JP5242248B2 - 欠陥検出装置、欠陥検出方法、欠陥検出プログラム、及び、記録媒体 - Google Patents
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Description
まず、本実施形態に係る欠陥検出装置100について、図1を参照して説明する。図1は、欠陥検出装置100の要部構成を示すブロック図である。
次に、欠陥検出装置100の動作、すなわち、欠陥検出装置100を用いた欠陥検出方法について、図2および図3を参照して説明する。
次に、上述した工程S11およびS21において光学系制御部122により実行される撮像位置設定処理について、図4を参照して説明する。図4は、撮像位置設定処理の一例を示したフローチャートである。
次に、上述した工程S13およびS23において高解像度化処理部123により実行される高解像度化処理について、図5〜図6を参照して説明する。高解像度化処理部123は、2×1画素ずらし法、1×2画素ずらし法、及び、2×2画素ずらし法の何れかを用いて高解像度化画像を生成する。
次に、上述した工程S14およびS24において欠陥検出処理部124により実行される欠陥検出処理について、図7および図8を参照して説明する。
コントラストC=|a−(b+c+d+e)/4|・・・(1)。
コントラストC=|a−(b+c+d+e+f+g+h+i)/8|・・・(2)。
最後に、2×1画素ずらし法、及び、1×2画素ずらし法の有効性について、図9および図10を参照して説明する。ここでは、縦長の欠陥を考え、(a)撮像画像そのもの、(b)2×2画素ずらし法により得られた高解像度化画像、(c)1×2画素ずらし法により得られた高解像度化画像、および、(d)2×1画素ずらし法により得られた高解像度化画像の各々に基づく欠陥検出の再現性(安定性)比較する。再現性の尺度としては、基準撮像位置の微小移動により引き起こされる、欠陥の検出サイズの変動を用いる。
最後に、PC120に含まれる各ブロックは、ハードウェアロジックによって構成してもよいし、次のようにCPUを用いてソフトウェアによって実現してもよい。
本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能である。すなわち、請求項に示した範囲で適宜変更した技術的手段を組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
110 光学系
111 カメラ
112 カメラ駆動装置
113 ステージ
114 ステージ駆動装置
120 PC
121 記録部
122 光学系制御部
123 高解像度化処理部
124 欠陥検出処理部
Claims (16)
- 評価対象物を撮像して得られた複数の撮像画像を参照し、該撮像画像の解像度より高解像度の高解像度化画像を生成する生成手段と、
上記生成手段により生成された高解像度化画像を参照し、上記評価対象物における欠陥を検出する検出手段と、
検出すべき欠陥の形状を示す欠陥形状情報に基づいて、上記高解像度化画像を生成するために上記生成手段が参照する上記撮像画像の枚数を設定する設定手段と、を備え、
上記検出手段により検出された欠陥の形状を示す欠陥形状情報を記録する記録部を更に備えており、
上記設定手段は、上記記録部に記録された上記欠陥形状情報に基づいて、上記高解像度化画像を生成するために上記生成手段が参照する上記撮像画像の枚数を設定するものである、
ことを特徴とする欠陥検出装置。 - 評価対象物を撮像して得られた複数の撮像画像を参照し、該撮像画像の解像度より高解像度の高解像度化画像を生成する生成手段と、
上記生成手段により生成された高解像度化画像を参照し、上記評価対象物における欠陥を検出する検出手段と、
検出すべき欠陥の形状を示す欠陥形状情報に基づいて、上記高解像度化画像を生成するために上記生成手段が参照する上記撮像画像の枚数を設定する設定手段と、を備え、
上記生成手段は、画素ずらし法により上記高解像度化画像を生成するものであり、
上記設定手段は、上記評価対象物を何れの方向にずらして撮像することにより得られた撮像画像を参照して高解像度化画像を生成するかを、検出すべき欠陥のアスペクト比に基づいて設定するものである、
ことを特徴とする欠陥検出装置。 - 評価対象物を撮像して得られた複数の撮像画像を参照し、該撮像画像の解像度より高解像度の高解像度化画像を生成する生成手段と、
上記生成手段により生成された高解像度化画像を参照し、上記評価対象物における欠陥を検出する検出手段と、
検出すべき欠陥の形状を示す欠陥形状情報に基づいて、上記高解像度化画像を生成するために上記生成手段が参照する上記撮像画像の枚数を設定する設定手段と、を備え、
上記検出手段は、上記高解像度化画像を構成する各画素のコントラストを算出するとともに、算出されたコントラストが予め定められた閾値を上回る画素の集合を欠陥像として特定し、上記欠陥像を構成する各画素のコントラストを積算することによって、欠陥の強度を算出するものである、
ことを特徴とする欠陥検出装置。 - 上記生成手段は、画素ずらし法により上記高解像度化画像を生成するものである、
ことを特徴とする請求項1または3に記載の欠陥検出装置。 - 予め推定された欠陥の形状を示す欠陥形状情報を記録する記録部を更に備えており、
