CN103472601B - 一种检测设备及检测方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及阵列检测技术领域,公开了一种检测设备及检测方法,包括:探针总成Probe?Assembly,每一个探针总成上具有用于与被检测器件的检测接触层接触、且加载检测信号的探针Pin;装载所述探针的探针总成载台;采集单元,用于采集所述检测接触层的位置信息;与所述采集单元信号连接的信号处理单元,当所述信号处理单元根据所述采集单元采集的位置信息判断该采集单元对应的探针总成中的探针与对应检测接触层之间对位不准时生成调节信息。上述检测设备在接触检测过程中,探针总成的探针与接触层接触时,每一个探针总成的探针与对应的接触层之间的接触良好,能够很好地完成接触检测,提高生产效率。
Description
技术领域
本发明涉及显示技术领域,特别涉及一种检测设备及检测方法。
背景技术
TFT液晶显示器件具有亮度好、对比度高、层次感强、颜色鲜艳、功耗低、寿命长的特点,已成为新世纪显示器的主流产品。
在液晶显示器件生产过程中不可避免的会存在由于静电、灰尘、工艺缺陷等问题造成的不良,为了提高液晶显示器件的良品率、减少由于以上问题导致的损失,我们需要使用检测设备对液晶显示器件进行光学检测。
现有技术中,在对液晶显示器件进行光学检测时,检测过程中的接触检测是光学检测过程中最大的技术瓶颈,往往由于硬件机械结构(PCS)的限制,PCS系统中的ROBOT每次切换尺寸(ModeChange)时取送PA(probeassembly)的过程会出现误差累积,导致ROBOT将PA放到PB(ProbeBar)上的位置会出现偏差,引起接触检测过程接触不良,不能及时地完成接触检测,降低了生产效率。
发明内容
本发明提供了一种用于液晶显示器件的检测设备及检测方法,以提高探针总成中的探针与其对应的接触层之间接触的准确性,提高生产效率。
为达到上述目的,本发明提供以下技术方案:
一种检测设备,包括:
探针总成ProbeAssembly,每一个探针总成上具有用于与被检测器件的检测接触层接触、且加载检测信号的探针Pin;
装载所述探针的探针总成载台;
采集单元,用于采集所述检测接触层的位置信息;
与所述采集单元信号连接的信号处理单元,当所述信号处理单元根据所述采集单元采集的位置信息判断该采集单元对应的探针总成中的探针与对应检测接触层之间对位不准时生成调节信息。
上述检测设备在对被检测器件如液晶显示器件进行阵列检测时,首先将各探针总成装载在探针总成载台上,以一个探针总成以及与该探针总成对应的采集单元为例,在进行该探针总成的探针与对应的检测接触层接触之前,通过采集单元采集与该探针总成对应的检测接触层的位置信息,并将采集的位置信息传输给信号处理单元,信号处理单元根据采集单元采集的位置信息判断该探针总成的探针与对应的检测接触层之间是否对位准确,当判断结果为该探针总成的探针与对应的检测接触层之间对位准确时,可以进行该探针总成的探针与检测接触层接触的工序,若判断结果为该探针总成的探针与对应的检测接触层之间对位不准时,信号处理单元生成调节信息,根据调节信息调节该探针总成在探针总成载台上的装载位置,使该探针总成的探针与对应的检测接触层之间对位准确,然后再进行该探针总成的探针与对应的检测接触层之间接触的工序。
因此,上述检测设备在接触检测过程中,探针总成的探针与检测接触层接触时,每一个探针总成的探针与对应的检测接触层之间的接触良好,能够很好地完成接触检测,提高生产效率。
优选地,为了提高上述检测设备中对探针总成与探针总成载台之间拆装以及调节的自动性,上述检测设备还包括:
与所述信号处理单元信号连接的机械手装置,所述机械手装置根据所述信号处理单元生成的调节信息调整所述探针总成在所述探针总成载台上装载位置,使探针总成的探针与对应的检测接触层之间对位准确。
优选地,每一个所述采集单元包括两个同时具有发射和接收红外光线功能的光感传感器。由于液晶显示器件上检测接触层的材料与其周边结构的材料不同,且颜色也不相同,通过光感传感器接收到的红外光的波长以及颜色感应能够对检测接触层与其周边结构进行区别,进而能够确定检测接触层的位置信息。
优选地,每一个所述采集单元具有的两个光感传感器安装于与所述采集单元对应的探针总成,且其中一个光感传感器位于所述探针总成中探针的一侧,另一个所述光感传感器安位于所述探针的另一侧。
优选地,每一个所述采集单元具有的两个光感传感器安装于所述探针总成载台。
本发明还提供了一种液晶显示器件的检测方法,包括:
将各探针总成装载在探针总成载台上;
通过采集单元采集与该采集单元对应的探针总成中的探针需要接触的检测接触层的位置信息;
