JP5424144B2 - ビジョン検査システム及びこれを用いた座標変換方法 - Google Patents
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Description
本発明は、ビジョン(Vision)検査システム及びこれを用いた座標変換方法に関するもので、より詳細には、被検査体を支持するテーブルに設けられた基準マークを用いて被検査体の絶対座標値を生成することができるビジョン検査システム及びそれを用いた座標変換方法に関するものである。
ビジョン(例えば、カメラ)を介して被検査体、例えば、TFT―LCD、PDP、OEL等のフラットパネルディスプレイ上の欠陥を検査するためのビジョン検査システムは、テーブルと、ステージと、カメラ等を含む。テーブルは、被検査体を支持し、ステージは、被検査体のローディング(loading)、アンローディング(unloading)、ポジショニング(positioning)のために、被検査体が用意されたテーブルをX軸またはY軸方向に直線往復運動をさせる。カメラは、被検査体、またはテーブルのイメージを取得するためのもので、フラットディスプレイパネルのサイズが大型化していくによって、被検査体の検査のために複数のカメラが利用される。
通常のビジョン検査システムは、被検査体の欠陥(defect)をマイクロメートル単位で精密に検査し、被検査体を基準とした絶対座標系を生成し、その絶対座標系内での欠陥の位置を座標値で表示した後、後続工程の装置へ欠陥の位置情報を伝達する。
被検査体を基準とした正確な絶対座標系を生成するために、カメラの整列操作、ステージの精度(accuracy)及び再現性(repeatability)の測定作業が必要である。カメラの整列操作により、各々のカメラから取得したイメージの回転角と、X軸とY軸へのシフト等を補正することができる。また、ステージの精度及び再現性の測定作業により、テーブルに移送しようとする目標移送位置と実際のテーブルが移送された位置との差である移送誤差、またはテーブルがX軸とY軸に対して回転された程度を示す回転誤差を補正することができる。
しかし、カメラの整列操作において、複数のカメラの配置に多くの時間と労力がかかるだけでなく、カメラの正確な配置に非常に困難な問題が発生する。また、カメラの位置は振動、衝撃、機具の変形等、多くの要因によって変動しやすいため、検査の信頼性と再現性を確保するためには、カメラの配置を定期的に実施しなければならないという問題点がある。
ステージの精度と再現性を測定するためには、システムと隣接する位置にレーザ干渉計(laser interferometer)を設置し、単位区間ごとにステージを移送させながらデータを取得しなければならないため、多くの時間と労力がかかるという問題がある。ステージの精度と再現性も、振動、衝撃、機具変形等の多くの要因によって変動しやすいため、定期的に実施しなければならないが、被検査体の製造ラインでは、長時間、検査ラインを停止させることができないという問題点がある。
従って、本発明の目的は、上記のような従来の問題点を解決するためのものであり、外部の別の装置を用いてステージの精度等を補正する作業をせずに、ビジョン検査システム自体の複数の基準マークを用いて被検査体の検査作業を行うとともに、ステージ精度の補正作業も行って、ステージの誤差を補正した被検査体の絶対座標系を生成することができるビジョン検査システム及びこれを用いた座標変換方法を提供することにある。
上記のような目的を達成するために、本発明のビジョン検査システムは、被検査体を支持するテーブルと、テーブルをY方向に直線往復移動させるステージと、被検査体、またはテーブルのイメージを取得するために、X方向に沿って離隔して配置される複数のカメラを含むビジョン検査システムにおいて、Y方向と交差するX方向に沿って、テーブルの一端部に離隔して配置される複数の第1マークと、第1マークのうち、最も左側の第1マークからテーブルの一側部にY方向に沿って離隔して配置され、第1マークのうち最も右側の第1マークからテーブルの他側部にY方向に沿って離隔して配置される複数の第2マークを含み、第1のマークのイメージを取得してイメージの座標値をステージの座標値に変換し、第2マークのイメージを取得してイメージの座標値とステージの座標値を、被検査体を基準とした絶対座標値に変換し、被検査体を基準とした絶対座標値は、ステージの精度が補正された座標値であることを特徴とする。
