CN105467634B - 一种彩膜基板的彩色图案缺失的检测方法及装置 - Google Patents

Abstract

本发明实施例提供一种彩膜基板的彩色图案缺失的检测方法及装置，可定位出哪一种颜色图案存在缺失，且可消除人工检测方式的不足。该检测方法包括：在每个形成彩色图案的工序完成后，获取彩膜基板的预定区域的当前图像，该当前图像以灰度值向量表征；其中，所述预定区域至少包括一个像素区域；计算所述当前图像与标准样本图像的相似度；其中，所述标准样本图像至少包括与当前工序对应的正常彩膜基板的第一样本图像，所述标准样本图像以灰度值向量表征；根据所述相似度，判断当前工序是否存在彩色图案缺失的异常。用于对彩膜基板制造过程中彩色图案是否缺失进行检测。

Description

一种彩膜基板的彩色图案缺失的检测方法及装置

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种彩膜基板的彩色图案缺失的检测方法及装置。

背景技术

液晶显示器(Liquid Crystal Display，简称LCD)具有体积小、功耗低、无辐射等特点，在当前的显示器市场中占据主导地位。

液晶显示器包括阵列基板和彩膜基板。如图1所示，形成彩膜基板包括在衬底基板10上形成黑矩阵图案20的工序、形成第一彩色光阻图案30(例如红色光阻图案)的工序、形成第二彩色光阻图案40(例如绿色光阻图案)的工序、形成第三彩色光阻图案50(例如蓝色光阻图案)的工序。其中，形成黑矩阵图案20的工序、第一彩色光阻图案30的工序、第二彩色光阻图案40的工序和第三彩色光阻图案50的工序统称为形成彩色图案的工序。

不管是形成黑矩阵图案20，还是形成第一彩色光阻图案30或第二彩色光阻图案40或第三彩色光阻图案50，都需要涂布成膜、曝光的过程才能形成相应的图案。其中，若在涂布或曝光时设备出现异常，则会出现整张基板未涂布或者未曝光的情况，从而使得基板上某一或几类图案缺失，产生无法使用的不良品。

可行的检测上述缺失的方法是采用全数检查机(Automatic OpticalInspection，简称AOI)和人工检测方式。全数检查机进行缺失检测的原理为：通过电荷耦合元件(Charge-coupled Device，简称CCD)采集待检测彩膜基板的一定区域(即，检测区域)的图像平均灰度值，与预设的基准值对比，若上述检测区域的灰度值高于基准值，则认为存在图案缺失，若低于基准值，则认为正常。

然而，该方法也仅能识别出存在图案缺失异常，无法具体判断出是哪一种颜色图案存在缺失。

对于人工检测方式，由于某些工序抽检而非全检，人员经验不足，疲劳检查，麻痹检查等，存在漏检的问题，且速度慢影响生产率。

发明内容

本发明的实施例提供一种彩膜基板的彩色图案缺失的检测方法及装置，可定位出哪一种颜色图案存在缺失，且可消除人工检测方式的不足。

为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：

一方面，提供一种彩膜基板的彩色图案缺失的检测方法，包括：在每个形成彩色图案的工序完成后，获取彩膜基板的预定区域的当前图像，该当前图像以灰度值向量表征；其中，所述预定区域至少包括一个像素区域；计算所述当前图像与标准样本图像的相似度；其中，所述标准样本图像至少包括与当前工序对应的正常彩膜基板的第一样本图像，所述标准样本图像以灰度值向量表征；根据所述相似度，判断当前工序是否存在彩色图案缺失的异常。

优选的，所述标准样本图像还包括与上游工序对应的正常彩膜基板的第二样本图像；基于此，根据所述相似度，判断当前工序是否存在彩色图案缺失的异常，包括：根据所述当前图像与所述第一样本图像的第一相似度、以及所述当前图像与所述第二样本图像的第二相似度，判断当前工序是否存在彩色图案缺失的异常。

优选的，所述方法还包括存储对当前工序的判断结果。

进一步优选的，对于除起始工序外的其他工序，在计算所述当前图像与标准样本图像的相似度之前，所述方法还包括：读取对上游工序的判断结果；基于此，计算所述当前图像与标准样本图像的相似度，包括：若对上游工序的判断结果为正常，则计算所述当前图像与所述标准样本图像的相似度。

