JP5429458B2 - Tftアレイの検査方法、およびtftアレイの検査装置 - Google Patents
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Description
図1、図2は、本発明のTFTアレイ検査において、ピクセルの位置を算出する工程を説明するためのフローチャート、および説明図である。
Claims (6)
- 荷電粒子ビームをTFTアレイ上で二次元的に走査して、表面電位の走査画像を形成し、当該走査画像からTFTアレイの欠陥検査を行うTFTアレイの検査方法であって、
TFTアレイに検査信号を印加して当該TFTアレイに二次元的な所定パターンの電位分布を形成する検査信号印加工程と、
前記検査信号を印加したTFTアレイに荷電粒子ビームを二次元的に走査して表面電位の走査画像を形成する走査工程と、
前記走査画像から各ピクセルの位置を検出するピクセル位置検出工程と、
前記各ピクセルの信号強度を検出する信号強度検出工程と、
前記信号強度をデータ処理することによって欠陥ピクセルを抽出するデータ処理工程とを備え、
前記検査信号印加工程は、二次元配列される複数のピクセルの内で隣接するピクセル間において、互いに相対的に高い電位と低い電位とを交互に印加する検査信号を印加し、TFTアレイに相対的に高い電位と低い電位がチェッカパターンで配置される電位分布を形成し、
前記走査工程は、一ピクセルに対して複数個の荷電粒子ビームを照射し、
前記ピクセル位置検出工程は、前記チェッカパターンの電位分布で得られる走査画像のチェッカパターンとピクセル配列との対応関係から両者の位置関係を求め、当該位置関係に基づいて走査画像の走査位置をピクセルの座標に割り付ける工程であり、
前記チェッカパターンの各格子部分において、当該格子部に含まれる複数個の走査位置の重心の位置座標を算出し、
算出した重心の配列とピクセル配列とを比較して、ピクセルに対する重心の位置ずれを求め、求めた位置ずれに基づいて重心の位置座標を補正し、
前記補正した重心座標を前記チェッカ部分に対応するピクセルの位置座標としてピクセル位置を算出することを特徴とすることを特徴とする、TFTアレイの検査方法。 - 前記走査工程は、複数の走査領域において隣接する走査領域の境界で重複走査し、
前記ピクセル位置検出工程は、前記重複走査で取得された境界を挟んで隣接する2つの走査領域のチェッカパターンを照合し、一致するチェッカパターンに基づいて境界部分のピクセル位置を検出することを特徴とする、請求項1に記載のTFTアレイの検査方法。 - 前記走査工程は、検査領域を複数の走査領域に分割して走査すると共に、隣接する走査領域の境界を重複走査することを特徴とする、請求項2に記載のTFTアレイの検査方法。
- 荷電粒子ビームをTFTアレイ上で二次元的に走査して、表面電位の走査画像を形成し、当該走査画像からTFTアレイの欠陥検査を行うTFTアレイの検査装置であって、
TFTアレイに検査信号を印加して当該TFTアレイに二次元的な所定パターンの電位分布を形成する検査信号印加部と、
前記検査信号を印加したTFTアレイに荷電粒子ビームを二次元的に走査して表面電位の走査画像を形成する荷電粒子ビーム源および走査制御部と、
前記荷電粒子ビームの走査によってTFT基板から放出される二次電子の検出信号を検出する検出器と、
前記検出信号で得られる走査画像から各ピクセルの位置を検出するピクセル位置検出部と、
前記各ピクセルの信号強度を検出する信号強度検出部と、
前記信号強度をデータ処理することによって欠陥ピクセルを抽出するデータ処理部とを備え、
前記荷電粒子ビーム源および前記走査制御部は、一ピクセルに対して複数個の荷電粒子ビームを照射し、
前記検査信号印加部は、二次元配列される複数のピクセルの内で隣接するピクセル間において、互いに相対的に高い電位と低い電位とを交互に印加する検査信号を印加し、TFTアレイに相対的に高い電位と低い電位がチェッカパターンで配置される電位分布を形成し、
前記ピクセル位置検出部は、前記チェッカパターンの電位分布で得られる走査画像のチェッカパターンとピクセル配列との対応関係から両者の位置関係を求め、当該位置関係に基づいて走査画像の走査位置をピクセルの座標に割り付ける部位であり、
前記チェッカパターンの各格子部分において、当該格子部に含まれる複数個の走査位置の重心の位置座標を算出し、
算出した重心の配列とピクセル配列とを比較して、ピクセルに対する重心の位置ずれを求め、求めた位置ずれに基づいて重心の位置座標を補正し、
前記補正した重心座標を前記チェッカ部分に対応するピクセルの位置座標としてピクセル位置を算出することを特徴とする、TFTアレイの検査装置。 - 前記荷電粒子ビーム源および前記走査制御部は、複数の走査領域において隣接する走査領域の境界で重複走査し、
前記ピクセル位置検出部は、前記重複走査で取得された境界を挟んで隣接する2つの走査領域のチェッカパターンを照合し、一致するチェッカパターンに基づいて境界部分のピクセル位置を検出することを特徴とする、請求項4に記載のTFTアレイの検査装置。 - 前記荷電粒子ビーム源および前記走査制御部は、検査領域を複数の走査領域に分割して走査すると共に、隣接する走査領域の境界において重複走査することを特徴とする、請求項5に記載のTFTアレイの検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009128992A JP5429458B2 (ja) | 2009-05-28 | 2009-05-28 | Tftアレイの検査方法、およびtftアレイの検査装置 |
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JP2010276463A JP2010276463A (ja) | 2010-12-09 |
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JP (1) | JP5429458B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5472636B2 (ja) * | 2010-12-17 | 2014-04-16 | 株式会社島津製作所 | Tftアレイ検査装置およびtftアレイ検査方法 |
JP5408507B2 (ja) * | 2011-04-27 | 2014-02-05 | 株式会社島津製作所 | 液晶アレイ検査装置およびライン座標位置算出方法 |
WO2013065142A1 (ja) * | 2011-11-02 | 2013-05-10 | 株式会社島津製作所 | 液晶アレイ検査装置および液晶アレイ検査装置の信号処理方法 |
CN107991798B (zh) * | 2018-01-31 | 2021-03-05 | 京东方科技集团股份有限公司 | 取向膜的检验方法及系统 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3479171B2 (ja) * | 1995-08-07 | 2003-12-15 | 石川島播磨重工業株式会社 | 液晶駆動基板の検査方法 |
JP5077544B2 (ja) * | 2007-09-12 | 2012-11-21 | 株式会社島津製作所 | Tftアレイの検査方法及びtftアレイ検査装置 |
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Publication number | Publication date |
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JP2010276463A (ja) | 2010-12-09 |
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A521 | Written amendment |
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