に、表示素子の測定対象部分の吸着を解除した上で前
記測定対象部分の表示特性を測定する工程とを含むこと
を特徴とする。

【０００９】かかる検査方法では、表示素子全体を平坦
面上に吸着させることで表示素子を平坦化し、その後測
定対象部分の吸着を解除することで、該測定対象部分が
ストレスを受けることなく平坦状に保持されるので、測
定対象部分に所望の表示を行わせることができる。

【００１０】測定対象部分は、表示素子の表示領域の一
部であってもよいが、吸着方法として、表示素子全体を
吸着させた後、表示領域のみの吸着を解除するのが最も
簡易である点で、表示素子の表示領域全体であるのが好
ましい。

【００１１】複数の貫通孔を有する平板上に形成される
平坦面上に、該貫通孔を介して吸引することにより表示
素子を吸着させるようにしてもよい。

【００１２】表示特性の測定としては、例えば測色が挙
げられる。この場合、積分球を使用し、該積分球と表示
素子との間を所定の間隔に保って測色を行うようにする
ことができる。

【００１３】本発明に係る検査方法の第２の態様は、可
撓性を有する表示素子を平坦面上に吸着させる工程と、
表示素子の測定対象領域以外の領域を、押圧部材により
平坦面に対し押圧する工程と、表示素子の吸着を解除し
た上で前記測定対象領域を測定する工程とを順次含むこ
とを特徴とする。

【００１４】かかる検査方法は、測定対象領域とそれ以
外の領域を平坦面に個別に吸着する検査方法の第１の態
様に比べて、用いる吸着機構が簡単になる利点を有す
る。

【００１５】本発明に係る検査装置は、可撓性を有する
表示素子の検査装置において、複数の貫通孔を有し、表
示素子を載置するための平板と、前記平板の貫通孔を介
して表示素子に対し負圧を印加する負圧発生手段と、前
記平板上に配置された表示素子の表示特性を測定する測
定手段とを有し、前記負圧発生手段は、表示素子の表示
領域と非表示領域に対し個別に負圧を印加できるように
構成されることを特徴とする。

【００１６】かかる検査装置では、表示素子全体を平坦
面上に吸着させることで表示素子を平坦化し、その後表
示領域の吸着のみを解除することができ、したがって表
示領域をストレスを受けることなく平坦状に保持し、表
示領域に所望の表示を行わせることができる。

【００１７】測定手段として、積分球を用いて測色を行
うものを用いてもよい。この場合、積分球と表示素子と
の間を所定の間隔に保って測色を行うようにしてもよ
い。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して、本発
明に係る検査方法及び装置の好適な実施形態を説明す
る。

【００１９】図１は、本発明に係る第１の実施形態の検
査方法を実施するための検査装置の一例を示す断面図で
ある。この検査装置２は、概略、液晶表示素子の表示特
性として光学特性を測定するための測定部４と、液晶表
示素子６を測定部４に対し相対的に移動できるように該
表示素子６を支持する支持部８とから構成される。

【００２０】測定部４は積分球１０を有する。この積分
球１０は中空の球であり、その内壁１０ａには、高拡
散、高反射率の白色塗料（例えば、酸化マグネシウムや
硫酸バリウム）がコーティングされている。積分球１０
には、照明光学系１２からの光を入射させるために側部
に設けられた第１の開口部１４、液晶表示素子６を照明
するために底部に設けられた第２の開口部１６、及び、
液晶表示素子６から反射された光を受光光学系１８に入
射するために頂部近傍に設けられた第３の開口部２０と
が形成されている。

【００２１】照明光学系１２は、第１の開口部１４の近
傍に配設されており、光源２２を有しており、積分球１
０内の側部を最初の直接照明域２４とするものである。
光源２２は、発光回路２６により発光して積分球１０内
に光束を供給するものであり、例えばＸｅフラッシュな
どが使用される。

