JP2006200927A - Ｔｆｔアレイ検査装置、及びデータ抽出方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 欠陥ピクセルのデータを正しく抽出し、正常なピクセルを欠陥ピクセルとして誤って検出する誤検を防ぐ。
【解決手段】 ＴＦＴアレイ検査装置１は、二次元の測定データから欠陥データを抽出するＴＦＴアレイ検査装置であり、二次元の測定データからピクセルに割り付ける測定データを選択する探索手段６と、探索結果を記憶する記憶手段７と、探索結果を参照して未割り付けのピクセルに測定データを割り付ける割り付け手段８とを備えた構成とする。割り付け手段８は、二次元の測定データから検査対象パネルのピクセル単位のデータへデータ再構築して割り付けデータを構成し、割り付けデータに基づいて各ピクセルの欠陥データを抽出する。
【選択図】 図１

Description

本発明は、ＴＦＴアレイ基板検査装置に関し、電子線を用いてフラットパネルディスプレイのピクセルの良否状態を検査するＴＦＴアレイ基板検査装置であり、特に、測定データから欠陥データを抽出するデータ処理に関する。

液晶アレイ基板は、ガラス基板等の基板上に薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）がマトリックス状に配置されてなるＴＦＴアレイと、このＴＦＴアレイに駆動信号を供給する信号電極とを備え、ＴＦＴアレイはソース電極やゲート電極等の電極を通して供給される信号によって駆動される。

液晶ガラス基板に形成されるアレイを検査する装置として、各電極と電気的に接続して検査信号を印加するプローバと検査回路を備えた液晶アレイ検査装置が知られている。液晶アレイ検査装置は、プローバフレームのプローブピンを液晶基板の電極に接触させて検査信号を供給し、このときの液晶アレイの電位状態や電流状態を測定することにより、ゲート−ソース間の短絡、点欠陥、断線等を検査する。

電子線を用いた液晶ＴＦＴ基板の検査装置として、例えば特許文献１，２が知られている。

このＴＦＴ基板検査装置では、電子線と検査対象であるＴＦＴ基板とを相対的に移動しながら二次電子を検出することによって二次元の測定データを取得する。各ピクセルには複数個の測定データが含まれ、各測定データはピクセル配列に対応させることができる。

各データ点の信号強度は、測定対象であるＴＦＴ基板の各ピクセルの状態を表す相関出力をとして測定される。この測定信号強度によって二次元の画像データを構成して各ピクセルの良否を判定し、欠陥ピクセル（画素）の欠陥座標や欠陥の種類の分類などの検査情報を得ることができる。

画像データから欠陥ピクセルを抽出するには、しきい値として所定の強度値を設定し、ピクセルに含まれる測定データの信号強度としきい値とを比較し、信号強度がしきい値以下であるピクセルを抽出することによって欠陥ピクセルの抽出を行う。

通常、ＴＦＴ基板上の各パネルの解像度は、ＲＧＢのピクセルを単位として定義されるが、電子線によるＴＦＴ基板検査装置では、各ピクセルに対して複数の測定点を設定して複数の測定データ取得することができるため、ピクセルを単位とするものよりも高い解像度を得ることができる。

しかしながら、ＴＦＴ基板検査装置が最終的に出力する欠陥座標などの検査情報は、パネルと単位とする解像度に従って出力するため、また、処理時間を短縮するためや、使用メモリを節約するために、測定データから検査対象のパネルに対応する領域のデータを抽出し、抽出したパネル領域内のデータをパネルのピクセル単位に割り付けて、パネルデータの再構築を行っている。

測定データのデータ点と、パネルの各ピクセルとの位置関係は、ＴＦＴ基板のパネルレイアウトや基板のアライメント情報によって一意に求めることができる。しかしながら、計測系や基板アライメントの誤差等によって、これらの位置関係には誤差が含まれる。そのため、パネルの各ピクセルとの位置関係に基づいて、測定データを各ピクセルに対して単純に割り付けを行うと、欠陥部分のデータを正しく抽出することができない場合が生じる。

