JP2009511898A - 光導電によるトランジスタ・アレイの電気的検査 - Google Patents
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Abstract
Description
この出願は,2005年10月11日出願の米国仮特許出願第60/724,875号の利益を主張するものであり,その開示内容の全体を参照によりここに組み入れる。
Claims (29)
- 基板上のマイクロ電子部品を検査する方法において,
基板上に配設された多数のマイクロ電子部品に制御信号を印加して,該多数のマイクロ電子部品を周期的にオフ状態に設定し,
制御信号の前記印加と同期して,少なくとも1つの光ビームにより該多数のマイクロ電子部品を走査し,該多数のマイクロ電子部品から選択された少なくとも1つのマイクロ電子部品に光照射による電子応答を誘導し,
前記走査中に,少なくとも1つのマイクロ電子部品の電子応答を測定して,電気的特性を検出する,
ことを含む方法。 - 該多数のマイクロ電子部品の前記走査は,該光ビームで照射された少なくとも1つの選択された該部品を除く該多数のマイクロ電子部品を暗状態に保ちつつ行われる,請求項1に記載の方法。
- 少なくとも1つの該光ビームは,該多数のマイクロ電子部品上に投射される,請求項1に記載の方法。
- 該マイクロ電子部品は,トランジスタ,キャパシタおよびダイオードのうちの少なくとも1つを含む,請求項1に記載の方法。
- 該マイクロ電子部品はアレイ状に配置されている,前記請求項のいずれかに記載の方法。
- 前記走査は,少なくとも1つのレーザ光ビームにより走査する,前記請求項のいずれかに記載の方法。
- 前記走査中に,該レーザ光ビームをパルス化することをさらに含む,請求項5に記載の方法。
- 少なくとも1つのパルス・レーザによる前記走査は,個々のパルスが該多数のマイクロ電子部品のうちから選択されたマイクロ電子部品に順次到達するようなタイミングで,少なくとも1つのレーザ・ビーム・パルス列を生成することを含む,請求項7に記載の方法。
- 少なくとも1つの該レーザ・ビーム・パルス列は,各々が,該多数のマイクロ電子部品のうちから選択された電気的に絶縁されたマイクロ電子部品群に順次到達する複数のパルス列を含む,請求項8に記載の方法。
- 該レーザ光ビームは,空間的に単一のマイクロ電子部品に相当するスポットを形成するように集束される,前記請求項のいずれかに記載の方法。
- 該単一のマイクロ電子部品は,ディスプレイ画素の回路を含む,請求項10に記載の方法。
- 該電子応答は,単一のマイクロ電子部品から放出される電流を含む,前記請求項のいずれかに記載の方法。
- 該電子応答は,単一のマイクロ電子部品に関連する電圧を含む,前記請求項のいずれかに記載の方法。
- 該制御信号は,該多数のマイクロ電子部品に対して同時に印加される,前記請求項のいずれかに記載の方法。
- 多数のマイクロ電子部品の該電子応答は,同時に測定される,前記請求項のいずれかに記載の方法。
- 少なくとも1つのマイクロ電子部品について測定された電子応答を基準応答と比較し,これにより少なくとも1つの該マイクロ電子部品に欠陥があるか否かを判定することをさらに含む,前記請求項のいずれかに記載の方法。
- 少なくとも1つの該光ビームは,対応する複数の光源により供給された複数の光ビームを含む,前記請求項のいずれかに記載の方法。
- 該基板は,電極製造段階前のフラット・パネル・ディスプレイのトランジスタ・アレイを含む,前記請求項のいずれかに記載の方法。
- 該基板は,最終生産段階前のフラット・パネル・ディスプレイのトランジスタ・アレイを含む,前記請求項のいずれかに記載の方法。
- 基板上のマイクロ電子部品を検査する装置において,
フラット・パネル・ディスプレイ基板上に配設された複数の薄膜トランジスタに対して一度に1つのトランジスタずつ光ビームを走査し,該複数のトランジスタにおいて一度に1つのトランジスタずつ光導電応答を誘導させるように動作するスキャナと,
前記スキャナと同期して,トランジスタの該光導電応答によって誘導された出力を測定するとともに,該複数のトランジスタのうち一度に1つのトランジスタずつについて,該光ビームにより誘導された光導電応答を表す光導電応答出力値を生成する電流検出回路と,
該電子応答出力値を解析し,これにより前記各トランジスタの特性を明らかにする診断装置と,
を備える装置。 - 該ディスプレイ・パネルにおける電流の漏れを周期的に回避するために,前記スキャナと同期して,選択されたトランジスタに電気信号を供給する少なくとも1つの信号発生装置をさらに備える,請求項20に記載の装置。
- 少なくとも1つの前記信号発生装置は,データ信号に対する複数のトランジスタの応答を無効化するために,ゲート・ラインを介して該複数のトランジスタに印加される第1電気信号を生成する第1信号発生装置を含む,請求項21に記載の装置。
- 該第1電気信号は電圧信号を含む,請求項22に記載の装置。
- 少なくとも1つの前記信号発生装置は,該第1電気信号と同期して,データ・ラインを介して該複数のトランジスタに印加される第2電気信号を生成する第2信号発生装置を含み,さらなる励起が起こらない場合に,該第2電気信号の印加によって,電流が該複数のトランジスタを正常に流れなくなるようになる,請求項22に記載の装置。