【００２２】受光光学系１８は、レンズ等から構成さ
れ、液晶表示素子６からの反射光を集束するものであ
る。この受光光学系１８の光軸１８ａは、液晶表示素子
６表面の法線２８に対して８°だけ傾斜した方向に設定
されている。受光光学系１８には分光装置３０が接続さ
れており、液晶表示素子６表面の法線２８に対して８°
だけ傾斜した方向成分の反射光が、第３の開口部２０を
通り抜けた後、受光光学系１８を介して分光装置３０に
導かれ、そこで液晶表示素子６の分光反射率が求められ
るようにしてある。

【００２３】液晶表示素子６表面の法線２８に対して、
受光光学系１８の光軸１８ａと対称な方向、すなわち−
８°だけ傾斜した方向に相当する積分球１０部分には、
第４の開口部３１が形成されている。これは、目視との
相関が高いデータとして、液晶表示素子６からの鏡面反
射成分を含まない分光反射率を求めるためである。仮
に、液晶表示素子６のフィルム基板表面が平坦でなくう
ねりを有していると、該表面で反射する鏡面反射成分を
除くために第４の開口部３１を設けたのにもかかわら
ず、分光反射率に鏡面反射成分が含まれてしまうので、
液晶表示素子６を平坦に保つことが重要となる。

【００２４】支持部８は、測定部４の積分球１０の下方
に配置された固定台４０を有する。固定台４０には、固
定台４０上に設けたレール４２を介して図面左右方向に
移動する左右移動機構４４、左右移動機構４４上に設け
たレール４６を介して図面表裏方向に移動する前後移動
機構４８、及び図面上下方向に移動する上下移動機構５
０を介して、積分球１０の第２の開口部１６に対向した
平坦面を有するテーブル５２が連結されている。テーブ
ル５２の平坦面上には液晶表示素子６が配置されるよう
になっている。また、上下移動機構５０は、テーブル５
２上の液晶表示素子６と積分球１０の第２の開口部１６
との距離ｄを調整する（例えばｄ：０〜６ｍｍ）ための
ものである。左右及び前後移動機構４４、４６は、測定
部４で測定すべき液晶表示素子６部分（測定対象部分）
を、第２の開口部１６の下部近傍に移動させるためのも
のである。

【００２５】液晶表示素子６を負圧により吸着固定する
ために、テーブル５２は、液晶表示素子６を配置する平
坦面に複数の吸着孔５６を有する。これら吸着孔の一部
５６ａは、テーブル５２内に設けた第１のキャビティ５
８ａで連通されており、さらに２つの電磁弁６０、６２
ａを介して真空ポンプ６４に接続されている。電磁弁６
０は、三方向弁で、第１のキャビティ５８ａを大気に接
続できるようになっている。吸着孔の残り５６ｂは、テ
ーブル５２内に設けた第２のキャビティ５８ｂで連通さ
れており、さらに電磁弁６２ｂを介して真空ポンプ６４
に接続されている。吸着孔５６ａは、液晶表示素子６の
表示領域、詳しくは表示領域に対応する下面部分を吸着
可能な位置に配置され、吸着孔５６ｂは、吸着孔５６ａ
を囲むように、液晶表示素子６の表示領域を囲む部分
（以下、非表示領域という。）、詳しくは非表示領域に
対応する下面部分を吸着可能な位置に配置されている。
吸着孔５６ａ，５６ｂの断面は、真空吸引により液晶表
示素子６が吸着孔にめり込んでクラックが入る恐れがな
いように、所定の大きさ以下（例えば、断面が円形であ
れば、直径２ｍｍ程度以下）に設定する必要がある。

【００２６】テーブル５２の側方には、テーブル５２上
に吸着固定させた液晶表示素子６に駆動電圧信号を供給
し、これにより該表示素子６に表示を行わせるための駆
動信号入力部６６が配置されている。駆動信号入力部６
６は、後述する電圧印加治具を介して液晶表示素子６に
駆動電圧信号の入力を行う。

