JP4534768B2 - Tftアレイ検査装置、及び欠陥データ抽出方法 - Google Patents
Tftアレイ検査装置、及び欠陥データ抽出方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4534768B2 JP4534768B2 JP2005010386A JP2005010386A JP4534768B2 JP 4534768 B2 JP4534768 B2 JP 4534768B2 JP 2005010386 A JP2005010386 A JP 2005010386A JP 2005010386 A JP2005010386 A JP 2005010386A JP 4534768 B2 JP4534768 B2 JP 4534768B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pixel
- target pixel
- measurement data
- search result
- data
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Description
Claims (2)
- TFTアレイ検査装置により得られる二次元の測定データから欠陥データを抽出するデータ抽出方法において、
TFT基板上のパネルのTFTアレイを構成する複数のピクセルの各ピクセルに対する測定データの割り付けにおいて当該割り付けを行うピクセルを対象ピクセルとし、
前記対象ピクセルの周囲に複数の領域を設定し、
前記対象ピクセルおよび当該対象ピクセルの周囲に設定した領域に対して、前記二次元の測定データのデータ点とピクセルとの位置関係に基づいて前記測定データを対応付け、
前記対応つけた測定データを用いて前記対象ピクセルおよび前記領域の信号強度を算出し、
前記算出した前記対象ピクセルと前記領域との信号強度の大小を比較し、当該比較結果に基づいて前記対象ピクセルへの前記測定データの割り付けに適した、前記対象ピクセルを含む領域を探し出す探索工程と、
前記探索工程で探し出した割り付けに適した対象ピクセルを含む領域において、当該領域のパネル内の位置および前記算出した信号強度を探索結果として記憶する記憶工程と、
前記探索結果の領域が、前記対象ピクセルの周囲にあるピクセルであって測定データが既に割り付けされている周辺ピクセルの周囲に設定した複数の領域に含まれる場合には、前記対象ピクセルの探索結果と前記周辺ピクセルの探索結果とを比較し、
両探索結果の各領域がパネル上で同一の領域であるときには、各領域の信号強度を比較し、当該信号強度の大小に基づいて、周辺ピクセルの探索結果又は対象ピクセルの探索結果を採用し、採用した探索結果の信号強度を対象ピクセルの測定データとして割り付け、前記対象ピクセルを採用した場合には、前記周辺ピクセルの探索結果を修正し、
両探索結果の各領域がパネル上で同一の領域でないときには、前記対象ピクセルの探索結果の信号強度を対象ピクセルの測定データとして割り付ける割り付け工程とを備え、
前記探索工程、前記記憶工程、および前記割り付け工程に基づいてパネル上の各ピクセルに測定データとして割り付けられた信号強度に基づいて各ピクセルの欠陥データを抽出することを特徴とする、TFTアレイ検査装置における欠陥データ抽出方法。 - 二次元の測定データから欠陥データを抽出するTFTアレイ検査装置において、
TFT基板上のパネルのTFTアレイを構成する複数のピクセルの各ピクセルに対する測定データの割り付けにおいて当該割り付けを行うピクセルを対象ピクセルとし、
前記対象ピクセルの周囲に複数の領域を設定し、
前記対象ピクセルおよび当該対象ピクセルの周囲に設定した領域に対して、前記二次元の測定データのデータ点とピクセルとの位置関係に基づいて前記測定データを対応付け、
前記対応つけた測定データを用いて前記対象ピクセルおよび前記領域の信号強度を算出し、
前記算出した前記対象ピクセルと前記領域との信号強度の大小を比較し、当該比較結果に基づいて前記対象ピクセルへの前記測定データの割り付けに適した、前記対象ピクセルを含む領域を探し出す探索手段と、
前記探索手段で探し出した割り付けに適した対象ピクセルを含む領域において、当該領域のパネル内の位置および前記算出した信号強度を探索結果として記憶する記憶手段と、
前記探索結果の領域が、前記対象ピクセルの周囲にあるピクセルであって測定データが既に割り付けされている周辺ピクセルの周囲に設定した複数の領域に含まれる場合には、前記対象ピクセルの探索結果と前記周辺ピクセルの探索結果とを比較し、
両探索結果の各領域がパネル上で同一の領域であるときには、各領域の信号強度を比較し、当該信号強度の大小に基づいて、周辺ピクセルの探索結果又は対象ピクセルの探索結果を採用し、採用した探索結果の信号強度を対象ピクセルの測定データとして割り付け、前記対象ピクセルを採用した場合には、前記周辺ピクセルの探索結果を修正し、
両探索結果の各領域がパネル上で同一の領域でないときには、前記対象ピクセルの探索結果の信号強度を対象ピクセルの測定データとして割り付ける割り付け手段と、
前記各手段に基づいて前記パネル上の各ピクセルに測定データとして割り付けられた信号強度に基づいて各ピクセルの欠陥データを抽出する抽出手段とを備えることを特徴とする、TFTアレイ検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005010386A JP4534768B2 (ja) | 2005-01-18 | 2005-01-18 | Tftアレイ検査装置、及び欠陥データ抽出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005010386A JP4534768B2 (ja) | 2005-01-18 | 2005-01-18 | Tftアレイ検査装置、及び欠陥データ抽出方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006200927A JP2006200927A (ja) | 2006-08-03 |
JP4534768B2 true JP4534768B2 (ja) | 2010-09-01 |
Family
ID=36959080
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005010386A Expired - Fee Related JP4534768B2 (ja) | 2005-01-18 | 2005-01-18 | Tftアレイ検査装置、及び欠陥データ抽出方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4534768B2 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5007925B2 (ja) * | 2006-10-03 | 2012-08-22 | 株式会社島津製作所 | Tftアレイ検査における電子線走査方法 |
JP2010107423A (ja) * | 2008-10-31 | 2010-05-13 | Shimadzu Corp | Tftアレイ検査装置および画素の信号強度計算方法 |
JP5459469B2 (ja) * | 2009-05-22 | 2014-04-02 | 株式会社島津製作所 | Tftアレイの検査方法、およびtftアレイの検査装置 |
JP5673911B2 (ja) * | 2009-07-14 | 2015-02-18 | 株式会社島津製作所 | Tftアレイ検査装置およびtftアレイ検査方法 |