一方、上記のような目的を達成するために、本発明のビジョン検査システムの座標変換方法は、上記のビジョン検査システムを用いる方法であって、第1マークのイメージを取得する第1マークのイメージ取得ステップと、第1マークのイメージの座標値と第1マークのステージの絶対座標値との相関関係を用いてイメージの座標値をステージの座標値に変換する第1変換式を生成する第1変換式生成ステップと、第2マークのイメージを取得する第2マークのイメージ取得ステップと、第2マークのイメージの座標値と第2マークのステージの座標値の相関関係を用いて、テーブルの直線運動中、テーブルがX軸に対して傾斜した角度を表す回転誤差を算出する回転誤差算出ステップと、第2マークのイメージの座標値と第2マークのステージの座標値との相関関係を用いて、X軸またはY軸に沿ってテーブルの目標移送位置と実際の移送位置の差を示す移送誤差を算出する移送誤差算出ステップと、第1変換式に回転誤差と移送誤差を加減して、イメージの座標値とステージ座標値を被検査体を基準とした絶対座標値に変換する第2変換式を生成する第2変換式生成ステップと、を含むことを特徴とする。
本発明によれば、別の外部測定装置を利用せずに、テーブルに設けられた第2マークを用いて被検査体の検査作業を行うとともに、ステージの精度の補正作業を行うことで、ステージの精度及び再現性の測定にかかる時間と労力を節減することができる。
なお、本発明によれば、振動、衝撃、機具変形等の要因によって検査システムの状態が変化しても、いつでも、被検査体の検査作業を行いながら、ステージの精度または再現性を補正する作業を行うことができるため、設備の維持、保守にかかる経費を削減することができる。
さらに、本発明によれば、ビジョン検査システムを停止せずに、ステージの精度または再現性を補正する作業を行うことができるため、ビジョン検査システム及び被検査体の検査ラインを安定的に管理することができる。
以下、本発明によるビジョン検査システム及びこれを用いた座標変換方法の実施形態を、添付した図面を参照し詳細に説明する。
図1は、本発明の一実施形態によるビジョン検査システムの概略図である。
図1に示すように、本実施形態のビジョン検査システム100は、例えばフラットパネルディスプレイのパネルのような被検査体2の様々な欠陥4を検査及び測定することができるものであり、テーブル120と、ステージ130と、複数のカメラ150と、コンピュータとを備える。
テーブル120は、被検査体2を支持するものであって、フレーム110の上側に配置され、Y軸方向に沿って運動できるように設けられる。被検査体2は、テーブル120の上面に設置されたクランプ等により固定される。テーブル120の上面に被検査体2が用意された状態で、テーブル120は、Y軸方向に沿って移動されながら、被検査体1の検査が行われる。
ステージ130は、テーブル120をY軸方向に直線往復移動させる。本実施形態では、ステージ130は、直線運動の駆動力を提供する線形モータと、フレーム110の上面に固定されテーブル120の直線運動をガイドする一対の直線運動のガイドを含む。テーブル120の直線運動を具現するための線形モータと直線運動ガイドを組み合わせた構成は、通常の技術者には公知の事項であるため、これ以上の詳細な説明は省略する。他の例として、ステージ130は、回転駆動力を提供する回転モータと、ボールスクリューと、一対の直線運動のガイドとで構成されてもよい。
カメラ150は、被検査体2またはテーブル120のイメージを取得するために、X方向に沿って離隔して配置される。本実施形態では、被検査体の欠陥4をマイクロメートル単位で精密に検査し、そのイメージを取得するために、解像度の高いラインスキャンカメラ(Line Scan Camera)を利用する。ラインスキャンカメラは、1つの水平線に沿って、被検査体2をスキャニングしてイメージを取得する。複数のラインスキャンカメラは、各々の視野領域(Field Of View)FOV1、FOV2、…、FOV8)に応じて、被検査体2のイメージを分割してスキャニングする。