- 該第2電気信号は電圧信号を含む,請求項24に記載の装置。
- 該フラット・パネル・ディスプレイ基板は,少なくとも1つの短絡バーを含み,該装置が,光導電効果によって誘導される電流の測定中における電流の漏れを防止するために,少なくとも1つの短絡バーにバイアスをかけるバイアス部をさらに備える,請求項20に記載の装置。
- 前記バイアス部は第1および第2信号発生装置を備える,請求項26に記載の装置。
- 該少なくとも1つの短絡バーはセグメント化され,これにより該トランジスタのサブセットがアレイ内に構成され,検出された電流が,該トランジスタの1つのサブセットのみを流れる電流を表すものである,請求項26に記載の装置。
- 前記電流検出回路は,該トランジスタ上を摺動する摺動接点をさらに備え,前記摺動接点に接触するトランジスタ上においてのみ電流を検出するように構成された,請求項26に記載の装置。
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Cited By (2)
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---|---|---|---|---|
KR20200054869A (ko) * | 2018-11-12 | 2020-05-20 | 신에츠 엔지니어링 가부시키가이샤 | 검사 장치 및 검사 방법 |
KR20230057205A (ko) * | 2021-10-21 | 2023-04-28 | 큐알티 주식회사 | 전력 반도체 소자의 검사 방법, 및 이를 위한 검사 시스템 |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8258800B2 (en) | 2008-02-11 | 2012-09-04 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Methods for measurement and characterization of interferometric modulators |
WO2009134501A2 (en) | 2008-02-11 | 2009-11-05 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Methods for measurement and characterization of interferometric modulators |
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KR20100121498A (ko) | 2008-02-11 | 2010-11-17 | 퀄컴 엠이엠스 테크놀로지스, 인크. | 디스플레이 구동 체계가 통합된 표시소자의 감지, 측정 혹은 평가 방법 및 장치, 그리고 이를 이용한 시스템 및 용도 |
JP2010021437A (ja) * | 2008-07-11 | 2010-01-28 | Ulvac Japan Ltd | 太陽電池の製造装置およびその製造方法 |
CN102456592A (zh) * | 2010-10-15 | 2012-05-16 | 北京京东方光电科技有限公司 | 测试阵列基板上薄膜晶体管特性的方法和装置 |
JP6166032B2 (ja) * | 2012-11-06 | 2017-07-19 | 浜松ホトニクス株式会社 | 半導体デバイス検査装置及び半導体デバイス検査方法 |
TWI472782B (zh) * | 2013-04-10 | 2015-02-11 | Inotera Memories Inc | 半導體裝置之檢測方法以及半導體裝置之檢測系統 |
US9599666B2 (en) | 2014-10-28 | 2017-03-21 | Qualcomm Incorporated | Minimum voltage and maximum performance mapping using laser-assisted techniques |
CN105093574B (zh) * | 2015-06-05 | 2018-06-08 | 京东方科技集团股份有限公司 | 显示面板检测台 |
US9748735B2 (en) * | 2015-10-08 | 2017-08-29 | The University Of North Carolina At Charlotte | Light-effect transistor (LET) |
CN108573884B (zh) * | 2017-03-07 | 2020-06-09 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 测试结构及其形成方法、测试方法 |
CN110118725B (zh) * | 2018-02-07 | 2021-08-31 | 清华大学 | 光电流扫描系统 |
CN109003567A (zh) | 2018-07-24 | 2018-12-14 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | Tft阵列基板测试装置及测试方法 |
