CN103809309B - 基板检测设备及方法 - Google Patents

Abstract

本发明实施例公开了一种基板检测设备及方法，涉及显示技术领域，能够使操作员在不使用其他检测仪器的基础上准确判断待测基板是否合格，提高了基板检测的准确性。该基板检测设备，包括基板移动单元、基板移动控制单元，还包括：图像获取单元，图像获取单元用于获取待测基板的图像和限度样本的图像；图像处理单元，图像处理单元用于对获取的图像进行处理，从而获得第一灰度差和标准灰度差，第一灰度差为待测基板的缺陷与待测基板的正常位置之间的灰度差，标准灰度差为限度样本的同类缺陷与限度样本的正常位置之间的灰度差；对比单元，对比单元用于获取第一灰度差与标准灰度差之间的大小关系，若第一灰度差小于或等于标准灰度差，判断待测基板合格。

Description

基板检测设备及方法

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种基板检测设备及方法。

背景技术

在液晶显示器生产制造过程中，彩膜基板和阵列基板等基板的宏观品质主要通过将待测基板置于基板检测设备上，操作员通过人眼对待测基板进行观察的方法来判断待测基板是否合格。在检测过程中，若待测基板上不存在缺陷，则待测基板为合格基板，若待测基板上存在缺陷，则需要使用限度样本作为标准来判断待测基板是否合格，其中，限度样本为包括某种处于临界值的特定缺陷的基板，即最低标准的合格基板。当待测基板上的缺陷程度没有限度样本上的缺陷程度严重时，则待测基板为合格基板，当待测基板上的缺陷程度比限度样本上的缺陷程度严重时，则待测基板为不合格基板。

一般地，当待测基板上的缺陷程度很轻或者很严重时，操作员可以通过人眼准确判断待测基板是否合格，但当待测基板上的缺陷程度与限度样本上的缺陷程度相近时，操作员在不使用其他检测仪器的基础上很难准确地判断待测基板是否合格，严重影响了基板检测的准确性。若操作员将不能确定是否合格的待测基板转移到其他检测仪器上检测时，不仅增加了工作量，而且容易出现待测基板污染、破损等现象。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于提供一种基板检测设备及方法，能够使操作员在不使用其他检测仪器的基础上准确判断待测基板是否合格，提高了基板检测的准确性。

为解决上述技术问题，本发明实施例提供了一种基板检测设备，该基板检测设备采用如下技术方案：

一种基板检测设备，包括基板移动单元、基板移动控制单元，还包括：

图像获取单元，所述图像获取单元用于获取待测基板的图像和限度样本的图像；

图像处理单元，所述图像处理单元用于对所述获取的图像进行处理，从而获得第一灰度差和标准灰度差，所述第一灰度差为所述待测基板的缺陷与所述待测基板的正常位置之间的灰度差，所述标准灰度差为所述限度样本的同类缺陷与所述限度样本的正常位置之间的灰度差；

对比单元，所述对比单元用于获取所述第一灰度差与所述标准灰度差之间的大小关系，若所述第一灰度差小于或等于所述标准灰度差，判断所述待测基板合格。

所述图像处理单元包括去噪处理模块、对比加强模块和凸显缺陷模块。

所述基板移动单元用于使所述待测基板和所述限度样本发生移动；

所述基板移动控制单元用于对所述基板移动单元施加指令，控制所述待测基板和所述限度样本移动的方向和距离。

本发明实施例提供了一种如上所述的基板检测设备，在对待测基板进行检测的过程中，当待测基板上的缺陷的严重程度与限度样本上的缺陷的严重程度相近，不能准确判断待测基板是否合格时，首先使用图像获取单元获取待测基板的图像和限度样本的图像，然后使用图像处理单元对获取的图像进行处理，从而获得第一灰度差和标准灰度差，最后使用对比单元获取第一灰度差与标准灰度差之间的大小关系，从而实现在不使用其他检测仪器的情况下准确判断基板是否合格，提高了基板检测的准确性。