コンピュータ(図示せず)は、ステージ130とカメラ150の動作を制御する。コンピュータは、カメラ150から入力されたイメージをイメージ処理プログラムによって処理し、その結果として取得された被検査体2のイメージと欠陥4の検査結果などの一連のデータをモニター等の出力装置を用いて出力する。
テーブル120の上面には、X方向に沿って第1マーク(M1、M2、…、M9)が、Y方向に沿って第2マーク(Ma、Mb、Mc、Md、…)が設けられている。複数の第1マーク(M1、…、M9)は、Y方向と交差する、例えば、Y方向と直交するX方向に沿って、テーブル120の一端部から一定の間隔で離隔して配置される。また、複数の第2マークのうち一部(Ma、Mc、Me…)は、第1マークのうち、最も左側の第1マーク(M1)からテーブル120の一側部にY方向に沿って一定間隔が離隔して配置され、複数の第2マークのうち、他の一部(Mb、Md、Mf、…)は、第1マークのうち最も右側の第1マーク(M9)からテーブルの他側部にY方向に沿って一定間隔が離隔して配置される。
第1マーク(M1、…、M9)のうち、互いに隣接する2つのマークは、ラインスキャンカメラの各々の視野領域(FOV1、…、FOV8)内に入って来るように配置され、視野領域(FOV1、…、FOV8)のうち、互いに隣接する2つの視野の領域は、一定距離がオーバーラップされる。
コンピュータには、第1マーク(M1、…、M9)と第2マーク(Ma、Mb、…)のステージ座標値が予め保存され、カメラ150から入力される第1マーク(M1、…、M9)と第2マーク(Ma、Mb、…)のイメージからのイメージの座標値が算出される。そのイメージの基準ピクセルをゼロに設定し、ゼロピクセルから何番目のピクセルかを算出して、X軸とY軸のイメージの座標値を生成する。
以下、上述のように構成されたビジョン検査システム100を用いて、本発明によるビジョン検査システムの座標変換方法の実施形態について、図1乃至図3を参照して詳細に説明する。
図2は、図1のビジョン検査システムのテーブルと、第1マークと、第2マーク、及びカメラの配置を示す図面であり、図3は、図1のビジョン検査システムのテーブルが移送誤差または回転誤差によって歪んだ形態を概略的に示す図面であり、図4は、本発明の一実施形態によるビジョン検査システムの座標変換方法のフローチャートである。
本実施形態のビジョン検査システムの座標変換方法を説明するに先立ち、回転誤差と移送誤差を次のように定義する。
理想的な場合、テーブル120は、Y軸に沿って直線往復運動をするため、X軸またはY軸に対して傾く傾斜角がない。しかしながら、実際の場合において、テーブル120の直線往復運動の際、製造公差または組立公差によって、X軸またはY軸に対して傾く現象が発生する。本明細書では、テーブル120がX軸に対する傾き角度を回転誤差と定義する。
また、ステージ130の直線往復運動の際、ステージ130の精度(accuracy)、または再現性によって、所望する目標移送位置と実際の移送位置との差が表す。本明細書では、X軸またはY軸に沿ってステージ130を用いてテーブル120を移送する場合、テーブル120の目標移送位置と実際の移送位置との差を移送誤差と定義する。
図1乃至図4を参照すると、本実施形態のビジョンシステムの座標変換方法は、テーブルに形成された基準マークを用いて被検査体の絶対座標系を生成する方法として、第1マークのイメージ取得ステップ(S110)と、第1変換式の生成ステップ(S120)と、第2マークのイメージ取得ステップ(S130)と、回転誤差の算出ステップ(S140)と、移送誤差の算出ステップ(S150)、及び第2変換式の生成ステップ(S160)とを含む。
先ず、第1マーク(M1、…、M9)のステージの絶対座標値と第2マーク(Ma、Mb、…)のステージの絶対座標値をコンピュータに入力して各々格納する。テーブル120上の任意の点を原点に設定し、その原点と、各マークのX軸とY軸の変位差がステージ絶対座標値となる。
