JP5472636B2 - Ｔｆｔアレイ検査装置およびｔｆｔアレイ検査方法 - Google Patents

Description

本発明は、ＴＦＴディスプレイ装置を製造する工程におけるＴＦＴアレイ工程において、製造されたＴＦＴアレイが正しく駆動するか否かを検査する検査装置および検査方法に関する。

ＴＦＴディスプレイ装置に用いるＴＦＴアレイ基板の製造工程では、製造されたＴＦＴアレイが正しく駆動するかの検査が行われる（特許文献１，２）。

ＴＦＴディスプレイのＴＦＴアレイを検査するＴＦＴアレイ検査装置において、例えば、検査対象であるＴＦＴアレイに検査信号を印加してアレイを所定電位状態とし、ＴＦＴアレイ上に電子ビームやイオンビーム等の荷電ビームを二次元的に照射して走査し、このビーム走査で得られる走査画像に基づいてＴＦＴアレイを検査することが知られている。

基板上には各パネルに対応して複数のアクティブエリアが配置されている。このアクティブエリア内には、複数のピクセルに対応してＴＦＴアレイが形成されており、このＴＦＴアレイに駆動信号を印加することによって特定のピクセルを駆動することができる。

ＴＦＴアレイ検査において、ＴＦＴアレイに所定パターンの駆動信号を印加し、基板内に形成されたパネルの各ピクセルを所定パターンで駆動して所定の電位状態とし、これらのピクセルに荷電ビームを照射し、照射点から放出される二次電子等を検出する。この荷電ビーム照射をパネル内で走査することによって、パネル内の各ピクセルから検出信号を検出し走査画像を取得する。

従来、ピクセルに対して荷電ビームを走査する際、各ピクセルに対して例えば４×４点あるいは４×３点の荷電ビームを照射し、この荷電ビームの照射点をサンプリング点として、一ピクセルについて複数のサンプリング点の検出信号を検出し、この検出信号を用いて各ピクセルに対応するアレイの欠陥を検出するための信号強度を算出している。

各ピクセルに対して荷電ビームを走査し、ピクセル内の照射点に荷電ビームを照射するには、基板上のアクティブエリア（以下では、パネルで表す）内における各ピクセルの座標が既知であることが求められる。

従来、各パネルのコーナー部分の座標を予め求めて登録しておき、登録したパネルコーナーの座標に基づいてパネル内の各ピクセルに対して荷電ビームを照射する位置を定め、この照射位置に荷電ビームを照射している（特許文献３）。

図８は基板上のパネル（アクティブエリア）の特定部位の座標位置を求める例を模式的に示している。

パネルの特定部位の座標位置は、基板を走査して得られる走査画像から求められる。走査画像は、ＴＦＴアレイが形成された基板上において荷電ビームを二次元的に走査することによって取得する。ＴＦＴアレイ検査は、この走査画像からＴＦＴアレイが形成されたパネル（アクティブエリア）を検査対象領域として、そのパネルに形成されるピクセルの欠陥検査を行う。

図８（ａ）は、基板の走査画像を示し、図８（ｂ）は走査画像中の一パネルの表示画像を示している。

図８（ａ）に示す走査画像において、基板１１上に形成されるＴＦＴアレイとして、［００］，［０１］，［０２］，［０３］，〜，［２３］の１２面のパネル１２を配列した例を示している。各パネル１２には、複数のピクセル（図示していない）形成される。このパネルの配列数及び配列パターンはこの例に限らず任意とすることができる。

ＴＦＴアレイ検査では、走査画像中のパネル１２を検査対象領域とし、パネル１２中に含まれるピクセルの欠陥検査を行う。基板１１上の各パネル１２の位置を特定するために、走査画像１０からパネル１２の特定部位１４の座標位置を取得する。パネル１２の矩形形状の４つのコーナー部位を特定部位14-1〜14-4とし、この特定部位14-1〜14-4の座標位置を求めることにより、各パネル１２の位置を特定する。パネル１２の位置を特定することで、パネル１２の各ピクセルの位置を特定する。

走査画像からパネルの特定部位の座標位置の取得する方法では、走査画像１０を表示部（図示していない）上に表示し、この表示画像のパネル像の特定部位を指定し、指定位置の座標を取得する。

図８（ｂ）は、図８（ａ）の走査画像中の一つのパネルを表示部（図示していない）のディスプレイ上に表示した表示画像を示している。走査画像表示領域２１は、［００］で示されるパネル１２のパネル像２２を表示している。パネル像２２の矩形形状の輪郭において、例えば４つのコーナー部位23-1〜23-4を特定部位とし、この特定部位を指定することによって座標位置を取得する。

特開２００４−２７１５１６号公報 特開２００４−３０９４８８号公報 国際公開番号ＷＯ２００６／１１２２４２

従来は、基板上に配置される複数のパネル（アクティブエリア）内の各ピクセルの座標を得るために、各パネルに定めた特定部位の座標情報を走査画像から予め求めて登録している。

ＴＦＴアレイ装置のメンテナンスにおいて、荷電ビームを照射する荷電ビーム源や基板を載置するステージを調整する場合がある。荷電ビーム源のメンテナンスでは、フィラメント等の部品を交換する場合がある。

荷電ビーム源やステージ等の走査系のメンテナンスは、基板上への荷電ビームの照射位置に影響を与え、メンテナンス前後において照射位置にずれが生じる場合がある。このように、荷電ビームの照射位置に位置ずれが生じると、走査画像から取得されるパネルの座標がメンテナンスの前後で位置ずれが生じる場合がある。位置ずれが生じた座標情報を用いてパネル位置を特定し、ピクセルに荷電ビームを照射すると照射位置がずれることになる。パネルの座標の位置ずれは、上記したメンテナンスによる位置ずれの他、荷電ビームを照射する機構あるいは基板を支持する支持機構等の走査系の位置ずれによって発生する。