优选的，获取彩膜基板的预定区域的当前图像，包括：在彩膜基板的单排预设个数的像素区域中，获取所有所述预设个数的像素区域的中间位置的所述当前图像。

优选的，计算所述当前图像与标准样本图像的相似度，包括：通过余弦相似度计算方法，计算所述当前图像与所述标准样本图像的相似度。

优选的，当每个形成彩色图案的工序需要移动至少两次掩模板时，获取彩膜基板的预定区域的当前图像，包括：分别获取与每次掩模板对应的彩膜基板的预定区域的所述当前图像。

另一方面，提供一种彩膜基板的彩色图案缺失的检测装置，包括：获取模块、第一存储模块、计算模块和判断模块；所述获取模块，用于在每个形成彩色图案的工序完成后，获取彩膜基板的预定区域的当前图像，该当前图像以灰度值向量表征；其中，所述预定区域至少包括一个像素区域；所述第一存储模块，用于存储标准样本图像；其中，所述标准样本图像至少包括与当前工序对应的正常彩膜基板的第一样本图像，所述标准样本图像以灰度值向量表征；所述计算模块，用于计算所述获取模块获取的所述当前图像和所述第一存储模块存储的所述标准样本图像的相似度；所述判断模块，用于根据所述计算模块得到的相似度，判断当前工序是否存在彩色图案缺失的异常。

优选的，所述第一存储模块存储的所述标准样本图像还包括与上游工序对应的正常彩膜基板的第二样本图像；基于此，所述判断模块，具体用于根据所述计算模块得到的所述当前图像与所述第一样本图像的第一相似度、以及所述当前图像与所述第二样本图像的第二相似度，判断当前工序是否存在彩色图案缺失的异常。

优选的，所述检测装置还包括第二存储模块；所述第二存储模块，用于存储所述判断模块对当前工序的判断结果。

进一步优选的，所述检测装置还包括读取模块；所述读取模块，用于对除起始工序外的其他工序，从所述第二存储模块中读取对上游工序的判断结果；基于此，所述计算模块，具体用于根据所述读取模块的读取结果，若对上游工序的判断结果为正常，则计算所述当前图像与所述标准样本图像的相似度。

优选的，当每个形成彩色图案的工序需要移动至少两次掩模板时，所述获取模块分别获取与每次掩模板对应的彩膜基板的预定区域的所述当前图像。

本发明实施例提供一种彩膜基板的彩色图案缺失的检测方法及装置，通过在每个工序后，将获取的当前图像与该工序对应的标准样本图像进行相似度计算，可以获知当前工序是否存在彩色图案缺失的异常，其中，由于当前工序要形成的具体颜色的图案是已知的，因此可以知道是那种颜色的图案存在缺失。此外，由于本发明并非人工检测，因此可消除人工检测方式的不足。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有技术中提供的一种彩膜基板的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的一种彩膜基板的彩色图案缺失的检测方法的流程示意图；

