JP5408540B2 - Tftアレイの検査方法及びtftアレイ検査装置 - Google Patents
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Description
TFTアレイ検査装置1は、TFT基板20にアレイ検査用の駆動信号を生成する駆動信号生成部4と、駆動信号生成部4で生成した駆動信号をTFT基板20に印加するプローバ10と、TFT基板の電圧印加状態を検出する機構(2,3,5)と、検出信号に基づいてTFTアレイの欠陥を検出する点欠陥検出部6、欠陥種を判定する欠陥種判別部7、および欠陥ピクセルの位置を特定する欠陥ピクセル位置特定部8を備える。
図7はS−D欠陥の場合の走査画像例を示し、図8はS−D欠陥の場合のピクセルの電圧状態を示している。
図9はD−Cs欠陥の場合の走査画像例を示し、図10はD−Cs欠陥の場合のピクセルの電圧状態を示している。
S6の判別工程では、欠陥部分の信号強度(Int2又はInt3)が、Black Thresh1の閾値とWhite Thresh1の閾値との間にあり、S7のS-D欠陥判別工程およびS8のD-Cs欠陥判別工程で欠陥判別されなかった信号強度について、さらに、S−D欠陥、D−Cs欠陥、weak欠陥の何れの欠陥種であるかを判別する。
2 電子線源
3 二次電子検出器
4 駆動信号生成部
5 信号処理部
6 点欠陥検出部
7 欠陥種判別部
8 欠陥ピクセル位置特定部
9 走査制御部
10 プローバ
11 ステージ
20 基板
Claims (11)
- TFT基板のTFTアレイに対して電圧を印加し、当該電圧印加による電圧状態を電子線照射により得られる二次電子で検出し、当該二次電子により得られる走査画像に基づいてTFTアレイの欠陥を検査するTFT基板の検査方法であって、
TFT基板の走査画像を取得する走査画像取得工程と、
全ピクセルから欠陥アレイを有する欠陥ピクセルを検出する点欠陥検出工程と、
前記点欠陥検出工程で検出した欠陥ピクセルの欠陥種を判別する欠陥種判定工程とを備え、
前記走査画像取得工程は、TFT基板のTFTアレイの全ピクセルに同一の電圧を供給する第1の駆動パターンを印加して走査画像を取得し、TFT基板のTFTアレイのピクセルに、ピクセル単位で周期性を有した少なくとも2つの異なる電圧を個別に供給する第2の駆動パターンを印加して走査画像を取得し、
前記点欠陥検出工程は、第1の駆動パターンの印加で得られる走査画像の信号強度に基づいて全ピクセルから欠陥ピクセルを検出し、
前記欠陥種判別工程は、第2の駆動パターンの印加で得られる走査画像の信号強度に基づいて、前記点欠陥検出工程で検出した欠陥ピクセルの欠陥種を判別することを特徴とする、TFT基板の検査方法。 - 前記第2の駆動パターンの印加によって検出されるピクセルの幾何的配置に基づいて欠陥ピクセルの位置を特定する欠陥ピクセル位置特定工程を備えることを特徴とする、請求項1に記載のTFT基板の検査方法。
- 前記第2の駆動パターンは、TFTアレイのゲートおよびソースに供給する駆動信号のパターンであり、当該駆動信号の組合せによって少なくとも2種類の駆動パターンを形成することを特徴とする、請求項1又は2に記載のTFT基板の検査方法。
- 前記第2の駆動パターンはTFT基板のピクセルに正電圧と負電圧を交互に供給し、
当該正負の電圧供給によって、隣接するピクセル間の電位を異にする格子状の電位配置を形成し、
前記欠陥種判別工程は、前記ピクセル電位の格子状配置に応じて得られる走査画像の信号強度に基づいて欠陥ピクセルの欠陥種を判別することを特徴とする、請求項3に記載のTFT基板の検査方法。 - 前記欠陥種は、ソース・ドレイン間の短絡欠陥、ドレイン・付加容量間の短絡欠陥、ソース・ドレイン間のweak欠陥であり、