そのため、従来、メンテナンス等の走査系において位置ずれ要因が発生した後には、パネルの特定部位の座標を再度取得して登録する必要がある。基板上に形成されるパネルのレイアウトは複数種類あるため、パネルレイアウト毎にパネルの特定部位の座標情報を登録する必要がある。

図９は、メンテナンス後に行う座標情報の登録を説明するための図である。なお、パネルの特定部位としてパネルコーナーを用いる例を示している。

図９（ａ）に示すパネルＡは基板上に１２枚のパネルが配置される例を示し、図９（ｂ）に示すパネルＢは基板上に２０枚のパネルが配置される例を示している。

メンテナンス前のパネルコーナーの座標情報ＣＤ（Aold）およびＣＤ（Bold）は、メンテナンス後にそれぞれ取得した走査画像から座標情報ＣＤ（Anew）およびＣＤ（Bnew）を登録する。図９（ｃ）は、メンテナンス後にパネルコーナーの座標情報を登録する状態を示している。

上記したように、従来のＴＦＴアレイ検査装置では、メンテナンス等の走査系において位置ずれ要因が発生した後に、複数種類のパネルレイアウトの基板を検査する場合には、各パネルレイアウトのパネルコーナーの座標情報を再度取得して登録する必要があり、操作に長時間を要するという問題がある。

ＴＦＴディスプレイの製造工程では、種々のパネルレイアウトの基板が製造されＴＦＴアレイ検査工程で検査が行われるため、ＴＦＴアレイ検査装置のメンテナンス後において、検査を行うパネルレイアウトの種類毎にパネルコーナーの座標情報を登録する必要がある。

また、パネルコーナーの座標情報の登録はオペレータによる操作を必要とする。通常、基板製造において、製造される基板のパネルレイアウトの種類が変更されるタイミングは不定期であり、どの時点でパネルレイアウトが変更されるかは不明である。そのため、無人による検査を行うＴＦＴアレイ検査装置では、オペレータの配備を、パネルコーナーの座標情報の変更がされていない基板が現れるタイミングに合わせすることは難しい。

検査対象の全種類のパネルレイアウトについてパネルコーナーの座標情報を全て登録が完了するまでオペレータを配備すれば、オペレータの配備のタイミングの問題は解消するものの、コストの上昇を招くという問題がある。

そこで、本発明は上記課題を解決して、複数種類のパネルレイアウトについて、各パネルの特定部位の座標情報の取得に要する時間を短縮し、オペラータの操作を軽減することを目的とする。

本発明は、ＴＦＴアレイが形成された基板上に荷電ビームを照射して走査し、当該荷電ビーム走査で得られる走査画像に基づいてＴＦＴアレイを検査するＴＦＴアレイ検査において、複数種類のパネルレイアウトのＴＦＴアレイを検査対象とし、これら複数種類のパネルレイアウトの各パネルの位置を特定する座標情報について、複数種類のパネルレイアウトの内の一種類のパネルレイアウトについては走査画像から取得して登録し、他の残りのパネルレイアウトについては走査画像を取得することなく、登録した座標情報を用いて旧座標情報を更新する。

一種類のパネルレイアウトで求めた座標情報を、他の残りのパネルレイアウトの座標情報の更新に利用することによって、走査画像の取得や、座標情報を求めて登録するためのオペレータの操作を省くことができ、各パネルの特定部位の座標情報の取得に要する時間を短縮し、オペレータの操作を軽減することができる。

メンテナンス等のＴＦＴアレイ検査装置側の走査系の位置ずれ要因によって生じる特定部位の座標位置に位置ずれは、検査対象であるＴＦＴアレイ基板側のパネルレイアウトに依存しないため、複数種類のパネルレイアウトのＴＦＴアレイにおいて、一種類のパネルレイアウトについて求めた特定部位の位置ずれ量は、他の種類のパネルレイアウトの特定部位の位置ずれ量と同量となる。

本発明は、複数種類のパネルレイアウトにおいて、何れのパネルレイアウトの特定部位の位置ずれ量は共通であるという特徴を利用し、一種のパネルレイアウトについて求めた特定部位の位置ずれ量を他のパネルレイアウトの特定部位の座標位置の特定に用いる。これによって、特定部位に位置ずれの検出を一種のパネルレイアウトのみについて行い、他のパネルレイアウトについては特定部位の位置ずれの検出を不要とする。

本発明は、ＴＦＴアレイ検査方法の形態と、ＴＦＴアレイ検査装置の形態の２つの形態とすることができる。

本発明のＴＦＴアレイ検査方法の形態は、ＴＦＴアレイが形成された基板上に荷電ビームを照射して走査し、この荷電ビーム走査で得られる走査画像に基づいてＴＦＴアレイを検査するＴＦＴアレイ検査方法であり、複数種類のパネルレイアウトのＴＦＴアレイを検査対象とする。

ＴＦＴアレイ検査方法は、複数種類のパネルレイアウトの内の一種類のパネルレイアウトについて、走査画像を取得する走査画像取得工程と、走査画像取得工程で取得した走査画像において、基板上に形成されるパネルの特定部位の座標情報を求め、求めた座標情報を登録済みの旧座標情報に代えて登録する登録工程と、登録工程で登録した座標情報と旧座標情報との差分情報を算出する差分算出工程と、複数種類のパネルレイアウトの内の前記一種類を除く残余の種類のパネルレイアウトについて、各種類のパネルレイアウトのパネルの特定部位の登録済みの旧座標情報を、差分算出工程で算出した差分情報を用いて更新する更新工程とを備える。

一種類のパネルレイアウトを有するＴＦＴアレイについては、登録工程で登録した座標情報に基づいて荷電ビームを走査する。一方、残余の種類のパネルレイアウトを有するＴＦＴアレイについては、更新工程で更新した座標情報に基づいて荷電ビームを走査する。各走査で得られた走査画像に基づいてＴＦＴアレイを検査する。

本発明のＴＦＴアレイ検査方法は、座標情報として、走査系に対するパネルの特定部位の座標位置、又は、走査画像の基準位置からパネルの特定部位までに照射される荷電ビームのビームドット数を用いて、パネルおよびピクセルの位置を特定する。

