JP5729483B2 - 液晶アレイ検査装置および液晶アレイ検査装置の信号処理方法 - Google Patents
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Description
2 ステージ
3 電子銃
4 検出器
5 電子線走査制御部
6 ステージ駆動制御部
7 制御部
10 信号処理部
11 走査画像形成部
12 ピクセル検出部
13 検出ピクセルデータ記録部
14 探索用ピクセル座標検出部
14A 直線算出部
14B 仮想ピクセル座標テーブル作成部
14C 登録座標形成部
14D 連続座標列検出部
14E 仮想ピクセル座標テーブル作成部
14F 探索用ピクセル座標テーブル作成部
14G 座標テーブル
14a 仮想ピクセル座標テーブル
14b 登録座標テーブル
14c 仮想ピクセル座標テーブル
14d 探索用ピクセル座標テーブル
20 検査部
20a ピクセル抽出部
20b ピクセル検査部
100 液晶基板
101 パネル
Claims (8)
- 液晶基板に所定電圧の検査信号を印加してアレイを駆動し、前記液晶基板に電子線を照射して得られる二次電子を走査し、前記走査で得られる走査画像に基づいて液晶基板のアレイを検査する液晶アレイ検査装置の信号処理方法であって、
走査画像から取得した検出ピクセル座標の中から、列方向に連続する検出ピクセル座標の最大長の連続座標列を求め、当該最大長の連続座標列を基準として、前記走査画像から取得した検出ピクセル座標の中から二次元配列ピクセルの各ピクセルに対応する検出ピクセル座標を列方向に探索するための探索用ピクセル座標を求める探索用ピクセル座標工程と、
前記探索用ピクセル座標と前記走査画像から取得した検出ピクセル座標との座標比較によって、前記探索用ピクセル座標に近傍する検出ピクセル座標から列方向の検出ピクセル座標を探索する検出ピクセル座標工程とを備え、
前記探索した列方向の検出ピクセル座標の検出ピクセルを検査対象ピクセルとしてアレイ検査を行うことを特徴とする、液晶アレイ検査装置の信号処理方法。 - 前記探索用ピクセル座標工程は、
二次元配列ピクセルの検出ピクセル座標から、
1列目の探索用ピクセル座標を算出する第1の工程と、
前記第1の工程で算出した1列目の探索用ピクセル座標に基づいて2列目以降の探索用ピクセル座標を算出する第2の工程とを備え、
前記第1の工程は、走査画像中の二次元配列ピクセルから、検出ピクセル座標が列方向に連続する最大長の座標列を算出する座標列工程と、
前記連続する最大長の座標列を基準とし、当該最大長の座標列の検出ピクセル座標、および列方向において前記座標列から各端部方向の検出ピクセル座標を用いて1列目の探索用ピクセル座標を算出する1列目工程とを備え、
前記第2の工程は、前記第1の工程で算出した探索用ピクセル座標に前記列方向と直交する方向のピッチを加算して2列目以降の探索用ピクセル座標を算出する2列目工程を備えることを特徴とする、請求項1に記載の液晶アレイ検査装置の信号処理方法。 - 前記1列目工程において、
前記1列目の探索用ピクセル座標の内で位置ずれしたピクセル座標に対応する探索用ピクセル座標を、前記連続する最大長の座標列の検出ピクセル座標、および列方向において前記連続する最大長の座標列から各端部方向の検出ピクセル座標を用いて最小二乗法によって算出することを特徴とする、請求項2に記載の液晶アレイ検査装置の信号処理方法。 - 前記連続する最大長の座標列において、列内において座標列を構成する検出ピクセル座標の座標数が最大である座標列を基準とすることを特徴とする、請求項2又は3に記載の液晶アレイ検査装置の信号処理方法。
- 液晶基板に所定電圧の検査信号を印加してアレイを駆動し、前記液晶基板に電子線を照射して得られる二次電子を走査し、前記走査で得られる走査画像に基づいて液晶基板のアレイを検査する液晶アレイ検査装置であって、
走査画像から取得した検出ピクセル座標の中から、列方向に連続する検出ピクセル座標の最大長の連続座標列を求め、当該最大長の連続座標列を基準として、前記走査画像から取得した検出ピクセル座標の中から二次元配列ピクセルの各ピクセルに対応する検出ピクセル座標を列方向に探索するための探索用ピクセル座標を求める探索用ピクセル座標部と、
前記探索用ピクセル座標と前記走査画像から取得した検出ピクセル座標との座標比較によって、前記探索用ピクセル座標に近傍する検出ピクセル座標から列方向の検出ピクセル座標を探索する検出ピクセル座標部とを備え、
前記探索した列方向の検出ピクセル座標の検出ピクセルを検査対象ピクセルとしてアレイ検査を行うことを特徴とする、液晶アレイ検査装置。 - 前記探索用ピクセル座標部は、
二次元配列ピクセルの検出ピクセル座標から、
1列目の探索用ピクセル座標を算出する第1の算出部と、
前記第1の算出部で算出した1列目の探索用ピクセル座標に基づいて2列目以降の探索用ピクセル座標を算出する第2の算出部とを備え、
前記第1の算出部は、走査画像中の二次元配列ピクセルから、検出ピクセル座標が列方向に連続する最大長の座標列を算出し、
前記連続する最大長の座標列を基準とし、当該最大長の座標列の検出ピクセル座標、および列方向において前記座標列から各端部方向の検出ピクセル座標を用いて1列目の探索用ピクセル座標を算出し、
前記第2の算出部は、前記第1の算出部で算出した探索用ピクセル座標に前記列方向と直交する方向のピッチを加算して2列目以降の探索用ピクセル座標を算出することを特徴とする、請求項5に記載の液晶アレイ検査装置。 - 前記第1の算出部は、1列目の探索用ピクセル座標の算出において、
前記1列目の探索用ピクセル座標の内で位置ずれしたピクセル座標に対応する探索用ピクセル座標を、前記連続する最大長の座標列の検出ピクセル座標、および列方向において前記連続する最大長の座標列から各端部方向の検出ピクセル座標を用いて最小二乗法によって算出することを特徴とする、請求項6に記載の液晶アレイ検査装置。 - 前記連続する最大長の座標列において、列内において座標列を構成する検出ピクセル座標の座標数が最大である座標列を基準とすることを特徴とする、請求項6又は7に記載の液晶アレイ検査装置。
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