そこで、従来、測定データ点の近傍を探索して最適なデータを探し出し、パネルデータとし割り付ける信号強度を求めることによって、欠陥データの検出率の低下を防いでいる。
特願平１０−３７２８８４号 特願平１１−２５２４７号

従来行われているデータの割り付けでは、互いに隣り合うピクセルについて測定データ上で探索する領域に重なりが生じ、同一の測定データが複数のピクセルに重複して割り付けられる場合が発生する。このように同じ測定データが重複して割り付けられると、本来１点であるべき欠陥ピクセルが、２点あるいはそれ以上の点数の欠陥として検出される場合が生じる。

図１３、図１４は重複割り付けを説明するための図である。図１３において、各ピクセルは６点の測定データを備えている。ここで、ピクセル(i,j)から左方向に１点分、上方に１点分だけずれた位置で欠陥ピクセルの測定データが測定されたとものとする。図１３では、欠陥ピクセルと記載した６点の測定データ（縦２点、横３点）で示している。

この欠陥ピクセルの測定データは、図１３（ａ）に示すようにピクセル(i,j)に割り付けられる他、図１３（ｂ）に示すようにピクセル(i,j-1) に割り付けられる。そのため、図１３（ｃ）に示すように、同一の欠陥ピクセルがピクセル(i,j)とピクセル(i,j-1)の２点のピクセルに割り付けられることになり、実際には欠陥ピクセルは１点であるにもかかわらず、欠陥ピクセルが２点存在するものとして検出されることになる。

また、図１４において、ピクセル(i,j)から左方向に１点分ずれた位置で欠陥ピクセルの測定データが測定されたものとする。この欠陥ピクセルの測定データは、図１４（ａ）に示すようにピクセル(i,j)に割り付けられる他、図１４（ｂ）に示すようにピクセル(i-1j) に割り付けられる。そのため、図１４（ｃ）に示すように、同一の欠陥ピクセルがピクセル(i,j)とピクセル(i-1j)の２点のピクセルに割り付けられることになり、実際には欠陥ピクセルは１点であるにもかかわらず、欠陥ピクセルが２点存在するものとして検出されることになる。このように、ピクセルの長さ方向にずれが生じた場合には、正常なピクセルを欠陥ピクセルとして誤って見なす誤検と言われる問題が発生する。この誤検はリペア工程で見つけることができず、検査性能が低下することになる。

また、このような問題を解決する方法として、一度割り付けた測定データを記録しておき、他のピクセルに割り付けを行わないようにすることが考えられる。しかしながら、この場合には、欠陥部分のデータが欠陥ピクセルに正しく割り付けられるとは限らず、欠陥ピクセルを正しく抽出できないという問題が生じる。

そこで、本発明は前記した従来の問題点を解決し、欠陥ピクセルのデータを正しく抽出することを目的とし、また、正常なピクセルを欠陥ピクセルとして誤って検出する誤検を防ぐことを目的とする。

本発明は、測定データをピクセルに割り付ける際に行う探索結果を探索結果マップに記憶しておき、あるピクセルのデータを割り付ける際に、既に測定データの割り付けが完了している周辺のピクセルの探索結果を参照して、同じ測定データ点が重複して割り付けられることを防ぐものである。

ここで、探索は、データの割り付けを行おうとするピクセルの周囲に存在する領域の測定データの信号強度を調べ、対象とするピクセルに割り付けるに適した測定データを探し出すデータ処理であり、この探索によってピクセルに割り付けを行う領域の位置及び信号強度の探索結果を探索結果マップに記憶する。

この探索結果マップは、既に測定データの割り付けが済んでいるピクセルにおいて、そのピクセルに対してどの周辺位置にある測定データを割り付けに用いたかを表すものであり、測定データの割り付けが行われていないピクセルにデータ割り付けを行う際に、そのピクセルの周囲にあるデータ割り付け済みの周辺ピクセルの探索結果を参照することで、同一の測定データ点を重複して割り付けに用いるという誤りを抑制することができる。