走査系に対するパネルの特定部位の座標位置を座標情報とする形態では、登録工程はこの座標位置を登録し、差分算出工程は登録した座標位置と先に登録済みの旧座標位置との差分値を算出し、更新工程は残余の種類のパネルレイアウトにおける座標位置と差分値との加算によって残余の種類のパネルレイアウトにおける座標位置の更新値を算出する。

また、走査画像の基準位置からパネルの特定部位までに照射される荷電ビームのビームドット数を座標情報とする形態では、登録工程はこのビームドット数を登録し、差分算出工程は登録したビームドット数と積に登録済みのビームドット数との第１の差分値を算出し、更新工程はビームドット数の第１の差分値と、一種類のパネルレイアウトにおけるビームドット間のピッチ長との積算によってずれ量を算出し、算出したずれ量を残余の種類のパネルレイアウトにおけるビームドット間のピッチ長で除算することによって、残余の種類のパネルレイアウトにおけるビームドット数の第２の差分値を算出し、残余の種類のパネルレイアウトにおけるビームドット数と算出した第２の差分値との加算によって残余の種類のパネルレイアウトにおけるビームドット数の更新値を算出する。

また、走査画像の基準位置からパネルの特定部位までに照射される荷電ビームのビームドット数を座標情報とする形態において、ずれ量を算出することなく更新を行うこともできる。

この形態では、登録工程はビームドット数を登録し、差分算出工程は登録したビームドット数と先に登録済みのビームドット数との第１の差分値を算出し、更新工程は、ビームドット数の第１の差分値と、残余の種類のパネルレイアウトにおけるビームドット間のピッチ長に対する一種類のパネルレイアウトにおけるビームドット間のピッチ長の比率との積算によって残余の種類のパネルレイアウトにおけるビームドット数の更新値を算出する。

本発明のＴＦＴアレイ検査装置の形態は、ＴＦＴアレイが形成された基板上に荷電ビームを照射して走査し、この荷電ビーム走査で得られる走査画像に基づいてＴＦＴアレイを検査するＴＦＴアレイ検査装置であり、複数種類のパネルレイアウトのＴＦＴアレイを検査対象とする。

ＴＦＴアレイ検査装置は、座標情報を走査画像から取得して登録あるいは更新する座標情報登録更新部を備える。この座標情報登録更新部は、複数種類のパネルレイアウトの内の一種類のパネルレイアウトについて、走査画像を取得する走査画像取得部と、走査画像取得部で取得した走査画像において、基板上に形成されるパネルの特定部位の座標情報を求め、求めた座標情報を登録済みの旧座標情報に代えて登録する登録部と、登録部で登録した座標情報と旧座標情報との差分情報を算出する差分算出部と、複数種類のパネルレイアウトの内の前記一種類を除く残余の種類のパネルレイアウトについて、各種類のパネルレイアウトのパネルの特定部位の登録済みの旧座標情報を差分算出工程で算出した差分情報を用いて更新する更新部とを備える。

なお、走査画像取得部、登録部、差分算出部、および更新部は、各機能を実行する構成に対応する部分であるが、各部はそれぞれ個別のハードウエアで構成する他、ＣＰＵおよびＣＰＵを駆動するソフトウエアによって構成することができる。また、登録部と更新部を一つの構成要素によって構成するなど、各機能を組み合わせた構成としてもよい。

一種類のパネルレイアウトを有するＴＦＴアレイについては、登録部で登録した座標情報に基づいて荷電ビームを走査する。一方、残余の種類のパネルレイアウトを有するＴＦＴアレイについては、更新部で更新した座標情報に基づいて荷電ビームを走査する。各走査で得られた走査画像に基づいてＴＦＴアレイを検査する。

本発明のＴＦＴアレイ検査装置は、座標情報として、走査系に対するパネルの特定部位の座標位置、又は、走査画像の基準位置からパネルの特定部位までに照射される荷電ビームのビームドット数を用いて、パネルおよびピクセルの位置を特定する。

走査系に対するパネルの特定部位の座標位置を座標情報とする形態では、登録部はこの座標位置を登録し、差分算出部は登録した座標位置と先に登録済みの旧座標位置との差分値を算出し、更新部は残余の種類のパネルレイアウトにおける座標位置と差分値との加算によって残余の種類のパネルレイアウトにおける座標位置の更新値を算出する。

また、走査画像の基準位置からパネルの特定部位までに照射される荷電ビームのビームドット数を座標情報とする形態では、登録部はこのビームドット数を登録し、差分算出部は登録したビームドット数と積に登録済みのビームドット数との第１の差分値を算出し、更新部はビームドット数の第１の差分値と、一種類のパネルレイアウトにおけるビームドット間のピッチ長との積算によってずれ量を算出し、算出したずれ量を残余の種類のパネルレイアウトにおけるビームドット間のピッチ長で除算することによって、残余の種類のパネルレイアウトにおけるビームドット数の第２の差分値を算出し、残余の種類のパネルレイアウトにおけるビームドット数と算出した第２の差分値との加算によって残余の種類のパネルレイアウトにおけるビームドット数の更新値を算出する。

また、走査画像の基準位置からパネルの特定部位までに照射される荷電ビームのビームドット数を座標情報とする形態において、ずれ量を算出することなく更新を行うこともできる。

この形態では、登録部はビームドット数を登録し、差分算出部は登録したビームドット数と先に登録済みのビームドット数との第１の差分値を算出し、更新部は、ビームドット数の第１の差分値と、残余の種類のパネルレイアウトにおけるビームドット間のピッチ長に対する一種類のパネルレイアウトにおけるビームドット間のピッチ長の比率との積算によって残余の種類のパネルレイアウトにおけるビームドット数の更新値を算出する。

