KR20100028275A - 평판 디스플레이의 전극라인 검사 장치 및 방법 - Google Patents

평판 디스플레이의 전극라인 검사 장치 및 방법 Download PDF

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KR20100028275A
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최상수
양희구
황일한
정대화
정창욱
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엘지전자 주식회사
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Abstract

본 발명은 평판 디스플레이의 전극라인 검사 장치 및 방법에 관한 것으로, 프로브 유닛의 프로브를 평판 디스플레이의 전극라인에 컨택하고, 상기 프로브에서 상기 전극라인으로 신호를 인가하여 전기적 결함을 찾아내고, 자계 센서 또는 전계 센서로 상기 전기적 결함이 있는 전극라인의 자기장 또는 전기장을 검출하여 상기 전극라인의 결함 위치를 추출한 후, 전극라인의 결함 위치를 카메라로 촬영하여 영상을 획득하고, 획득된 영상을 분석하여 결함 위치를 결정함으로써, 자계 센서 또는 전계 센서를 이용하여 전극라인의 결함 위치를 정확하게 검출할 수 있는 장점이 있다.
결함, 전극라인, 자계, 전계, 센서, 카메라

Description

평판 디스플레이의 전극라인 검사 장치 및 방법 { Apparatus and method for inspecting electrode lines of falt panel display }
본 발명은 전극라인의 결함 위치를 정확하게 검출할 수 있는 평판 디스플레이의 전극라인 검사 장치 장치 및 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 평판 디스플레이는 액정디스플레이(liquid crystal display, LCD), 전계발광 디스플레이(electro luminescent display, ELD), 전계방출 디스플레이(field emission display : FED), 플라즈마 디스플레이(plasma display panel, PDP) 등이 있다. 이상적인 평판디스플레이가 되기 위해서는 경중량, 고휘도, 고효율, 고해상도, 고속응답특성, 저구동 전압, 저소비 전력, 저코스트(cost) 및 천연색 디스플레이 특성 등이 요구된다.
도 1a와 1b는 일반적인 플라즈마 디스플레이 패널의 평판 전극의 결함 상태를 설명하기 위한 개략도이고, 도 2는 일반적인 액정 디스플레이 TN 모드의 평판 전극의 결함 상태를 설명하기 위한 개략도이다.
이러한 플라즈마 디스플레이 패널 및 액정 디스플레이는 서로 교차하여 화소를 형성하는데 각각의 화소를 온/오프 시키기 위해서는 기판상에 직선 형태의 전극이 평행하게 배열된 제 1층 전극라인과 제 1층 전극 상에 그것과 직교하는 제 2층 전극라인이 배열된다.
이때, 도 1a의 'A' 및 도 2의 'C'와 같이, 평판 전극에서 하나의 전극라인이 단선(Open)되거나, 도 1b의 'B'와 같이, 두 개 이상의 전극라인이 단락(Short)되는 경우는 전극 형성 과정에서 빈번하게 나타나는 전기적 결함들이다.
종래에는 이러한 전극라인의 전기적 결함들은 전극라인 양단에 탐침을 접촉하여 멀티미터(Multimeter)에서 저항이나 전압을 측정함으로써 전극선의 단선이나 단락을 검출하였다.
그러나, 탐침을 이용하여 전극선의 전기적 결함을 검출하는 접촉식 탐침 측정 방식은 수 마이크론 선폭의 전극선을 접촉하기 위하여 미세하게 탐침을 가공해야 할 뿐만 아니라 정확하게 탐침과 전극선을 일치시키기 위해 별도의 정렬(align)이 필요하다는 문제점이 있었다.
본 발명은 결함 위치를 정확하게 검출할 수 있는 평판 디스플레이의 전극라인 검사 장치 및 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 바람직한 제 1 양태(樣態)는,
평판 디스플레이의 전극라인들에 신호를 인가하는 프로브 유닛과;
상기 평판 디스플레이의 전극라인들의 자기장 또는 전기장을 검출하는 자계 센서 또는 전계 센서와;
상기 평판 디스플레이의 전극라인들을 촬영하는 카메라와;
상기 카메라에서 촬영된 영상을 처리하는 영상 처리부와;
상기 프로브 유닛, 자계 센서 또는 전계 센서, 카메라 및 영상 처리부를 제어하여, 상기 평판 디스플레이의 전극라인들에 인가된 신호로 전기적 결함을 찾아내고, 상기 자계 센서 또는 전계 센서에서 검출된 자기장 또는 전기장으로 상기 전기적 결함이 있는 전극라인들의 결함 위치를 추출하고, 상기 전극라인들의 결함 위치의 영상을 분석하여 결함 위치 결정하는 제어부로 구성된 평판 디스플레이의 전극라인 검사 장치가 제공된다.
