CN114486951B - 一种x线探测器用tft面板测试系统及方法 - Google Patents
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Abstract
本申请涉及一种X线探测器用TFT面板测试系统及方法，涉及TFT面板测试技术领域，其包括，面板供电模块，用于为待检测TFT面板提供检测电信号；控制模块，电连接于面板供电模块，向面板供电模块输出供电信号，面板供电模块接收到供电信号后，响应出检测电信号，待检测TFT面板接收并响应检测电信号，向控制模块发出图像信号；X线发生模块，设置在待检测TFT面板上方，控制连接于控制模块，向待检测TFT面板发出X射线；显示模块，电连接于控制模块，接收并响应图像信号，用于读取并显示检测图像。本申请具有便于对X射线探测器用途的TFT面板进行完整测试的效果。
Description
技术领域
本申请涉及TFT面板测试技术领域，尤其是涉及一种X线探测器用TFT面板测试系统及方法。
背景技术
目前，普通的TFT（Thin Film Transistor即薄膜场效应晶体管）面板测试通常由TFT面板生产厂家使用专业的测试设备来进行测试，但是对于X射线传感器上所用的TFT，目前常规的测试方法是将X射线传感器所用的TFT面板覆盖闪烁晶体，如耦合GOS或者CsI等晶体材料，然后进行绑定IC，通过连接电路读出信号，来判断带有闪烁晶体的TFT是否存在缺陷。
针对上述中的相关技术，发明人认为，现有测试设备无法直接测试出X射线相关TFT经过后端处理如耦合或者生长闪烁晶体的性能。即使能够在完成品取得较为精确地图像，也需要消耗大量的人力物力，造成资源浪费。这种现象在业界已经普遍存在，严重影响了X射线探测器用途的TFT面板再次深加工的生产进度，减缓了行业发展的步伐。
发明内容
为了便于对X射线探测器用途的TFT面板进行完整的测试，本申请提供一种X线探测器用TFT面板测试系统及方法。
第一方面，本申请提供的一种X线探测器用TFT面板测试系统采用如下的技术方案：
一种X线探测器用TFT面板测试系统，包括，
面板供电模块，用于为待检测TFT面板提供检测电信号；
控制模块，电连接于所述面板供电模块，向所述面板供电模块输出供电信号，所述面板供电模块接收到所述供电信号后，响应出所述检测电信号，待检测TFT面板接收并响应所述检测电信号，向所述控制模块发出图像信号；
X线发生模块，设置在待检测TFT面板上方，控制连接于所述控制模块，向待检测TFT面板发出X射线；
显示模块，电连接于所述控制模块，接收并响应所述图像信号，用于读取并显示检测图像。
通过采用上述技术方案，为达到无损测试X线探测器用TFT面板以及测试覆盖闪烁晶体后TFT面板的图像，现有的方式无法同时兼顾，且测试图像不准确，测试所需的步骤复杂，且非常耗人力物力。发明人在使用测试设备对TFT面板及覆盖闪烁晶体TFT面板进行测试时发现：由于TFT面板测试需要在一个不透光的环境下进行，且闪烁晶体在X射线的情况下能够发光。所以根据这个思路，在测试待检测TFT面板的时候给通过X线发生模块给到待检测TFT面板X射线，并通过面板供电模块给到待检测TFT面板检测电信号，最后通过控制模块读取待检测TFT面板的图像信号。这样就可以测试到TFT面板的完整性同时也能够测试到TFT面板所覆闪烁晶体的完整性，从而极为便捷的对X射线探测器用途的TFT面板进行完整的测试。
可选的，所述面板供电模块配置为点灯机，所述点灯机固定设置在待检测TFT面板的上方，且电连接于所述控制模块，接收并响应所述供电信号；
所述点灯机上设置有与待检测TFT面板相适配的输出管脚，在对待检测TFT面板进行供电时，所述输出管脚与待检测TFT面板上的输入管脚相抵接。
通过采用上述技术方案，点灯机通过输出管脚对待检测TFT面板进行供电并输出检测电信号。