本発明のＴＦＴアレイ検査方法およびＴＦＴアレイ検査装置の各形態において、パネルの特定部位としてパネルコーナーを用いることができる。

本発明によれば、複数種類のパネルレイアウトについて、メンテナンス等の検査装置の走査系において位置ずれ要因が発生した後において、各パネルの特定部位の座標情報の取得に要する時間を短縮し、オペラータの操作を軽減することができる。

本発明のパネルの座標情報の登録および更新の概要を説明するための説明図である。 本発明のパネルの座標情報の登録および更新の概要を説明するためのフローチャートである。 本発明のＴＦＴアレイ検査装置の構成例を説明するための図である。 座標位置の取得の第１の例を説明するためのフローチャートである。 座標位置の取得の第２の例を説明するためのフローチャートである。 座標位置の取得の第２の例を説明するための図である。 座標位置の取得の第３の例を説明するためのフローチャートである。 従来のＴＦＴアレイ検査において、基板上のパネル（アクティブエリア）の特定部位の座標位置を走査画像から求める例を示す図である。 従来のＴＦＴアレイ検査において、座標情報の登録を説明するための図である。

以下、本発明の実施の形態について図を参照しながら詳細に説明する。以下では、図１，２を用いて本発明のＴＦＴアレイ検査において、パネルの座標情報の登録および更新を説明し、図３を用いて本発明のＴＦＴアレイ検査装置の構成例を説明し、図４を用いてパネルの座標情報の登録および更新の第１の例を説明し、図５，６を用いてパネルの座標情報の登録および更新の第２の例を説明し、図７を用いてパネルの座標情報の登録および更新の第３の例を説明する。

はじめに、本発明のパネルの座標情報の登録および更新の概要を、図１の説明図および図２のフローチャートを用いて説明する。

図１（ａ），（ｂ）は，複数種類のパネルレイアウトとしてパネルＡとパネルＢの二つのパネルレイアウトの例を示している。パネルＡは一ＴＦＴ基板内に１２枚のパネルを配置したパネルレイアウト例であり、パネルＢは一ＴＦＴ基板内に２０枚のパネルを配置したパネルレイアウト例である。

各パネルレイアウトにおいて、各パネル１０１の位置を特定するための特定部位として、パネル１０１の４角の位置にあるパネルコーナー１０２を設定し、この座標位置によってパネル１０１に位置を特定すると共に、パネル１０１内に備えるピクセルの位置を特定する。パネルコーナー１０２を識別する情報および座標位置を座標情報ＣＤで表している。

図１では、パネルＡの座標位置をメンテナンス後に取得した走査画像から取得して登録し、パネルＢ，Ｃ，…の座標位置をパネルＡの座標位置の取得で算出した差分を用いて算出して更新する例を示している。

図１（ａ）において、パネルＡのパネルレイアウトにおいて、メンテナンス前に先に登録されている座標情報ＣＤ（Aold）に対して、メンテナンス後の座標情報ＣＤ（Anew）は走査画像から取得される。取得された座標情報ＣＤ（Anew）は登録される（図１（ｃ）のパネルＡ）。

ここで、メンテナンスの前後の座標位置の位置ずれは、座標情報ＣＤ（Anew）と座標情報ＣＤ（Aold）との差分ΔＣＤ（＝ＣＤ（Anew）−ＣＤ（Aold））を算出することによって求められる。以下では、座標位置を座標情報ＣＤで表し、差分をΔＣＤで表している。

図１（ｂ）において、パネルＢのパネルレイアウトにおいて、メンテナンス前に先に登録されている座標情報ＣＤ（Bold）に対して、メンテナンス後の座標情報ＣＤ（Bnew）を、旧座標情報ＣＤ（Bold）に差分ΔＣＤを加算することによって算出する。座標情報ＣＤ（Bnew）はＣＤ（Bnew）＝ＣＤ（Bold）＋ΔＣＤで表される。算出した座標情報ＣＤ（Bnew）によって座標情報を更新する（図１（ｃ）のパネルＢ）。

パネルＣのパネルレイアウトについても、メンテナンス後の座標情報ＣＤ（Cnew）を、旧座標情報ＣＤ（Cold）に差分ΔＣＤを加算することによって算出する。座標情報ＣＤ（Cnew）はＣＤ（Cnew）＝ＣＤ（Cold）＋ΔＣＤで表される。算出した座標情報ＣＤ（Cnew）によって座標情報を更新する（図１（ｃ）のパネルＣ）。

図２のフローチャートにおいて、メンテナンスが実行された後（S1）、S2〜S5の各工程で各パネルの特定部位の座標情報を取得し、S6の工程において取得した座標情報に基づいてＴＦＴアレイ検査を行う。なお、以下では、パネルの特定部位としてパネルコーナーの位置を用いた例を示す。

複数種類のパネルレイアウトの内で一種類のパネルレイアウトを有したパネルについて走査画像を取得する。以下では、走査画像から座標情報を取得するパネルをパネルＡとし、差分を用いて座標情報を取得するパネルをパネルＡ以外の残りのパネルＢ，Ｃ，…とする例を示す(S2)。

S2の工程で取得した走査画像から、パネルの特定部位としてパネルコーナーの座標位置を求め、パネルＡのパネル種を特定する情報と共に座標情報ＣＤ（Anew）を、先に登録されていた旧の座標情報ＣＤ（Aold）に代えて登録する（S3）。

登録した座標情報ＣＤ（Anew）と旧の座標情報ＣＤ（Aold）との差分ΔＣＤを算出する。差分ΔＣＤは（ＣＤ（Anew）−ＣＤ（Aold））によって算出することができる(S4)。

パネルＡ以外の残りのパネルＢ，Ｃ，…のパネルコーナーの座標位置の座標情報ＣＤ（Bnew），ＣＤ（Cnew），…を、S4で算出した差分ΔＣＤを用いて更新する。パネルＢのパネルコーナーの座標情報ＣＤ（Bnew）については、（ＣＤ（Bold）＋ΔＣＤ）によって更新し、パネルＣのパネルコーナーの座標情報ＣＤ（Cnew）については、（ＣＤ（Cold）＋ΔＣＤ）によって更新する（S5）。