为了进一步解决上述技术问题，本发明实施例还提供了一种基板检测方法，该基板检测方法采用如下技术方案：

一种基板检测方法包括：

获取待测基板的缺陷与待测基板的正常位置之间的第一灰度差；

获取标准灰度差；

获取所述第一灰度差和所述标准灰度差的大小关系，若所述第一灰度差小于或等于所述标准灰度差，判断所述待测基板合格。

所述获取标准灰度差包括：

获取限度样本的缺陷与限度样本的正常位置之间的灰度差作为所述标准灰度差，所述限度样本包括与所述待测基板相同种类的缺陷。

在所述获取标准灰度差之前，还包括：

建立标准灰度差数据库，所述标准灰度差数据库包括多个对应于不同种类缺陷的标准灰度差。

所述获取待测基板的缺陷与待测基板的正常位置之间的第一灰度差包括：

获取所述待测基板的图像；

将获取的所述待测基板的图像转化为灰度图像；

加强所述图像的对比度，以凸显所述图像的缺陷；

获得所述图像的所述缺陷的灰度值和所述正常位置的灰度值；

得出所述图像的所述缺陷与所述正常位置之间的第一灰度差。

本发明实施例提供了一种基板检测方法，在对待测基板进行检测的过程中，当待测基板上的缺陷的严重程度与限度样本上的缺陷的严重程度相近，不能准确判断待测基板是否合格时，使用本发明实施例提供的基板检测方法获取待测基板的缺陷与待测基板的正常位置之间的第一灰度差，然后获得标准灰度差，将该第一灰度差与标准灰度差作比较，通过第一灰度差与标准灰度差之间的大小关系即可判断待测基板的合格状态，从而实现在不使用其他检测仪器的情况下准确判断基板是否合格，提高了基板检测的准确性。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的基板检测设备的示意图；

图2为本发明实施例提供的基板检测方法流程图；

图3为本发明实施例提供的获取第一灰度差的流程图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例一

为了使操作员在不使用其他检测仪器的基础上准确判断待测基板是否合格，提高基板检测的准确性，本发明实施例提供了一种基板检测设备，该基板检测设备如图1所示，该基板检测设备包括基板移动单元和基板移动控制单元，该基板检测设备还包括：

图像获取单元，图像获取单元用于获取待测基板的图像和限度样本的图像。图像获取单元包括光电耦合元件，通过使用光电耦合元件对待测基板拍照来获取待测基板的图像。图像获取单元可以包括一个或多个光电耦合元件，以适应不同大小不同情况的待测基板。

图像处理单元，图像处理单元用于对图像获取单元获取的图像进行处理，从而获得第一灰度差和标准灰度差，第一灰度差为待测基板的缺陷与待测基板的正常位置之间的灰度差，标准灰度差为限度样本的缺陷与限度样本的正常位置之间的灰度差。

具体地，图像处理单元包括去噪处理模块、对比加强模块和凸显缺陷模块等模块，以便：加强图像的对比度，以凸显图像的缺陷，进而获得图像的缺陷的灰度值和正常位置的灰度值。

基板检测设备还包括对比单元，对比单元用于获取第一灰度差与标准灰度差之间的大小关系，可以根据第一灰度差与标准灰度差之间的大小关系判断基板是否合格。具体地，若第一灰度差小于或等于标准灰度差，判断待测基板合格；若第一灰度差大于标准灰度差，判断待测基板不合格。

进一步地，该基板检测设备包括的基板移动单元用于使待测基板和限度样本发生移动，基板移动单元可以使待测基板和限度样本发生水平方向的各个角度的移动，还可以使待测基板和限度样本发生转动以及实现待测基板和限度样本的固定；基板移动控制单元用于对基板移动单元施加指令，控制待测基板和限度样本移动的方向和距离，还可以控制待测基板和限度样本转动的角度。

本发明实施例提供了一种如上所述的基板检测设备，在对待测基板进行检测的过程中，当待测基板上的缺陷的严重程度与限度样本上的缺陷的严重程度相近，不能准确判断待测基板是否合格时，首先使用图像获取单元获取待测基板的图像和限度样本的图像，然后使用图像处理单元对获取的图像进行处理，从而获得第一灰度差和标准灰度差，最后使用对比单元获取第一灰度差与标准灰度差之间的大小关系，从而实现在不使用其他检测仪器的情况下准确判断基板是否合格，提高了基板检测的准确性。