通过信号处理单元根据采集单元采集的位置信息判断所述探针总成的探针是否与其对应的检测接触层对位准确,若对位不准,则产生调节信息;
根据所述调节信息调节所述探针总成在探针总成载台上的装载位置,使所述探针总成的探针与对应的检测接触层对位准确;
控制探针总成载台动作,使探针总成的探针与其对应的检测接触层接触,并加载检测信号。
采用上述检测方法对液晶显示器件进行阵列接触检测时,在进行步骤控制探针总成载台动作,使探针总成的探针与其对应的检测接触层接触,并加载检测信号之前,可以通过采集单元采集与该采集单元对应的探针总成中的探针需要接触的检测接触层的位置信息,并通过信号处理单元根据采集单元采集的位置信息判断所述探针总成的探针是否与其对应的检测接触层对位准确,若对位不准,则产生调节信息,然后根据所述调节信息调节所述探针总成在探针总成载台上的装载位置,使所述探针总成的探针与对应的检测接触层对位准确,进而使每一个探针总成的探针与对应的检测接触层接触时,探针总成的探针与对应的检测接触层之间的接触良好,能够很好地完成接触检测,提高生产效率。
优选地,所述根据所述调节信息调节所述探针总成在探针总成载台上的装载位置,具体包括:
采用机械手装置根据所述调节信息自动调节所述探针总成在探针总成载台上的装载位置。
优选地,每一个所述采集单元包括两个同时具有发射和接收红外光线功能的光感传感器。
优选地,每一个所述采集单元具有的两个光感传感器安装于与所述采集单元对应的探针总成,且其中一个光感传感器位于所述探针总成中探针的一侧,另一个所述光感传感器安位于所述探针的另一侧。
优选地,每一个所述采集单元具有的两个光感传感器安装于所述探针总成载台。
优选地,所述通过采集单元采集与该采集单元对应的探针总成中的探针需要接触的检测接触层的位置信息具体包括:
每一个所述光感传感器向液晶显示器件发射红外光,并接受被液晶显示器件反射回来的红外光,光感传感器根据接收到的红外线的波长及颜色感应进行区别,根据检测接触层与该检测接触层与周边结构的颜色以及材质的不同确定检测接触层的位置信息。
优选地,所述通过信号处理单元根据采集单元采集的位置信息判断所述探针总成的探针是否与其对应的检测接触层对位准确具体包括:
所述信号处理单元接收到所述采集单元采集的检测接触层的位置信息后,信号处理单元记录该位置信息并与信号处理单元内存储的原数据进行对比,当采集单元采集的位置信息与信号处理单元内存储的原数据之间存在差别时,对存储的原数据进行更新,并根据差别值进行计算,产生补偿的调节信息。
附图说明
图1为本发明实施例提供的检测设备中探针总成与探针总成载台装配时的结构示意图;
图2为本发明实施例提供的检测设备中一个探针总成与液晶显示器件的一个接触层对位时的结构示意图;
图3为本发明实施例提供的检测设备的一种结构示意图;
图4为本发明实施例提供的检测方法的流程示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
实施例一
请参考图1和图2,图1为本发明实施方式提供的检测设备中探针总成与探针总成载台装配时的结构示意图;图2为本发明实施例提供的检测设备中一个探针总成与液晶显示器件的一个接触层对位时的结构示意图,本实施例提供的液晶显示器件的检测设备,包括:
多个探针总成ProbeAssembly2,每一个探针总成2上具有用于与被检测器件的检测接触层3接触、且加载检测信号的探针Pin21;
装载探针总成2的探针总成载台ProbeBar1;
采集单元22,用于采集检测接触层3的位置信息;
与采集单元22信号连接的信号处理单元,信号处理单元根据采集单元22采集的检测接触层3的位置信息判断与该采集单元22对应的探针总成2中的探针21是否与检测接触层3对位准确,当信号处理单元根据采集单元22采集的检测接触层3的位置信息判断与该采集单元22对应的探针总成2中的探针21与对应检测接触层3之间对位不准时,信号处理单元生成调节信息。
探针总成2装载到探针总成载台1上之后,探针总成2上的探针21朝向检测接触层3伸出,上述检测设备在对被检测器件如液晶显示器件进行阵列检测时,首先将各探针总成2装载在探针总成载台1上,以一个探针总成2以及与该探针总成2对应的采集单元22为例,在进行将该探针总成2的探针21与对应的检测接触层3接触的工序之前,通过采集单元22采集与该探针总成2对应的检测接触层3的位置信息,并将采集的位置信息传输给信号处理单元,信号处理单元根据采集单元22采集的位置信息判断该探针总成2的探针21与对应的检测接触层3之间是否对位准确,当判断结果为该探针总成2的探针21与对应的检测接触层3之间对位准确时,可以进行该探针总成2的探针21与检测接触层3接触的工序,若判断结果为该探针总成2的探针21与对应的检测接触层3之间对位不准时,信号处理单元生成调节信息,然后根据调节信息调节该探针总成2在探针总成载台1上的装载位置,使该探针总成2的探针21与对应的检测接触层3之间对位准确,然后再进行该探针总成2的探针21与对应的检测接触层3之间接触的工序。