본 발명의 바람직한 제 2 양태(樣態)는,
프로브 유닛의 프로브를 평판 디스플레이의 전극라인에 컨택하고, 상기 프로브에서 상기 전극라인으로 신호를 인가하여 전기적 결함을 찾아내는 단계와;
자계 센서 또는 전계 센서로 상기 전기적 결함이 있는 전극라인의 자기장 또는 전기장을 검출하여 상기 전극라인의 결함 위치를 추출하는 단계와;
상기 전극라인의 결함 위치를 카메라로 촬영하여 영상을 획득하고, 획득된 영상을 분석하여 결함 위치를 결정하는 단계로 구성된 평판 디스플레이의 전극라인 검사 방법이 제공된다.
본 발명의 바람직한 제 3 양태(樣態)는,
프로브 유닛의 프로브들을 평판 디스플레이의 전극라인들에 컨택하는 단계와;
상기 프로브 유닛을 통하여 상기 전극라인들에 신호를 인가하는 단계와;
상기 전극라인들에 인가된 신호로 상기 전극라인들에 전기적인 결함이 있는지 여부를 판단하는 단계와;
상기 전극라인들에 전기적인 결함이 있는 경우, 자계 센서들로 전극라인들을 스캔하는 단계와;
상기 자계 센서들에서 검출된 신호에서 최대 신호가 있는지 여부를 판단하는 단계와;
상기 자계 센서들에서 검출된 신호가 최대 신호가 있는 경우, 최대 신호가 발생된 전극라인의 위치를 전기적인 결함이 있는 위치로 추출하는 단계와;
상기 전기적인 결함이 있는 위치를 카메라로 촬영하여 영상을 획득하고, 획득된 영상을 분석하여 결함 위치를 결정하는 단계로 구성된 평판 디스플레이의 전극라인 검사 방법이 제공된다.
본 발명의 바람직한 제 4 양태(樣態)는,
프로브 유닛의 프로브들을 평판 디스플레이의 전극라인들에 컨택하는 단계와;
상기 프로브 유닛을 통하여 상기 전극라인들에 신호를 인가하는 단계와;
상기 전극라인들에 인가된 신호로 상기 전극라인들에 전기적인 결함이 있는지 여부를 판단하는 단계와;
상기 전극라인들에 전기적인 결함이 있는 경우, 자계 센서들로 전극라인들을 스캔하는 단계와;
상기 자계 센서들에서 검출된 신호에서 최대 신호가 있는지 여부를 판단하는 단계와;
상기 자계 센서들에서 검출된 신호에서 최대 신호가 없는 경우, 전계 센서들로 전극라인들을 근접 스캔하는 단계와;
상기 전계 센서들에서 검출된 신호에서 신호의 변화가 발생된 전극라인의 위치를 전기적인 결함이 있는 위치로 추출하는 단계와;
상기 전기적인 결함이 있는 위치를 카메라로 촬영하여 영상을 획득하고, 획득된 영상을 분석하여 결함 위치를 결정하는 단계로 구성된 평판 디스플레이의 전극라인 검사 방법이 제공된다.
본 발명은 자계 센서 또는 전계 센서를 이용하여 전극라인의 결함 위치를 정확하게 검출할 수 있는 효과가 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하면 다음과 같다.