パネルＡのパネルレイアウトの基板を検査する場合には、S4の工程で登録した座標情報ＣＤ（Aold）を用い走査画像上においてパネルおよびピクセルを特定してＴＦＴアレイを検査する。

一方、パネルＢ，Ｃ，…のパネルレイアウトの基板を検査する場合には、S５の工程で更新した座標情報ＣＤ（Bold），ＣＤ（Cold），…を用い走査画像上においてパネルおよびピクセルを特定してＴＦＴアレイを検査する(S6)。

次に、本発明のＴＦＴアレイ検査装置の構成例を、図３を用いて説明する。
図３は、本発明のＴＦＴアレイ検査装置の構成例を説明するための概略ブロック図である。図３において、ＴＦＴアレイ検査装置１は、電子ビーム源２、ステージ３、検出器４、走査画像取得部５，走査画像記憶部６、座標情報登録更新部７，座標情報記憶部８、制御部９を備える。なお、図３に示す構成例は、荷電ビーム源として電子ビーム源を用いて基板に電子線を照射し、検出器として二次電子を検出する二次電子検出器を用いて基板から放出される二次電子を検出する例を示している。

電子ビーム源２及びステージ３は、制御部９の制御によって、ステージ３に載置したＴＦＴアレイ基板（図示していない）上で電子ビームを走査し、ＴＦＴアレイ基板からの二次電子を検出器４で検出する。走査画像取得部５は検出器４で検出した二次電子を入力し、ＴＦＴアレイ基板の走査画像を形成する。形成された走査画像は、走査画像記憶部６に記憶する。

本発明のＴＦＴアレイ検査装置１は、取得した走査画像に基づいてＴＦＴアレイ検査を行う。ＴＦＴアレイ検査では、ＴＦＴアレイ基板のパネル（アクティブエリア）に設定した特定部位の座標情報に基づいてパネルの位置を特定し、パネル内のピクセルの位置を特定している。

図３に示す構成では、走査画像記憶部６に格納した走査画像を表示部２０に表示することができる。表示部２０に表示した表示画像を観察することによって、ＴＦＴアレイ基板のパネル（アクティブエリア）の特定部位を確認し、座標情報登録更新部７において、その特定部位および当該特定部位の座標位置を座標情報として取得することができる。

表示部２０は、ＴＦＴアレイ基板が有する複数のパネルの走査画像を予め設定された順に従って表示する他、全パネルを一括して表示する表示形態を備える。また、表示部２０は、液晶表示ディスプレイやＣＲＴ等の任意の表示装置を用いることができる。

座標情報登録更新部７は、座標情報取得部７ａ，登録部７ｂ，差分算出部７ｃ，および更新部７ｄを備える。

座標情報取得部７ａは、走査画像記憶部６に格納される走査画像を用いて、ＴＦＴアレイ基板のパネル（アクティブエリア）に設定した特定部位の座標位置を取得する。特定部位の座標位置の取得は、表示部２０に表示された表示画像上において特定部位を指定し、その座標位置を取得する形態、あるいは、走査画像の画像データに基づいてパネル（アクティブエリア）の境界位置を検出することで座標位置を取得する自動抽出の形態によって行うことができる。

表示部２０に表示された表示画像上で特定部位を指定することによって座標位置を取得する形態では、指定手段（図示していない）および座標位置読み出し手段（図示していない）を備える。指定手段は、表示部２０に表示される表示画像上の位置を指定し、座標位置読み出し手段は、指定手段で指定された位置の座標位置を走査画像記憶部６から読み出す。

指定手段による特定部位の指定は、予め設定された順番に沿って行う他、予め設定された順序に限らず任意の順番で指定してもよい。

指定手段は、表示部２０上のカーソルを移動し、カーソル位置の入力を操作するマウスやキー等の装置や、タッチパネル等の表示部２０の表示面上で位置指定を行う装置等の任意の位置指定装置を用いることができる。

登録部７ｂは、座標情報取得部７ａで取得した特定部位の座標位置と、当該特定部位を識別する情報とを座標情報として座標情報記憶部８に記憶する。

差分算出部７ｃは、座標情報取得部７ａで取得した特定部位の座標位置と、同じ種類のパネルレイアウトにおいて同特定部位について先に登録しておいた旧座標位置との差分を算出する。算出した差分は、メンテナンス等によって生じた検査系の位置ずれ量を表している。旧座標位置は、座標情報記憶部８から読み出すことができる。

更新部７ｄは、差分算出部７ｃで算出した位置ずれ量を用いて先に登録しておいた旧座標位置を更新して座標位置を求め、更新した特定部位の座標位置と、当該特定部位を識別する情報とを座標情報として座標情報記憶部８に記憶する。

ここで、座標情報記憶部８へ座標情報を記憶する処理において、一種類のパネルレイアウトについて走査画像から取得した特定部位の座標位置を位置情報として記憶する処理を“登録”で表し、一種類のパネルレイアウトの走査画像から取得した位置情報に基づいて得られた位置ずれを利用して、他の種類のパネルレイアウトの特定部位の座標位置を求め、この座標位置を位置情報として記憶する処理を“更新”で表している。

座標情報記憶部８は、座標位置登録更新部７で取得した特定部位の座標情報を記憶する。

制御部９は、座標情報記憶部８に登録された座標位置を読み出して、電子ビーム源２やステージ３を駆動して、ＴＦＴアレイ基板（図示していない）上を再度走査し、二次電子を検出器４で検出し、走査画像を取得する。

以下、座標位置の取得の第１，２，３の例について説明する。なお、以下では、メンテナンスによって座標情報に位置ずれが生じる例によって説明しているが、位置ずれの要因はメンテナンスに限らず、走査系に起因する要因によって走査画像における座標位置に位置ずれが生じた場合について適用することができる。