实施例二

本发明实施例提供了一种基板检测方法，其具体流程如图2所示，该基板检测方法包括：

步骤S201、获取待测基板的缺陷与待测基板的正常位置之间的第一灰度差。

具体地，获取待测基板的缺陷与待测基板的正常位置之间的第一灰度差包括如图3所示的步骤：

步骤S301、获取待测基板的图像。

获取待测基板的图像的具体过程如下：

首先，将待测基板放置于基板检测设备上，固定好并移动到相应位置，使待测基板保持水平状态。

然后，获取待测基板的图像，主要通过使用光电耦合元件对待测基板拍照来获取待测基板的图像。可以获取整个待测基板的图像，也可以只获取包括缺陷在内的一个范围内的图像，为了简化检测过程，本发明实施例优选只获取包括缺陷在内的一个范围内的图像。为了进一步简化检测过程，本发明实施例中还可以根据缺陷的坐标来准确寻找缺陷所在位置，所述缺陷的坐标为根据包括相同缺陷的限度样本上的缺陷的位置获得的缺陷的坐标。

需要注意的是，在获取待测基板的图像的过程中，为了保证光电耦合元件每次获取待测基板的图像均在完全相同的环境下进行，可以使待测基板保持水平状态，并且使待测基板完全固定不发生移动。

步骤S302、将获取的待测基板的图像转换为灰度图像。

使用图像处理单元对获取的待测基板的图像进行处理，使其转换为灰度图像。

步骤S303、加强图像的对比度，以凸显图像的缺陷。

可以对获取的待测基板的图像进行去噪处理，然后加强图像的对比度，以使得图像的缺陷显示得更加明显。

步骤S304、获得图像的缺陷的灰度值和正常位置的灰度值。

通常缺陷上的各个点的灰度值几乎相同，因此可以获得缺陷上的一点的灰度值作为缺陷的灰度值。正常位置的灰度值也几乎相同，因此也可以获得缺陷附近的一点的灰度值作为正常位置的灰度值，示例性地，若缺陷为上下走向的条形缺陷时，可以获取缺陷左侧或者右侧的一点的灰度值作为正常位置的灰度值。

步骤S305、得出图像的缺陷与正常位置之间的第一灰度差。

根据获得的图像的缺陷的灰度值和正常位置的灰度值得出图像的缺陷与正常位置之间的第一灰度差。

步骤S202、获取标准灰度差。

获取限度样本的缺陷与限度样本的正常位置之间的灰度差作为标准灰度差，限度样本包括与待测基板相同种类的缺陷。

获取标准灰度差的过程可以包括：获取限度样本的图像；加强图像的对比度，以凸显图像的缺陷；获得图像的缺陷的灰度值和正常位置的灰度值；得出图像的缺陷与所述正常位置之间的标准灰度差。其中，在获得图像的缺陷的灰度值和正常位置的灰度值的过程中，也可以获得缺陷上的一点的灰度值作为缺陷的灰度值，获得缺陷附近的一点的灰度值作为正常位置的灰度值。

此外，在获取限度样本的图像的过程中，为了保证光电耦合元件每次获取限度样本的图像均在完全相同的环境下进行，可以使限度样本保持水平状态，并且使限度样本完全固定不发生移动。使用光电耦合元件可以获取整个限度样本的图像，也可以只获取包括限度样本的缺陷在内的一个范围内的图像，为了简化检测过程，本发明实施例优选只获取包括限度样本的缺陷在内的一个范围内的图像，在此过程中可以在相应界面输入限度样本的缺陷的坐标以便寻找限度样本的缺陷所在位置。

需要说明的是，可以在获取了待测基板上的缺陷与正常位置之间的第一灰度差之后，找到包括对应缺陷的限度样本，获取该限度样本的标准灰度差，也可以先建立标准灰度差数据库，所述标准灰度差数据库包括多个对应于不同种类缺陷的标准灰度差，然后从标准灰度差数据库中获取对应于该缺陷的标准灰度差。