【００２７】図２は、液晶表示素子６の一例を示す模式
的な断面図である。液晶表示素子６は、透明材料からな
る一対のフィルム基板（下側基板７２及び上側基板７
４）と、これらフィルム基板７２、７４間に挟持された
液晶層７６とを有する。フィルム基板７２、７４の材料
として、例えば、ポリカーボネートやポリエーテルスル
ホンなどの樹脂が用いられる。液晶層７６の液晶７７
は、基板７２、７４の周縁部近傍に沿って連続的に配置
されたシール壁７８により封入される。液晶７７は、可
視域の波長の光を選択反射しうるコレステリック液晶で
ある。また、フィルム基板７２、７４との対向面にはそ
れぞれ、図２の紙面表裏方向と平行に伸びた複数の透明
電極（下側電極）８０と、図２の左右方向と平行に伸び
た（すなわち、下側電極８０と直交する）複数の透明電
極（上側電極）８２とが配置されており、これら電極８
０，８２がシール壁の外側まで延設されて、駆動信号入
力部から所定の電圧を印加するための端子部８３（図２
では、上側基板７４の左右両端部に形成された端子部８
３ａ，８３ｂのみ示されている。）を形成する。なお、
電極は対応する基板の両側に引き出されているが、片側
だけに引き出されるようにしてもよい。

【００２８】液晶表示素子６の観察側と反対側には光吸
収層８４が設けてある。液晶層７６には、基板７２、７
４のギャップを一定に保つために球状（例えば外径５μ
ｍ）のスペーサ８６が含まれている。また、必要に応じ
て設けられる、少なくともシール壁７８で囲まれた領域
に、この領域内で上下基板７２、７４を支持するための
（好ましくは両基板を接着支持するための）、例えば柱
状の樹脂構造物８８が一定のパターンで配置されてい
る。下側電極８０及び上側電極８２上にはそれぞれ絶縁
膜９０、９２及び配向膜９４、９６が形成されている。

【００２９】このような構成において、液晶を挟持する
電極間に印加される電圧に応答して、可視光を透過する
透明状態から特定の波長の可視光を選択的に反射する選
択反射状態へ、あるいは逆に、選択反射状態から透明状
態へと切り替わる。図２の上方から液晶表示素子６に向
けて自然光等の白色光を照射すると、選択反射状態で
は、液晶が上記特定波長の可視光を反射し、対応する色
が観察される。一方、光透過状態では可視光が光吸収層
８４に吸収されて黒色が表示される。

【００３０】図３は、駆動信号入力部から液晶表示素子
６に駆動電圧信号を供給するための電圧印加治具の一例
を示す分解斜視図である。図１も参照して、この治具
は、液晶表示素子６の端子部（上側基板７４に設けた端
子部８３ａ，８３ｂと、下側基板７２に設けた端子部８
３ｃ，８３ｄ）を上下に挟んだ状態で、液晶表示素子６
をテーブル５２上の所定の位置に配置する。すなわち表
示領域１００は、テーブル５２の第１の吸着孔５６ａが
配置された平坦部９８ａ上に、非表示領域は、テーブル
５２の第２の吸着孔５６ｂが配置された平坦部９８ｂ上
に配置する。