本明細書で、ステージの絶対座標値とは、ステージ130の回転誤差または移送誤差を含まない正確な目標座標値として、作業者が予め情報を持っていてコンピュータに保存したステージの座標値を意味する。
続いて、第1マークのイメージ取得ステップでは、各々のカメラ150を用いて、第1マーク(M1、…、M9)のイメージを各々取得する(S110)。図2に図示したように、互いに隣接する2つの第1マーク(M1、M2)(M2、M3)が一つのカメラ151、152の視界領域内に入るよう、第1マーク(M1、M2)(M2、M3)のイメージを取得し、第1マーク(M1、M2)(M2、M3)のイメージから第1マークのイメージの座標値を算出する。
第1変換式の生成ステップでは、第1マーク(M1、…、M9)のイメージの座標値と、第1マーク(M1、…、M9)のステージの絶対座標値との相関関係を利用し、イメージの座標値をステージ座標値に変換する、第1変換式を生成する(S120)。
第1の変換式を生成するためには、先ず、第1マーク(M1、…、M9)のステージの絶対座標値と、第1マークのイメージの座標値を利用し、イメージのピクセル当りのステージ移送量を意味する解像度を算出する(S121)。X軸の解像度(ReX)とY軸の解像度(ReY)は、各々下記の数学式で表現される。
ここで、ReXは、X軸の解像度であり、ReYは、Y軸の解像度である。M1Xは、カメラ150により取得されたイメージ内の一組の第1マークのうち、いずれか一つ(M1)のX軸ステージの絶対座標値であり、M1Yは、イメージ内の一組の第1マークのうち、いずれか一つ(M1)のY軸ステージの絶対座標値であり、M2Xは、イメージ内の一組の第1マークのうち他の一つ(M2)のX軸ステージの絶対座標値であり、M2Yは、イメージ内の一組の第1マークのうち他の一つ(M2)のY軸ステージの絶対座標値である。m1xは、イメージ内の一組の第1マークのうちいずれか一つ(M1)のX軸イメージの座標値であり、m1yは、イメージ内の一組の第1マークのいずれか一つ(M1)のY軸イメージの座標値であり、m2xは、イメージ内の一組の第1マークのうち他の一つ(M2)のX軸イメージの座標値であり、m2yは、イメージ内の一組の第1マークのうち他の一つ(M2)のY軸イメージの座標値である。
上記の段落では、最も左側に位置するカメラ151の視野領域(FOV1)内の第1マーク(M1、M2)について例を挙げて番号を表示したが、左側から二番目カメラ152の視野領域(FOV2)内の第1マーク(M2、M3)と、最も右側に位置するカメラ158の視野領域(FOV8)内の第1マーク(M8、M9)の場合にも、同様に適用される。
その後、第1マーク(M1、…、M9)のステージの絶対座標値と、第1マーク(M1、…、M9)のイメージの座標値と解像度を用いて、カメラ150のX軸に対する傾斜度を算出する。各々のカメラ150のX軸に対する傾斜度であるθは、下記式のように表現される(S122)。
その後、第1マーク(M1、…、M9)のステージの絶対座標値と、第1マークのイメージの座標値と、解像度、及び傾斜度を用いて、イメージの原点のステージ座標値を算出する(S123)。各々のカメラ150により取得された各々のイメージの原点のX軸ステージの座標値であるOXと、イメージの原点のY軸ステージの座標値であるOYは、下記式のように表現される。
その後、第1マーク(M1、…、M9)のイメージの座標値と、解像度と、傾斜度、及びイメージの原点のステージの座標値を用いて、イメージの座標値をステージの座標値に変換する第1の変換式を生成する(S124)。第1変換式は、下記式のように表現される。
ここで、WXは、X軸ステージ座標値であり、WYは、Y軸ステージ座標値である。OXは、イメージの原点のX軸ステージ座標値であり、OYは、イメージの原点のY軸ステージ座標値である。wxは、X軸のイメージの座標値であり、wyは、Y軸のイメージの座標値である。
