JP4831525B2 - Tftアレイの検査方法及びtftアレイ検査装置 - Google Patents
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- TFT基板のTFTアレイに対して電圧を印加し、当該電圧印加による画素電極の電圧状態を検出することによりTFTアレイの欠陥を検査するTFT基板の検査方法であって、
TFTアレイの隣接する前記画像電極に互いに異なる電圧を印加し、二次元配列される前記画像電極へ印加する電圧を縦方向および横方向で交互に異なる電位分布とすることを特徴とする、TFT基板の検査方法。 - 1ゲート周期内において、印加する電圧を交互に切り換えることを特徴とする、請求項1に記載のTFT基板の検査方法。
- ゲートをゲートラインに接続し、ソースをソースラインに接続し、ドレインを画素電極に接続するTFTを備えるTFTアレイに対して、
複数のゲートラインおよびソースラインをそれぞれ一ライン置きに2つのゲートライン群および2つのソースライン群に分け、
前記2つのソースライン群の間において、互いに時間をずらして駆動電圧を印加し、
前記2つのゲートライン群の間において、互いに時間をずらしてオンパルス信号を印加することによって、TFTアレイの隣接する画素電極に互いに異なる電圧を印加することを特徴とする、請求項1に記載のTFT基板の検査方法。 - 1ゲート周期内において、前記ソースライン群の駆動電圧と、前記ゲートライン群のオンパルス信号との位相関係を逆関係とすることにより、前記電圧分布の電圧を交互に切り換えることを特徴とする、請求項3に記載のTFT基板の検査方法。
- 1ゲート周期内の第1の期間において、
一方のソースライン群に正電圧を印加する間に一方のゲートライン群にオンパルス信号を印加し、次に、他方のソースライン群に正電圧を印加する間に他方のゲートライン群にオンパルス信号を印加し、
1ゲート周期内の第2の期間において、
一方のソースライン群に正電圧を印加する間に前記他方のゲートライン群にオンパルス信号を印加し、次に、他方のソースライン群に正電圧を印加する間に前記一方のゲートライン群にオンパルス信号を印加することにより、
前記電圧分布の正電圧と負電圧を交互に切り換えることを特徴とする、請求項3に記載のTFT基板の検査方法。 - TFT基板のTFTアレイに対して電圧を印加し、当該電圧印加による画素電極の電圧状態を検出することによりTFTアレイの欠陥を検査するTFT基板の検査装置であって、
TFT基板に電子線を照射する電子線源と、
TFT基板から放出される二次電子を検出する検出器と、
TFT基板のTFTアレイに検査信号を生成し印加する検査信号生成部と、
前記検出器の検出信号に基づいてTFTアレイの欠陥を検出する欠陥検出部とを備え、
前記検査信号生成部は、TFTアレイの隣接する前記画素電極に互いに異なる電圧を印加し、二次元配列される前記画像電極へ印加する電圧を縦方向および横方向で交互に異なる電位分布とすることを特徴とする、TFT基板の検査装置。
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