【００３１】具体的には、矩形枠状の透明樹脂シート１
０２が矩形状の液晶表示素子６の端子部８３の下側に配
置される。このシート１０２上面には、上側基板７４の
端子部８３ａ，８３ｂに対向する二辺に金属シート（例
えばＳＵＳ）１０４ａ，１０４ｂが固定されている。端
子部８３ａ，８３ｂは、金属シート１０４ａ，１０４ｂ
と、端子部８３ａ，８３ｂの上側に配置されるマグネッ
トシート１０６ａ，１０６ｂとにより挟持される。同様
に、下側基板７２の端子部８３ｃ，８３ｄは、これら端
子部の上側に配置した金属シート１０４ｃ，１０４ｄ
と、透明樹脂シート１０２上に固定され、端子部８３
ｃ，８３ｄに対向するマグネットシート１０６ｃ，１０
６ｄとにより挟持される。金属シート１０４ａ，１０４
ｂ，１０４ｃ，１０４ｄはそれぞれ、端子部８３ａ，８
３ｂ，８３ｃ，８３ｄに引き出された電極群に接触して
いる。金属シート１０４ａ，１０４ｂ，１０４ｃ，１０
４ｄは、駆動信号入力部６６に電気的に接続され、これ
により、各端子部８３に引き出された電極群には、同一
の電圧が印加されるようになっている。したがって、液
晶表示素子６の表示領域１００全体が略同一の輝度とな
るように点灯させることができる。

【００３２】上述の例では、各端子部８３に引き出され
た電極群に同一の電圧を印加させるのに、電極群を金属
シート１０４に接触させたが、代わりに、液晶表示素子
の基板に予め電極群に電気的に接続された電極パッドを
設け、このパッドに駆動信号入力部側のプローブ電極を
接触させることで電極群に同一の電圧を印加させてもよ
い。この場合、液晶表示素子６の表示を行わせた後は、
プローブ電極を液晶表示素子６の端子部から外しても、
カイラルネマチック液晶のメモリー性より表示状態が維
持される。なお、電極パッドを含む基板部分は、表示特
性の測定後切り落とされ、これにより電極群を互いに分
離する。

【００３３】次に、図１、３を参照して、検査装置２を
用いた液晶表示素子６の検査動作を説明する。まず、液
晶表示素子６を、電圧印加治具で上下を挟持した状態で
テーブル５２上に載置する。このとき、表示領域は、吸
着孔５６ａが配置された平坦部９８ａ上に配置され、非
表示領域は、吸着孔５６ｂが配置された平坦部９８ｂ上
に配置される。次に、電磁弁６０、６２ａ、６２ｂを開
放することによりテーブル５２上に液晶表示素子６及び
電圧印加治具を吸着固定する。続いて、電磁弁６２ａを
閉鎖して、キャビティ５８ａを介した真空吸引を終了さ
せる。このとき、キャビティ５８ａは真空状態になって
いるため、液晶表示素子６の表示領域部分は、テーブル
５２に吸着・固定されたままである。そこで、三方向弁
である電磁弁６０を大気に開放し、これにより表示領域
のみストレスをかけずに液晶表示素子６を固定する。な
お、キャビティ５８ａに空気が入り込むが周辺部分（非
表示領域）を固定しているので液晶表示素子６が浮き上
がることはない。

【００３４】次に、上下移動機構５０により液晶表示素
子６と積分球１０の第２の開口部１６との距離ｄを調整
するとともに、左右及び前後移動機構４４、４６により
測定部４で測定する液晶表示素子６部分を第２の開口部
１６の近傍に移動させる。

【００３５】さらに、駆動信号入力部６６から液晶表示
素子６に駆動信号の入力を行い、液晶表示素子６に表示
を行わせる。このとき、液晶表示素子６の表示領域に
は、吸着孔５６ａを介して局所的に負圧が印加されるこ
とはないので、セルギャップが局所的に小さくなって表
示むらが生じることはなく、所望の表示を行うことがで
きる。

【００３６】発光回路２６を動作させて光源２２を発光
させると、積分球１０の内壁１０ａの領域２４が最初の
直接照明域として照明され、そこで光が拡散反射された
後、積分球内で多重反射し、液晶表示素子６を略一様に
照明する（距離ｄが０の場合、あらゆる方向から照明さ
れ（全方位照射）、ｄが大きくなるほど、垂直に近い方
向（法線２８に近い方向）から照明される（部分方位照
射）。）。