第2マークのイメージ取得ステップでは、複数のカメラ150のうち、最も左側のカメラ151と最も右側のカメラ158を用いて、第2マーク(Ma、Mb、…)のイメージを各々取得する(S130)。図3に図示したように、最も左側のカメラを用いて第2マークのうち、テーブル120の一端部に隣接して配置された2つの第2マーク(Ma、Mc)のイメージを取得し、最も右側のカメラ158を用いてテーブル120他端部に隣接して配置された2つの第2マーク(Mb、Md)のイメージを取得し、第2マークのイメージから第2マークのイメージの実際座標値を算出する。
本明細書で、イメージの実際座標値とは、回転誤差または移送誤差を含むカメラ150によって、実際に検出されたイメージの座標値を定義する。
回転誤差の算出ステップでは、第2マーク(Ma、Mb、…)のイメージの実際座標値と第2マーク(Ma、Mb、…)のステージの実際座標値との相関関係を用いて、テーブル120の回転誤差を算出する(S140)。
回転誤差を算出するために、まず、第2マーク(Ma、Mb、…)のうち、最も左側の第1マーク(M1)と隣接している一つのマークをマークa(Ma)に、第2マークのうち、マークaからX軸に沿って離隔して配置された一つのマークをマークb(Mb)に、第2マークのうち、マークa(Ma)からY軸に沿って離隔して配置されマークaに隣接する一つのマークをマークc(Mc)に、第2マークのうち、マークcからX軸に沿って離隔して配置された一つのマークをマークd(Md)に設定する(S141)。本実施形態で、マークa(Ma)とマークb(Mb)のY軸ステージの絶対座標値は、実質的に同一であり、マークc(Mc)とマークd(Md)のY軸ステージの絶対座標値も、実質的に同一てある。
その後、マークa(Ma)とマークb(Mb)を結ぶ直線のX軸に対する傾斜角ab(△θab)を算出する(S142)。傾斜角ab(△θab)を算出する式は、下記式のように表現される。
ここで、Ya′は、マークa(Ma)のY軸ステージの実際座標値であり、Yb′は、マークb(Mb)のY軸ステージの実際座標値である。Xaは、マークa(Ma)のX軸ステージの絶対座標値であり、Yaは、マークa(Ma)のY軸ステージの絶対座標値である。Xbは、マークb(Mb)のX軸ステージの絶対座標値であり、Ybは、マークb(Mb)のY軸ステージの絶対座標値である。
本明細書で、ステージの実際座標値とは、回転誤差または移送誤差を含むステージの座標値として、実際に検出されたイメージの実際座標値を第1変換式に代入して得られたステージの座標値を意味する。
したがって、Ya′は、マークa(Ma)のX軸とY軸のイメージの実際座標値を第1変換式に代入して得ることができる。Yb′は、マークb(Mb)のX軸とY軸のイメージの実際座標値を第1変換式に代入して得ることができる。
その後、マークc(Mc)とマークd(Md)を結ぶ直線のX軸に対する傾斜角cd(△θcd)を算出する(S143)。傾斜角cd(△θcd)を算出する式は、下記式のように表現される。
ここで、Yc′は、マークc(Mc)のY軸ステージの実際座標値であり、Yd′は、マークd(Md)のY軸ステージの実際座標値である。Xcは、マークc(Mc)のX軸ステージの絶対座標値であり、Ycは、マークc(Mc)のY軸ステージの絶対座標値である。Xdは、マークd(Md)のX軸ステージの絶対座標値であり、Ydは、マークd(Md)のY軸ステージの絶対座標値である。
したがって、Yc′は、マークc(Mc)のX軸とY軸イメージの実際座標値を第1変換式に代入して得ることができる。Yd′は、マークd(Md)のX軸とY軸イメージの実際座標値を第1変換式に代入して得ることができる。
その後、Y軸に沿ってマークa(Ma)とマークc(Mc)の間で、傾斜角ab(△θab)から傾斜角cd(△θcd)まで線形的に変化するようにし、テーブル120の回転誤差を算出する回転誤差式を生成する(S144)。回転誤差(△θ(X))を算出する式は、下記式のように表現される。
ここで、αは、比例変数として数学式11により、Ytopは、数学式12により、Ybtmは、数学式13により計算される。
