JP5708164B2 - アレイ検査装置およびアレイ検査方法 - Google Patents
アレイ検査装置およびアレイ検査方法 Download PDFInfo
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図1は、電子線等の荷電粒子ビームを、液晶基板等の基板上で二次元的に走査させて得られる走査画像を示している。走査画像は、荷電粒子の照射によって基板側から放出される電子等を検出して得られる検出信号の信号強度に基づいて形成される。図示する走査画像の濃淡は、検出信号の信号強度に依存して模式的に示している。基板上に形成されたパネルに所定パターンの検査信号を印加することによって、パネルに対応する検査対象領域(パネル領域)40には所定のパターンが現れる。図示するパターンは格子状パターンを形成している。
図5(a),(b)に示す例は、基準点30から所定の傾きを有した基準線35を伸ばし、この基準線35上において、検査対象領域40の外周の端部41,42と交差する部分を含むように検出領域31,32を設定する例である。
2 電子ビーム源
3 ステージ
4 検出器
5 走査画像形成部
6 走査画像記憶部
7 端部検出部
7a 走査画像抽出部
7b 比較部
7c 比較結果記憶部
7d 微分演算部
7e ピーク検出部
7f 領域端検出部
7g 検出領域設定部
7h 値化閾値設定部
8 ピクセル位置算出部
9 検査部
10 制御部
11 設定パネルコーナー位置
20 走査画像
21 基板面
30 基準点
31,32 検出領域
31a,31b,32a,32b 検出領域
35 基準線
40 検査対象領域
41−44 端部
45 コーナー位置
100 基板
101 パネル
102 基準位置
103 ピクセル
104 検査対象領域
105 検査対象領域
110 パネルコーナー位置
111 設定パネルコーナー位置
112 検査対象領域
113 基板面
Claims (8)
- 荷電粒子ビームを基板上で二次元的に走査させて得られる走査画像に基づいて基板上に形成されたアレイを検査するアレイ検査装置において、
前記走査画像から基板上の検査対象領域の外周部分の4つの辺の少なくとも一つの辺を検出する端部検出部を備え、
前記端部検出部は、
前記走査画像において検出対象の辺と交差する方向の信号強度分布を2値化閾値と比較する比較部と、
前記比較部の出力を微分演算する微分演算部と、
前記微分演算の演算結果のピークを検出するピーク検出部と、
前記ピークの位置を検査対象領域の辺の座標位置として検出する領域端検出部とを備え、
前記端部検出部で検出した辺の座標位置を用いて、走査画像上における検査対象領域内の検査位置を特定することを特徴とするアレイ検査装置。 - 前記比較部は、走査画像の信号強度分布と2値化閾値との比較において、比較結果に基づいて、走査画像の信号強度、又は基板部における走査画像の信号強度よりも大きな一定信号強度を出力することを特徴とする、請求項1に記載のアレイ検査装置。
- 前記一定信号強度は、2値化閾値の信号強度であることを特徴とする、請求項2に記載のアレイ検査装置。
- 荷電粒子ビームを基板上で二次元的に走査させて得られる走査画像に基づいて基板上に形成されたアレイを検査するアレイ検査方法において、
前記走査画像から基板上の検査対象領域の外周部分の4つの辺の少なくとも一つの辺を検出する端部検出工程と、
前記端部検出工程で検出した辺の座標位置を用いて、走査画像上における検査対象領域内の検査位置を特定する検査位置特定工程とを備え、
前記端部検出工程は、
前記検出領域内の走査画像において検出対象の辺と交差する方向の信号強度分布を2値化閾値と比較し、
前記比較による出力を微分演算し、
前記微分演算の演算結果のピークを検出し、
前記ピークの位置を検査対象領域の辺の座標位置として検出することを特徴とするアレイ検査方法。 - 前記端部検出工程において、
走査画像上において、基準位置に対して予め定めた所定の位置関係に基づいて、検査対象領域の外周部分に検出領域を設定し、当該検出領域内の信号強度の変化から辺を検出することを特徴とする、請求項4に記載のアレイ検査方法。 - 前記検査対象領域の外周部分の少なくとも一辺に前記検出領域を2つ設定し、当該検出領域内の信号強度の変化から辺の位置および傾きを検出することを特徴とする、請求項5に記載のアレイ検査方法。
- 前記走査画像の信号強度分布と2値化閾値との比較において、比較結果に基づいて、走査画像の信号強度、又は基板部における走査画像の信号強度よりも大きな一定信号強度を出力することを特徴とする、請求項6に記載のアレイ検査方法。
- 前記一定信号強度は、2値化閾値の信号強度であることを特徴とする、請求項7に記載のアレイ検査方法。
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