第１の例は、走査画像をディスプレイ上に表示して特定部位を指定し、特定部位の座標位置を長さで表す例であり、第２，３の例は、走査画像の画像処理によって特定部位を検出し、走査画像の特定部位の座標位置をビームドット数で表す例である。第２の例はメンテナンス前後の座標位置のずれを表す差分ΔＣＤについて、ビームドット数と長さとの間の変換を行う例であり、第３の例はメンテナンス前後の座標位置のずれを表す差分ΔＣＤについて、長さに変換することなくビームドット数で行う例である。

［座標位置の取得の第１の例］
座標位置の取得の第１の例について図４のフローチャートを用いて説明する。なお、図２で示したフローチャートと共通する工程については同一の符号を用いて説明する。

図４のフローチャートでは、図２に示したフローチャートのS1,S2の工程により電子ビームをＴＦＴアレイ基板上で走査して走査画像を取得した後に行うS3の工程について説明する。

座標位置を取得する工程では、走査画像記憶部に記憶する走査画像を表示部のディスプレイ上に表示し、座標位置を求めるパネルを選択する。基板上に設けられた複数のパネルから選択は、予め設定された順に行う他、入力部（図３には図示していない）から任意に選択するようにしてもよい(S3a)。

S3aの工程で選択したパネルの走査画像を表示部のディスプレイ上に表示する(S3b)。

図８はディスプレイ上の表示画面例を示している。図８に示す表示画像例では、ディスプレイの走査画像表示領域２１に選択したパネルのパネル像２２を表示している。ここでは、矩形形状のパネル像２２の４つのパネルコーナー（図中の丸数字で示す２３−１〜２３−４）を特定部位として設定している。オペレータは、表示されたパネル像２２を観察してパネルコーナーを確認し、このパネルコーナーにカーソルやポインターを移動して位置合わせすることで、特定部位を指定し (S3c)、指定したパネルコーナーの座標位置を取得し、登録部７ｂによってパネルのパネルコーナーを識別する情報と共に座標情報記憶部８に格納する（S3d）。

走査画像表示領域２１に表示されたパネルの全コーナー部位について前記S3c，S3dを繰り返し（S3e）、また、ＴＦＴアレイ基板が備える全パネルについて前記S3c〜S3dを繰り返すことによって、ＴＦＴアレイ基板が有する全パネルの特定部位の座標位置を取得し登録する（S3f）。

［座標位置の取得の第２の例］
次に、座標位置の取得の第２の例について図５のフローチャートを用いて説明する。なお、図２で示したフローチャートと共通する工程については同一の符号を用いて説明する。

図５のフローチャートに示す例では、図２に示したフローチャートのS1,S2の工程により電子ビームをＴＦＴアレイ基板上で走査して走査画像を取得した後、S3A〜S3Bの工程によって一種類のパネルの座標位置を走査画像に基づいて取得して登録し、S4A〜S4Cの工程によってメンテナンス前後の座標位置の差分を算出し、S5Aの工程で残りの種類のパネルの座標位置を差分を用いて更新し、S6Bの工程で登録した座標位置および更新した座標位置を用いて、パネルおよびピクセルの位置を特定してＴＦＴアレイ検査を行う。

S3Aの工程では、複数種類のパネルレイアウトの内の一種類のパネルレイアウトのパネルを走査して得られた走査画像において、特定部位として例えばパネルコーナーを特定する。

S3Bの工程では、S3Aで特定した特定部位であるパネルコーナーに対応する位置を、走査ビームのビームドット数によって求める。走査ビームは、基板上を所定のピッチで照射して走査する。各照射位置は走査画像上においてビームドットとして表され、基準位置からのビームドット数は基板上の位置に対応している。したがって、基準位置から特定部位までの間に存在するビームドット数から、特定部位の基板上の位置を特定することができる。

基準位置は、例えば、走査画像の端部や、走査画像上に定めた基準点を用いることができる。走査画像上に定めた基準点は、例えば、ステージ上に設けた基準マークの走査画像上の位置を用いることができる。

走査ビームのパネルコーナーの座標位置を、基準位置からのビームドット数ＮAnewによって求める。求めたビームドット数ＮAnewを座標位置として登録する。

S4Aの工程では、元の走査画像のパネルコーナーの位置に対応するビームドット数ＮAoldと、S3Bの工程で求めて登録したビームドット数ＮAnewとの第１の差分ΔＮAを算出する。第１の差分ΔＮAは（ＮAnew−ＮAold）によって表すことができる。

S4Bの工程では、座標位置の位置ずれの長さΔＬAを算出する。位置ずれの長さΔＬAの算出は、ビームドット数から長さへの変換によって行う。第１の差分ΔＮAは、メンテナンス前後における座標位置の位置ずれをビームドット数で表したものである。位置ずれの長さΔＬAは、ビームドット数で表した差分ΔＮAと、パネルＡのビームピッチＰAとの積（ΔＮA×ＰA）によって表される。ビームドット数から長さへの変換は、ビームドット数とビームピッチとの積算の演算で表される。

S4Cの工程では、異なる種類のパネルレイアウトにおいて、ビームドット数で表される位置ずれを算出する。ここで、異なる種類のパネルレイアウトのパネルとしてパネルＢについて説明する。

ビームドット数で表される位置ずれに相当する第２の差分ΔＮBは、長さからビームドット数への変換によって行う。第２の差分ΔＮBは、位置ずれの長さΔＬAをパネルＢのビームピッチＰBで除した値（ΔＮB＝ΔＬA／ＰB）によって表される。長さからビームドット数への変換は、長さをビームピッチで除算する演算で表される。

S5Aの工程では、パネルＢのビームドット数ＮBoldをS4Cで求めた第２の差分ΔＮBを用いて更新する。メンテナンス後のパネルＢのビームドット数ΔＮBnewは、ビームドット数ＮBoldに第２の差分ΔＮBを加算することで求めることができる。ビームドット数ΔＮBnewは、ΔＮBnew＝ＮBold＋ΔＮBで表すことができる。他のパネルＣ，Ｄ，…についても、パネルＢと同様にして求めることができる。