本発明のＴＦＴアレイ検査装置における欠陥データ抽出方法は、ＴＦＴアレイ検査装置により二次元の測定データから欠陥データを抽出するデータ抽出方法において、二次元の測定データからピクセルに割り付ける測定データを選択する探索工程と、探索結果を記憶する記憶工程と、探索結果を参照して未割り付けのピクセルに測定データを割り付ける割り付け工程とを備え、測定データの割り付けにより、二次元の測定データから検査対象パネルのピクセル単位のデータへデータ再構築し、割り付けデータに基づいて各ピクセルの欠陥データを抽出する。

探索工程は、対象ピクセル及び当該対象ピクセルの周囲の領域の測定データから信号強度に基づいて当該対象ピクセルに割り付ける領域及び測定データを選択する。

記憶工程は、探索工程で選択した領域及び測定データを探索結果として記憶する。

割り付け工程は、未割り付けのピクセルの周囲に割り付けられた領域の測定データと、当該未割り付けピクセルの測定データとの強度比較により、当該未割り付けピクセルに測定データを割り付ける。

また、本発明のＴＦＴアレイ検査装置は、二次元の測定データから欠陥データを抽出するＴＦＴアレイ検査装置において、二次元の測定データからピクセルに割り付ける測定データを選択する探索手段と、探索結果を記憶する記憶手段と、探索結果を参照して未割り付けのピクセルに測定データを割り付ける割り付け手段とを備えた構成とする。割り付け手段は、二次元の測定データから検査対象パネルのピクセル単位のデータへデータ再構築して割り付けデータを構成し、割り付けデータに基づいて各ピクセルの欠陥データを抽出する。

本発明によれば、欠陥ピクセルのデータを正しく抽出することができ、また、正常なピクセルを欠陥ピクセルとして誤って検出する誤検を防ぐことができる。

以下、本発明の実施の形態について、図を参照しながら詳細に説明する。

図１は、本発明のＴＦＴアレイ検査装置における欠陥データ抽出方法を説明するためのフローチャートである。なお、（Ｓ）で示す符号はフローチャート中の符号と対応している。

はじめに、あるピクセルへ割り付けるべき測定データを探索する。探索は、データの割り付けを行おうとするピクセルの周囲に領域を設定し、その領域の測定データの信号強度を比較して、対象とするピクセルに割り付けるに適した測定データを探し出す。

例えば、欠陥ピクセルの信号強度は正常ピクセルの信号強度よりも低く検出されるとき、対象ピクセルが欠陥ピクセルである場合には信号強度は低くなる。対象ピクセルに対して測定データがずれて検出されるときには、その対象ピクセルの周囲のいずれかの領域に、対応する測定データが存在すると考えられる。そこで、対象ピクセルの周囲の領域において、その測定データの信号強度が最も低い領域を求めることで、対象ピクセルの測定データを探し出すことができる（Ｓ１）。探索で得られた探索結果（領域と信号強度）を記憶して探索結果マップを作成する（Ｓ２）。

あるピクセルについて測定データを求める際、そのピクセルの探索結果が領域０（そのピクセル自身）以外の周辺の領域である場合には（Ｓ３）、既にデータ割り付け済みの周辺ピクセルの探索結果を参照し、その領域がデータ割り付け済みの周辺ピクセルにおいて測定データとして使用されているか否かを確認する（Ｓ４）。

探索結果の参照により当該領域が重なっていて、測定データが重複する可能性がある場合には（Ｓ５）、周辺ピクセルの割り付け強度と、探索によって得られた対象ピクセル自身の信号強度を比較し（Ｓ６）、探索結果を採用するか、あるいは探索結果を利用せずの領域０の強度を選択する（Ｓ７）。

周辺ピクセルの割り付け強度と対象ピクセル自身の信号強度との比較によって、対象ピクセルが欠陥ピクセルである可能性が高い場合（例えば、対象ピクセルの割り付け強度が周辺ピクセルの信号強度よりも低い場合）には、探索結果を採用し（Ｓ８）、周辺ピクセルの割り付けデータを再計算する（Ｓ９）。

一方、周辺ピクセルの割り付け強度と対象ピクセル自身の信号強度との比較によって、周辺ピクセルが欠陥ピクセルである可能性が高い場合（例えば、周辺ピクセルの信号強度が対象ピクセルの割り付け強度よりも低い場合）には、領域０の強度を割り付ける（Ｓ１０）。

