JP6100246B2 - 全原画像を使用した欠陥検出システムおよび方法 - Google Patents
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Description
本出願は、2011年6月7日出願の米国特許出願第13/155,186号に関連し、その優先権を主張する。
Claims (20)
- 周期的特徴を有する電子回路の欠陥を識別する装置であって、前記装置は、
a.前記電子回路の画像を取得するためのカメラと、
b.処理ユニットおよび記憶装置を有する画像処理システムとを含み、前記画像処理システムは、
i.前記カメラから前記電子回路の画像を受信し、
ii.少なくとも前記電子回路の周期的特徴の対角線サイズによって前記電子回路の受信画像の対角線シフトを実行することにより、前記電子回路のシフトした画像を作成し、
iii.前記電子回路画像および前記電子回路のシフトした画像を用いて欠陥候補を識別し、
iv.前記識別された欠陥候補の近くに欠陥を含まない画像部を少なくとも1つ選択し、それを使って前記電子回路の領域の局所欠陥フリー参照画像を1つまたは複数計算し、
v.前記計算された電子回路の欠陥フリー参照画像および前記電子回路の画像を用いて、前記電子回路の欠陥を決定する、
ように構成されている、装置。 - 請求項1に記載の装置において、前記電子回路の近くに配置された電気光学トランスデューサをさらに含み、前記カメラによって作成された前記電子回路の電圧画像は、前記電気光学トランスデューサを撮像することにより取得されることを特徴とする、装置。
- 請求項2に記載の装置において、前記画像処理システムは、撮像経路の欠陥を位置決めし、前記電圧画像の決定された欠陥に対して前記位置決めされた撮像経路の欠陥をクロスチェックすることにより、モデュレータ欠陥に対応する前記電圧画像の領域を前記電子回路の欠陥検出から除外するように更に構成されていることを特徴とする、装置。
- 請求項2に記載の装置において、モデュレータの較正画像をローパスフィルタを使って畳み込むことにより畳み込み較正画像を取得し、前記較正画像と前記畳み込み較正画像の絶対値差分を計算することにより差分画像を取得し、前記差分画像を二値化することによって撮像経路の欠陥が位置決めされることを特徴とする、装置。
- 請求項1に記載の装置において、前記画像処理システムは、前記電子回路の画像および前記電子回路の対角線シフトした画像を差し引き、結果的に得られた差分画像を二値化することにより前記欠陥候補を識別するように構成されていることを特徴とする、装置。
- 請求項5に記載の装置において、二値化する前に、前記結果的に得られた差分画像をローパスフィルタを使って畳み込み、前記畳み込み差分画像について二値化を行うことを特徴とする、装置。
- 請求項6に記載の装置において、前記電子回路画像の対象領域が、前記欠陥候補の周りに選択されることを特徴とする、装置。
- 請求項1に記載の装置において、前記画像処理システムは、前記電子回路の領域の前記計算された局所欠陥フリー参照画像を1つまたは複数使って、前記欠陥候補の周りの対象画像領域を二値化することにより、前記電子回路の欠陥を決定するように構成されていることを特徴とする、装置。
- 請求項1に記載の装置において、前記画像処理システムは、前記欠陥候補の周りの対象画像領域と前記電子回路の領域の前記計算された局所欠陥フリー参照画像との間の差分を閾値で比較することにより、前記電子回路の欠陥を決定するように構成されていることを特徴とする、装置。
- 請求項1に記載の装置において、前記画像処理システムは、前記欠陥候補の周りの対象画像領域を、前記欠陥フリー参照画像の複数例について決定された、最小強度値を含む第一の計算された欠陥フリー参照画像並びにやはり前記欠陥フリー参照画像の複数例について決定された、最大強度値を含む第二の計算された欠陥フリー参照画像と比較することにより、前記電子回路の欠陥を決定するように構成されていることを特徴とする、装置。
- 周期的特徴を有する電子回路の欠陥を識別する方法であって、前記方法は、
a.カメラを使って前記電子回路の画像を取得することと、