S6Aの工程のＴＦＴアレイの検査では、パネルＡについては登録したビームドット数ＮAnewを用いて特定部位を特定し、その他のパネルＢ，Ｃ，…については更新したビームドット数ＮBnew，ＮCnew，…を用いて特定部位を特定して行う。

図６（ａ）はパネルＡにおける第１の差分ΔＮAを説明するための図であり、図６（ｂ）はパネルＢにおける第２の差分ΔＮBを説明するための図である。

図６（ａ）において、パネルコーナー１０２oldはメンテナンス前のパネルＡのパネルの特定部位を示し、パネルコーナー１０２newはメンテナンス後のパネルＡのパネルの特定部位を示している。パネルＡでは、特定部位の差分は、ビームドット数を用いた場合にはΔＮ＝（ＮAnew−ＮAold）で表され、長さを用いた場合にはΔＬAで表される。

一方、図６（ｂ）において、パネルコーナー１０２oldはメンテナンス前のパネルＢのパネルの特定部位を示し、パネルコーナー１０２newはメンテナンス後のパネルＢのパネルの特定部位を示している。パネルＢでは、特定部位の差分は、ビームドット数を用いた場合にはΔＮ＝（ＮBnew−ＮBold）で表され、長さを用いた場合には、パネルＡと同じΔＬAで表される。

［座標位置の取得の第３の例］
次に、座標位置の取得の第３の例について図７のフローチャートを用いて説明する。なお、図２で示したフローチャートと共通する工程については同一の符号を用いて説明する。

図７のフローチャートに示す例では、図２に示したフローチャートのS1,S2の工程により電子ビームをＴＦＴアレイ基板上で走査して走査画像を取得した後、S3A〜S3Bの工程によって一種類のパネルの座標位置を走査画像に基づいて取得して登録し、S4A，S4Bの工程によってメンテナンス前後の座標位置の差分を算出し、S5Aの工程で残りの種類のパネルの座標位置を差分を用いて更新し、S6Bの工程で登録した座標位置および更新した座標位置を用いて、パネルおよびピクセルの位置を特定してＴＦＴアレイ検査を行う。

第３の例において、図５のフローチャートで示す第２の例との相違は、第２の例における、S4Bのビームドット数から長さへの変換、およびS4Cの長さからビームドット数との変換に代えて、S4D,S4Eの工程において、ビームドット数からビームドット数への変換によって行う点にある。

第３の例は、S3A,S3Bの工程、S5A，S5Bの工程については第２の例と共通するため、以下ではS4の工程についてのみ説明する。

S4Dの工程は第２の例のS4Aの工程と同様であり、元の走査画像のパネルコーナーの位置に対応するビームドット数ＮAoldと、S3Bの工程で求めて登録したビームドット数ＮAnewとの第１の差分ΔＮAを算出する。差分ΔＮAは（ＮAnew−ＮAold）によって表すことができる。

S4Eの工程では、異なる種類のパネルレイアウトにおいて、ビームドット数で表される位置ずれに相当する第２の差分を算出する。ここで、異なる種類のパネルレイアウトのパネルとしてパネルＢについて説明する。

ビームドット数で表される位置ずれに相当する第２の差分ΔＮBは、異なるパネルレイアウト間におけるビームドット数の変換によって行う。ビームドット数の変換は、異なるパネルレイアウト間のビームピッチの比率を用いて行う。

第２の差分ΔＮBは、第１の差分ΔＮAに、パネルＡのビームピッチＰAとパネルＢのビームピッチＰBとの比率ＰA/ＰBを乗算した値（ΔＮB＝ΔＮA×ＰA/ＰBA）によって表される。ビームドット数間の変換は、ビームピッチの比率を乗算する演算で表される。

本発明は、ＴＦＴアレイの基板は液晶基板や有機ＥＬとすることができ、液晶基板や有機ＥＬを形成する成膜装置の他、種々の半導体基板を形成する成膜装置に適用することができる。

１ ＴＦＴアレイ検査装置
２ 電子ビーム源
３ ステージ
４ 検出器
５ 走査画像形成部
６ 走査画像記憶部
７ 座標情報登録更新部
７ａ 座標情報取得部
７ｂ 登録部
７ｃ 差分算出部
７ｄ 更新部
８ 座標情報記憶部
９ 制御部
１０ 走査画像
１１ 基板
１２ パネル
１４ 特定部位
２０ 表示部
２１ 走査画像表示領域
２２ パネル像
１０１ パネル
１０２ パネルコーナー
１０２new パネルコーナー
１０２old パネルコーナー

Claims (10)