また、探索結果の参照により測定データが重複する可能性がない場合には（Ｓ５）、探索結果を採用する（Ｓ１１）。Ｓ９，Ｓ１０，Ｓ１１の結果に基づいて探索結果マップを修正する（Ｓ１２）。

前記Ｓ３からＳ１２の工程を全ピクセルについて繰り返すことで、前記ピクセルの測定データの割り付けを行う（Ｓ１３）。

これによって、あるピクセルへのデータ割り付けにおいて、既にデータ割り付け済みの周辺ピクセルの探索結果を参照し、同じ測定データ点が重複して割り付けられる可能性がある場合には、その周辺のピクセルとの強度比較によって探索結果を吟味して割り付けデータを決めるため、同じ測定データが重複して割り付けられることを抑制することができる。

図２は、本発明のＴＦＴアレイ検査装置の概略構成を説明するためのブロック図である。図２において、ＴＦＴアレイ検査装置１は、電子銃１１から液晶基板等の検査対象１０に電子線を照射し、検査対象１０から放出された二次電子を検出器２で検出し、測定手段３で検出信号を信号処理し、取得した測定データ測定データ記録手段４に記録する。

検出器２の検出信号はＴＦＴアレイの電位状態に係わる情報を含んでおり、検出信号の二次元データから得られる画像データにより、ＴＦＴアレイの欠陥分布や欠陥種類の分類等の欠陥情報を得ることができる。

ＴＦＴアレイ検査装置１は、欠陥情報を得る構成として、対象ピクセル及び各領域での測定データの信号強度の平均強度を算出する平均強度演算手段５、平均強度演算手段５で算出した平均強度を用いて対象ピクセルに割り付けるに適した測定データを求める探索手段６、探索手段６の探索結果（領域及び信号強度）を記録する探索結果記録手段７、探索結果を参照して測定データの割り付け、及び探索結果の修正を行う割り付け手段８を備える。

欠陥抽出手段９は得られた割り付けデータを用いてＴＦＴアレイの欠陥抽出を行う。欠陥抽出では、ＴＦＴアレイの二次元分布や、欠陥種類の分類等を行う。

次に、本発明による欠陥データの抽出手順について、図３に示すフローチャートに従って説明する。

ここでは、図４〜図６に示す探索領域を設定した場合について説明する。図４において、対象ピクセルを（ｉ,j）としたとき（図中の地模様で示した領域）、探索領域は例えばその周辺に位置する８つの領域で設定することができる。図では各ピクセルの大きさに対して６点の測定点が対応する場合を示している。この場合には、各探索領域は対象ピクセルから左右（横方向）及び上下（縦方向）に、それぞれ１測定点分だけずれた領域として設定することができる。

各探索領域はそれぞれ６測定点（横３点縦２点）を含む範囲であり、図４では実線で囲む範囲で示し、図５では破線で囲む範囲で示し、番号は領域番号を示している。なお、図５では領域０，１，２までを示し、領域３〜８は領域の番号のみを示している。図６（ａ）〜図６（ｈ）は、対象ピクセルを領域０（破線で示す）で表し、その周辺領域（実線で示す）を領域１から領域８で表している。なお、周辺領域は、上記したように、１測定点分だけずらして設定する他、ずれ量を２測定点分としたり、左右と上下でずれ量を異ならせるなど、別の設定によって定めてもよい。

領域０は測定対象のピクセルに対応する範囲であり、この領域０の測定データは、ＴＦＴ基板のパネルレイアウトや基板のアライメント情報に基づいて、検出器から得られる測定データのデータ点とパネルの各ピクセルとの位置関係から計算によって求めることができる（Ｓ２１）。

各領域０〜８は、複数点の測定データ（図では６点の測定データ）を含むため、当該領域の信号強度を特定するためにこれらの測定データの信号強度の平均強度を算出する（Ｓ２２）。