도 3은 본 발명에 따른 평판 디스플레이의 전극라인 검사 장치의 개략적인 구성 블록도로서, 평판 디스플레이의 전극라인들에 신호를 인가하는 프로브 유닛(100)과; 상기 평판 디스플레이의 전극라인들의 자기장 또는 전기장을 검출하는 자계 센서 또는 전계 센서(110)와; 상기 평판 디스플레이의 전극라인들을 촬영하는 카메라(120)와; 상기 카메라(120)에서 촬영된 영상을 처리하는 영상 처리부(130)와; 상기 프로브 유닛(100), 자계 센서 또는 전계 센서(110), 카메라(120) 및 영상 처리부(130)를 제어하여, 상기 평판 디스플레이의 전극라인들에 인가된 신호로 전기적 결함을 찾아내고, 상기 자계 센서 또는 전계 센서(110)에서 검출된 자기장 또는 전기장으로 상기 전기적 결함이 있는 전극라인들의 결함 위치를 추출하고, 상기 전극라인들의 결함 위치의 영상을 분석하여 결함 위치 결정하는 제어부(150)로 구성된다.
여기서, 상기 프로브 유닛(100)은 고정 또는 가변(Moving) 프로브 유닛이고, 이 프로브 유닛에는 상기 전극라인들과 연결되는 패드들에 컨택되는 프로브들이 형성되어 있다.
그리고, 상기 프로브 유닛(100)은 신호 발생부(160)에서 발생된 신호를 인가받아 상기 평판 디스플레이의 전극에 그 신호를 인가하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 자계 센서 또는 전계 센서(110) 및 카메라(120)는 스캔 구동부에 의해 상기 평판 디스플레이의 전극라인을 이동할 수 있다.
이렇게 구성된 본 발명의 평판 디스플레이의 전극라인 검사 장치의 구동 방법을 설명하면, 먼저 피검사용 평판 디스플레이 패널의 전극라인들과 연결된 패드들에 프로브 유닛(100)의 프로브를 접촉시킨다.
그 다음, 상기 신호 발생부(160)에서 신호를 발생하고, 상기 신호 발생부(160)에서 발생된 신호를 상기 프로브 유닛(100)으로 출력한다.
이어, 상기 프로브 유닛(100)은 상기 신호 발생부(160)에서 입력된 신호를 상기 평판 디스플레이의 전극라인들과 연결된 패드들에 인가하여 전기적 결함을 찾아낸다.
여기서, 상기 평판 디스플레이의 전극라인들과 연결된 패드들에 인가된 신호에 의해 상기 전극라인들의 저항을 측정하여 상기 전극라인들의 전기적 결함을 찾아내는 것이 바람직하다.
그 후, 상기 전기적 결함이 있는 전극라인들에 자계 센서 또는 전계 센서(110)로 자기장 또는 전기장을 검출하여 상기 전극라인들의 결함 위치를 추출한다.
계속하여, 상기 전극라인들의 결함 위치를 카메라로 촬영하여 영상을 획득하고, 획득된 영상을 분석하여 결함 위치 결정한다.
따라서, 본 발명은 자계 센서 또는 전계 센서를 이용하여 전극라인의 결함 위치를 정확하게 검출할 수 있는 장점이 있다.
도 4는 본 발명에 따른 평판 디스플레이의 전극라인 검사 방법의 개략적인 흐름도로서, 프로브 유닛의 프로브를 평판 디스플레이의 전극라인에 컨택하고, 상기 프로브에서 상기 전극라인으로 신호를 인가하여 전기적 결함을 찾아낸다.(S100단계)
그 다음, 자계 센서 또는 전계 센서로 상기 전기적 결함이 있는 전극라인의 자기장 또는 전기장을 검출하여 상기 전극라인의 결함 위치를 추출한다.(S110단계)
이어서, 상기 전극라인의 결함 위치를 카메라로 촬영하여 영상을 획득하고, 획득된 영상을 분석하여 결함 위치를 결정한다.(S120단계)
상기 카메라에 의해 획득된 결함이 있는 전극라인의 영상에서 결함 위치에 금속 패턴이 단락되어 있는 결함 상태 등을 확인할 수 있다.
도 5a와 5b는 본 발명에 따라 평판 디스플레이의 결함 라인을 검사하는 방법을 설명하기 위한 개략적인 도면으로서, 프로브 유닛에서 평판 디스플레이의 전극라인들로 인가된 전기적 신호에서 교차 단락(Cross short)과 같은 전기적 결함이 발생할 시, 평판 디스플레이의 전류의 흐름은 도 5a 및 5b와 같이, 점선과 같게 된다.