可选的，还包括用于移动待检测TFT面板的移件模块，所述移件模块位于所述面板供电模块下方，包括滑动组件与抬升组件，所述抬升组件固定设置在所述滑动组件上，所述抬升组件上设置有用于放置待测TFT面板的工作台，所述工作台在所述滑动组件以及所述抬升组件的作用进行平移与升降。
通过采用上述技术方案，移件模块可对待检测TFT进行平移和升降，需要在对待检测TFT面板进行检测时，只需将TFT面板放置在工作台上，并通过滑动组件将待检测TFT面板移动至面板供电模块下方，再通过抬升组件将待检测TFT面板抬升至面板供电模块处，使面板供电模块可对待检测TFT进行供电，从而提高测试过程的便捷性。
可选的，所述工作台上设置有用于对待检测TFT面板进行定位的定位件。
通过采用上述技术方案，定位件便于在将待检测TFT面板放置在工作台上时对面板进行精准定位，从而有利于保证面板供电模块进行精准供电。
可选的，所述工作台上设置有用于对待检测TFT面板进行固定的吸附件。
通过采用上述技术方案，吸附件有利于提高待检测TFT面板在移件模块上移动时的稳定性，从而有利于保证系统的稳定运行。
可选的，还包括图像检测模块，所述图像检测模块配置为视觉相机，所述视觉相机设置在待检测TFT面板上方且电连接于所述控制模块，用于采集待检测TFT面板的编号信息。
通过采用上述技术方案，视觉相机在检测之前对带检测TFT面板的编号信息进行自动提取，便于对TFT面板的检测信息进行精准标记，从而使得检测系统可进行多面板的连续化检测。
可选的，还包括自动曝光模块，所述自动曝光模块设置在靠近所述X线发生模块位置处且电连接于所述控制模块，用于感应所述X线发生模块发出的X射线，并在感应到X射线时输出读取指令信号，所述控制模块接收并响应所述读取信号，对所述图像信号进行读取。
通过采用上述技术方案，由于闪烁晶体的特性是遇到射线会进行微观分子级别的跃迁，在跃迁的过程大约只会持续几微秒，约等于射线发生的时长，并伴随发出微弱的光，这个微弱的光只有几勒克斯，故采用自动曝光模块有利于及时对待测试TFT面板的图像信号进行自动获取，进而提高测试的自动化程度与准确性。
可选的，所述X线发生模块包括升降组件与X射线球管，所述X线发生模块提高所述升降组件滑动设置在待检测TFT面板上方。
通过采用上述技术方案，升降组件可对X射线球管位置进行调节，从而提高测试系统的适用性。
第二方面，本申请提供一种X线探测器用TFT面板测试方法，采用如下技术方案：
一种X线探测器用TFT面板测试方法，包括，
于隔离射线房间建立如上述技术中所述的一种X线探测器用TFT面板测试系统；
将待检测TFT面板置于所述工作台上，并启动所述吸附件自动吸附待检测TFT面板；
所述工作台在所述滑动组件的作用下前进至所述图像检测模块下方并读取待检测TFT面板的编号信息；
所述滑动组件移动待检测TFT面板至面板供电系统下方，并在所述抬升组件的作用下抬升所述工作台，使所述输出管脚与待检测TFT面板的输入管脚相抵触并对待检测TFT面板进行供电；
控制所述X线发生模块发出X射线，并收集待检测TFT面板输出的图像信号，判断待检测TFT面板是否完整。
通过采用上述技术方案，过去的闪烁晶体测试只能在TFT面板生产流程结束才能进行测试，而本申请所提出的方法却可以在生产的过程中、闪烁晶体覆于TFT面板表面完成之后就可以进行测试，对于生产所发生的问题以及生产工艺的存在的问题及时调整提供了有力数据参考，极大地减少测试所需步骤流程，极大减少了人力成本，提高了生产效率。
可选的，所述控制所述X线发生模块发出X射线，并收集待检测TFT面板输出的图像信号，判断待检测TFT面板是否完整，包括，
收集待检测TFT面板输出的图像信号，判断待检测TFT面板是否完整；
控制所述X线发生模块发出X射线；
收集待检测TFT面板输出的图像信号，判断待检测TFT面板上覆盖的闪烁晶体是否完整。