图3a为本发明实施例提供的形成黑矩阵图案的工序的示意图；

图3b本发明实施例提供的形成蓝色光阻图案的工序的示意图；

图3c本发明实施例提供的形成绿色光阻图案的工序的示意图；

图3d本发明实施例提供的形成红色光阻图案的工序的示意图；

图4a为本发明实施例提供的对黑矩阵图案缺失的检测方法的流程示意图；

图4b为本发明实施例提供的对蓝色光阻图案缺失的检测方法的流程示意图；

图4c为本发明实施例提供的对绿色光阻图案缺失的检测方法的流程示意图；

图4d为本发明实施例提供的对红色光阻图案缺失的检测方法的流程示意图；

图5a为在图3a基础上获取的当前图像的灰度值示意图；

图5b为在图3b基础上获取的当前图像的灰度值示意图；

图5c为在图3c基础上获取的当前图像的灰度值示意图；

图5d为在图3d基础上获取的当前图像的灰度值示意图；

图6为本发明实施例提供的在整张大的彩膜基板中设置预定区域的示意图；

图7为本发明实施例提供的一种检测装置的结构示意图一；

图8为本发明实施例提供的一种检测装置的结构示意图二；

图9为本发明实施例提供的一种检测装置的结构示意图三。

附图标记：

10-衬底基板；20-黑矩阵图案；30-第一彩色光阻图案；301-红色光阻图案；40-第二彩色光阻图案；401-绿色光阻图案；50-第三彩色光阻图案；501-蓝色光阻图案；60-预定区域；701-获取模块；702-第一存储模块；703-计算模块；704-判断模块；705-第二存储模块；706-读取模块。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明实施例提供一种彩膜基板的彩色图案缺失的检测方法，如图2所示，包括如下步骤：

S10、在每个形成彩色图案的工序完成后，获取彩膜基板的预定区域的当前图像，该当前图像以灰度值向量表征(即，以灰度直方图表示)；其中，预定区域至少包括一个像素区域。

形成彩色图案的工序包括形成黑矩阵图案的工序、形成第一彩色光阻图案的工序、形成第二彩色光阻图案的工序、形成第三彩色光阻图案的工序。对于上述工序，并不限定具体的顺序，例如可先进行形成黑矩阵图案的工序，再依次进行形成第一彩色光阻图案的工序、第二彩色光阻图案的工序、第三彩色光阻图案的工序。当然，也可先进行形成第一彩色光阻图案的工序、第二彩色光阻图案的工序、第三彩色光阻图案的工序，然后再进行形成第一彩色光阻图案的工序。

其中，对于第一彩色光阻图案，第二彩色光阻图案和第三彩色光阻图案并不做限定，只要是形成三基色光阻图案即可。以三基色为红色、绿色和蓝色为例，第一彩色光阻图案可以是红色光阻图案，基于此，第二彩色光阻图案和第三彩色光阻图案可以互为绿色光阻图案和蓝色光阻图案。或者，第一彩色光阻图案可以是绿色光阻图案，基于此，第二彩色光阻图案和第三彩色光阻图案可以互为红色光阻图案和蓝色光阻图案。或者，第一彩色光阻图案可以是蓝色光阻图案，基于此，第二彩色光阻图案和第三彩色光阻图案可以红色光阻图案和绿色光阻图案。

需要说明的是，本发明所有实施例中不管有没有形成完整的彩膜基板，只要是在基板上要形成相应的彩色图案，统称为彩膜基板。其中，该彩膜基板并不限于是用于一个显示装置的彩膜基板，可以是一张较大的彩膜基板，待该彩膜基板形成后需要切割形成一个个用于显示装置的彩膜基板。

此外，不管彩膜基板上所有的彩色图案是否都已形成，每个像素区域(在该像素区域位置处需形成黑矩阵图案、第一彩色光阻图案，第二彩色光阻图案和第三彩色光阻图案)的位置实际上已经确定，基于此，只要使预定区域包括至少一个像素区域即可，为了保证最终检测的准确性，优选可包括多个像素区域，例如在1mm范围内，或若干个像素区域，可以为10个像素区域。

其中，该预定区域可以选取多排多列的像素区域，也可只选取一排像素区域。当然，并不限于该预定区域包括的都是完整的像素区域，也可包括部分完整的像素区域，例如只包括了像素区域中用于形成部分彩色图案的区域。

S11、计算当前图像与标准样本图像的相似度；其中，标准样本图像至少包括与当前工序对应的正常彩膜基板的第一样本图像，所述标准样本图像以灰度值向量表征(即，以灰度直方图表示)。

此处，得到标准样本图像所使用的彩膜基板的区域需与上述预定区域的大小一致，但不限于是位置完全一致。标准样本图像可以提前获取。

对于第一样本图像，若当前工序进行的是形成黑矩阵图案的工序，则第一样本图像则为正常彩膜基板在进行黑矩阵图案的工序后，获取的图像；若当前工序进行的是形成第一彩色光阻图案，则第一样本图像则为正常彩膜基板在形成第一彩色光阻图案的工序后，获取的图像；同理，若当前工序进行的是形成第二彩色光阻图案或第三彩色光阻图案，则第一样本图像则为正常彩膜基板在形成第二彩色光阻图案或第三彩色光阻图案的工序后，获取的图像。