이렇게 전기적 결함이 발생되면, 자계 센서 또는 전계 센서로 상기 전류 흐름의 수직 방향으로 스캔하여 전극라인들의 결함 위치를 찾을 수 있다.
여기서, 도 5a 및 도 5b와 같이, 자계 센서로 상기 전류 흐름의 수직 방향으 로 두번 스캔(A,B)하여 스캔하면, 전극라인들의 결함 위치(O)를 추출할 수 있게 된다.
그리고, 자계 센서 또는 전계 센서는 평판 디스플레이의 전극라인들로부터 수십 ㎛ ~ 수십 ㎜로 부상하여 스캔하는 것이 바람직하다.
또, 도 5a와 같이 1차로 자계 센서에 의해 전극라인들의 결함 위치를 대략적으로 추출하고, 2차로 자계 센서 또는 전계 센서에 의해 단락 결함의 정확한 위치를 찾을 수 있다.
이때, 도 5b와 같이 2차로 자계 센서를 전류의 흐름의 수직 방향으로 상하(311), 또는 좌우(312)로 이동하면서 스캔하면 교차 배열된 단락 결함의 정확한 위치를 찾을 수 있게 된다.
그리고, 도 5b에 도시된 바와 같이, 양쪽 자계 센서에서 검출된 신호(K1,K2)가 최대값이 나오는 시점이 발생하게 되며, 이 최대 신호가 나타나는 시점에 대응하는 전극라인들의 교차점을 전극라인들의 결함 위치(O)로 추출할 수 있다.
전술된 바와 같이 후속 동작으로, 전극라인들의 결함 위치(O)를 카메라로 촬영하는 것이다.
도 6a 내지 6d는 본 발명에 따라 검사할 수 있는 평판 디스플레이의 패널 모양을 설명하기 위한 개략적인 도면으로서, 게이트 전극라인들과 데이터 전극라인들이 교차되어 있고, 상기 게이트 전극라인들과 연결된 게이트 전극 패드와 상기 데이터 전극라인들과 연결된 데이터 전극 패드이 형성되어 있는 도 6a에 도시된 바와 같은 평판 디스플레이 패널의 전극라인들을 검사할 수 있다.
그리고, 게이트 전극라인들과 그의 패드 및 2개의 데이터 전극라인들과 그들의 패드들이 형성된 평판 디스플레이 패널(도 6b), 2개의 게이트 전극라인들과 패드들 및 2개의 데이터 전극라인들과 패드들이 형성된 평판 디스플레이 패널(도 6c) 및 GIP(Gate In Panel) 구동용 게이트 전극라인들과 패드들 및 1개 또는 2개의 데이터 전극라인들과 패드들이 형성된 평판 디스플레이 패널(도 6d)을 검사할 수 있다.
본 발명은 전술된 바와 같이 이러한 평판 디스플레이 패널의 전극라인들에 신호를 인가하고, 전계 센서 또는 자계 센서를 이용하여 교차 단락(Cross short) 신호의 변화를 감지함으로써, 결함된 라인의 위치를 정확하게 검출할 수 있다.
그리고, 도 6d의 GIP 구동용 게이트 전극라인들 경우, 순차적으로 게이트 전극라인들에 신호를 인가하면서, 게이트 전극라인들과 데이터 전극라인들 간의 교차 단락에 대한 신호 변화를 감지하여 결함된 위치를 검출하게 된다.
도 7a 내지 7d는 본 발명에 따라 전계 센서를 이용하여 평판 디스플레이의 전극 라인들의 결함 위치를 검출하는 방법을 설명하기 위한 개략적인 도면으로서, 전계 센서는 송신부와 수신부로 구성할 수 있으며, 도 7a와 7b는 프로브 유닛을 전계 센서의 송신부로 활용하고, 전계 센서의 수신부를 이동시키면서 전극 라인들의 결함 위치를 찾아내는 것이다.
즉, 도 7a 및 도 7b에서 전계 센서의 송신부는 평판 디스플레이 패널에 접촉 되어 있고, 수신부는 접촉되어 있지 않는 상태이다.
그러므로, 전극라인들에 신호가 인가되었을 때의 전류 흐름을 따라 전계 센서의 수신부(330,331)로 스캔하면, 신호의 변화가 발생되는 지점을 검출할 수 있게 된다.