通过采用上述技术方案，本申请不仅可以直接对待检测TFT面板的面板完整度进行测试，在测试完面板自身完整度后，还可通过X线发生模块随即对待检测TFT面板上覆盖的闪烁晶体的完整度进行测试，进一步提高了本申请检测方法的适用性。
综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：
1.发明人在使用测试设备对TFT面板及覆盖闪烁晶体TFT面板进行测试时发现：由于TFT面板测试需要在一个不透光的环境下进行，且闪烁晶体在X射线的情况下能够发光。所以根据这个思路，在测试TFT面板的时候给通过X线发生模块给到待检测TFT面板X射线，并通过面板供电模块给到待检测TFT面板检测电信号，最后通过控制模块读取待检测TFT面板的图像信号。这样就可以测试到TFT面板的完整性同时也能够测试到TFT面板所覆闪烁晶体的完整性，从而极为便捷的对X射线探测器用途的TFT面板进行完整的测试；
2.由于闪烁晶体的特性是遇到射线会进行微观分子级别的跃迁，在跃迁的过程大约只会持续几微秒，约等于射线发生的时长，并伴随发出微弱的光，这个微弱的光只有几勒克斯，故采用自动曝光模块有利于及时对待测试TFT面板的图像信号进行自动获取，进而提高测试的自动化程度与准确性；
3.过去的闪烁晶体测试只能在TFT面板生产流程结束才能进行测试，而本申请所提出的方法却可以在生产的过程中、闪烁晶体覆于TFT面板表面完成之后就可以进行测试，对于生产所发生的问题以及生产工艺的存在的问题及时调整提供了有力数据参考，极大地减少测试所需步骤流程，极大减少了人力成本，提高了生产效率。
附图说明
图1是本申请一种X线探测器用TFT面板测试系统实施例的流程框图。
图2是本申请一种X线探测器用TFT面板测试系统实施例的流程示意图。
图3是本申请一种X线探测器用TFT面板测试方法实施例的流程框图。
附图标记说明：1、图像检测模块；2、面板供电模块；3、X线发生模块；4、移件模块；41、滑动组件；42、抬升组件；5、控制模块；6、显示模块。
具体实施方式
为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
以下结合附图1-3对本申请作进一步详细说明。
本申请实施例公开一种X线探测器用TFT面板测试系统。参照图1和图2，一种X线探测器用TFT面板测试系统，包括设置在同一检测工作面上的图像检测模块1、面板供电模块2、X线发生模块3、移件模块4、控制模块5以及显示模块6。在本实施例中，先将待检测TFT面板置于移件模块4上，移件模块4移动待检测TFT面板经过图像检测模块1进行编号信息识别后，移至面板供电模块2下方，面板供电模块2对待检测TFT面板进行供电以及发生检测电信号，X线发生模块3对待检测TFT面板发射X射线，控制模块5控制图像检测模块1、面板供电模块2以及X线发生模块3的同时，接收并向显示模块6输出待检测TFT面板收到检测电信号后发出的图像信息，显示模块6将接收到的图像信息进行显示。
具体的，移件模块4位于面板供电模块2下方，包括滑动组件41与抬升组件42，滑动组件41在本实施例中可选用为水平设置的丝杆模组且通过一驱动器控制连接于控制模块5，抬升组件42竖直设置在丝杆模组的滑块上。在其他一些实施例中，滑动组件41还可设置为传送带，传送带上水平设置有滑动平台，抬升组件42可竖直设置在该滑动平台上。抬升组件42配置为电动推杆且通过一驱动器控制连接于控制模块5，电动推杆的固定端通过螺钉固定设置在丝杆模组的滑块上，电动推杆的伸缩端顶端固定设置有工作台，工作台呈水平设置且工作台上设置有用于对待检测TFT面板进行定位的定位件以及对待检测TFT面板进行固定的吸附件。定位件设置为形状与待检测TFT面板形状相同的方形定位框，当待检测TFT面板放置在方向定位框内并随抬升组件42移至面板通电模块下方时，抬升组件42驱动工作台上升，待检测TFT面板刚好与面板通电模块相抵接。吸附件包括多个均匀设置在工作台上的吸附盘，在将待检测TFT面板放置在工作台上时，吸附件自动对待检测TFT面板进行自动吸附，从而提高移件模块4在移动过程中，工作台上待检测TFT面板的稳定性。