因此,上述检测设备在接触检测过程中,探针总成2的探针21与检测接触层3接触时,每一个探针总成2的探针21与对应的检测接触层3之间的接触良好,能够很好地完成接触检测,提高生产效率。
请参考图3,图3为本发明实施例提供的检测设备的一种结构示意图。为了提高上述检测设备中对探针总成2与探针总成载台1之间拆装以及调节的自动性,上述检测设备还包括:
与信号处理单元信号连接的机械手装置4,机械手装置4根据信号处理单元生成的调节信息调整探针总成2在探针总成载台1上的装载位置,使探针总成2的探针21与对应的检测接触层3之间对位准确。
机械手装置4可以安装在检测设备的机架5上,探针总成载台1也安装在机架5上,另外,机架5上还可以设置有用于存储探针总成2的存储机构6,机械手装置4可以将探针总成2自存储机构6中取出后装载到探针总成载台1上,也可以将探针总成2自探针总成载台1上取下后放入存储机构6中,如图3所示。
存储机构6可以包括一块载板,每一个探针总成2上具有装载夹,探针总成2通过装载夹装载到载板上,进而存储在存储机构6中。
机械手装置4将探针总成2自存储机构6中取出,然后装载到探针总成载台1上,通过采集单元22采集探针总成2的探针21与该探针总成2对应的检测接触层3的位置信息,当信号处理单元根据采集单元22采集的位置信息判断该探针总成2的探针21与检测接触层3之间对位不准时,信号处理单元生成调节信息,机械手装置4根据信号处理单元产生的调节信息将该探针总成2的在探针总成载台1上的装载位置进行调节,调节好之后,控制探针总成载台1相对机架5位移,使探针总成2的探针21与相应的检测接触层3接触进行检测。
上述实施方式中采用的机械手装置4可以为常用的机械手装置4,其具体结构这里不用再赘述。
请参考图1和图2,在上述实施方式的基础上,一种优选实施方式中,上述每一个采集单元22包括两个同时具有发射和接收红外光线功能的光感传感器。由于液晶显示器件上检测接触层3的材料与其周边结构的材料不同,且颜色也不相同,通过光感传感器接收到的红外光的波长以及颜色感应能够对检测接触层3与其周边结构进行区别,进而能够确定检测接触层3的位置信息。
优选地,采用光感传感器采集检测接触层的位置信息时,两个光感传感器发出的红外光线照射到液晶显示器件上的范围大于检测接触层的大小;更优选地,两个光感传感器发出的红外光线照射到液晶显示器件上的范围大于2mm*5mm。
期参考图2,一种优选实施方式中,每一个采集单元22具有的两个光感传感器安装于与采集单元22对应的探针总成2,且其中一个光感传感器位于探针总成2中探针21的一侧,另一个光感传感器安位于探针21的另一侧。
另一种优选实施方式中,每一个采集单元22具有的两个光感传感器安装于探针总成载台1。光感传感器安装在探针总成载台1上时,光感传感器的调整空间较大,且易于扩展。
实施例二
请参考图4,本实施例提供了一种液晶显示器件的检测方法,包括:
步骤S401:将各探针总成装载在探针总成载台上;
步骤S402:通过采集单元采集与该采集单元对应的探针总成中的探针需要接触的检测接触层的位置信息;
步骤S403:通过信号处理单元根据采集单元采集的位置信息判断探针总成的探针是否与其对应的检测接触层对位准确,若对位不准,则产生调节信息;
步骤S404:根据调节信息调节探针总成在探针总成载台上的装载位置,使探针总成的探针与对应的检测接触层对位准确;
步骤S405:控制探针总成载台动作,使探针总成的探针与其对应的检测接触层接触,并加载检测信号。
采用上述检测方法对被检测器件如液晶显示器件进行阵列接触检测时,在进行步骤S401之后、进行步骤S405之前,需要进行步骤S402、步骤S403以及步骤S404,通过采集单元采集与该采集单元对应的探针总成中的探针需要接触的检测接触层的位置信息,并通过信号处理单元根据采集单元采集的位置信息判断探针总成的探针是否与其对应的检测接触层对位准确,若对位不准,则产生调节信息,然后根据调节信息调节探针总成在探针总成载台上的装载位置,使探针总成的探针与对应的检测接触层对位准确,进而使每一个探针总成的探针与对应的检测接触层接触时,探针总成的探针与对应的检测接触层之间的接触良好,能够很好地完成接触检测,提高生产效率。
一种优选实施方式中,为了提高上述检测设备中对探针总成2与探针总成载台1之间拆装以及调节的自动性,步骤S404中,使用与信号处理单元信号连接的机械手装置根据信号处理单元的调节信息自动调节探针总成在探针总成载台上的装载位置。