移送誤差の算出ステップでは、第2マーク(Ma、Mb、…)のイメージの絶対座標値と第2マーク(Ma、Mb、…)のステージの実際座標値との相関関係を用いて、テーブルの移送誤差を算出する(S150)。
本明細書で、イメージの絶対座標値とは、ステージの絶対座標値を第1変換式に代入して得られた座標値として、回転誤差または移送誤差を含まないイメージの座標値を意味する。
移送誤差を算出するために、まず、マークa(Ma)またはマークb(Mb)のイメージの絶対座標値と、マークa(Ma)またはマークb(Mb)のステージの実際座標値、及び傾斜角ab(△θab)を用いて、X軸の変化に伴うマークa(Ma)とマークb(Mb)の間の移送誤差である移送誤差abを算出する(S151)。本実施形態では、マークa(Ma)のイメージの絶対座標値とマークa(Ma)のステージの実際座標値を利用してX軸の移送誤差ab(△Xab)とY軸の移送誤差ab(△Yab)を算出する式は、下記式のように表現される。
ここで、Xa′は、マークa(Ma)のX軸のステージの実際座標値であり、xaは、マークa(Ma)のX軸のイメージの絶対座標値であり、yaは、マークa(Ma)のY軸のイメージの絶対座標値である。xaは、マークa(Ma)のX軸とY軸のステージの絶対座標値を第1変換式に代入して得ることができ、yaは、マークa(Ma)のX軸とY軸のステージの絶対座標値を第1変換式に代入して得ることができる。
その後、マークc(Mc)またはマークd(Md)のイメージの絶対座標値と、マークc(Mc)またはマークd(Md)のステージの実際座標値と、傾斜角cd(△θcd)を用いて、X軸の変化に伴うマークc(Mc)とマークd(Md)の間の移送誤差である移送誤差cdを算出する(S152)。本実施形態では、マークc(Mc)のイメージの絶対座標値と、マークc(Mc)のステージの実際座標値を利用してX軸の移送誤差cd(△Xcd)とY軸の移送誤差cd(△Ycd)を算出する式は、下記式のように表現される。
ここで、Xc′は、マークc(Mc)のX軸ステージの実際座標値であり、xcは、マークc(Mc)のX軸のイメージの絶対座標値であり、ycは、マークc(Mc)のY軸のイメージの絶対座標値である。xcは、マークc(Mc)のX軸とY軸のステージの絶対座標値を第1変換式に代入して得ることができ、ycは、マークc(Mc)のX軸とY軸のステージの絶対座標値を第1変換式に代入して得ることができる。
その後、Y軸に沿ってマークa(Ma)とマークc(Mc)の間で、移送誤差abから移送誤差cdまで線形的に変化する線形移送誤差項を生成する(S153)。X軸の線形移送誤差項とY軸の線形移送誤差項は、下記式のように表現される。
その後、隣接するカメラの傾斜角度の差を補正するカメラの角度補正項を生成する(S154)。X軸のカメラの角度補正項とY軸のカメラの角度補正項は、下記の式のように表現される。
ここで、OX1は、複数のカメラのうち、最も左側のカメラ151によって取得されたイメージの原点のX軸ステージの座標値であり、OXnは、複数のカメラのうち、左側からn番目のカメラから取得されたイメージの原点のX軸ステージの座標値である。
その後、線形移送誤差項とカメラの角度補正項を加減し、移送誤差を算出するための移送誤差式を生成する(S155)。X軸の移送誤差(ΔXn)とY軸の移送誤差(ΔYn)を算出する式は、下記式のように表現される。
第2変換式の生成ステップでは、第1変換式に回転誤差と移送誤差を加減し、イメージの座標値とステージの座標値を、被検査体2を基準とした絶対座標値に変換する第2変換式を生成する(S160)。本明細書で、被検査体2を基準とした絶対座標値とは、ステージ130の移送誤差または回転誤差を補正し、被検査体2に基づいて生成された絶対座標系内の座標値を意味する。被検査体2を基準とした絶対座標値は、ステージ座標値で表示される。X軸とY軸に対する第2変換式は、下記式のように表現される。
ここで、NWXは、被検査体2のX軸ステージの絶対座標値であり、NWYは、被検査体2のY軸ステージの絶対座標値である。