面板供电模块2配置为点灯机，点灯机通过支撑件固定设置在移动模块的上方。点灯机控制连接于控制模块5，接收并响应控制模块5发出的供电信号，并发出一检测电信号。点灯机朝向移件模块4的一面设置有输出管脚。在对待检测TFT面板进行检测时，输出管脚与待检测TFT面板上的输入管脚相抵接，上述检测电信号通过该输出管脚传递至待检测TFT面板上。
图像检测模块1配置视觉相机，在本实施例中，视觉相机配置为CCD相机，视觉相机通过一支撑件固定设置在检测工作面上靠近滑动模块位置处，且图像检测模块1位于面板供电模块2的上游位置处。视觉相机控制连接于控制模块5，且视觉相机的镜头正对下方的滑动组件41设置，在工作台在滑动组件41作用下移至视觉相机下方时，工业相机可对工作台上待检测TFT面板的编号信息进行拍摄并提取，提取到的编号信息可通过控制模块5传输到计算机终端设备进行存储。
X线发生模块3包括X射线球管与用于对X射线球管进行升降控制的升降组件，升降组件选用为电动伸缩杆，且电动伸缩杆垂直设置在检测工作面上，电动伸缩杆靠近滑动组件41设置且位于图像检测模块1的下游位置处。X射线球管控制连接于控制模块5，在本实施例中选用为ROT350型射线球管，并通过一支撑架固定设置在电动伸缩杆的伸缩端，并在开始检测前调整至一固定高度，并在控制模块5的控制下相下方的待检测TFT面板发射X射线。
自动曝光模块由设置在靠近X先发生模块位置处且控制连接于控制模块5，在本实施例中，自动曝光模块由放置在X射线球管与待检测TFT面板之间的AEC探测器构成，外形为一长方形薄板，在X射线到达待检测TFT面板之前，必须经过自动曝光模块。在自动曝光模块感应到X射线时输出一读取指令信号，控制模块5接收并响应读取指令信号，对待检测TFT面板产生的图像信号进行读取并发送至显示模块6。显示模块6在本实施例中选用为电脑终端，并与控制模块5电连接，用于将控制模块5所传递的图像信号进行可视化。
控制模块5在本实施例中选用为选用为MK60DN512VLL10型号的K60单片机配合扩展板使用。控制模块5电连接于移件模块4、图像检测模块1、面板供电模块2、X线发生模块3以及显示模块6。K60单片机内置128K内置存储，其预先存储有用于自动运行测试系统的汇编程序。
本申请实施例一种X线探测器用TFT面板测试系统的实施原理为：在对覆有闪烁晶体的TFT面板进行检测时，将待检测TFT面板放置于工作台上，工作台对待检测TFT面板进行自动吸附并在滑动组件41的作用下移动，移动至图像检测模块1下方时，视觉相机对待检测TFT面板的编号信息进行自动读取，读取完成后，滑动组件41将待检测TFT面板传送至面板供电模块2下方，抬升组件42抬升工作台上的待检测TFT面板，使待检测TFT面上的输入管脚与点灯机的输出管脚相抵触，原则上输出管脚能读取到待检测TFT面板产生的完整图像信号即可。此时，控制模块5控制面板供电模块2对待检测TFT面板进行供电，待检测TFT面板接收到面板供电模块2发出的检测电信号后，响应出图像信号，控制模块5通过点灯机输出管脚对图像信号进行读取，并传输至显示模块6进行可视化，判断待检测TFT面板本体是否完整。之后控制模块5控制X线发生模块3向待检测TFT面板发出X射线，并在自动曝光模块的辅助下对待检测TFT面板此时的图像信号进行读取，在显示模块6可视化后判断待检测TFT面板上的闪烁晶体覆盖是否完整。
本申请实施例还公开一种X线探测器用TFT面板测试方法，参照图3，一种X线探测器用TFT面板测试方法包括以下步骤：
S1，于隔离射线房间建立上述实施例中的一种X线探测器用TFT面板测试系统，在本实施例中，X射线球管的预设高度调节至离下方的待检测TFT面板的距离为1.5m。