一种优选实施方式中,上述步骤S402中使用的采集单元中,每一个采集单元包括两个同时具有发射和接收红外光线功能的光感传感器。由于液晶显示器件上检测接触层的材料与其周边结构的材料不同,且颜色也不相同,通过光感传感器接收到的红外光的波长以及颜色感应能够对检测接触层与其周边结构进行区别,进而能够确定检测接触层的位置信息。
当每一个采集单元包括两个光感传感器时,一种优选实施方式中,每一个采集单元具有的两个光感传感器安装于与采集单元对应的探针总成,且其中一个光感传感器位于探针总成中探针的一侧,另一个光感传感器安位于探针的另一侧。
另一种优选实施方式中,每一个采集单元具有的两个光感传感器安装于探针总成载台
当每一个采集单元包括两个光感传感器时,一种优选实施方式中,上述步骤S402:通过采集单元采集与该采集单元对应的探针总成中的探针需要接触的检测接触层的位置信息具体包括:
每一个光感传感器向液晶显示器件发射红外光,并接受被液晶显示器件反射回来的红外光,光感传感器根据接收到的红外线的波长及颜色感应进行区别,根据检测接触层与该检测接触层与周边结构的颜色以及材质的不同确定检测接触层的位置信息。
一种优选实施方式中,上述步骤S403通过信号处理单元根据采集单元采集的位置信息判断探针总成的探针是否与其对应的检测接触层对位准确具体包括:
信号处理单元接收到采集单元采集的检测接触层的位置信息后,信号处理单元记录该位置信息并与信号处理单元内存储的原数据进行对比,当采集单元采集的位置信息与信号处理单元内存储的原数据之间存在差别时,对存储的原数据进行更新,并根据差别值进行计算,产生补偿的调节信息。
上述检测方法中,上述信号处理单元在对采集单元采集的检测接触层的位置信息进行比对时随时更新信号处理单元内存储的原数据,以随时更正机械手装置操作时产生的误差。
显然,本领域的技术人员可以对本发明实施例进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样,倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内,则本发明也意图包含这些改动和变型在内。
Claims (12)
1.一种检测设备,其特征在于,包括:
探针总成ProbeAssembly,每一个探针总成上具有用于与被检测器件的检测接触层接触、且加载检测信号的探针Pin;
装载所述探针的探针总成载台;
采集单元,用于采集所述检测接触层的位置信息;
与所述采集单元信号连接的信号处理单元,当所述信号处理单元根据所述采集单元采集的位置信息判断该采集单元对应的探针总成中的探针与对应检测接触层之间对位不准时生成调节信息。
2.根据权利要求1所述的检测设备,其特征在于,还包括:
与所述信号处理单元信号连接的机械手装置,所述机械手装置根据所述信号处理单元生成的调节信息调整所述探针总成在所述探针总成载台上装载位置,使探针总成的探针与对应的检测接触层之间对位准确。
3.根据权利要求2所述的检测设备,其特征在于,每一个所述采集单元包括两个同时具有发射和接收红外光线功能的光感传感器。
4.根据权利要求3所述的检测设备,其特征在于,每一个所述采集单元具有的两个光感传感器安装于与所述采集单元对应的探针总成,且其中一个光感传感器位于所述探针总成中探针的一侧,另一个所述光感传感器安位于所述探针的另一侧。
5.根据权利要求3所述的检测设备,其特征在于,每一个所述采集单元具有的两个光感传感器安装于所述探针总成载台。
6.一种液晶显示器件的检测方法,其特征在于,包括:
将各探针总成装载在探针总成载台上;
通过采集单元采集与该采集单元对应的探针总成中的探针需要接触的检测接触层的位置信息;
通过信号处理单元根据采集单元采集的位置信息判断所述探针总成的探针是否与其对应的检测接触层对位准确,若对位不准,则产生调节信息;
根据所述调节信息调节所述探针总成在探针总成载台上的装载位置,使所述探针总成的探针与对应的检测接触层对位准确;
控制探针总成载台动作,使探针总成的探针与其对应的检测接触层接触,并加载检测信号。
7.根据权利要求6所述的检测方法,其特征在于,所述根据所述调节信息调节所述探针总成在探针总成载台上的装载位置,具体包括:
采用机械手装置根据所述调节信息自动调节所述探针总成在探针总成载台上的装载位置。
8.根据权利要求7所述的检测方法,其特征在于,每一个所述采集单元包括两个同时具有发射和接收红外光线功能的光感传感器。
9.根据权利要求8所述的检测方法,其特征在于,每一个所述采集单元具有的两个光感传感器安装于与所述采集单元对应的探针总成,且其中一个光感传感器位于所述探针总成中探针的一侧,另一个所述光感传感器安位于所述探针的另一侧。