算出した各領域の平均強度を比較して、最小値とその領域番号を求める。欠陥ピクセルでの信号強度は、正常なピクセルの信号強度よりも低く検出される場合には、各領域の平均強度の中から最小値を見つけることによって、欠陥ピクセルの測定データに対応する領域を探索することができる（Ｓ２３）（前記Ｓ１に対応）。探索で得られた領域と信号強度を記録して探索結果マップを作成する（前記Ｓ２に対応）。

次に、Ｓ２４、Ｓ２５によって、既にデータ割り付け済みの周辺プログラムの探索結果を参照し（前記Ｓ４に対応）、重複の可能性がある場合には（前記Ｓ５に対応）、周辺ピクセルの割り付け強度と自身の領域の強度を比較（前記Ｓ６に対応）する。

ここで、探索結果により領域０以外の領域においてデータ割り付けが行われている場合（Ｓ２４）には、そのデータ割り付けが行われている領域が、周辺ピクセルの探索結果（領域番号）と重複しているかを調べ、重複している場合には信号強度を比較して、周辺ピクセルの探索結果の信号強度が測定対象のピクセルの信号強度よりも低い場合には、周辺ピクセルの探索結果を採用し、測定対象のピクセルの信号強度が周辺ピクセルの探索結果の信号強度よりも低い場合には、測定対象のピクセルの信号強度を採用して探索結果を修正する（Ｓ２５）。

Ｓ２５で得られた探索結果の強度をピクセル（i,j）に割り付け（Ｓ２６）、探索結果の領域番号を探索結果マップに記録する（Ｓ２７）。全ピクセルについてＳ２１〜Ｓ２７を繰り返すことによって全データの割り付けを行う（Ｓ２８）。

Ｓ２４の工程において、重複する領域のパターンの組み合わせは、以下の表で表すことができる。

この表は、対象ピクセル（i,j）の領域１、２，３，４，８について、当該領域を周辺領域として持つ可能性がある周辺ピクセルの組み合わせと、その周辺ピクセルから見て重複の可能性のある領域の組み合わせを示している。例えば、対象ピクセルから１測定点だけ上方にずれた位置にある領域１について見たとき、この領域１を周辺領域として持つ可能性がある周辺ピクセルはピクセル（i,j-1）であり、ピクセル（i,j-1）から見たとき、周辺領域として領域０，４，５，６を備えている。

なお、パネル上の各ピクセルは、パネルの左上角から順に、横方向については左方から右方に向かって、また縦方向については上方から下方に向かって順番にデータ割り付けを行うものとし、データ割り付け順において対象のピクセルの後方にあるピクセルについてはデータ割り付けに寄与しないものとする。

図７（ａ）は、領域１を周辺領域として持つ可能性がある周辺ピクセルがピクセル（i,j-1）であることを示している。図７（ａ）において、対象ピクセル（i,j）に対して、領域１は斜線を付した領域で示している。破線で示すピクセル（i,j-1）の周辺領域の範囲は一点鎖線で示す範囲であり、このピクセル（i,j-1）の周辺領域の範囲は領域１を内部に含むため、ピクセル（i,j-1）は領域１を周辺領域として持つ可能性がある。

このピクセル（i,j-1）について見たとき、周辺領域として領域０，４，５，６を備える。図８は、ピクセル（i,j-1）の周辺領域を示している。図８（ａ）は、ピクセル（i,j）の領域１とピクセル（i,j-1）との位置関係を示し、図８（ｂ）〜図８（ｅ）はピクセル（i,j-1）に対する周辺領域０，４，５，６を示している。

従って、対象ピクセル（i,j）の探索結果として領域１が得られたとき、この領域１の測定データを用いて既にデータ割り付けを行った可能性があるピクセルとしてピクセル（i,j-1）があり、このピクセルの周辺領域０，４，５，６の測定データは割り付けのデータとして用いられている可能性があることを意味している。

次に、表２の領域２について見る。

対象ピクセルから１測定点だけ上方及び左方にずれた位置にある領域２について見たとき、この領域２を周辺領域として持つ可能性がある周辺ピクセルはピクセル（i,j-1），ピクセル（i-1,j-1），ピクセル（i-1,j）の３つのピクセルであり、ピクセル（i,j-1）から見たとき、周辺領域として領域３，４，５を備え、ピクセル（i-1,j-1）から見たとき、周辺領域として領域６を備え、ピクセル（i-1,j）から見たとき、周辺領域として領域６を備えている。