其中，正常彩膜基板为经过形成每个彩色图案的工序后，均形成有相应的彩色图案的彩膜基板。

S12、根据所述相似度，判断当前工序是否存在彩色图案缺失的异常。

此处，若当前图像与标准样本图像的相似度较高，则可判断经过当前工序后，在彩膜基板上形成了相应的彩色图案，则当前工序不存在彩色图案缺失的异常。否则，可判断经过当前工序后，在彩膜基板上没有形成相应的彩色图案，则当前工序存在彩色图案缺失的异常。

本发明实施例提供一种彩膜基板的彩色图案缺失的检测方法，通过在每个工序后，将获取的当前图像与该工序对应的标准样本图像进行相似度计算，可以获知当前工序是否存在彩色图案缺失的异常，其中，由于当前工序要形成的具体颜色的图案是已知的，因此可以知道是那种颜色的图案存在缺失。此外，由于本发明并非人工检测，因此可消除人工检测方式的不足。

优选的，在上述S11中，标准样本图像还可以包括与上游工序对应的正常彩膜基板的第二样本图像。

此处，得到第二样本图像所使用的彩膜基板的区域需与上述预定区域的大小一致，但不限于是位置完全一致。

以形成彩色图案的工序依次为形成黑矩阵图案的工序、形成第一彩色光阻图案的工序、形成第二彩色光阻图案的工序、形成第三彩色光阻图案的工序为例，对于第二样本图像，若当前工序进行的是形成黑矩阵图案的工序，则第二样本图像为未形成黑矩阵图案时获取的图像；若当前工序进行的是形成第一彩色光阻图案，则第二样本图像则为正常彩膜基板在形成黑矩阵图案的工序后，获取的图像；若当前工序进行的是形成第二彩色光阻图案，则第二样本图像则为正常彩膜基板在形成第一彩色光阻图案的工序后，获取的图像；若当前工序进行的是形成第三彩色光阻图案，则第二样本图像则为正常彩膜基板在形成第二彩色光阻图案的工序后，获取的图像。

基于此，S12具体包括：根据当前图像与第一样本图像的第一相似度、以及当前图像与第二样本图像的第二相似度，判断当前工序是否存在彩色图案缺失的异常。

此处，若第一相似度大于第二相似度，则可判断经过当前工序后，在彩膜基板上形成了相应的彩色图案，则当前工序不存在彩色图案缺失的异常。若第一相似度小于第二相似度，则可判断经过当前工序后，在彩膜基板上没有形成相应的彩色图案，则当前工序存在彩色图案缺失的异常。若第一相似度等于第二相似度，则可判断存在其他情况，此时，可确认第一样本图像和第二样本图像是否设置正确。当上述的当前图像不止一个时，若每个当前图像与第一样本图像和第二样本图像的比对不一致时，则可判断经过当前工序后，存在部分区域的彩色图案的缺失的异常，此时，需要进一步进行微观确认。

需要说明的是，各个工序在设置标准样本图像时，可只设置与本工序对应的第一样本图像和与上游工序对应的第二样本图像。

本发明实施例中，通过将当前图像分别与第一样本图像和第二样本图像进行相似度计算，可避免在获取当前图像时光亮对灰度值的影响，保证判断的准确性。此外，还可以判断其他异常情况，以便提醒工作人员进行进一步的判断。

下面提供一具体实施例以详细说明一种彩膜基板的彩色图案缺失的检测方法。

对于形成如图3a所示的黑矩阵图案20的工序，如图4a所示，该检测方法包括如下步骤：

S20、通过CCD获取该彩膜基板的预定区域60的当前图像，该当前图像如图5a所示，以灰度值向量表征。

S21、计算当前图像与第一样本图像的第一相似度、以及当前图像与第二样本图像的第二相似度。其中，第一样本图像和第二样本图像均以灰度值向量表征。

此处，第一样本图像为正常彩膜基板在形成黑矩阵图案20的工序后，获取的图像。第二样本图像为未形成黑矩阵图案20时获取的图像，由于此时无任何图案，灰度值无变化，固此时第二样本图像以灰度值向量表征后为一条直线。