이러한 전계 센서의 수신부(330,331) 각각은 두 개의 신호 변화 차이를 구별할 수 있는 차동 수신부로 구성하여 전극라인들이 교차되는 지점에서 최대 신호 변화가 되도록 하여 검출할 수 있다.
예컨대, 전계 센서의 수신부로 스캔할 때, 정상적인 전극라인 지점에서는 두 개의 신호가 1,1이 되고, 신호의 차이가 'O'으로 검출되고, 결함이 있는 지점에서는 1,0이 됨으로, 신호의 차이가 '1'로 검출된다.
그러므로, 결함이 있는 전극라인의 위치를 검출할 수 있게 된다.
그리고, 도 7c와 7d와 같이, 전계 센서의 송신부 및 수신부를 평판 디스플레이 패널이 접촉되지 않도록 하여 신호 변화가 발생되는 지점을 검출할 수 있다.
이때, 전계 센서의 송신부와 수신부는 일체로 형성되어, 하나의 송신부와 두 개의 신호 변화 차이를 구별할 수 있는 차동 수신부로 이루어진 전계 센서(350,360) 및 각각 하나의 송신부와 수신부로 이루어진 전계 센서(351,361)로 구성할 수 있다.
그러므로, 본 발명은 전계 센서로 스캔하면, 정상적인 전극 라인에서는 특정 신호가 검출되다가 결함을 벗어나면 신호가 변하게 되고, 그 신호가 변하는 위치를 결함 위치로 추출하고 카메라를 이용하여 결함 위치를 확인한 후 결함으로 결정할 수 있는 것이다.
도 8a와 8b는 본 발명에 따라 전계 센서를 이용하여 평판 디스플레이의 전극 라인들의 결함 위치를 검출하는 다른 방법을 설명하기 위한 개략적인 도면으로서, 이 방법은 평판 디스플레이 패널에 비접촉되는 전계 센서를 이용하여 전극 라인들의 결함 위치를 검출하는 것이다.
먼저, 도 8a에 도시된 바와 같이, 전계 센서의 송신부(371)와 수신부(372)를 수직하게 배치하고, 전계 센서의 송신부(371)의 스캔 방향과 수신부(372)의 스캔 방향이 수직 교차되도록 배치하여 스캔하면 교차 단락 결함(Cross short defect)가 발생한 전극라인에서 최대 신호가 감지되고, 그 최대 신호가 감지된 지점에서 결함 위치를 찾을 수 있게 된다.
그리고, 도 8a의 반대 방향으로 전계 센서의 송신부(371)와 수신부(372)를 수직하게 배치하여 스캔할 수 있다.
또한, 도 8b에서는 송신부와 수신부는 일체로 형성되어 있는 한 쌍의 전계 센서들(381,382)을 수직하게 교차되도록 배치하여 스캔함으로써, 결함 위치를 검출하는 것이다.
즉, 수직하게 배치되어 있는 제 1 전계 센서(381)와 제 2 전계 센서(282) 각각은 송신부와 수신부가 구비되어 있는 것이다.
그리고, 상기 제 1 전계 센서(381)의 송신부에서 송신된 제 1 신호는 상기 제 2 전계 센서(382)의 수신부에서 수신되고, 상기 제 2 전계 센서(382)의 송신부 에서 수신된 제 2 신호는 상기 제 1 전계 센서(381)의 수신부에서 수신되어 스캔된 신호를 검출하게 된다.
이때, 상기 제 1 신호와 제 2 신호는 주파수가 상이한 신호들이며, 상기 제 1 신호와 제 2 신호의 주파수가 상이해야, 제 1 전계 센서(381)와 제 2 전계 센서(282)에서 검출되는 신호가 간섭되는 것을 방지할 수 있는 것이다.
또, 도 8a와 8b의 '500'은 카메라의 촬영 영역이다.
도 9는 본 발명에 따라 자계 센서 또는 전계 센서 및 카메라가 배치된 상태를 설명하기 위한 개략적인 도면으로서, 카메라(530) 및 전계 센서 또는 자계 센서(551,552,561,562)는 이동할 수 있는 구동부에 장착되어 있다.