図７（ｂ）は、領域２を周辺領域として持つ可能性がある周辺ピクセルがピクセル（i,j-1），ピクセル（i-1,j-1），ピクセル（i-1,j）であることを示している。図７（ｂ）において、対象ピクセル（i,j）に対して、領域２は斜線を付した領域で示している。破線で示すピクセル（i-1,j-1）の周辺領域の範囲は一点鎖線で示す範囲であり、このピクセル（i-1,j-1）の周辺領域の範囲は領域２を内部に含むため、ピクセル（i-1,j-1）は領域２を周辺領域として持つ可能性がある。また、同様に、破線で示すピクセル（i,j-1），（i-1,j）の周辺領域の範囲は一点鎖線で示す範囲であり、このピクセル（i,j-1），（i-1,j）の周辺領域の範囲は領域２を内部に含むため、ピクセル（i,j-1），（i-1,j）は領域２を周辺領域として持つ可能性がある。

なお、上記したように、パネル上の各ピクセルは、パネルの左上角から順に、横方向については左方から右方に向かって、また縦方向については上方から下方に向かって順番にデータ割り付けを行っているため、データ割り付け順で（i-1,j）以降のピクセルについては寄与していない。

上記ピクセル（i,j-1）について見たとき、周辺領域として領域３，４，５を備える。図９は、ピクセル（i,j-1），ピクセル（i-1,j-1），ピクセル（i-1,j）の周辺領域を示している。図９（ａ）は、ピクセル（i,j）の領域２とピクセル（i,j-1）との位置関係を示し、図９（ｂ）〜図９（ｄ）はピクセル（i,j-1）に対する周辺領域３，４，５を示し、図９（ｅ）はピクセル（i-1,j-1）に対する周辺領域６を示し、図９（ｆ）はピクセル（i-1,j）に対する周辺領域８を示している。

従って、対象ピクセル（i,j）の探索結果として領域２が得られたとき、この領域２の測定データを用いて既にデータ割り付けを行った可能性があるピクセルとしてピクセル（i,j-1），ピクセル（i-1,j-1），ピクセル（i-1,j）があり、ピクセル（i,j-1）の周辺領域３，４，５の測定データ、ピクセル（i-1,j-1）の周辺領域６の測定データ、ピクセル（i-1,j）の周辺領域８の測定データは、それぞれ割り付けデータとして用いられている可能性があることを意味している。

領域３，４，８についても同様である。対象ピクセル（i,j）の探索結果として領域３が得られたとき、この領域３の測定データを用いて既にデータ割り付けを行った可能性があるピクセルとしてピクセル（i,j-1），ピクセル（i-1,j）があり、ピクセル（i,j-1）の周辺領域３の測定データ、ピクセル（i-1,j）の周辺領域６の測定データは、それぞれ割り付けデータとして用いられている可能性があることを意味し、対象ピクセル（i,j）の探索結果として領域４が得られたとき、この領域４の測定データを用いて既にデータ割り付けを行った可能性があるピクセルとしてピクセル（i-1,j）があり、ピクセル（i-1,j）の周辺領域６の測定データは、それぞれ割り付けデータとして用いられている可能性があることを意味し、対象ピクセル（i,j）の探索結果として領域８が得られたとき、この領域８の測定データを用いて既にデータ割り付けを行った可能性があるピクセルとしてピクセル（i,j-1），ピクセル（i+1,j-1）があり、ピクセル（i,j-1）の周辺領域５，６，７の測定データ、ピクセル（i+1,j-1）の周辺領域４の測定データは、それぞれ割り付けデータとして用いられている可能性があることを意味している。

これにより、（Ｓ２５）の工程では、領域１，２，３，４，８について、上記した既にデータ割り付けを行った可能性があるピクセルについて、その強度と探索結果を参照して探索結果を修正する処理を行う（Ｓ２５ａ〜Ｓ２５ｉ）。