S22、根据第一相似度和第二相似度，若第一相似度大于第二相似度，则进行S23；若第一相似度小于第二相似度，则进行S24；若第一相似度等于第二相似度，则进行S25。

S23、确定为正常基板，以进行蓝色光阻图案501的工序。

S24、确定为黑矩阵图案20缺失。

S25、进行样本确认。

对于形成如图3b所示的蓝色光阻图案501的工序，如图4b所示，该检测方法包括如下步骤：

S30、通过CCD获取该彩膜基板的预定区域60的当前图像，该当前图像如图5b所示，以灰度值向量表征。

S31、计算当前图像与第一样本图像的第一相似度、以及当前图像与第二样本图像的第二相似度。其中，第一样本图像和第二样本图像均以灰度值向量表征。

此处，第一样本图像为正常彩膜基板在形成蓝色光阻图案501的工序后，获取的图像。第二样本图像为正常彩膜基板在形成黑矩阵图案20时获取的图像。

S32、根据第一相似度和第二相似度，若第一相似度大于第二相似度，则进行S33；若第一相似度小于第二相似度，则进行S34；若第一相似度等于第二相似度，则进行S35。

S33、确定为正常基板，以进行绿色光阻图案401的工序。

S34、确定为蓝色光阻图案501缺失。

S35、进行样本确认。

对于形成如图3c所示的绿色光阻图案401的工序，如图4c所示，该检测方法包括如下步骤：

S40、通过CCD获取该彩膜基板的预定区域60的当前图像，该当前图像如图5c所示，以灰度值向量表征。

S41、计算当前图像与第一样本图像的第一相似度、以及当前图像与第二样本图像的第二相似度。其中，第一样本图像和第二样本图像均以灰度值向量表征。

此处，第一样本图像为正常彩膜基板在形成绿色光阻图案401的工序后，获取的图像。第二样本图像为正常彩膜基板在形成蓝色光阻图案501时获取的图像。

S42、根据第一相似度和第二相似度，若第一相似度大于第二相似度，则进行S43；若第一相似度小于第二相似度，则进行S44；若第一相似度等于第二相似度，则进行S45。

S43、确定为正常基板，以进行红色光阻图案301的工序。

S44、确定为绿色光阻图案401缺失。

S45、进行样本确认。

对于形成如图3d所示的红色光阻图案301的工序，如图4d所示，该检测方法包括如下步骤：

S50、通过CCD获取该彩膜基板的预定区域60的当前图像，该当前图像如图5d所示，以灰度值向量表征。

S51、计算当前图像与第一样本图像的第一相似度、以及当前图像与第二样本图像的第二相似度。其中，第一样本图像和第二样本图像均以灰度值向量表征。

此处，第一样本图像为正常彩膜基板在形成红色光阻图案301的工序后，获取的图像。第二样本图像为正常彩膜基板在形成绿色光阻图案401时获取的图像。

S52、根据第一相似度和第二相似度，若第一相似度大于第二相似度，则进行S53；若第一相似度小于第二相似度，则进行S54；若第一相似度等于第二相似度，则进行S55。

S53、确定为正常基板，以进行后续工序。

S54、确定为红色光阻图案301缺失。

S55、进行样本确认。

基于上述，优选的，所述方法还包括存储对当前工序的判断结果。以便后续在需要时可随时获取该判断结果，以获取经过哪次工序是异常的。

进一步的，对于除起始工序外的其他工序，在计算所述当前图像与标准样本图像的相似度之前，所述方法还包括：读取对上游工序的判断结果。

基于此，计算所述当前图像与标准样本图像的相似度，具体为：若对上游工序的判断结果为正常，则计算所述当前图像与所述标准样本图像的相似度。否则，直接判断为异常，而不再进行相似度的计算。这样可避免由于上游工序已发现异常但是没有被标记，但又进行下一个工序时，导致增加运算量以及时间的问题。