【００３７】液晶表示素子６からの反射光のうち８°方
向の成分は、第３の開口部２０を通って受光光学系１８
を介して分光装置３０に導かれ、その分光反射率が求め
られる。

【００３８】左右及び前後移動機構４４、４６により液
晶表示素子６を移動し、分光反射率を他の測定部分でも
求め、得られたデータに基づいて液晶表示素子６が所望
の表示特性を有するか否かを判断する。

【００３９】図４は、本発明に係る第２の実施形態の検
査方法を実施するための検査装置の一例を示す断面図で
ある。以下の説明では、図１の検査装置２と同一・類似
の部材、部分については同一の符号又は同一の符号に添
字（’）を付したものを用いて表し、その説明は適宜省
略する。

【００４０】この検査装置２００において、吸着孔５
６’は全て、テーブル５２’内に設けたキャビティ５
８’で連通し、このキャビティ５８’は、電磁弁６
０’、６２’を介して真空ポンプ６４に接続されてい
る。

【００４１】また、本実施形態では、図に示すように、
液晶表示素子６をテーブル５２’上に載置した後、液晶
表示素子６の表示領域の周囲を押さえ部材（押圧部材）
２０２で下向き（テーブル５２’側）に押さえるように
してある。

【００４２】次に、検査装置２００を用いた液晶表示素
子６の検査動作を説明する。まず、液晶表示素子６を、
電圧印加治具（図３参照）で上下を挟持した状態でテー
ブル５２’上に載置する。続いて、電磁弁６０’、６
２’を開放することによりテーブル５２’上に液晶表示
素子６及び電圧印加治具を吸着固定する。その後、押さ
え部材２０２を液晶表示素子６上に載置する。次に、電
磁弁６２’を閉鎖する。このとき、キャビティ５８’は
真空状態になっているため、液晶表示素子６は、テーブ
ル５２’に吸着・固定されたままである。そこで、三方
向弁である電磁弁６０’を大気に開放し、これによりス
トレスをかけずに液晶表示素子６を固定する。このと
き、キャビティ５８’に空気が入り込むが表示領域の周
辺を押さえ部材２０２で押さえているので少なくとも液
晶表示素子６の表示領域が浮き上がることはない。

【００４３】次に、上下移動機構５０により液晶表示素
子６と積分球１０の第２の開口部１６との距離ｄを調整
するとともに、左右及び前後移動機構４４、４６により
測定部４で測定すべき液晶表示素子６部分を第２の開口
部１６の近傍に移動させる。

【００４４】さらに、駆動信号入力部６６から液晶表示
素子６に駆動信号の入力を行い、液晶表示素子６に表示
を行わせる。このとき、液晶表示素子６の表示領域に
は、吸着孔５６’を介して局所的に負圧が印加されるこ
とはないので、セルギャップが局所的に小さなって表示
むらが生じることはなく、所望の表示を行うことができ
る。

【００４５】その後、第１の実施形態で説明したのと同
様にして、測定部４により測定対象部分の分光反射率を
測定する。そして、左右及び前後移動機構４４、４６に
より液晶表示素子６を移動し、分光反射率を他の測定部
分でも求め、得られたデータに基づいて液晶表示素子６
が所望の表示特性を有するか否かを判断する。

【００４６】本実施形態は、検査装置２００の構成が図
１に示す検査装置２に比べて簡易である利点を有する。
但し、本実施形態では液晶表示素子６の浮き上がりを防
止するために押さえ部材２０２を液晶表示素子６に当接
させるため、接触による傷、クラックが発生する可能性
がある。この点に関して、図１の検査装置２のように押
さえ部材２０２の代わりに、液晶表示素子６の浮き上が
りを吸着により防止するのが好ましい。

【００４７】以上、本発明の具体的な実施形態について
説明したが、本発明は種々改変可能である。例えば、上
記実施形態では、液晶表示素子６の表示特性の測定を行
うのに分光反射率を求めたが、代わりにＹ値（視感反射
率）を求めてもよい。