また、上記以外の領域０，５，６，７については当該修正処理を行うことなく、以後の（Ｓ２６，Ｓ２７）の工程を行う。

図１０は、Ｓ２５で行う処理を説明するためのフローチャートである。前記表１に示す重複パターンリストを参照して、測定データを重複して使用する可能性があるか否かを判定し（Ｓ１０１）、対象ピクセル（i,j）に対して探索結果の周辺ピクセル（m,n）の探索領域番号Ｍ（m,n）が重複パターンリスト中に存在する場合には、周辺ピクセル（m,n）の強度Ｉ（m,n）と対象ピクセル（i,j）の強度Ｉ（i,j）とを比較し（Ｓ１０２）、Ｉ（m,n）≦強度Ｉ（i,j）の場合には、探索結果の領域番号を“０”として探索結果のデータをデータ割り付けに用い（Ｓ１０３）、Ｉ（m,n）＞強度Ｉ（i,j）の場合には、周辺ピクセル（m,n）の強度Ｉ（m,n）と探索結果を修正して、対象ピクセル（i,j）のデータをデータ割り付けに用いる（Ｓ１０４）。

図１１は、Ｓ１０４で行う処理を説明するためのフローチャートである。測定データから周辺ピクセル（m,n）の領域０の強度を求め（Ｓ２０１）、求めた強度を周辺ピクセル（m,n）の領域０の強度として設定し（Ｓ２０２）、周辺ピクセル（m,n）の探索領域番号Ｍ（m,n）を０に設定する。これにより、周辺ピクセル（m,n）の探索結果の修正を行う。

ピクセル（i,j）の領域から左上の１測定点分だけずれた位置（領域１に相当）に欠陥データが存在する場合について、図１２を用いて説明する。この場合には、j-1行目の各ピクセルでは図１２（ａ）に示すような探索結果（領域（i-1，j-1）の探索領域番号＝６、領域（i，j-1）の探索領域番号＝４）となる。

ピクセル（i,j-1）の探索結果から領域４についてＳ２５ｆの処理を行う。ピクセル（i,j-1）について、領域０とその周辺に近傍の８点について探索領域について探索処理を行う。この探索結果として、図１２（ａ）に示すように領域４が選択される。

ピクセル（i-1，j-1）の探索結果を参照すると、領域６であることが分かる、この領域６は、表１の重複パターンリストに存在するため、測定データの重複が発生している。そこで、現在の探索結果のピクセル（i,j-1）の強度と既に割り付けられているピクセル（i-1，j-1）の強度を比較する。

比較の結果、Ｉ（i，j-1）＜Ｉ（i-1，j-1）であると考えられるので、ピクセル（i，j-1）の探索結果が採用され、その強度がピクセル（i，j-1）に割り付けられると共に、探索結果の領域番号が記録される。

また、ピクセル（i-1，j-1）については元の割り付け結果が取り消され、領域０が再計算されて割り付けが行われる。また、ピクセル（i-1，j-1）の探索結果の領域番号は０に変更される。

次に、ピクセル（i-1，j）について探索を行うと、その結果は図１２（ｂ）に示すように、領域８が選択されると考えられる。そこで、上記と同様に、ピクセル（i，j-1）の探索結果を参照し、互いの強度を比較する。Ｉ（i，j-1）＜Ｉ（i-1，j）と考えられるので、ピクセル（i-1，j）については領域０が選択し直される（図１２（ｃ））。

次に、ピクセル（i，j）について、探索及び周辺ピクセルに探索結果と強度の比較を行う。この場合にはピクセル（i，j-1）との比較となり、ピクセル（i，j）の領域０は選択し直される（図１２（ｄ））。

なお、実際の測定データでは、欠陥部分の強度分布は正規分布的な広がりを持って観測されるため、ピクセル間の強度比較の結果は、上記と異なる場合もあり得る。

本発明によれば、探索結果マップを用いることにより、１ピクセル分に相当する測定データ上の欠陥データは、複数のピクセルに重複して割り付けられることがないため、最も適当な１ピクセルに対して割り付けを行うことができ、また、欠陥検出の能力が低下することもない。