以形成彩色图案的工序依次为形成黑矩阵图案的工序、形成第一彩色光阻图案的工序、形成第二彩色光阻图案的工序、形成第三彩色光阻图案的工序为例，在除黑矩阵图案的工序外，例如对于形成第一彩色光阻图案的工序，可先读取在形成黑矩阵图案的工序后，黑矩阵图案是否缺失的判断结果，若读取到的结果为正常，则对于当前形成第一彩色光阻图案的工序，对第一彩色光阻图案是否缺失进行判断。

优选的，S10具体包括：参考图3a-3d所示，在彩膜基板的单排预设个数的像素区域中，获取所有所述预设个数的像素区域的中间位置的当前图像。

这样，一方面，可减少运算量，另一方面保证获取的图像的灰度值的准确性。

优选的，通过余弦相似度计算方法，计算当前图像与标准样本图像的相似度。

具体的，通过余弦相似度计算方法，可得出当前图像与标准样本图像的夹角，根据夹角的大小，便可判断当前图像与各标准样本图像的相似度。

基于上述，考虑到大的彩膜基板(即可切割形成一个个用于显示装置的彩膜基板)制造过程中，掩模板的尺寸不会同等大小，这就需要将该大的彩膜基板分区域，采用同一个掩模板进行分别曝光，这样就导致，不管是形成黑矩阵图案的工序、还是形成第一彩色光阻图案的工序、第二彩色光阻图案的工序、第三彩色光阻图案的工序，都需要分几次进行。

基于此，S10具体包括：如图6所示，分别获取与每次掩模板对应的彩膜基板的预定区域60的当前图像。这样，可确保整张大的彩膜基板在进行每个形成彩色图案的工序后，都进行了彩色图案的缺失的检测。

本发明实施例还提供了一种彩膜基板的彩色图案缺失的检测装置，如图7所示，包括：获取模块701、第一存储模块702、计算模块703和判断模块704。

其中，获取模块701，用于在每个形成彩色图案的工序完成后，获取彩膜基板的预定区域的当前图像，该当前图像以灰度值向量表征；其中，所述预定区域至少包括一个像素区域。

具体的，可在彩膜基板的单排预设个数的像素区域中，获取所有预设个数的像素区域的中间位置的当前图像。

形成彩色图案的工序包括形成黑矩阵图案的工序、形成第一彩色光阻图案的工序、形成第二彩色光阻图案的工序、形成第三彩色光阻图案的工序。对于上述工序，并不限定具体的顺序，例如可先进行形成黑矩阵图案的工序，再依次进行形成第一彩色光阻图案的工序、第二彩色光阻图案的工序、第三彩色光阻图案的工序。当然，也可依次进行形成第一彩色光阻图案的工序、第二彩色光阻图案的工序、第三彩色光阻图案的工序，然后再进行形成第一彩色光阻图案的工序。

第一存储模块702，用于存储标准样本图像；其中，标准样本图像至少包括与当前工序对应的正常彩膜基板的第一样本图像，标准样本图像以灰度值向量表征。

此处，得到标准样本图像所使用的彩膜基板的区域需与上述预定区域的大小一致，但不限于是位置完全一致。标准样本图像可以提前获取。

对于第一样本图像，若当前工序进行的是形成黑矩阵图案的工序，则第一样本图像则为正常彩膜基板在进行黑矩阵图案的工序后，获取的图像；若当前工序进行的是形成第一彩色光阻图案，则第一样本图像则为正常彩膜基板在形成第一彩色光阻图案的工序后，获取的图像；同理，若当前工序进行的是形成第二彩色光阻图案或第三彩色光阻图案，则第一样本图像则为正常彩膜基板在形成第二彩色光阻图案或第三彩色光阻图案的工序后，获取的图像。