【００４８】上記実施形態では、一対のフィルム基板間
にメモリー性を有する液晶を挟持してなる液晶表示素子
の検査を行ったが、本発明はこれに限らず、複数の色表
示層を積層したカラー用液晶表示素子であって、各色表
示層が一対のフィルム基板間にメモリー性を有する液晶
を挟持してなるものにも適用できる。この場合、一つの
色表示層のみで表示を行わせて、反射された光の分光反
射率を求め、これを全ての色表示層に対し繰り返し、得
られたデータに基づいて液晶表示素子が所望の表示特性
を有するか否かを判断する。

【００４９】本発明はまた、上述したような液晶表示素
子以外であっても、樹脂フィルム基板を用いた有機エレ
クトロルミネッセンス素子、電気泳動粒子又は磁気泳動
粒子を収容したマイクロカプセルをフィルム基板間に挟
持した表示素子（例えば特開平２０００−３５５９８号
公報参照）、強誘電性高分子液晶（例えば特開平５−２
７３５３１号公報参照）をフィルム基板間に挟持した表
示素子など、可撓性を有する薄型の表示素子にも適用で
き、表示素子の表示特性の正確な測定を可能とする。

【００５０】

【発明の効果】本発明によれば、可撓性を有する表示素
子の表示状態を該表示素子の平坦性を保ちながら検査す
ることができるので、その表示特性を正確に測定するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明に係る第１の実施形態の検査方法を行
うための検査装置の一例を示す断面図。

【図２】 メモリ型液晶表示素子の一例を示す模式的な
断面図。

【図３】 液晶表示素子と駆動信号入力部を電気的に接
続するための電圧印加治具の一例を示す分解斜視図。

【図４】 本発明に係る第２の実施形態の検査方法を行
うための検査装置の一例を示す断面図。

【符号の説明】

２：検査装置、４：測定部、６：液晶表示素子、８：液
晶表示素子の支持部、１０：積分球、１２：照明光学
系、１４：光源用開口部、１６：液晶表示素子用開口
部、２０：受光用開口部、２２：光源、５２：テーブ
ル、５６：吸着孔、５８：キャビティ、６０：電磁弁、
６２：電磁弁、６４：真空ポンプ、２００：検査装置、
２０２：押さえ部材。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 可撓性を有する表示素子を平坦面上に吸
   着させる工程と、 前記吸着工程後に、表示素子の測定対象部分の吸着を解
   除した上で前記測定対象部分の表示特性を測定する工程
   とを含む表示素子検査方法。
2. 【請求項２】 可撓性を有する表示素子を平坦面上に吸
   着させる工程と、 表示素子の測定対象領域以外の領域を、押圧部材により
   平坦面に対し押圧する工程と、 表示素子の吸着を解除した上で前記測定対象領域を測定
   する工程とを順次含む表示素子検査方法。
3. 【請求項３】 前記吸着工程は、複数の貫通孔を有する
   平板上に形成される平坦面上に、該貫通孔を介して吸引
   することにより表示素子を吸着させることを特徴とする
   請求項１又は２に記載の検査方法。
4. 【請求項４】 前記表示素子は、一対のフィルム基板間
   に液晶を挟持してなる液晶表示素子であることを特徴と
   する請求項１〜３のいずれかに記載の検査方法。
5. 【請求項５】 可撓性を有する表示素子の検査装置にお
   いて、 複数の貫通孔を有し、表示素子を載置するための平板
   と、 前記平板の貫通孔を介して表示素子に対し負圧を印加す
   る負圧発生手段と、 前記平板上に配置された表示素子の表示特性を測定する
   測定手段とを有し、 前記負圧発生手段は、表示素子の表示領域と非表示領域
   に対し個別に負圧を印加できるように構成されることを
   特徴とする検査装置。