その後、マークc(Mc)と、マークd(Md)と、マークe(Me)、及びマークf(Mf)によって区画される領域を、カメラ150がスキャニングしている間にも、上記のステップを繰り返して被検査体2を基準とした絶対座標値を生成することができ、最終的に、Y軸方向に沿ってテーブル120が移送しながら、被検査体2の全領域に対して絶対座標値を生成することができる。
上述のように構成された本実施形態によるビジョン検査システム及びこれを用いた座標変換方法は、別途の外部測定装置を使用せず、テーブルに設けられた第2マークを用いて被検査体の検査作業を行うとともに、ステージの精度の補正作業を行うことにより、ステージの精度と再現性の測定にかかる時間と労力を削減する効果を得ることができる。
なお、振動、衝撃、機具の変形等の要因によって、検査システムが変動されても、いつでも、被検査体の検査作業を行いながら、ステージの精度または再現性の補正作業を行うことができるため、機器の維持、そして補修に入る経費を削減する効果を得ることができる。
そして、ビジョン検査システムを停止せずに、ステージの精度または再現性の補正作業を行うことができるため、ビジョン検査システム及び被検査体の検査ラインを安定的に管理することができる効果が得られる。
本発明の権利範囲は、上述の実施形態や変形例に限定されるものではなく、添付の特許請求範囲内で多様な形態の実施形態として具現することができる。特許請求範囲で請求する本発明の要旨を超えずに、当該発明の属する技術分野における通常の知識を有する者であれば誰でも変形可能な様々な範囲まで、本発明の請求範囲の記載の範囲内にあるものとみなす。
本発明によると、外部の別途の装置を使用してステージの精度などの補正作業をせずに、ビジョン検査システム自体の複数の基準マークを用いて被検査体の検査を行うとともに、ステージの精度の補正作業を行い、ステージの誤差を補正した被検査体の絶対座標系を生成することができるビジョン検査システム及びこれを用いた座標変換方法が提供される。
Claims (5)
- 被検査体を支持するテーブルと、前記テーブルをY方向に直線往復移動させるステージと、前記被検査体、または前記テーブルのイメージを取得するために、前記X方向に沿って離隔して配置される複数のカメラと、
前記Y方向と交差するX方向に沿って前記テーブルの一端部に離隔して配置される複数の第1マークと、前記第1マークのうち、最も左側の第1マークから前記テーブルの一側部に前記Y方向に沿って離隔して配置され、前記第1マークのうち、最も右側の第1マークから前記テーブルの他側部に前記Y方向に沿って離隔して配置される複数の第2マークを含むビジョン検査システムの座標変換方法において、
前記第1マークのイメージを取得する第1マークのイメージ取得ステップと、
前記第1マークのイメージの座標値と前記第1マークのステージの絶対座標値との相関関係を用いてイメージの座標値をステージの座標値に変換する第1変換式を生成する第1変換式の生成ステップと、
前記第2マークのイメージを取得する第2マークのイメージ取得ステップと、
前記第2マークのイメージの座標値と前記第2マークのステージ座標値との相関関係を用いて、前記テーブルの直線運動中、前記テーブルが前記X軸に対して傾斜した角度を示す回転誤差を算出するか、あるいは、前記第2マークのイメージの座標値と前記第2マークのステージ座標値との相関関係を用いて、前記X軸または前記Y軸に沿って前記テーブルの目標移送位置と実際移送位置の差を示す移送誤差を算出する算出ステップと、
前記第1変換式に前記回転誤差あるいは前記移送誤差を加減して、イメージの座標値とステージの座標値を被検査体を基準とした絶対座標値に変換する第2変換式を生成する第2変換式の生成ステップと、を含むことを特徴とするビジョン検査システムの座標変換方法。 - 前記第1変換式の生成ステップは、
前記第1マークのステージの絶対座標値と、前記第1マークのイメージの座標値を利用してイメージのピクセル当りのステージ移送量を意味する解像度を算出するステップと、
前記第1マークのステージの絶対座標値と、前記第1マークのイメージの座標値、及び前記解像度を利用して前記カメラの前記X軸に対する傾斜度を算出するステップと、