이때, 상기 전계 센서 또는 자계 센서(551,552,561,562)는 직교하는 두 선상(P1,P2)에 배치되어 있고, 상기 두 선상(P1,P2)이 교차하는 지점에 상기 카메라(530)가 배치되어 있다.
그리고, 상기 전계 센서 또는 자계 센서(551,552,561,562)는 도 9의 화살표 방향으로 스캔할 수 있도록 이동 가능하게 구성되어 있는 것이 바람직하다.
따라서, 상기 전계 센서 또는 자계 센서(551,552,561,562)로 전기적 결함이 있는 전극라인의 자기장 또는 전기장을 검출하여 상기 전극라인의 결함 위치를 추출한 후, 상기 전극라인의 결함 위치를 상기 카메라(530)로 촬영하여 영상을 획득할 수 있는 것이므로, 상기 전계 센서 또는 자계 센서(551,552,561,562)가 스캔하는 라인의 교차점에 카메라가 존재하여 결함이 있는 지점을 쉽게 촬영할 수 있게 된다.
도 10은 본 발명에 따른 평판 디스플레이의 전극라인을 다른 방법으로 검사하기 위한 플로우챠트로서, 이 검사 방법은 먼저, 프로브 유닛의 프로브들을 평판 디스플레이의 전극라인들에 컨택한다.(S210단계)
그 다음, 상기 프로브 유닛을 통하여 상기 전극라인들에 신호를 인가한다.(S220단계)
그 후, 상기 전극라인들에 인가된 신호로 상기 전극라인들에 전기적인 결함이 있는지 여부를 판단한다.(S230단계)
이어서, 상기 전극라인들에 전기적인 결함이 있는 경우, 자계 센서들로 전극라인들을 스캔한다.(S240단계)
여기서, 상기 전극라인들에 전기적인 결함이 없는 경우는 평판 디스플레이의 전극라인들에 전기적인 결함이 없는 것으로 간주된다.
계속, 상기 자계 센서들에서 검출된 신호에서 최대 신호가 있는지 여부를 판단한다.(S250단계)
연이어, 상기 자계 센서들에서 검출된 신호가 최대 신호가 있는 경우, 최대 신호가 발생된 전극라인의 위치를 전기적인 결함이 있는 위치로 추출한다.(S260단계)
이후, 상기 전기적인 결함이 있는 위치를 카메라로 촬영하여 영상을 획득하고, 획득된 영상을 분석하여 결함 위치를 결정한다.(S290단계)
그리고, 상기 자계 센서들에서 검출된 신호에서 최대 신호가 없는 경우, 전계 센서들로 전극라인들을 근접 스캔한다.(S270단계)
그 다음, 상기 전계 센서들에서 검출된 신호에서 신호의 변화가 발생된 전극라인의 위치를 전기적인 결함이 있는 위치로 추출한다.(S280단계)
상기 280단계 다음에는 상기 290단계를 수행한다.
한편, 상기 자계 센서들로 스캔하는 'S240단계'는 1차 자계 센서들로 전극라인들을 스캔하여 결함이 있는 전극라인들을 추출하는 단계와; 그 추출된 결함이 있는 전극라인들 근처에서 2차 자계 센서들로 근접 스캔하는 단계로 이루어진 것이 바람직하다.
또한, 본 발명은 전술된 평판 디스플레이의 전극라인 검사 방법에서, 결함 위치를 결정한 후, 결함이 있는 전극라인을 리페어하는 공정이 더 구비된 것이 바람직하다.
본 발명은 구체적인 예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.
