CN212821222U

CN212821222U - 一种用于ic缺陷检查的视觉检查仪

Info

Publication number: CN212821222U
Application number: CN202021485295.3U
Authority: CN
Inventors: 曲平原; 魏洪涛
Original assignee: Lingsong Intelligent Technology Suzhou Co ltd
Current assignee: Lingsong Intelligent Technology Suzhou Co ltd
Priority date: 2020-07-24
Filing date: 2020-07-24
Publication date: 2021-03-30
Anticipated expiration: 2030-07-24

Abstract

本实用新型公开了一种用于IC缺陷检查的视觉检查仪，包括机架以及设置在机架上的检查单元、安全光幕、报警灯、鼠标键盘、显示器和主机，所述主机与显示器、鼠标键盘、报警灯、安全光幕和检查单元连接，所述检查单元包括安装在机架工作台上的检查工位、OK料位、NG料位和X轴移动机构，所述NG料位和OK料位并排设置在检查工位的两侧，所述检查工位位于X轴移动机构的一侧，所述X轴移动机构上设置有与主机连接的CCD相机和取放吸嘴。本实用新型设计新颖、使用方便，操作简单；不仅能够通过设置的CCD相机检查IC芯片上的缺陷，而且能够通过设置的取放吸嘴对检查后的IC芯片进行分类。

Description

一种用于IC缺陷检查的视觉检查仪

技术领域

本实用新型涉及IC缺陷检查领域，尤其涉及一种IC缺陷检查机。

背景技术

随着机器视觉检测技术的发展，许多领域都开始涉及机器视觉。其中，在丝网印刷检测技术领域，AOI的应用也逐渐展开。AOI（Automated Optical Inspection缩写）的中文全称是自动光学检测，是基于光学原理来对生产中遇到的常见缺陷进行检测的设备。

IC 芯片缺陷检查机用于检测IC芯片表面的脏污、破损以及芯片管脚的缺陷、脏污；一般由人工上下料；检查机分三个工位：检查工位，OK料位，NG料位；芯片在检查工位检查完成后，取料吸嘴将芯片取放到OK料位或NG料位；初始检查时，OK料位和NG料位均放置空料盘；检测机中的CCD相机作用一是引导定位，二是检查；取料吸嘴作用是将检查完成的芯片由检查工位放置到OK料位或NG料位的料盘上。OK料盘或NG料盘料满后由人工取出。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术存在的以上问题，提供一种用于IC缺陷检查的视觉检查仪，本实用新型设计新颖、使用方便，操作简单；不仅能够通过设置的CCD相机检查IC芯片上的缺陷，而且能够通过设置的取放吸嘴对检查后的IC芯片进行分类。

为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本实用新型通过以下技术方案实现：

一种用于IC缺陷检查的视觉检查仪，包括机架以及设置在机架上的检查单元、安全光幕、报警灯、鼠标键盘、显示器和主机，所述主机与显示器、鼠标键盘、报警灯、安全光幕和检查单元连接，所述检查单元包括安装在机架工作台上的检查工位、OK料位、NG料位和X轴移动机构，所述NG料位和OK料位并排设置在检查工位的两侧，所述检查工位位于X轴移动机构的一侧，所述X轴移动机构上设置有与主机连接的CCD相机和取放吸嘴。采用此技术方案，安全光幕由投光器和受光器组成，投光器发射出调制的红外光，由受光器接收，形成了一个保护网，当有物体进入保护网，从中有光线被物体挡住，通过内部控制线路，受光器电路马上作出反应，即在输出部分输出一个信号用于控制检查单元的紧急刹车；检查工位用于放置待检查的IC芯片；OK料位用于放置检查OK的芯片；NG料位用于放置检查有缺陷NG的芯片；X轴移动机构用于驱动CCD相机和取放吸嘴在检查工位、OK料位和NG料位上移动；CCD相机用于拍摄检查工位上的IC芯片，并将拍摄到的IC芯片发送到主机，由主机通过显示器进行放大显示，以便于检查IC芯片上的缺陷；取放吸嘴根据产品检查的结果用于将检查工位上的IC芯片取放到对应的OK料位或NG料位。

作为优选，所述检查工位或OK料位或NG料位包括设置在工作台上的Y轴底座以及设置在Y轴底座上的Y轴电机、Y轴丝杆和Y轴滑块，所述Y轴电机设置于Y轴底座的一侧，并通过联轴器与Y轴丝杆连接，所述Y轴丝杆与Y轴滑块底部设置的丝杆螺母连接，所述Y轴滑块的顶部设置有料盘，底部设置有滑槽，所述滑槽与Y轴底座上设置的滑轨连接。采用此技术方案，由Y轴电机通过Y轴丝杆驱动Y轴滑块在Y轴底座移动，Y轴滑块在移动时带动顶部的料盘一起移动；其中，Y轴电机通过伺服器与主机连接。