b.少なくとも前記電子回路の周期的特徴の対角線サイズによって前記電子回路の取得画像の対角線シフトを実行することにより、前記電子回路のシフトした画像を作成することと、
c.前記電子回路画像および前記電子回路のシフトした画像を用いて欠陥候補を識別することと、
d.前記識別された欠陥候補の可能な限り最も近くに画像部を少なくとも1つ選択し、それを使って前記電子回路の領域の局所欠陥フリー参照画像を1つまたは複数計算することと、
e.前記計算された電子回路の欠陥フリー参照画像、前記電子回路の画像を用いて、前記電子回路の欠陥を決定することとを含み、b.からd.は、処理ユニットおよび記憶装置を含む画像処理システムによって実行される、方法。 - 請求項11に記載の方法において、前記カメラによって作成された前記電子回路の画像は、電気光学トランスデューサを撮像することにより取得されることを特徴とする、方法。
- 請求項11又は12に記載の方法において、撮像経路の欠陥を位置決めすることと、前記電子回路の画像の決定された欠陥に対して前記位置決めされた撮像経路の欠陥をクロスチェックすることとをさらに含み、それによってモデュレータ欠陥に対応する電圧の領域を前記電子回路の欠陥検出から除外することを特徴とする、方法。
- 請求項13に記載の方法において、モデュレータの較正画像をローパスフィルタを使って畳み込むことにより畳み込み較正画像を取得し、前記較正画像と前記畳み込み較正画像の絶対値差分を計算することにより差分画像を取得し、前記差分画像を二値化することによって前記撮像経路の欠陥が位置決めされることを特徴とする、方法。
- 請求項11に記載の方法において、前記電子回路の画像および前記電子回路の対角線シフトした画像を差し引き、結果的に得られた差分画像を二値化することにより前記欠陥候補を識別することをさらに含んでなることを特徴とする、方法。
- 請求項15に記載の方法において、二値化する前に、前記結果的に得られた差分画像をローパスフィルタを使って畳み込み、前記畳み込み差分画像について二値化を行うことを特徴とする、方法。
- 請求項11に記載の方法において、前記電子回路の領域の前記計算された欠陥フリー参照画像を使って、前記欠陥候補の周りの対象画像領域を二値化することにより、前記電子回路の欠陥を決定することをさらに含んでなることを特徴とする、方法。
- 請求項11に記載の方法において、前記欠陥候補の周りの対象画像領域と前記電子回路の領域の前記計算された欠陥フリー参照画像との間の差分を閾値で比較することにより、前記電子回路の欠陥を決定することをさらに含んでなることを特徴とする、方法。
- 請求項11に記載の方法において、前記欠陥候補の周りの対象画像領域を、前記欠陥フリー参照画像の複数例について決定された、最小強度値を含む第一の計算された欠陥フリー参照画像並びにやはり前記欠陥フリー参照画像の複数例について決定された、最大強度値を含む第二の計算された欠陥フリー参照画像と比較することにより、前記電子回路の欠陥を決定することを含んでなることを特徴とする、方法。
- 一セットの命令を実施可能なコンピュータ読取可能媒体であって、前記命令は、画像処理システムの1つまたは複数の処理ユニットによって実行される場合に、周期的特徴を有する電子回路の欠陥を識別する方法を前記1つまたは複数の処理ユニットに実行させ、前記方法は、
a.カメラを使って前記電子回路の画像を取得することと、
b.少なくとも前記電子回路の周期的特徴の対角線サイズによって前記電子回路の取得画像の対角線シフトを実行することにより、前記電子回路のシフトした画像を作成することと、
c.前記電子回路画像および前記電子回路のシフトした画像を用いて欠陥候補を識別することと、
d.可能な限り前記識別された欠陥候補の最も近くに画像部を少なくとも1つ選択し、それを使って前記電子回路の領域の局所欠陥フリー参照画像を1つまたは複数計算することと、
e.前記計算された電子回路の1つまたは複数の局所欠陥フリー参照画像、前記電子回路の画像を用いて、前記電子回路の欠陥を決定することとを含み、b.からd.は、前記1つまたは複数の処理ユニットおよび記憶装置を含む画像処理システムによって実行される、コンピュータ読取可能媒体。
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