도 1a와 1b는 일반적인 플라즈마 디스플레이 패널의 평판 전극의 결함 상태를 설명하기 위한 개략도
도 2는 일반적인 액정 디스플레이 TN 모드의 평판 전극의 결함 상태를 설명하기 위한 개략도
도 3은 본 발명에 따른 평판 디스플레이의 전극라인 검사 장치의 개략적인 구성 블록도
도 4는 본 발명에 따른 평판 디스플레이의 전극라인 검사 방법의 개략적인 흐름도
도 5a와 5b는 본 발명에 따라 평판 디스플레이의 결함 라인을 검사하는 방법을 설명하기 위한 개략적인 도면
도 6a 내지 6d는 본 발명에 따라 검사할 수 있는 평판 디스플레이의 패널 모양을 설명하기 위한 개략적인 도면
도 7a 내지 7d는 본 발명에 따라 전계 센서를 이용하여 평판 디스플레이의 전극 라인들의 결함 위치를 검출하는 방법을 설명하기 위한 개략적인 도면
도 8a와 8b는 본 발명에 따라 전계 센서를 이용하여 평판 디스플레이의 전극 라인들의 결함 위치를 검출하는 다른 방법을 설명하기 위한 개략적인 도면
도 9는 본 발명에 따라 자계 센서 또는 전계 센서 및 카메라가 배치된 상태를 설명하기 위한 개략적인 도면
도 10은 본 발명에 따른 평판 디스플레이의 전극라인을 다른 방법으로 검사 하기 위한 플로우챠트

Claims (17)

  1. 평판 디스플레이의 전극라인들에 신호를 인가하는 프로브 유닛과;
    상기 평판 디스플레이의 전극라인들의 자기장 또는 전기장을 검출하는 자계 센서 또는 전계 센서와;
    상기 평판 디스플레이의 전극라인들을 촬영하는 카메라와;
    상기 카메라에서 촬영된 영상을 처리하는 영상 처리부와;
    상기 프로브 유닛, 자계 센서 또는 전계 센서, 카메라 및 영상 처리부를 제어하여, 상기 평판 디스플레이의 전극라인들에 인가된 신호로 전기적 결함을 찾아내고, 상기 자계 센서 또는 전계 센서에서 검출된 자기장 또는 전기장으로 상기 전기적 결함이 있는 전극라인들의 결함 위치를 추출하고, 상기 전극라인들의 결함 위치의 영상을 분석하여 결함 위치 결정하는 제어부로 구성된 평판 디스플레이의 전극라인 검사 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 프로브 유닛은,
    고정 또는 가변(Moving) 프로브 유닛인 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 전극라인 검사 장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 평판 디스플레이는,
    게이트 전극라인들과 데이터 전극라인들이 교차되어 있고, 상기 게이트 전극라인들과 연결된 게이트 전극 패드와 상기 데이터 전극라인들과 연결된 데이터 전극 패드이 형성되어 있는 평판 디스플레이 패널,
    게이트 전극라인들과 그의 패드 및 2개의 데이터 전극라인들과 그들의 패드들이 형성된 평판 디스플레이 패널,
    2개의 게이트 전극라인들과 패드들 및 2개의 데이터 전극라인들과 패드들이 형성된 평판 디스플레이 패널과,
    GIP(Gate In Panel) 구동용 게이트 전극라인들과 패드들 및 1개 또는 2개의 데이터 전극라인들과 패드들이 형성된 평판 디스플레이 패널 중 하나인 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 전극라인 검사 장치.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 전계 센서는,
    송신부와 수신부로 구성되어 있으며,
    상기 송신부는 상기 프로브 유닛인 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 전극라인 검사 장치.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 자계 센서 또는 전계 센서는,
    상기 평판 디스플레이에 비접촉하여 상기 전극라인들의 자기장 또는 전기장을 검출하는 자계 센서 또는 전계 센서인 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 전극라인 검사 장치.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 전계 센서는,
    하나의 송신부와 두 개의 신호 변화 차이를 구별할 수 있는 차동 수신부로 이루어진 전계 센서,
    또는 각각 하나의 송신부와 수신부로 이루어진 전계 센서인 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 전극라인 검사 장치.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 카메라 및 전계 센서 또는 자계 센서는,
    이동할 수 있는 구동부에 장착되어 있는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 전극라인 검사 장치.
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 전계 센서 또는 자계 센서는 직교하는 두 선상에 배치되어 있고, 상기 두 선상이 교차하는 지점에 상기 카메라가 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 전극라인 검사 장치.
  9. 프로브 유닛의 프로브를 평판 디스플레이의 전극라인에 컨택하고, 상기 프로브에서 상기 전극라인으로 신호를 인가하여 전기적 결함을 찾아내는 단계와;
    자계 센서 또는 전계 센서로 상기 전기적 결함이 있는 전극라인의 자기장 또는 전기장을 검출하여 상기 전극라인의 결함 위치를 추출하는 단계와;
    상기 전극라인의 결함 위치를 카메라로 촬영하여 영상을 획득하고, 획득된 영상을 분석하여 결함 위치를 결정하는 단계로 구성된 평판 디스플레이의 전극라인 검사 방법.