S2，将待检测TFT面板置于工作台上，并启动测试系统，吸附件自动吸附待检测TFT面板。
S3，工作台在滑动组件的作用下前进至图像检测模块下方并读取待检测TFT面板的编号信息，若无读取数据，则表示工作台上无TFT面板，测试系统终止，滑动组件驱动工作台返回原位置。
S4，图像检测模块读取数据正常时，滑动组件移动待检测TFT面板至面板供电系统下方，并在抬升组件的作用下抬升工作台，使输出管脚与待检测TFT面板的输入管脚相抵触并对待检测TFT面板进行供电。
S5，控制X线发生模块发出X射线，并收集待检测TFT面板输出的图像信号，判断待检测TFT面板是否完整。具体的，步骤S5包括三个子步骤：
S51，点灯机对待检测TFT面板输出检测电信号，控制模块收集待检测TFT面板输出的图像信号，传递至显示模块，判断待检测TFT面板本体是否完整；若不完整，则测试系统终止，抬升组件复位，滑动组件复位，将工作台上的TFT面板作本体不良品处理。
S52，若待检测TFT面板本体完整，控制模块控制X线发生模块对待检测TFT面板发出X射线。
S52，控制模块在自动曝光模块辅助下收集此时待检测TFT面板输出的图像信号，传递至显示模块并判断待检测TFT面板上覆盖的闪烁晶体是否完整。若完整，抬升组件复位，滑动组件继续前进，对合格品进行后续处理。若不完整，抬升组件复位，滑动组件复位，将工作台上的TFT面板作覆盖闪烁晶体不良品处理。
以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。
Claims (4)
1.一种X线探测器用TFT面板测试系统，其特征在于：包括，
面板供电模块(2)，用于为待检测TFT面板提供检测电信号；
控制模块(5)，电连接于所述面板供电模块(2)，向所述面板供电模块(2)输出供电信号，所述面板供电模块(2)接收到所述供电信号后，响应出所述检测电信号，待检测TFT面板接收并响应所述检测电信号，向所述控制模块(5)发出图像信号；
X线发生模块(3)，设置在待检测TFT面板上方，控制连接于所述控制模块(5)，向待检测TFT面板发出X射线；
还包括自动曝光模块，所述自动曝光模块设置在靠近所述X线发生模块(3)位置处且电连接于所述控制模块(5)，用于感应所述X线发生模块(3)发出的X射线，并在感应到X射线时输出读取指令信号，所述控制模块(5)接收并响应所述读取指令信号，在自动曝光模块辅助下收集此时待检测TFT面板输出的图像信号；
显示模块(6)，电连接于所述控制模块(5)，接收并响应所述图像信号，用于读取并显示检测图像；
所述面板供电模块(2)配置为点灯机，所述点灯机固定设置在待检测TFT面板的上方，且电连接于所述控制模块(5)，接收并响应所述供电信号；
所述点灯机上设置有与待检测TFT面板相适配的输出管脚，在对待检测TFT面板进行供电时，所述输出管脚与待检测TFT面板上的输入管脚相抵接；
还包括用于移动待检测TFT面板的移件模块(4)，所述移件模块(4)位于所述面板供电模块(2)下方，包括滑动组件(41)与抬升组件(42)，所述抬升组件(42)固定设置在所述滑动组件(41)上，所述抬升组件(42)上设置有用于放置待测TFT面板的工作台，所述工作台在所述滑动组件(41)以及所述抬升组件(42)的作用进行平移与升降；
所述工作台上设置有用于对待检测TFT面板进行固定的吸附件；
还包括图像检测模块(1)，所述图像检测模块(1)配置为视觉相机，所述视觉相机设置在待检测TFT面板上方且电连接于所述控制模块(5)，用于采集待检测TFT面板的编号信息。
2.根据权利要求1所述的一种X线探测器用TFT面板测试系统，其特征在于：所述工作台上设置有用于对待检测TFT面板进行定位的定位件。