其中，正常彩膜基板为经过每个彩色图案的工序后，均形成有相应的彩色图案的彩膜基板。

计算模块703，用于计算获取模块701获取的当前图像和第一存储模块702存储的标准样本图像的相似度。

此处，可通过余弦相似度计算方法，计算当前图像与标准样本图像的相似度。

判断模块704，用于根据计算模块703得到的相似度，判断当前工序是否存在彩色图案缺失的异常。

本发明实施例提供一种彩膜基板的彩色图案缺失的检测装置，通过在每个工序后，计算模块703将获取模块701获取的当前图像与第一存储模块702存储的与该工序对应的标准样本图像进行相似度计算，可以使判断模块704根据计算模块703得到的相似度，获知当前工序是否存在彩色图案缺失的异常，其中，由于当前工序要形成的具体颜色的图案是已知的，因此可以知道是那种颜色的图案存在缺失。此外，由于本发明并非人工检测，因此可消除人工检测方式的不足。

优选的，第一存储模块702存储的标准样本图像还包括与上游工序对应的正常彩膜基板的第二样本图像。

此处，得到第二样本图像所使用的彩膜基板的区域需与上述预定区域的大小一致，但不限于是位置完全一致。

以形成彩色图案的工序依次为形成黑矩阵图案的工序、形成第一彩色光阻图案的工序、形成第二彩色光阻图案的工序、形成第三彩色光阻图案的工序为例，对于第二样本图像，若当前工序进行的是形成黑矩阵图案的工序，则第二样本图像为未形成黑矩阵图案时获取的图像；若当前工序进行的是形成第一彩色光阻图案，则第二样本图像则为正常彩膜基板在形成黑矩阵图案的工序后，获取的图像；若当前工序进行的是形成第二彩色光阻图案，则第二样本图像则为正常彩膜基板在形成第一彩色光阻图案的工序后，获取的图像；若当前工序进行的是形成第三彩色光阻图案，则第二样本图像则为正常彩膜基板在形成第二彩色光阻图案的工序后，获取的图像。

基于此，判断模块704，具体用于根据计算模块703得到的当前图像与第一样本图像的第一相似度、以及当前图像与第二样本图像的第二相似度，判断当前工序是否存在彩色图案缺失的异常。

若第一相似度大于第二相似度，则可判断经过当前工序后，在彩膜基板上形成了相应的彩色图案，则当前工序不存在彩色图案缺失的异常。若第一相似度小于第二相似度，则可判断经过当前工序后，在彩膜基板上没有形成相应的彩色图案，则当前工序存在彩色图案缺失的异常。若第一相似度等于第二相似度，则可判断存在其他情况，此时，可确认第一样本图像和第二样本图像是否设置正确。当上述的当前图像不止一个时，若每个当前图像与第一样本图像和第二样本图像的比对不一致时，则可判断经过当前工序后，存在部分区域的彩色图案的缺失的异常，此时，需要进一步进行微观确认。

本发明实施例中，通过将当前图像分别与第一样本图像和第二样本图像进行相似度计算，可避免在获取当前图像时光亮对灰度值的影响，保证判断的准确性。此外，还可以判断其他异常情况，以便提醒工作人员进行进一步的判断。

基于上述优选的，如图8所示，所述检测装置还包括第二存储模块705；第二存储模块705，用于存储判断模块704对当前工序的判断结果。以便后续在需要时可随时获取该判断结果，以获取经过哪次工序是异常的。

进一步优选的，如图9所示，所述检测装置还包括读取模块706；读取模块706，用于对除起始工序外的其他工序，从第二存储模块705中读取对上游工序的判断结果。

基于此，计算模块703，具体用于根据读取模块706的读取结果，若对上游工序的判断结果为正常，则计算当前图像与标准样本图像的相似度。否则，直接判断为异常，而不再进行相似度的计算。这样可避免由于上游工序已发现异常但是没有被标记，但又进行下个工序时，导致增加运算量以及时间的问题。

优选的，当每个形成彩色图案的工序需要移动至少两次掩模板时，获取模块701分别获取与每次掩模板对应的彩膜基板的预定区域的当前图像。这样，可确保整张大的彩膜基板在进行每个形成彩色图案的工序后，都进行了彩色图案的缺失的检测。

基于上述，所述检测装置可以为AOI。

本领域普通技术人员可以理解：实现上述方法实施例的全部或部分步骤可以通过程序指令相关的硬件来完成，前述的程序可以存储于一计算机可读取存储介质中，该程序在执行时，执行包括上述方法实施例的步骤；而前述的存储介质包括：ROM、RAM、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。

