JP4640163B2 - Tftアレイ検査装置 - Google Patents
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- 電子線をTFTアレイ上で二次元的に走査して得られる検出波形に基づいてTFT欠陥を検出するTFTアレイ検査装置において、
基準波形を用いて検出したTFTの欠陥の種類を分類する欠陥種類分類部を備え、
前記欠陥種類分類部は、
検出波形から欠陥を検出する欠陥波形検出部と、
前記欠陥波形検出部で欠陥検出した波形の欠陥の種類を判別する欠陥種類判別部と、
前記欠陥波形検出部と欠陥種類判別部のそれぞれで用いる基準波形を記憶する基準波形記憶部とを備え、
前記欠陥波形検出部及び欠陥種類判別部は、前記各基準波形を基準として用いて波形比較し、
前記基準波形記憶部は、欠陥波形検出部で用いる基準波形として正規波形を記憶し、欠陥種類判別部で用いる基準波形として、欠陥の種類が既知である欠陥標準基板を検査することによって取得される欠陥波形を記憶し、
前記欠陥波形検出部は、検出波形と前記正規波形とを波形比較することにより波形の欠陥を検出し、
前記欠陥種類判別部は、前記欠陥波形検出部で欠陥検出した波形と前記欠陥波形とを波形比較することにより欠陥種類を分類することを特徴とする、TFTアレイ検査装置。
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