前記第1マークのステージの絶対座標値と、前記第1マークのイメージの座標値と、前記解像度、及び前記傾斜度を利用してイメージの原点のステージ座標値を算出するステップと、
前記第1マークのイメージの座標値と、前記解像度と、前記傾斜度と、前記イメージの原点のステージ座標値を利用してイメージの座標値をステージの座標値に変換する第1変換式を生成するステップと、を含み、
前記ステージの絶対座標値は、前記ステージの回転誤差または移送誤差を含まない、予め決められた座標値であることを特徴とする請求項1に記載のビジョン検査システムの座標変換方法。 - 前記回転誤差を算出するステップは、
前記第2マークのうち、いずれか一つのマークをマークaに、前記第2マークのうち、前記マークaから前記X軸方向に沿って離隔して配置される一つのマークをマークbに、前記第2のマークのうち、前記マークaから前記Y軸に沿って離隔して配置される一つのマークをマークcに、前記第2マークのうち、前記マークcから、前記X軸に沿って離隔して配置された一つのマークをマークdに設定するステップと、 前記マークaと前記マークbを結ぶ直線の前記X軸に対する傾斜角abを取得するステップと、
前記マークcと前記マークdを結ぶ直線の前記X軸に対する傾斜角cdを取得するステップと、
前記Y軸に沿って前記マークaと前記マークcの間で、前記傾斜角abから前記傾斜角cdまで線形的に変化するようにして前記テーブルの回転誤差を算出する回転誤差式を生成するステップと、を含むことを特徴とする請求項1または請求項2に記載のビジョン検査システムの座標変換方法。 - 前記移送誤差を算出するステップは、
前記マークaまたは前記マークbのイメージの絶対座標値と、前記マークaまたは前記マークbのステージの実際座標値、及び前記傾斜角abを用いて、前記X軸の変化に伴う前記マークaと前記マークbの間の移送誤差である移送誤差abを算出するステップと、
前記マークcまたは前記マークdのイメージの絶対座標値と、前記マークcまたは前記マークdのステージの実際座標値、及び前記傾斜角cdを用いて、前記X軸の変化に伴う前記マークcと前記マークdの間の移送誤差である移送誤差cdを算出するステップと、
前記Y軸に沿って前記マークaと前記マークcの間で、前記移送誤差abから前記移送誤差cdまで線形的に変化する線形移送誤差項を生成するステップと、
隣接するカメラの傾斜角の差を補正するカメラの角度補正項を生成するステップと、
前記線形移送誤差項と前記カメラの角度補正項を加減して、前記移送誤差を算出する移送誤差式を生成するステップと、を含み、
前記イメージの絶対座標値は、前記ステージの絶対座標値を前記第1変換式に代入して得られる座標値として、回転誤差または移送誤差を含まないイメージの座標値であり、前記ステージの実際座標値は、回転誤差または移送誤差を含むステージの座標値であり、前記イメージの実際座標値は、回転誤差または移送誤差を含む、実際に検出されたイメージの座標値であることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載のビジョン検査システムの座標変換方法。 - 被検査体を支持するテーブルと、前記テーブルをY方向に直線往復移動させるステージと、前記被検査体、または前記テーブルのイメージを取得するために、前記X方向に沿って離隔して配置される複数のカメラと、
前記Y方向と交差するX方向に沿って前記テーブルの一端部に離隔して配置される複数の第1マークと、前記第1マークのうち、最も左側の第1マークから前記テーブルの一側部に前記Y方向に沿って離隔して配置され、前記第1マークのうち、最も右側の第1マークから前記テーブルの他側部に前記Y方向に沿って離隔して配置される複数の第2マークを含むビジョン検査システムであって、
前記カメラから取得した前記被検査体のイメージに対し、請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の座標変換方法を用いて、前記被検査体を基準とした絶対座標値を生成することを特徴とするビジョン検査システム。
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