1. ＴＦＴアレイが形成された基板上に荷電ビームを照射して走査し、当該荷電ビーム走査で得られる走査画像に基づいてＴＦＴアレイを検査するＴＦＴアレイ検査方法において、
   複数種類のパネルレイアウトのＴＦＴアレイを検査対象とし、
   前記複数種類のパネルレイアウトの内の一種類のパネルレイアウトについて、走査画像を取得する走査画像取得工程と、
   前記走査画像取得工程で取得した走査画像において、基板上に形成されるパネルの特定部位の座標情報を求め、当該座標情報を登録済みの旧座標情報に代えて登録する登録工程と、
   前記登録した座標情報と旧座標情報との差分情報を算出する差分算出工程と、
   前記複数種類のパネルレイアウトの内の前記一種類を除く残余の種類のパネルレイアウトについて、各種類のパネルレイアウトのパネルの特定部位の登録済みの旧座標情報を前記差分情報を用いて更新する更新工程とを備え、
   前記一種類のパネルレイアウトを有するＴＦＴアレイについては前記登録した座標情報に基づいて荷電ビームを走査し、前記残余の種類のパネルレイアウトを有するＴＦＴアレイについては前記更新した座標情報に基づいて荷電ビームを走査して得られた走査画像に基づいてＴＦＴアレイを検査することを特徴とする、ＴＦＴアレイ検査方法。
2. 前記座標情報は、走査画像において前記パネルの特定部位の走査系に対する座標位置であり、
   前記登録工程は前記座標位置を登録し、
   前記差分算出工程は、前記登録した座標位置と登録済みの旧座標位置との差分値を算出し、
   前記更新工程は
   前記残余の種類のパネルレイアウトにおける座標位置と前記の差分値との加算によって残余の種類のパネルレイアウトにおける座標位置の更新値を算出することを特徴とする、請求項１に記載のＴＦＴアレイ検査方法。
3. 前記座標情報は、走査画像の基準位置から前記パネルの特定部位までに照射される荷電ビームのビームドット数であり、
   前記登録工程は前記ビームドット数を登録し、
   前記差分算出工程は、前記登録したビームドット数と登録済みのビームドット数との第１の差分値を算出し、
   前記更新工程は
   前記ビームドット数の第１の差分値と、前記一種類のパネルレイアウトにおけるビームドット間のピッチ長との積算によってずれ量を算出し、
   前記ずれ量の前記残余の種類のパネルレイアウトにおけるビームドット間のピッチ長による除算によって、前記残余の種類のパネルレイアウトにおけるビームドット数の第２の差分値を算出し、
   前記残余の種類のパネルレイアウトにおけるビームドット数と前記第２の差分値との加算によって残余の種類のパネルレイアウトにおけるビームドット数の更新値を算出することを特徴とする、請求項１に記載のＴＦＴアレイ検査方法。
4. 前記座標情報は、走査画像の基準位置から前記パネルの特定部位までに照射される荷電ビームのビームドット数であり、
   前記登録工程は前記ビームドット数を登録し、
   前記差分算出工程は、前記登録したビームドット数と登録済みのビームドット数との第１の差分値を算出し、
   前記更新工程は、前記ビームドット数の第１の差分値と、前記残余の種類のパネルレイアウトにおけるビームドット間のピッチ長に対する前記一種類のパネルレイアウトにおけるビームドット間のピッチ長の比率との積算によって残余の種類のパネルレイアウトにおけるビームドット数の更新値を算出することを特徴とする、請求項１に記載のＴＦＴアレイ検査方法。
5. 前記パネルの特定部位はパネルコーナーであることを特徴とする、請求項１から４に何れか一つに記載のＴＦＴアレイ検査方法。
6. ＴＦＴアレイが形成された基板上に荷電ビームを照射して走査し、当該荷電ビーム走査で得られる走査画像に基づいてＴＦＴアレイを検査するＴＦＴアレイ検査装置において、
   複数種類のパネルレイアウトのＴＦＴアレイを検査対象とし、
   前記複数種類のパネルレイアウトの内の一種類のパネルレイアウトについて、走査画像を取得する走査画像取得部と、
   前記走査画像取得部で取得した走査画像において、基板上に形成されるパネルの特定部位の座標情報を求め、当該座標情報を登録済みの旧座標情報に代えて登録する登録部と、
   前記登録した座標情報と旧座標情報との差分情報を算出する差分算出部と、
   前記複数種類のパネルレイアウトの内の前記一種類を除く残余の種類のパネルレイアウトについて、各種類のパネルレイアウトのパネルの特定部位の登録済みの旧座標情報を前記差分情報を用いて更新する更新部とを備え、
   前記一種類のパネルレイアウトを有するＴＦＴアレイについては前記登録した座標情報に基づいて荷電ビームを走査し、前記残余の種類のパネルレイアウトを有するＴＦＴアレイについては前記更新した座標情報に基づいて荷電ビームを走査して得られた走査画像に基づいてＴＦＴアレイを検査することを特徴とする、ＴＦＴアレイ検査装置。
7. 前記座標情報は、走査画像において前記パネルの特定部位の走査系に対する座標位置であり、
   前記登録部は前記座標位置を登録し、
   前記差分算出部は、前記登録した座標位置と登録済みの旧座標位置との差分値を算出し、
   前記更新部は
   前記残余の種類のパネルレイアウトにおける座標位置と前記の差分値との加算によって残余の種類のパネルレイアウトにおける座標位置の更新値を算出することを特徴とする、請求項６に記載のＴＦＴアレイ検査装置。
8. 前記座標情報は、走査画像の基準位置から前記パネルの特定部位までに照射される荷電ビームのビームドット数であり、
   前記登録部は前記ビームドット数を登録し、
   前記差分算出部は、前記登録したビームドット数と登録済みのビームドット数との第１の差分値を算出し、
   前記更新部は
   前記ビームドット数の第１の差分値と、前記一種類のパネルレイアウトにおけるビームドット間のピッチ長との積算によってずれ量を算出し、
   前記ずれ量の前記残余の種類のパネルレイアウトにおけるビームドット間のピッチ長による除算によって、前記残余の種類のパネルレイアウトにおけるビームドット数の第２の差分値を算出し、
   前記残余の種類のパネルレイアウトにおけるビームドット数と前記第２の差分値との加算によって残余の種類のパネルレイアウトにおけるビームドット数の更新値を算出することを特徴とする、請求項６に記載のＴＦＴアレイ検査装置。
9. 前記座標情報は、走査画像の基準位置から前記パネルの特定部位までに照射される荷電ビームのビームドット数であり、
   前記登録部は前記ビームドット数を登録し、
   前記差分算出部は、前記登録したビームドット数と登録済みのビームドット数との第１の差分値を算出し、
   前記更新部は、前記ビームドット数の第１の差分値と、前記残余の種類のパネルレイアウトにおけるビームドット間のピッチ長に対する前記一種類のパネルレイアウトにおけるビームドット間のピッチ長の比率との積算によって残余の種類のパネルレイアウトにおけるビームドット数の更新値を算出することを特徴とする、請求項６に記載のＴＦＴアレイ検査装置。
10. 前記パネルの特定部位はパネルコーナーであることを特徴とする、請求項６から９に何れか一つに記載のＴＦＴアレイ検査装置。

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