3.根据权利要求1所述的一种X线探测器用TFT面板测试系统，其特征在于：所述X线发生模块(3)包括升降组件与X射线球管，所述X线发生模块(3)通过所述升降组件滑动设置在待检测TFT面板上方。
4.一种X线探测器用TFT面板测试方法，其特征在于：包括，
于隔离射线房间建立如权利要求1-3任意一项所述的一种X线探测器用TFT面板测试系统；
将待检测TFT面板置于所述工作台上并启动，所述吸附件自动吸附待检测TFT面板；
所述工作台在所述滑动组件(41)的作用下前进至所述图像检测模块(1)下方并读取待检测TFT面板的编号信息；
所述滑动组件(41)移动待检测TFT面板至面板供电系统下方，并在所述抬升组件(42)的作用下抬升所述工作台，使所述输出管脚与待检测TFT面板的输入管脚相抵触并对待检测TFT面板进行供电；
控制所述X线发生模块(3)发出X射线，并收集待检测TFT面板输出的图像信号，判断待检测TFT面板是否完整；
所述控制所述X线发生模块(3)发出X射线，并收集待检测TFT面板输出的图像信号，判断待检测TFT面板是否完整，包括：
点灯机对待检测TFT面板输出检测电信号，控制模块(5)收集待检测TFT面板输出的图像信号，传递至显示模块(6)，判断待检测TFT面板本体是否完整，若不完整，则测试系统终止，抬升组件(42)复位，滑动组件(41)复位，将工作台上的TFT面板作本体不良品处理；
若待检测TFT面板本体完整，控制模块(5)控制X线发生模块(3)对待检测TFT面板发出X射线；
控制模块(5)在自动曝光模块辅助下收集此时待检测TFT面板输出的图像信号，传递至显示模块(6)并判断待检测TFT面板上覆盖的闪烁晶体是否完整，若完整，抬升组件(42)复位，滑动组件(41)继续前进，对合格品进行后续处理，若不完整，抬升组件(42)复位，滑动组件(41)复位，将工作台上的TFT面板作覆盖闪烁晶体不良品处理。
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| CN202210122984.5A Active CN114486951B (zh) | 2022-02-09 | 2022-02-09 | 一种x线探测器用tft面板测试系统及方法 |
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Citations (5)
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| JP2007232979A (ja) * | 2006-02-28 | 2007-09-13 | Shimadzu Corp | Ｔｆｔアレイの検査方法及びｔｆｔアレイ検査装置 |
| CN101495880A (zh) * | 2006-07-17 | 2009-07-29 | 斯卡尼迈齐克斯公司 | 具有检测电路的薄膜晶体管阵列 |
| JP2011069746A (ja) * | 2009-09-26 | 2011-04-07 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | シンチレータパネルの検査装置及びシンチレータパネルの検査方法 |
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| CN105140151A (zh) * | 2015-09-24 | 2015-12-09 | 上海奕瑞光电子科技有限公司 | 一种修复tft面板阵列t形缺陷的测试结构及方法 |
-
2022
- 2022-02-09 CN CN202210122984.5A patent/CN114486951B/zh active Active
Patent Citations (5)
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