上記設定手段は、上記記録部に記録された上記欠陥形状情報に基づいて、上記高解像度化画像を生成するために上記生成手段が参照する上記撮像画像の枚数を設定するものである、
ことを特徴とする請求項3に記載の欠陥検出装置。 - 上記検出手段により検出された欠陥の形状を示す欠陥形状情報を記録する記録部を更に備えており、
上記設定手段は、上記記録部に記録された上記欠陥形状情報に基づいて、上記高解像度化画像を生成するために上記生成手段が参照する上記撮像画像の枚数を設定するものである、
ことを特徴とする請求項3に記載の欠陥検出装置。 - 上記生成手段は、画素ずらし法により上記高解像度化画像を生成するものであり、
上記設定手段は、上記評価対象物を何れの方向にずらして撮像することにより得られた撮像画像を参照して高解像度化画像を生成するかを、検出すべき欠陥のアスペクト比に基づいて設定するものである、
ことを特徴とする請求項3に記載の欠陥検出装置。 - 上記設定手段は、上記評価対象物を第1の方向にずらして撮像することにより得られた2枚の撮像画像、上記評価対象物を該第1の方向に垂直な第2の方向にずらして撮像することにより得られた2枚の撮像画像、又は、上記評価対象物を該第1の方向及び/又は該第2の方向にずらして撮像することにより得られた4枚の撮像画像の何れを参照して上記高解像度化画像を生成するかを設定するものである、
ことを特徴とする請求項2または7に記載の欠陥検出装置。 - 上記検出手段は、上記高解像度化画像を構成する各画素のコントラストを算出するとともに、算出されたコントラストが予め定められた閾値を上回る画素の集合を欠陥像として特定するものである、
ことを特徴とする請求項1または2に記載の欠陥検出装置。 - 上記検出手段は、上記高解像度化画像を構成する各画素のコントラストを、当該画素の画素値と、上記評価対象物のパターンに応じて定められた参照画素であって、欠陥がなければ当該画素と同一の画素値を有すると推定される参照画素の平均画素値との差の絶対値をとることにより算出するものである、
ことを特徴とする請求項3、5、6、7、9の何れか1項に記載の欠陥検出装置。 - 上記検出手段は、上記欠陥像を構成する各画素のコントラストを積算することによって、欠陥の強度を算出するものである、
ことを特徴とする請求項9に記載の欠陥検出装置。 - 撮像装置により評価対象物を撮像して得られた複数の撮像画像を参照し、該撮像装置の解像度より高解像度の高解像度化画像を生成する生成工程と、
上記生成工程にて生成された高解像度化画像を参照し、上記評価対象物における欠陥を検出する検出工程と、
検出すべき欠陥の形状を示す欠陥形状情報に基づいて、上記高解像度化画像を生成するために上記生成工程にて参照される上記撮像画像の枚数を設定する設定工程と、を含み、
上記設定工程では、上記検出工程にて検出された欠陥の形状を示す欠陥形状情報を記録しておき、この記録された上記欠陥形状情報に基づいて、上記高解像度化画像を生成するために上記生成工程にて参照される上記撮像画像の枚数を設定する、ことを特徴とする欠陥検出方法。 - 撮像装置により評価対象物を撮像して得られた複数の撮像画像を参照し、該撮像装置の解像度より高解像度の高解像度化画像を生成する生成工程と、
上記生成工程にて生成された高解像度化画像を参照し、上記評価対象物における欠陥を検出する検出工程と、
検出すべき欠陥の形状を示す欠陥形状情報に基づいて、上記高解像度化画像を生成するために上記生成工程にて参照される上記撮像画像の枚数を設定する設定工程と、を含み、
上記生成工程では、画素ずらし法により上記高解像度化画像を生成し、
上記設定工程では、上記評価対象物を何れの方向にずらして撮像することにより得られた撮像画像を参照して高解像度化画像を生成するかを、検出すべき欠陥のアスペクト比に基づいて設定する、ことを特徴とする欠陥検出方法。 - 撮像装置により評価対象物を撮像して得られた複数の撮像画像を参照し、該撮像装置の解像度より高解像度の高解像度化画像を生成する生成工程と、
上記生成工程にて生成された高解像度化画像を参照し、上記評価対象物における欠陥を検出する検出工程と、
検出すべき欠陥の形状を示す欠陥形状情報に基づいて、上記高解像度化画像を生成するために上記生成工程にて参照される上記撮像画像の枚数を設定する設定工程と、を含み、
上記検出工程では、上記高解像度化画像を構成する各画素のコントラストを算出するとともに、算出されたコントラストが予め定められた閾値を上回る画素の集合を欠陥像として特定し、上記欠陥像を構成する各画素のコントラストを積算することによって、欠陥の強度を算出する、ことを特徴とする欠陥検出方法。 - コンピュータを請求項1から11の何れか1項に記載の欠陥検出装置として動作させるための欠陥検出プログラムであって、上記コンピュータを上記欠陥検出装置が備えている上記各手段として機能させる欠陥検出プログラム。
- 請求項15に記載の欠陥検出プログラムが記録されているコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
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