步骤S203、获取第一灰度差和标准灰度差的大小关系，若第一灰度差小于或等于标准灰度差，判断待测基板合格。

根据以上获取的第一灰度差和标准灰度差来获取第一灰度差和标准灰度差的大小关系，从而判断基板是否合格。具体地，若第一灰度差小于或等于标准灰度差，判断待测基板合格；若第一灰度差大于标准灰度差，判断待测基板不合格。

需要说明的是，在基板检测过程中，可以先获取待测基板的缺陷和待测基板的正常位置之间的第一灰度差，再获取限度样本的缺陷和限度样本的正常位置之间的标准灰度差，也可以先获取限度样本的缺陷和限度样本的正常位置之间的标准灰度差，再获取待测基板的缺陷和待测基板的正常位置之间的第一灰度差，本发明实施例对此不仅性限定。

本发明实施例提供了一种基板检测方法，在对待测基板进行检测的过程中，当待测基板上的缺陷的严重程度与限度样本上的缺陷的严重程度相近，不能准确判断待测基板是否合格时，使用本发明实施例提供的基板检测方法获取待测基板的缺陷与待测基板的正常位置之间的第一灰度差，然后获得标准灰度差，将该第一灰度差与标准灰度差作比较，通过第一灰度差与标准灰度差之间的大小关系即可判断待测基板的合格状态，从而实现在不使用其他检测仪器的情况下准确判断基板是否合格，提高了基板检测的准确性。

以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (7)

1.一种基板检测设备，包括基板移动单元、基板移动控制单元，其特征在于，还包括：

图像获取单元，所述图像获取单元用于获取待测基板的图像和限度样本的图像；

图像处理单元，所述图像处理单元用于对获取的所述待测基板的图像和所述限度样本的图像进行处理，从而获得第一灰度差和标准灰度差，所述第一灰度差为所述待测基板的缺陷与所述待测基板的正常位置之间的灰度差，所述标准灰度差为所述限度样本的同类缺陷与所述限度样本的正常位置之间的灰度差；

对比单元，所述对比单元用于获取所述第一灰度差与所述标准灰度差之间的大小关系，若所述第一灰度差小于或等于所述标准灰度差，判断所述待测基板合格。

2.根据权利要求1所述的基板检测设备，其特征在于，所述图像处理单元包括去噪处理模块、对比加强模块和凸显缺陷模块。

3.根据权利要求1所述的基板检测设备，其特征在于，

所述基板移动单元用于使所述待测基板和所述限度样本发生移动；

所述基板移动控制单元用于对所述基板移动单元施加指令，控制所述待测基板和所述限度样本移动的方向和距离。

4.一种基板检测方法，其特征在于，包括：

获取待测基板的缺陷与待测基板的正常位置之间的第一灰度差；

获取标准灰度差；

获取所述第一灰度差和所述标准灰度差的大小关系，若所述第一灰度差小于或等于所述标准灰度差，判断所述待测基板合格。

5.根据权利要求4所述的基板检测方法，其特征在于，所述获取标准灰度差包括：

获取限度样本的缺陷与限度样本的正常位置之间的灰度差作为所述标准灰度差，所述限度样本包括与所述待测基板相同种类的缺陷。

6.根据权利要求4或5所述的基板检测方法，其特征在于，在所述获取标准灰度差之前，还包括：

建立标准灰度差数据库，所述标准灰度差数据库包括多个对应于不同种类缺陷的标准灰度差。

7.根据权利要求4所述的基板检测方法，其特征在于，所述获取待测基板的缺陷与待测基板的正常位置之间的第一灰度差包括：

获取所述待测基板的图像；

将获取的所述待测基板的图像转化为灰度图像；

加强所述图像的对比度，以凸显所述图像的缺陷；

获得所述图像的所述缺陷的灰度值和所述正常位置的灰度值；

得出所述图像的所述缺陷与所述正常位置之间的第一灰度差。