なお、上記した例では、探索領域は基準領域（領域０）の周囲の近傍の８点としているが、任意の４点近傍など異なる探索領域を用いてもよい。例えば、探索領域を領域０〜３までとし、ピクセル間の探索領域の重複を少なくしてもよい。

また、各領域の強度は平均強度を用いているが。必要に応じてメディアン値や最大・最小値などの他の値を用いても良い。

また、自身のピクセルの探索結果と周辺領域の探索結果について、重複の可能性を判断する条件として別の探索結果の組み合わせを条件に加えても良い。

本発明によれば、あるピクセルのデータ割り付け時に、既にデータ割り付け済みの周辺ピクセルの探索結果を考慮して割り付けデータを決めるため、同じ測定データ点が重複して割り付けられることを防ぎ、その結果、高い座標精度で欠陥抽出を行うことができる。

また、周辺ピクセルの探索結果との関係から、有効な探索結果はそのまま採用されるため、欠陥検能力を低下させることもない。

本発明の液晶パネルのほか、有機ＥＬパネルの検査等に適用することができる。

本発明のＴＦＴアレイ検査装置における欠陥データ抽出方法を説明するためのフローチャートである。 本発明のＴＦＴアレイ検査装置の概略構成を説明するためのブロック図である。 本発明による欠陥データの抽出手順を説明するためのフローチャートである。 探索領域を説明するための図である。 探索領域を説明するための図である。 探索領域を説明するための図である。 周辺領域として持つ可能性がある周辺ピクセルを説明するための図である。 ピクセル（i,j-1）の周辺領域を説明するための図である。 ピクセル（i,j-1），ピクセル（i-1,j-1），ピクセル（i-1,j）の周辺領域を説明するための図である。 ピクセルの強度と探索結果の参照及び探索結果の修正を説明するためのフローチャートである。 ピクセルの強度と探索結果の修正を説明するためのフローチャートである。 データ割り付けの一例を説明するための図である。 従来の重複割り付けを説明するための図である。 従来の重複割り付けを説明するための図である。

符号の説明

１…ＴＦＴアレイ検査装置、２…検出器、３…測定手段、４…測定データ記録手段、５…平均強度演算手段、６…探索手段、７…探索結果記録手段、８…割り付け手段、９…欠陥抽出手段、１０…測定対象、１１…電子銃。

Claims (3)

1. ＴＦＴアレイ検査装置により二次元の測定データから欠陥データを抽出するデータ抽出方法において、
   二次元の測定データからピクセルに割り付ける測定データを選択する探索工程と、
   前記探索結果を記憶する記憶工程と、
   前記探索結果を参照して未割り付けのピクセルに測定データを割り付ける割り付け工程とを備え、
   前記測定データの割り付けにより、二次元の測定データから検査対象パネルのピクセル単位のデータへデータ再構築し、
   前記割り付けデータに基づいて各ピクセルの欠陥データを抽出することを特徴とする、ＴＦＴアレイ検査装置における欠陥データ抽出方法。
2. 前記探索工程は、対象ピクセル及び当該対象ピクセルの周囲の領域の測定データから信号強度に基づいて当該対象ピクセルに割り付ける領域及び測定データを選択し、
   前記記憶工程は、前記探索工程で選択した領域及び測定データを探索結果として記憶し、
   前記割り付け工程は、未割り付けのピクセルの周囲に割り付けられた領域の測定データと、当該未割り付けピクセルの測定データとの強度比較により、当該未割り付けピクセルに測定データを割り付けることを特徴とする請求項１に記載のＴＦＴアレイ検査装置における欠陥データ抽出方法。
3. 二次元の測定データから欠陥データを抽出するＴＦＴアレイ検査装置において、
   二次元の測定データからピクセルに割り付ける測定データを選択する探索手段と、
   前記探索結果を記憶する記憶手段と、
   前記探索結果を参照して未割り付けのピクセルに測定データを割り付ける割り付け手段とを備え、
   前記割り付け手段によって、二次元の測定データから検査対象パネルのピクセル単位のデータへデータ再構築して割り付けデータを構成し、前記割り付けデータに基づいて各ピクセルの欠陥データを抽出することを特徴とする、ＴＦＴアレイ検査装置。

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