以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (12)

1.一种彩膜基板的彩色图案缺失的检测方法，其特征在于，包括：

在每个形成彩色图案的工序完成后，获取彩膜基板的预定区域的当前图像，该当前图像以灰度值向量表征；其中，所述预定区域至少包括一个像素区域；

计算所述当前图像与标准样本图像的相似度；其中，所述标准样本图像至少包括与当前工序对应的正常彩膜基板的第一样本图像，所述标准样本图像以灰度值向量表征；

根据所述相似度，判断当前工序是否存在彩色图案缺失的异常。

2.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述标准样本图像还包括与上游工序对应的正常彩膜基板的第二样本图像；

根据所述相似度，判断当前工序是否存在彩色图案缺失的异常，包括：

根据所述当前图像与所述第一样本图像的第一相似度、以及所述当前图像与所述第二样本图像的第二相似度，判断当前工序是否存在彩色图案缺失的异常。

3.根据权利要求1或2所述的检测方法，其特征在于，所述方法还包括存储对当前工序的判断结果。

4.根据权利要求3所述的检测方法，其特征在于，对于除起始工序外的其他工序，在计算所述当前图像与标准样本图像的相似度之前，所述方法还包括：

读取对上游工序的判断结果；

计算所述当前图像与标准样本图像的相似度，包括：

若对上游工序的判断结果为正常，则计算所述当前图像与所述标准样本图像的相似度。

5.根据权利要求1或2所述的检测方法，其特征在于，获取彩膜基板的预定区域的当前图像，包括：

在彩膜基板的单排预设个数的像素区域中，获取所有所述预设个数的像素区域的中间位置的所述当前图像。

6.根据权利要求1或2所述的检测方法，其特征在于，计算所述当前图像与标准样本图像的相似度，包括：

通过余弦相似度计算方法，计算所述当前图像与所述标准样本图像的相似度。

7.根据权利要求1或2所述的检测方法，其特征在于，当每个形成彩色图案的工序需要移动至少两次掩模板时，获取彩膜基板的预定区域的当前图像，包括：

分别获取与每次掩模板对应的彩膜基板的预定区域的所述当前图像。

8.一种彩膜基板的彩色图案缺失的检测装置，其特征在于，包括：获取模块、第一存储模块、计算模块和判断模块；

所述获取模块，用于在每个形成彩色图案的工序完成后，获取彩膜基板的预定区域的当前图像，该当前图像以灰度值向量表征；其中，所述预定区域至少包括一个像素区域；

所述第一存储模块，用于存储标准样本图像；其中，所述标准样本图像至少包括与当前工序对应的正常彩膜基板的第一样本图像，所述标准样本图像以灰度值向量表征；

所述计算模块，用于计算所述获取模块获取的所述当前图像和所述第一存储模块存储的所述标准样本图像的相似度；

所述判断模块，用于根据所述计算模块得到的相似度，判断当前工序是否存在彩色图案缺失的异常。

9.根据权利要求8所述的检测装置，其特征在于，所述第一存储模块存储的所述标准样本图像还包括与上游工序对应的正常彩膜基板的第二样本图像；

所述判断模块，具体用于根据所述计算模块得到的所述当前图像与所述第一样本图像的第一相似度、以及所述当前图像与所述第二样本图像的第二相似度，判断当前工序是否存在彩色图案缺失的异常。

10.根据权利要求8或9所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括第二存储模块；

所述第二存储模块，用于存储所述判断模块对当前工序的判断结果。

11.根据权利要求10所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括读取模块；

所述读取模块，用于对除起始工序外的其他工序，从所述第二存储模块中读取对上游工序的判断结果；

所述计算模块，具体用于根据所述读取模块的读取结果，若对上游工序的判断结果为正常，则计算所述当前图像与所述标准样本图像的相似度。

12.根据权利要求8或9所述的检测装置，其特征在于，当每个形成彩色图案的工序需要移动至少两次掩模板时，所述获取模块分别获取与每次掩模板对应的彩膜基板的预定区域的所述当前图像。