前記第2の駆動パターンは、前記欠陥種に対応してTFTアレイのゲートおよびソースに供給する駆動信号のパターンであることを特徴とする、請求項3又は4に記載のTFT基板の検査方法。 - 前記欠陥種判別工程において、
欠陥ピクセルの欠陥種を判別する少なくとも2つの判定閾値を設定すると共に、
前記判定閾値で設定される複数の強度範囲に対応付けて欠陥ピクセルの欠陥種を設定しておき、
前記第2の駆動パターンの印加で得られる走査画像の信号強度を、前記判定閾値で設定される複数の強度範囲に仕分けし、
当該仕分けた強度範囲によって、欠陥ピクセルの欠陥種を判定することを特徴とする、請求項1から5の何れか一つに記載のTFT基板の検査方法。 - 前記第2の駆動パターンはTFT基板のピクセルに正電圧と負電圧を交互に供給し、
当該正負の電圧供給によって、隣接するピクセル間の電位を異にする格子状の電位配置を形成し、
前記欠陥ピクセル位置特定工程は、
前記ピクセル電位の格子状配置によって隣接するピクセルを識別し、
前記点欠陥検出工程で検出した欠陥ピクセルの位置と、前記欠陥種判別工程で検出されるピクセルの幾何的配置とを比較し、当該比較に基づいて欠陥ピクセルの位置を特定することを特徴とする、請求項2又は3に記載のTFT基板の検査方法。 - TFT基板のTFTアレイに対して電圧を印加し、当該電圧印加による電圧状態を電子線照射により得られる二次電子で検出し、当該二次電子により得られる走査画像に基づいてTFTアレイの欠陥を検査するTFT基板の検査装置であって、
TFT基板に電子線を照射する電子線源と、
TFT基板から放出される二次電子を検出する検出器と、
TFT基板のTFTアレイに印加する駆動信号を生成する駆動信号生成部と、
前記検出器の検出信号に基づいて欠陥アレイを有する欠陥ピクセルを検出する点欠陥検出部と、
前記点欠陥検出部で検出した欠陥ピクセルの欠陥種を判別する欠陥種判定部とを備え、
前記駆動信号生成部は、TFT基板のTFTアレイの全ピクセルに同一の電圧を供給する第1の駆動パターンを生成してTFT基板に印加し、TFT基板のTFTアレイのピクセルに少なくとも2つの異なる電圧を個別に供給する第2の駆動パターンを生成してTFT基板に印加し、
前記点欠陥検出部は、前記第1の駆動パターンの印加で得られる走査画像の信号強度に基づいて全ピクセルから欠陥ピクセルを検出し、
前記欠陥種判別部は、前記第2の駆動パターンの印加で得られる走査画像の信号強度に基づいて、前記点欠陥検出部で検出した欠陥ピクセルの欠陥種を判別することを特徴とする、TFT基板の検査装置。 - 前記第2の駆動パターンの印加によって形成されるピクセル電位の幾何的配置に基づいて前記欠陥ピクセルの位置を特定する欠陥ピクセル位置特定部を備えることを特徴とする、請求項8に記載のTFT基板の検査装置。
- 前記欠陥種判別部は、
欠陥ピクセルの欠陥種を判別する少なくとも2つの判定閾値、および、前記判定閾値で設定される複数の強度範囲に対応付けて欠陥ピクセルの欠陥種のデータを記憶し、
前記第2の駆動パターンの印加で得られる走査画像の信号強度を前記判定閾値と比較し比較結果に基づいて複数の強度範囲に仕分けし、
前記仕分けた強度範囲によって、欠陥ピクセルの欠陥種を判定することを特徴とする、請求項8に記載のTFT基板の検査装置。 - 前記欠陥ピクセル位置特定部は、
前記点欠陥検出部で検出した欠陥ピクセルの位置と、前記欠陥種判別部で検出されるピクセルの幾何的配置とを比較し、当該比較に基づいて欠陥ピクセルの位置を特定することを特徴とする、請求項9に記載のTFT基板の検査装置。
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