作为优选，所述X轴移动机构包括X轴底座以及设置在X轴底座上的X轴电机、X轴丝杆和X轴滑块，所述X轴电机设置于X轴底座的一侧，并通过联轴器与X轴丝杆连接，所述X轴丝杆与X轴滑块底部设置的丝杆螺母连接，所述X轴滑块的顶部设置有安装CCD相机和取放吸嘴的支撑板，底部设置有滑槽，所述滑槽与X轴底座上设置的滑轨连接，所述X轴底座的两侧通过支撑架与工作台连接。采用此技术方案，由X轴电机通过X轴丝杆驱动X轴滑块在X轴底座移动，X轴滑块在移动时带动安装在上面的支撑板以及支撑板上安装的CCD相机和取放吸嘴一起移动。其中，X轴电机通过伺服器与主机连接。

作为优选，所述取放吸嘴包括与支撑板连接的Z轴电动滑台以及设置在Z轴电动滑台上的固定块，所述固定块的一侧设置有气嘴，底部设置有气杆，所述气杆的底部设置有吸盘。采用此技术方案，气嘴外接进气管；Z轴电动滑台用于驱动吸盘上下移动；固定块用于气杆的安装固定。

本实用新型的有益效果是：设计新颖、使用方便，操作简单；不仅能够通过设置的CCD相机检查IC芯片上的缺陷，而且能够通过设置的取放吸嘴对检查后的IC芯片进行分类。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明。本实用新型的具体实施方式由以下实施例及其附图详细给出。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本申请的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为本实用新型涉及的结构示意图；

图2为本实用新型涉及的检查单元结构示意图；

图3为本实用新型涉及的检查工位结构示意图；

图4为本实用新型涉及的X轴移动机构结构示意图；

图5为本实用新型涉及的取放吸嘴结构示意图。

图中标号说明：机架1，检查单元2，安全光幕3，报警灯4，鼠标键盘5，显示器6，主机7，检查工位8，OK料位9，NG料位10，X轴移动机构11，CCD相机12，取放吸嘴13，料盘14，支撑板15，支撑架16，Z轴电动滑台17，固定块18，气嘴19，气杆20，吸盘21，Y轴底座801，Y轴电机802，Y轴丝杆803，Y轴滑块804，轴底座111，X轴电机112，X轴丝杆113，X轴滑块114，工作台101。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步的描述：

参照图1至图5所示，一种用于IC缺陷检查的视觉检查仪，包括机架1以及设置在机架1上的检查单元2、安全光幕3、报警灯4、鼠标键盘5、显示器6和主机7，所述主机7与显示器6、鼠标键盘5、报警灯4、安全光幕3和检查单元2连接，所述检查单元2包括安装在机架1工作台101上的检查工位8、OK料位9、NG料位10和X轴移动机构11，所述NG料位10和OK料位9并排设置在检查工位8的两侧，所述检查工位8位于X轴移动机构11的一侧，所述X轴移动机构11上设置有与主机7连接的CCD相机12和取放吸嘴13。采用此技术方案，安全光幕3由投光器和受光器组成，投光器发射出调制的红外光，由受光器接收，形成了一个保护网，当有物体进入保护网，从中有光线被物体挡住，通过内部控制线路，受光器电路马上作出反应，即在输出部分输出一个信号用于控制检查单元的紧急刹车；检查工位8用于放置待检查的IC芯片；OK料位9用于放置检查OK的芯片；NG料位10用于放置检查有缺陷NG的芯片；X轴移动机构11用于驱动CCD相机12和取放吸嘴13在检查工位8、OK料位9和NG料位10上移动；CCD相机12用于拍摄检查工位8上的IC芯片，并将拍摄到的IC芯片发送到主机7，由主机7通过显示器6进行放大显示，以便于检查IC芯片上的缺陷；取放吸嘴13根据产品检查的结果用于将检查工位8上的IC芯片取放到对应的OK料位9或NG料位10。

作为优选，所述检查工位8或OK料位9或NG料位10包括设置在工作台101上的Y轴底座801以及设置在Y轴底座801上的Y轴电机802、Y轴丝杆803和Y轴滑块804，所述Y轴电机802设置于Y轴底座801的一侧，并通过联轴器与Y轴丝杆803连接，所述Y轴丝杆803与Y轴滑块804底部设置的丝杆螺母连接，所述Y轴滑块804的顶部设置有料盘14，底部设置有滑槽，所述滑槽与Y轴底座801上设置的滑轨连接。采用此技术方案，由Y轴电机802通过Y轴丝杆803驱动Y轴滑块804在Y轴底座801移动，Y轴滑块804在移动时带动顶部的料盘一起移动；其中，Y轴电机802通过伺服器与主机7连接。

