JP4856698B2 - 導体路構造体の検査方法 - Google Patents
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Description
I=(UAC+UDC)dC/dt+CdUAC/dt (1)
が成り立つ。ここでUACは電極と導体路構造体とのあいだに印加される交流電圧、UDCは電極と導体路構造体とのあいだに印加される直流電圧、Cは電極と導体路構造体とのあいだの容量、d/dtはパラメータCまたはUACの時間微分である。
Claims (11)
- 面状の支持体上に形成された導体路構造体を無接触で検査する、
導体路構造体の検査方法において、
位置決め装置(135;235;335)により電極(130;230;330)を導体路構造体(120;220;320)に対して所定の距離で位置決めし、
該電極と該導体路構造体とのあいだに電圧を印加し、
前記位置決め装置を相応に駆動することにより、前記電極を支持体(110;210;310)に対して平行な平面で該支持体に対して相対的に運動させ、
前記電極を前記支持体に対して相対的に運動させるあいだの少なくとも1つの選択位置で該電極に接続された電気線路(160;260;360)を通る再充電電流、すなわち、前記電極と前記導体路構造体とのあいだに印加される電圧によって形成される電界の変化によって生じる電流を測定し、
該再充電電流の強度から前記導体路構造体の所定の部分領域における局所的電圧状態を検出する
ことを特徴とする導体路構造体の検査方法。 - 前記導体路構造体の所定の部分領域における局所的電圧状態を用いて前記導体路構造体の品質を求める、請求項1記載の方法。
- 複数の選択位置で前記電極と前記導体路構造体とのあいだに付加的に変化させた電圧を印加し、該電極に接続された電気線路(160;260;360)を通る変化した再充電電流を測定し、該変化した再充電電流の強度から前記導体路構造体の所定の部分領域における局所的電圧状態を検出する、請求項1または2記載の方法。
- 前記支持体としてガラス基板を用いる、請求項1から3までのいずれか1項記載の方法。
- 画面のピクセルに対する駆動マトリクスの少なくとも一部である導体路構造体を検査する、請求項1から4までのいずれか1項記載の方法。
- 前記電極として、頂部にピックアップの設けられた電極を用いる、請求項1から5までのいずれか1項記載の方法。
- 前記電極をラスタ状に運動させて前記導体路構造体を走査する、請求項1から6までのいずれか1項記載の方法。
- 並べられた複数の電極により複数の導体路構造体を同時に走査する、請求項1から7までのいずれか1項記載の方法。
- 前記電極と前記導体路構造体とのあいだに振幅変調電圧を印加する、請求項1から8までのいずれか1項記載の方法。
- バンドパスフィルタリングアンプ(455a)により前記電極と前記導体路構造体の所定の部分領域とのあいだを流れる前記再充電電流を測定する、請求項9記載の方法。
- 前記支持体の一方側に配置された導体路構造体と前記支持体の対向側に配置された別の導体路構造体とを線路(161,162)を介して電気的に接続する、請求項1から10までのいずれか1項記載の方法。
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