  10. 청구항 9에 있어서,
    상기 전극라인의 결함 위치를 추출하는 단계는,
    상기 전계 센서의 송신부와 수신부로 스캔하여 상기 전극라인의 결함 위치를 추출하는 것이며,
    상기 전계 센서의 송신부의 스캔 방향과 상기 수신부의 스캔 방향은 수직 교차되는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 전극라인 검사 방법.
  11. 청구항 9에 있어서,
    상기 전극라인의 결함 위치를 추출하는 단계는,
    송신부와 수신부가 일체로 형성되어 있는 제 1과 2 전계 센서들을 수직하게 교차되도록 배치하고, 상기 제 1과 2 전계 센서들로 상기 전극라인을 스캔하여 상기 전극라인의 결함 위치를 추출하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 전극라인 검사 방법.
  12. 청구항 11에 있어서,
    상기 제 1 전계 센서의 송신부에서 송신된 제 1 신호는,
    상기 제 2 전계 센서의 수신부에서 수신되고,
    상기 제 2 전계 센서의 송신부에서 수신된 제 2 신호는,
    상기 제 1 전계 센서의 수신부에서 수신되는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 전극라인 검사 방법.
  13. 청구항 12에 있어서,
    상기 제 1 신호와 제 2 신호는,
    주파수가 상이한 신호인 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 전극라인 검사 방법.
  14. 프로브 유닛의 프로브들을 평판 디스플레이의 전극라인들에 컨택하는 단계와;
    상기 프로브 유닛을 통하여 상기 전극라인들에 신호를 인가하는 단계와;
    상기 전극라인들에 인가된 신호로 상기 전극라인들에 전기적인 결함이 있는지 여부를 판단하는 단계와;
    상기 전극라인들에 전기적인 결함이 있는 경우, 자계 센서들로 전극라인들을 스캔하는 단계와;
    상기 자계 센서들에서 검출된 신호에서 최대 신호가 있는지 여부를 판단하는 단계와;
    상기 자계 센서들에서 검출된 신호가 최대 신호가 있는 경우, 최대 신호가 발생된 전극라인의 위치를 전기적인 결함이 있는 위치로 추출하는 단계와;
    상기 전기적인 결함이 있는 위치를 카메라로 촬영하여 영상을 획득하고, 획득된 영상을 분석하여 결함 위치를 결정하는 단계로 구성된 평판 디스플레이의 전 극라인 검사 방법.
  15. 프로브 유닛의 프로브들을 평판 디스플레이의 전극라인들에 컨택하는 단계와;
    상기 프로브 유닛을 통하여 상기 전극라인들에 신호를 인가하는 단계와;
    상기 전극라인들에 인가된 신호로 상기 전극라인들에 전기적인 결함이 있는지 여부를 판단하는 단계와;
    상기 전극라인들에 전기적인 결함이 있는 경우, 자계 센서들로 전극라인들을 스캔하는 단계와;
    상기 자계 센서들에서 검출된 신호에서 최대 신호가 있는지 여부를 판단하는 단계와;
    상기 자계 센서들에서 검출된 신호에서 최대 신호가 없는 경우, 전계 센서들로 전극라인들을 근접 스캔하는 단계와;
    상기 전계 센서들에서 검출된 신호에서 신호의 변화가 발생된 전극라인의 위치를 전기적인 결함이 있는 위치로 추출하는 단계와;
    상기 전기적인 결함이 있는 위치를 카메라로 촬영하여 영상을 획득하고, 획득된 영상을 분석하여 결함 위치를 결정하는 단계로 구성된 평판 디스플레이의 전극라인 검사 방법.
  16. 청구항 9 내지 15 중 한 항에 있어서,
    상기 전기적인 결함은,
    교차 단락 결함(Cross short defect)인 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 전극라인 검사 방법.
  17. 청구항 9 내지 15 중 한 항에 있어서,
    상기 결함 위치를 결정한 후, 결함이 있는 전극라인을 리페어하는 공정이 더 구비된 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 전극라인 검사 방법.
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