作为优选，所述X轴移动机构11包括X轴底座111以及设置在X轴底座111上的X轴电机112、X轴丝杆113和X轴滑块114，所述X轴电机112设置于X轴底座111的一侧，并通过联轴器与X轴丝杆113连接，所述X轴丝杆113与X轴滑块114底部设置的丝杆螺母连接，所述X轴滑块114的顶部设置有安装CCD相机12和取放吸嘴13的支撑板15，底部设置有滑槽，所述滑槽与X轴底座111上设置的滑轨连接，所述X轴底座111的两侧通过支撑架16与工作台101连接。采用此技术方案，由X轴电机112通过X轴丝杆113驱动X轴滑块114在X轴底座111移动，X轴滑块114在移动时带动安装在上面的支撑板15以及支撑板15上安装的CCD相机12和取放吸嘴13一起移动。其中，X轴电机112通过伺服器与主机7连接。

作为优选，所述取放吸嘴13包括与支撑板15连接的Z轴电动滑台17以及设置在Z轴电动滑台17上的固定块18，所述固定块18的一侧设置有气嘴19，底部设置有气杆20，所述气杆20的底部设置有吸盘21。采用此技术方案，气嘴19外接进气管；Z轴电动滑台17用于驱动吸盘21上下移动；固定块18用于气杆20的安装固定。

具体实施例

在实际使用时，由人工将待检查的IC芯片放置到检查工位上的料盘中，然后，由CCD相机检查料盘中IC芯片表面上的脏污和破损以及芯片管脚的缺陷和脏污，并在检查完成后，根据IC产品的质量，由取料吸嘴将IC芯片取放到OK料位或NG料位上的料盘中；待OK料盘或NG料盘料满后由人工取出。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应所述以权利要求的保护范围为准。

Claims

1.一种用于IC缺陷检查的视觉检查仪，包括机架（1）以及设置在机架（1）上的检查单元（2）、安全光幕（3）、报警灯（4）、鼠标键盘（5）、显示器（6）和主机（7），所述主机（7）与显示器（6）、鼠标键盘（5）、报警灯（4）、安全光幕（3）和检查单元（2）连接，其特征在于：所述检查单元（2）包括安装在机架（1）工作台（101）上的检查工位（8）、OK料位（9）、NG料位（10）和X轴移动机构（11），所述NG料位（10）和OK料位（9）并排设置在检查工位（8）的两侧，所述检查工位（8）位于X轴移动机构（11）的一侧，所述X轴移动机构（11）上设置有与主机（7）连接的CCD相机（12）和取放吸嘴（13）。

2.根据权利要求1所述的一种用于IC缺陷检查的视觉检查仪，其特征在于：所述检查工位（8）或OK料位（9）或NG料位（10）包括设置在工作台（101）上的Y轴底座（801）以及设置在Y轴底座（801）上的Y轴电机（802）、Y轴丝杆（803）和Y轴滑块（804），所述Y轴电机（802）设置于Y轴底座（801）的一侧，并通过联轴器与Y轴丝杆（803）连接，所述Y轴丝杆（803）与Y轴滑块（804）底部设置的丝杆螺母连接，所述Y轴滑块（804）的顶部设置有料盘（14），底部设置有滑槽，所述滑槽与Y轴底座（801）上设置的滑轨连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于IC缺陷检查的视觉检查仪，其特征在于：所述X轴移动机构（11）包括X轴底座（111）以及设置在X轴底座（111）上的X轴电机（112）、X轴丝杆（113）和X轴滑块（114），所述X轴电机（112）设置于X轴底座（111）的一侧，并通过联轴器与X轴丝杆（113）连接，所述X轴丝杆（113）与X轴滑块（114）底部设置的丝杆螺母连接，所述X轴滑块（114）的顶部设置有安装CCD相机（12）和取放吸嘴（13）的支撑板（15），底部设置有滑槽，所述滑槽与X轴底座（111）上设置的滑轨连接，所述X轴底座（111）的两侧通过支撑架（16）与工作台（101）连接。

4.根据权利要求1所述的一种用于IC缺陷检查的视觉检查仪，其特征在于：所述取放吸嘴（13）包括与支撑板（15）连接的Z轴电动滑台（17）以及设置在Z轴电动滑台（17）上的固定块（18），所述固定块（18）的一侧设置有气嘴（19），底部设置有气杆（20），所述气杆（20）的底部设置有吸盘（21）。