CN108957278B (zh) * | 2018-08-10 | 2024-03-29 | 中国矿业大学 | 基于门极电荷Qg的大功率IGBT故障诊断及保护方法和装置 |
CN109742037B (zh) * | 2019-01-03 | 2021-01-26 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种测试基板及其制作方法、测试方法 |
CN115132600A (zh) * | 2021-03-26 | 2022-09-30 | 群创光电股份有限公司 | 电子装置的制作方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07301648A (ja) * | 1994-05-06 | 1995-11-14 | Mitsubishi Electric Corp | 基板検査装置および基板検査方法 |
JP2001284425A (ja) * | 2000-04-03 | 2001-10-12 | Mitsubishi Electric Corp | 故障解析方法及び故障解析装置 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5982190A (en) * | 1998-02-04 | 1999-11-09 | Toro-Lira; Guillermo L. | Method to determine pixel condition on flat panel displays using an electron beam |
US6384610B1 (en) * | 1999-02-08 | 2002-05-07 | The Commonwealth Of Australia | Micro-electronic bond degradation sensor and method of manufacture |
FR2801680B3 (fr) * | 1999-11-26 | 2002-02-15 | Christophe Vaucher | Methode de test electrique de la conformite de l'interconnexion de conducteurs electriques disposes sur un substrat, sans contact et sans outillage |
US6545500B1 (en) * | 1999-12-08 | 2003-04-08 | John E. Field | Use of localized temperature change in determining the location and character of defects in flat-panel displays |
JP3874996B2 (ja) * | 2000-05-30 | 2007-01-31 | ファブソリューション株式会社 | デバイス検査方法および装置 |
KR20040103918A (ko) * | 2002-01-23 | 2004-12-09 | 마리나 시스템 코포레이션 | 결함 검출 및 분석을 위한 적외선 서모그래피 |
JP4733959B2 (ja) * | 2003-12-24 | 2011-07-27 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | プローブ接触方法及び荷電粒子線装置 |
-
2006
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Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07301648A (ja) * | 1994-05-06 | 1995-11-14 | Mitsubishi Electric Corp | 基板検査装置および基板検査方法 |
JP2001284425A (ja) * | 2000-04-03 | 2001-10-12 | Mitsubishi Electric Corp | 故障解析方法及び故障解析装置 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20200054869A (ko) * | 2018-11-12 | 2020-05-20 | 신에츠 엔지니어링 가부시키가이샤 | 검사 장치 및 검사 방법 |
KR102463163B1 (ko) | 2018-11-12 | 2022-11-03 | 신에츠 엔지니어링 가부시키가이샤 | 검사 장치 및 검사 방법 |
KR20230057205A (ko) * | 2021-10-21 | 2023-04-28 | 큐알티 주식회사 | 전력 반도체 소자의 검사 방법, 및 이를 위한 검사 시스템 |
KR102586199B1 (ko) | 2021-10-21 | 2023-10-06 | 큐알티 주식회사 | 전력 반도체 소자의 검사 방법, 및 이를 위한 검사 시스템 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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