10.根据权利要求8所述的检测方法,其特征在于,每一个所述采集单元具有的两个光感传感器安装于所述探针总成载台。
11.根据权利要求8所述的检测方法,其特征在于,所述通过采集单元采集与该采集单元对应的探针总成中的探针需要接触的检测接触层的位置信息具体包括:
每一个所述光感传感器向液晶显示器件发射红外光,并接受被液晶显示器件反射回来的红外光,光感传感器根据接收到的红外光的波长及颜色感应进行区别,根据检测接触层与该检测接触层的周边结构的颜色以及材质的不同确定检测接触层的位置信息。
12.根据权利要求6所述的检测方法,其特征在于,所述通过信号处理单元根据采集单元采集的位置信息判断所述探针总成的探针是否与其对应的检测接触层对位准确具体包括:
所述信号处理单元接收到所述采集单元采集的检测接触层的位置信息后,信号处理单元记录该位置信息并与信号处理单元内存储的原数据进行对比,当采集单元采集的位置信息与信号处理单元内存储的原数据之间存在差别时,对存储的原数据进行更新,并根据差别值进行计算,产生补偿的调节信息。
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Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN105823958A (zh) * | 2016-03-14 | 2016-08-03 | 京东方科技集团股份有限公司 | 接触测试装置、液晶盒测试设备及液晶盒测试方法 |
CN107677953B (zh) * | 2017-09-29 | 2020-05-05 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种探针系统及其控制方法、点灯机 |
CN107942546A (zh) * | 2017-11-13 | 2018-04-20 | 深圳同兴达科技股份有限公司 | 液晶盒测试系统及测试方法 |
CN110487201B (zh) * | 2019-07-26 | 2021-08-31 | 广东天机工业智能系统有限公司 | 侧孔深度测量装置 |
CN111062920B (zh) * | 2019-12-13 | 2023-06-20 | 北京百度网讯科技有限公司 | 用于生成半导体检测报告的方法及装置 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1880964A (zh) * | 2005-06-15 | 2006-12-20 | 群康科技(深圳)有限公司 | 检测装置和使用该检测装置的检测方法 |
KR20090086037A (ko) * | 2008-02-05 | 2009-08-10 | 야마이치덴키 가부시키가이샤 | 프로브 유닛 |
JP2009265139A (ja) * | 2008-04-22 | 2009-11-12 | Hitachi High-Technologies Corp | 液晶パネル検査装置及び液晶パネル検査方法 |
CN101666845A (zh) * | 2008-09-04 | 2010-03-10 | Lg电子株式会社 | 对平板显示器的电极线进行检查的装置和方法 |
CN102753979A (zh) * | 2010-01-08 | 2012-10-24 | 烽腾科技有限公司 | 自动探针结构站及其方法 |
-
2013
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1880964A (zh) * | 2005-06-15 | 2006-12-20 | 群康科技(深圳)有限公司 | 检测装置和使用该检测装置的检测方法 |
KR20090086037A (ko) * | 2008-02-05 | 2009-08-10 | 야마이치덴키 가부시키가이샤 | 프로브 유닛 |
JP2009265139A (ja) * | 2008-04-22 | 2009-11-12 | Hitachi High-Technologies Corp | 液晶パネル検査装置及び液晶パネル検査方法 |
CN101666845A (zh) * | 2008-09-04 | 2010-03-10 | Lg电子株式会社 | 对平板显示器的电极线进行检查的装置和方法 |
CN102753979A (zh) * | 2010-01-08 | 2012-10-24 | 烽腾科技有限公司 | 自动探针结构站及其方法 |
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