JP5541611B2 (ja) * | 2010-03-30 | 2014-07-09 | 株式会社島津製作所 | Tftアレイ検査方法 |
JP5494303B2 (ja) * | 2010-07-07 | 2014-05-14 | 株式会社島津製作所 | Tftアレイ検査装置および欠陥強度算出方法 |
JP5578441B2 (ja) * | 2011-03-25 | 2014-08-27 | 株式会社島津製作所 | Tftアレイ検査装置およびtftアレイ検査方法 |
WO2013065142A1 (ja) * | 2011-11-02 | 2013-05-10 | 株式会社島津製作所 | 液晶アレイ検査装置および液晶アレイ検査装置の信号処理方法 |
CN103217816B (zh) * | 2013-04-01 | 2016-01-20 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 阵列基板的检测方法、检测台和检测设备 |
DE112020003781T5 (de) | 2019-08-09 | 2022-07-07 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Verfahren zum Betreiben einer Anzeigevorrichtung |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004271516A (ja) * | 2003-03-04 | 2004-09-30 | Shimadzu Corp | 基板検査装置及び基板検査方法 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0979946A (ja) * | 1995-09-18 | 1997-03-28 | Sanyo Electric Co Ltd | 表示装置の検査装置 |
-
2005
- 2005-01-18 JP JP2005010386A patent/JP4534768B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004271516A (ja) * | 2003-03-04 | 2004-09-30 | Shimadzu Corp | 基板検査装置及び基板検査方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006200927A (ja) | 2006-08-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4534768B2 (ja) | Tftアレイ検査装置、及び欠陥データ抽出方法 | |
US10249264B2 (en) | Controller for compensating mura defects, display apparatus having the same, and method for compensating mura defects | |
JP6100246B2 (ja) | 全原画像を使用した欠陥検出システムおよび方法 | |
US11972583B2 (en) | Fluorescence image registration method, gene sequencing instrument, and storage medium | |
KR20150103706A (ko) | 템플릿 이미지 매칭을 이용한 웨이퍼 상의 결함 검출 | |
JP5692691B2 (ja) | 表示装置の検査方法と検査装置及び表示装置用基板と表示装置 | |
JP5590043B2 (ja) | Tft基板検査装置およびtft基板検査方法 | |
JP2007334262A (ja) | Tftアレイ基板の欠陥検出方法、およびtftアレイ基板の欠陥検出装置 | |
TW471016B (en) | Defect detection using gray level signatures | |
JP2010271237A (ja) | Tftアレイの検査方法、およびtftアレイの検査装置 | |
JP5429458B2 (ja) | Tftアレイの検査方法、およびtftアレイの検査装置 | |
JP5077544B2 (ja) | Tftアレイの検査方法及びtftアレイ検査装置 | |
CN102803940B (zh) | Tft阵列检查方法以及tft阵列检查装置 | |
US11120544B2 (en) | Display panel inspection system, inspection method of display panel and display panel using the same | |
JP5418964B2 (ja) | Tftアレイ検査装置およびピクセル座標位置決定方法 | |
JP5182595B2 (ja) | Tftアレイ検査方法およびtftアレイ検査装置 | |
JP2006215493A (ja) | 液晶アレイ検査装置 | |
JP7023425B1 (ja) | 情報処理装置、情報処理方法、および情報処理プログラム | |
JP5494303B2 (ja) | Tftアレイ検査装置および欠陥強度算出方法 | |
JP5163948B2 (ja) | 走査ビーム検査装置、および欠陥検出の信号処理方法 | |
JP5637502B2 (ja) | Tftアレイ検査装置およびtftアレイ検査方法 | |
JP2005326163A (ja) | Tftアレイ検査装置及びtftアレイ検査方法 | |
JP5459491B2 (ja) | Tftアレイ検査装置およびtftアレイ検査方法 | |
JP2010107423A (ja) | Tftアレイ検査装置および画素の信号強度計算方法 | |
JP5152606B2 (ja) | 液晶アレイ検査装置および液晶アレイ検査装置の信号処理方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070402 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090930 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091104 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091225 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100305 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100428 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100525 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100607 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130625 Year of fee payment: 3 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 4534768 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130625 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140625 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |