JP2001074600A

JP2001074600A - 液晶基板の配向状態評価方法とその装置、並びに液晶基板製造モニタリング装置および液晶基板

Info

Publication number: JP2001074600A
Application number: JP25213499A
Authority: JP
Inventors: Kaoru Sakai; 薫酒井; Toshiro Asano; 敏郎浅野; Tomoaki Sakata; 智昭坂田; Yoshitada Oshida; 良忠押田; Tsutomu Tanaka; 田中　　勉; Shunichi Kawabe; 俊一川辺; Susumu Tsujiku; 進都竹; Kazuya Nakamura; 和也中村
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1999-09-06
Filing date: 1999-09-06
Publication date: 2001-03-23

Abstract

(57)【要約】【課題】液晶基板上の微弱なむらを高精度に検出・定
量評価すること。【解決手段】テレセントリックレンズ１０３を用い
て、輝度シェーディングを除去し、また、光学系の傾斜
手段１０６を設け、液晶基板１０１に対しカメラ１０４
光軸を様々に傾けて撮像・評価を行う。更に、コンピュ
ータ１０７上で得られた画像毎に輝度シェーディング補
正を行うことで、微弱な欠陥を見落としなく高精度に検
出し、更にまた、欠陥種別対応判定基準を設け、合否判
定を行うと同時に、欠陥種別対応に詳細に定量評価を行
えるようにしたものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶基板の配向状
態評価方法とその装置に係わり、特に液晶基板特有の視
角依存性による輝度シェーディングが除去された状態と
して、微弱なむら等の欠陥が検出・評価されるようにし
た液晶基板の配向状態評価方法とその装置、更には、液
晶基板製造モニタリング装置および液晶基板に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】液晶パネルでは、配向膜が形成されたＴ
ＦＴ基板とカラーフィルタ基板との間に封入された液晶
の配向特性を変化させることで、画像が表示されるよう
になっている。したがって、液晶の配向を制御する配向
膜の状態が最終的な液晶パネル画質に大きく係わるもの
となっている。このため、配向状態の検査・評価が重要
視されているが、これまでの検査・評価では、液晶基板
は点灯状態におかれたまま、その微弱な輝度むら、しみ
を検査員が目視により欠陥として検出した上、評価して
いるのが殆どである。しかしながら、微弱な輝度むら、
しみの検出には熟練が要される上、微妙なコントラスト
の違いを定量評価することが難しいばかりか、検査員個
々の個人差による欠陥の有無判定上のばらつきや、欠陥
の見逃しが生じているのが実情である。また、専ら目視
による評価であるため、良品レベルについての詳細な評
価を行えず、品質管理などを行うのが困難となっている
のが実情である。

【０００３】以上のような不具合を解決すべく、例えば
配向状態が大きく影響を及ぼす最終的な液晶パネルの画
質検査としては、特開平８ー１７８８００号公報に記載
のように、むらを検出した上、良否判定を行うものが知
られている。これによる場合、検査対象としてのディス
プレイはカメラで画像として検出された上、むらが強調
された状態として、判定基準値を越えた部分がむらであ
るとして良否判定が行われるものとなっている。他に
は、特開平２−１９３２７１号公報に記載のように、液
晶パネルの法線方向に画像検出器が設置された上、検出
された画像からむらの有無検出が行われるものとなって
いる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来技
術では、専ら液晶パネルの発光むらの合否判定のみが主
目的とされており、判定基準以上のものだけがむらであ
るとして、その面積や強さ等の情報が提供されたものと
なっている。換言すれば、判定基準以下の微弱なむらは
無視されていたものである。従来技術がこのような状況
にあるのに対し、液晶パネルの画質に対する市場からの
要求は益々厳しくなっており、したがって、その品質の
向上と安定化には、判定基準以下の微弱なむらについて
も、より詳細に定量評価していく必要があるというもの
である。また、液晶パネルでの画質不良を未然に防ぐた
めには、配向膜印刷後の段階で基板の配向状態を定量評
価した上、そのレベル変動を良品の状態から監視する必
要があるというものである。ところが、検出対象となる
微弱なむらは、液晶特有の視角依存性により見る角度、
即ち、視角如何でその強さが異なっており、したがっ
て、従来技術のように、液晶基板をカメラに対し単に正
面、あるいは一定角度に傾けた状態で画像を検出したの
では、その画像からは微弱なむらが検出され得ない虞が
あるというものである。このような不具合に加え、カメ
ラ視線が基板上の各位置で異なることに起因して、画像
中には大きな輝度シェーディングが生じるようになって
いる。このため、発光状態におかれている液晶基板をカ
メラで撮像する場合には、カメラと基板との間には大き
な距離が確保されるものとなっている。これにより輝度
シェーディングは小さく抑制され得るものであるが、装
置の構成上から自ずと限界があり、大きな輝度シェーデ
ィングが生じている状態で、良品レベルの微弱なむら等
を高精度に検出した上、評価することは困難を極めてい
るのが実情である。

【０００５】本発明の第１の目的は、良品レベルの微弱
な輝度むら等までをも高精度に検出した上、定量評価し
得る液晶基板の配向状態評価方法を供するにある。本発
明の第２の目的は、良品レベルの微弱な輝度むら等まで
をも高精度に検出した上、定量評価し得る液晶基板の配
向状態評価装置を供するにある。本発明の第３の目的
は、液晶基板製造ラインに投入された状態で、良品レベ
ルについて、品質の変動を評価値により時系列に管理し
た上、不良発生の徴候を検出・警告し得る液晶基板製造
モニタリング装置を供するにある。本発明の第４の目的
は、同じく液晶基板製造ラインに投入された状態で、不
良発生に係わる製造工程を特定した状態として検出し得
る液晶基板製造モニタリング装置を供するにある。本発
明の第５の目的は、極めて高品質な液晶基板を供するに
ある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記第１の目的は、基本
的には、評価対象としての液晶基板の発光面に対し、画
像検出上での視角が順次更新設定される度に、画像検出
上での視線差により生じる輝度シェーディングが除去さ
れつつ、上記発光面が多値画像データとして検出された
後、検出多値画像データからは、該検出多値画像データ
上でのサンプリング画像データから生成された補正デー
タにもとづき、液晶の視角依存性等による輝度シェーデ
ィングが除去された状態のコントラスト多値画像データ
が得られた上、該コントラスト多値画像データ上から欠
陥種別対応判定用２値化しきい値により検出された、し
み、むらを含む各種欠陥については、欠陥種別対応に評
価値が算出されるようにして、上記視角対応に得られ
る、欠陥種別対応評価値を考慮の上、上記評価対象につ
いての総合的な合否判定が行われることで達成される。

【０００７】上記第２の目的は、基本的には、評価対象
としての液晶基板の発光面を、画像検出上での視線差に
より生じる輝度シェーディングが除去された状態の多値
画像データとして検出する画像検出手段と、該画像検出
手段の上記発光面に対する、画像検出上での視角を順次
更新設定する視角更新設定手段と、該視角更新設定手段
により視角が更新設定される度に、上記画像検出手段か
らの多値画像データを、該多値画像データ上でのサンプ
リング画像データから生成された補正データにより処理
することで、液晶の視角依存性等による輝度シェーディ
ングが除去された状態のコントラスト多値画像データと
して得る画像データ前処理手段と、該画像データ前処理
手段からのコントラスト多値画像データから、しみ、む
らを含む各種欠陥を欠陥種別対応判定用２値化しきい値
により検出する欠陥検出手段と、該欠陥検出手段により
検出された欠陥について欠陥種別対応に評価値を算出す
る評価値算出手段と、該評価値算出手段から得られる評
価値を格納する評価値格納手段と、該評価値格納手段上
に視角対応に格納されている欠陥種別対応評価値を考慮
の上、上記評価対象について総合的な合否判定を行う合
否判定手段とを少なくとも含むべく構成することで達成
される。

【０００８】上記第３の目的は、液晶基板の配向状態評
価装置に対し、良品レベルについて、品質の変動を評価
値により時系列に管理した上、不良発生の徴候を検出・
警告する手段を付加せしめることで達成される。

【０００９】上記第４の目的は、液晶基板の配向状態評
価装置に対し、欠陥種別対応評価値にもとづき、不良発
生に係わる製造工程を特定した状態として検出する手段
を付加せしめることで達成される。

【００１０】上記第５の目的は、液晶基板の配向状態評
価装置による総合的な合否判定で、合格品として判定さ
れることで達成される。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図１か
ら図１０により説明する。先ず図１は、本発明による液
晶基板の配向状態評価装置の一例での構成を示したもの
である。これによる場合、配向状態の評価に際しては、
液晶基板１０１はＸＹステージ１０５上にＸ，Ｙ方向に
自在に移動可として載置された上、点灯機１０２により
中間調発光状態におかれるものとなっている。この状態
で、テレセントリックレンズ１０３を介し液晶基板１０
１の画像がカメラ１０４で撮像・検出されているもので
ある。もしも、その際に、液晶基板１０１上の被評価領
域がカメラ１０４の視野サイズより大きく、複数に分割
された状態としてその画像全体が検出される必要がある
場合には、ＸＹステージ１０５により被評価領域の位置
が順次更新せしめられる度に、被評価領域の画像が部分
的に検出されるようにすればよいものである。また、各
種視角で画像が検出される場合には、カメラ１０４とテ
レセントリックレンズ１０３はその相対的位置関係が固
定された状態として、その全体が傾斜ステージ１０６に
より視角に傾けられた状態として、液晶基板１０１の画
像がカメラ１０４で検出されているものである。

【００１２】さて、カメラ１０４では液晶基板１０１の
画像が検出された上、そのカメラ１０４からはその画像
に対応するアナログ画像信号が出力されているが、その
アナログ画像信号は画像入力ボード１０８で多値ディジ
タル信号に変換された状態としてコンピュータ（装置全
体一括制御用）１０７に取込まれた上、その配向状態が
評価されているものである。評価結果はディスプレイ１
０９上に表示されたり、メモリ１１０に格納されている
ものである。

【００１３】図２はまた、その配向状態評価装置の一例
での動作フローを示したものである。これによる場合、
先ず評価対象としての液晶基板１０１は点灯機１０２に
より発光状態におかれるが、その際に、液晶基板１０１
のテレセントリックレンズ１０３を介された像が一定の
明るさとなるべく、点灯機１０２が調整されるようにな
っている（処理２０１）。その後、液晶基板１０１はカ
メラ１０４で撮像された上、画像入力ボード１０８を介
し多値画像データとしてコンピュータ１０７に取り込ま
れるものとなっている（処理２０２）。もしも、液晶基
板１０１上の被評価領域がカメラ１０４の視野サイズよ
りも大きい場合は、ＸＹステージ１０５が所望位置各々
に移動停止される度に、その被評価領域全体が複数に分
割された状態として順次撮像されているものである（処
理２０２，２０３）。被評価領域全体に対する撮像が終
了すれば（分割された状態として撮像された場合には、
全体として合成された状態として）、撮像された画像全
体が表示されるものとなっている（処理２０４）。

【００１４】ところで、以上のようにして撮像された画
像には、点灯機１０２に起因する発光むらや、液晶の視
角依存性による輝度シェーディングが含まれているが、
これら発光むら、輝度シェーディングは除去されるべき
ものとなっている。即ち、コンピュータ１０７では、撮
像された画像から輝度シェーディング除去用の補正デー
タが自動生成された上、この補正データにより輝度シェ
ーディングが除去された画像が得られるものとなってい
る（処理２０５）。輝度シェーディングが除去された画
像上で、むら、しみ等の欠陥が検出されているものであ
り、欠陥が検出された場合には、欠陥種別対応に評価値
が算出されているものである（処理２０６）。更に、あ
る特定の視角状態の場合でしか検出不可とされているよ
うな欠陥を確実に検出する必要がある場合には、カメラ
１０４とテレセントリックレンズ１０３から構成される
光学系全体が、傾斜ステージ１０６により順次所望の視
角に傾斜された状態として、同様にして液晶基板１０１
が画像として撮像された上、評価されているものである
（処理２０７）。コンピュータ１０７では、視角対応に
評価結果が時系列に保存されているものである（処理２
０８）。

【００１５】ここで、本発明についてより詳細に説明す
れば、液晶基板には見る角度（視角）によって明るさが
異なって見えるという特性があるが、これを視角依存性
と称す。このため、図３に示すように、液晶基板１０１
をカメラ１０４で撮像する場合、液晶基板１０１上の位
置点Ｐ１，Ｐ２によって光軸からの視角θが異なるた
め、視角依存性による強い輝度シェーディングが画像に
現れ、このような強い輝度シェーディングが生じている
状態で、本来の微弱なむらを検出することは困難とな
る。そこで、本発明では、図４に示すように、テレセン
トリックレンズ１０３を用い、カメラ１０４の光軸に平
行な光のみをカメラ１０４に集光させて撮像することに
より、液晶基板１０１の何れの位置も真上からカメラで
見た状態の像を作り、視角依存性による輝度シェーディ
ングが除去された画像が得られるものである。

【００１６】また、液晶基板の特徴として、液晶基板を
見る角度、即ち、視角によりむらの見え方が異なってく
る。このため、液晶基板の真上から撮像された画像では
見落とす欠陥もあり得る。そこで、本発明では、図５に
示すように、傾斜ステージ１０６によりカメラ１０４と
テレセントリックレンズ１０３からなる光学系を、液晶
基板１０１表面を回転中心にして傾け、この状態で撮像
が行われるようにしたものである。その際での傾斜角度
は任意に設定可とされているものである。

【００１７】ところで、テレセントリックレンズ１０３
を介し得られる画像では、視角依存性による輝度シェー
ディングは概ね除去されているにしても、他の要因によ
る輝度シェーディングが依然として残されたものとなっ
ている。例えば液晶基板を点灯させるバックライトによ
る発光むらや、封入されている液晶の厚みのばらつきに
より生じる輝度むら（ギャップむら）等である。特にギ
ャップむらによる輝度シェーディングは基板毎にシェー
ディングパターンが異なるため、予め用意された特定の
補正データなどにより除去することは不可となってい
る。そこで、本発明では、得られた画像毎に輝度シェー
ディング補正が行われるようになっている。具体的に
は、画像上のサンプリング点から輝度シェーディング近
似曲面を生成し、実際の画像から差し引くことにより輝
度シェーディングを除去し、輝度シェーディングが除去
された画像上で微弱な欠陥のみを検出しようというもの
である。より具体的に説明すれば、先ず図６（Ａ）に示
す液晶基板発光面の原画像からは一定間隔で多値画像デ
ータがサンプリングされた上、これらサンプリング点の
輝度値を用いてスプライン近似による曲面が生成される
ものとなっている。サンプリング点以外の位置は補間さ
れることで、図６（Ｂ）に示す輝度シェーディング画像
が得られるものである。次に、原画像と輝度シェーディ
ング画像との差をとることにより、差画像として輝度シ
ェーディングが除去されたものが得られ、そして、その
差画像が輝度シェーディング画像で除算されることで、
輝度むら等の欠陥のみを検出するものである。図６
（Ｃ）は欠陥の検出結果である。この画像はコントラス
ト画像になっているので、評価はこのコントラスト画像
を用いて行う。

【００１８】さて、ここで、液晶基板の代表的な欠陥で
ある不定形むら不良とすじむら不良を例に採って評価方
法の一例について説明すれば、不定形むら不良は比較的
コントラストが高く、形状は様々である。これに対し、
すじむら不良は、コントラストは低いが、向き、形状が
規則的、かつ明部と暗部が交互に出現することが多いた
め、隣接し合う明暗の対比により、目に付きやすい。そ
こで、不定形むら不良とすじむら不良のそれぞれに対応
した評価値を算出しようというものである。

【００１９】先ず良品、不良品の合否判定例としては、
不定形むらとすじむらの良・不良判定しきい値をそれそ
れ個々に設定する。例えばすじむらは、不定形むらに比
し目に付きやすいので、その判定基準を厳しくし、不定
形むらの判定しきい値（絶対値）を１．０％、すじむら
の判定しきい値（絶対値）を０．３％に設定した上、評
価用コントラスト画像をそれぞれのしきい値で２値化し
て合否判定を行おうというものである。図７（Ａ）に示
す評価用コントラスト画像中には不定形むら７１やすじ
むら７２が含まれているが、先ずコントラスト画像から
１．０％以上の部分のみが検出される。この時、Ｂ基板
では、図７（Ｂ）に示すように、不定形むら７１が検出
され、Ｃ基板では、図７（Ｄ）に示すように、何も検出
されなかったとする。次に、コントラスト画像から０．
３％以上、１．０％未満の部分が検出される。この時、
Ｂ基板では、図７（Ｃ）に示すように、すじむら７２が
検出され、Ｃ基板では、図７（Ｅ）に示すように、すじ
むら７２が検出されなかったとすると、Ｂ基板はすじむ
ら７２、不定形むら７１ともに判定しきい値以上の欠陥
部分があった不良品として、また、Ｃ基板はすじむら７
２、不定形むら７１ともにしきい値以上のものはなかっ
た良品として判定されるものである。このように、形状
や連続性などにより目につきやすい欠陥についてはしき
い値を変え、欠陥の種別毎に設定されたしきい値での評
価結果から総合的な合否判定を行うものである。

【００２０】更に、本発明による配向状態評価装置は液
晶基板製造ラインに投入された上、その配向状態評価装
置では、良品レベルのものであっても詳細な評価を行
い、その時系列データからレベル変動が管理されるもの
となっている。その例として、すじむらの評価について
説明する。上述のように、すじむら不良はコントラスト
は低いが、向き、形状が規則的、かつ明部と暗部が交互
に現れることが多いため、隣接し合った明暗の対比によ
り、目に付きやすい。そこで、コントラスト画像からす
じむらの強さを示す評価値を算出しようというものであ
る。図８に示すように、液晶基板１０１の画面の上端か
ら、すじの方向への平均コントラスト値を投影値として
算出し、平滑化して滑らかな投影グラフ８１を作り、こ
の投影グラフ８１の隣り合うピーク値の差として求める
ものである。即ち、図９に示すように、隣り合うピーク
値（投影グラフ上の隣り合った極大値と極小値）をＰ
_iー1 、Ｐ_i とすれば、投影コントラスト（％）は（Ｐ_i
−Ｐ_iー1 ）として算出されるものである。

【００２１】すじが平行して複数本ある場合には、ピー
ク値も複数あるので、投影コントラストの最大値と平均
値を算出した上、そのすじ部分のレベル値として記憶す
る。不定形むらについては、その面積や平均コントラス
ト値等を算出の上、記憶する。また、検出された各欠陥
の位置も算出、記憶する。

【００２２】次に、得られた評価値からレベル変動管理
を行い、不良発生の徴候を検出し、警告を発する例を示
す。図１０は、一定時間毎のある欠陥の良品レベル内で
の評価値を時系列にプロットしたものである。時系列な
データとして見ることにより、良品レベルは徐々に悪化
し不良レベルに近づいているのが判る。そこで、本発明
による配向状態評価装置では、レベル変動を管理するこ
とで、不良レベルになる前に警告を発して対策を促す。
これにより、不良の発生を未然に防ぐことが可能にな
る。このようなグラフが欠陥項目毎に作成される場合
は、欠陥項目対応に対策が促されるものである。

【００２３】以上、本発明について説明したが、カメラ
視線差により生じる輝度シェーディングが、テレセント
リックレンズを備えた光学系で除去されることにより、
微弱な欠陥が高精度に検出可とされており、また、光学
系を傾ける傾斜ステージを用い各視角での画像が撮像・
評価されているので、視角を振らないと見えない微弱な
むらが見落としなく検出・評価され得るものとなってい
る。更に、得られた画像毎にシェーディング補正を行
い、視線差以外の要因で生じる輝度シェーディングや、
光学系で除去しきれなかった輝度シェーディングが除去
されることによって、より高精度な検出・評価が可能と
されたものとなっている。

【００２４】また、検出された微弱なむら等の欠陥につ
いて、その種別によって判定基準が異なる場合、評価値
をそれぞれに算出し、品質の詳細な評価、変動の管理を
行うことによりレベルの微妙な変動や欠陥発生位置の変
動を見ることが可能となる。そして、これらの評価値か
ら基板の合否判定を行うとともに、検出された欠陥が良
品レベルのものであってもその評価値を時系列に管理し
た上、不良発生の徴候を検出して警告を発する場合に
は、未然に不良発生を防止し得るものである。これらの
レベル値を用いて品質管理や性能評価を行われる場合に
はまた、品質や性能の向上が可能となるものである。例
えば量産品に対してむら評価を行い、品質のばらつきを
管理してその結果が製造工程にフィードバックされる場
合は、品質の安定化が図れるものである。また、部品や
工程の改善による効果をみるための評価装置として使う
ことで、原因欠陥種別対応評価値からはむら発生の原因
や不良発生に係わる製造工程が特定され得るものであ
る。

【００２５】

【発明の効果】以上、説明したように、請求項１，２に
よる場合は、良品レベルの微弱な輝度むら等までをも高
精度に検出した上、定量評価し得る液晶基板の配向状態
評価方法が、また、請求項３，４による場合には、良品
レベルの微弱な輝度むら等までをも高精度に検出した
上、定量評価し得る液晶基板の配向状態評価装置が、更
に、請求項５によれば、液晶基板製造ラインに投入され
た状態で、良品レベルについて、品質の変動を評価値に
より時系列に管理した上、不良発生の徴候を検出・警告
し得る液晶基板製造モニタリング装置が、更にまた、請
求項６による場合は、同じく液晶基板製造ラインに投入
された状態で、不良発生に係わる製造工程を特定した状
態として検出し得る液晶基板製造モニタリング装置が、
請求項７による場合にはまた、極めて高品質な液晶基板
がそれぞれ得られるものとなっている。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明による液晶基板の配向状態評価
装置の一例での構成を示す図

【図２】図２は、その配向状態評価装置の一例での動作
フローを示す図

【図３】図３は、液晶基板の視角依存性による輝度シェ
ーディングの一例を示す図

【図４】図４は、本発明に係る光学系による作用の一例
を示す図

【図５】図５は、本発明に係る傾斜ステージによる光学
系の傾斜動作の一例を示す図

【図６】図６（Ａ）〜（Ｃ）は、画像データからの輝度
シェーディング補正方法の一例を示す図

【図７】図７（Ａ）〜（Ｅ）は、検出欠陥の合否判定方
法の一例を説明するための図

【図８】図８は、すじむら欠陥の詳細評価値の算出方法
の一例を示す図

【図９】本発明の液晶基板の配向状態評価装置でのすじ
むら欠陥の詳細評価値の算出方法の一例を示す図であ
る。

【図１０】本発明の液晶基板の配向状態評価装置で算出
された評価値によるレベル変動管理の一例を示す図であ
る。

【符号の説明】

１０１…液晶基板、１０２…点灯機、１０３…テレセン
トリックレンズ、１０４…カメラ、１０５…ＸＹステー
ジ、１０６…傾斜ステージ、１０７…コンピュータ、１
０８…画像入力ボード、１０９…ディスプレイ、１１０
…メモリ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｇ０９Ｆ 9/00 ３５２Ｇ０９Ｆ 9/00 ３５２ (72)発明者坂田智昭神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地株式会社日立製作所生産技術研究所内 (72)発明者押田良忠神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地株式会社日立製作所生産技術研究所内 (72)発明者田中勉神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地株式会社日立製作所生産技術研究所内 (72)発明者川辺俊一神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地株式会社日立製作所生産技術研究所内 (72)発明者都竹進千葉県茂原市早野3300番地株式会社日立製作所電子デバイス事業部内 (72)発明者中村和也千葉県茂原市早野3300番地株式会社日立製作所電子デバイス事業部内Ｆターム(参考） 2G051 AA73 AB11 AC02 CA04 CB02 CD05 EA11 EB01 EC01 ED05 2G086 EE10 2H088 FA11 FA12 HA03 2H090 HC20 5G435 AA00 AA02 BB12 EE33 KK05 KK10

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】評価対象としての液晶基板の発光面に対
し、画像検出上での視角が順次更新設定される度に、画
像検出上での視線差により生じる輝度シェーディングが
除去されつつ、上記発光面が多値画像データとして検出
された後、検出多値画像データからは、該検出多値画像
データ上でのサンプリング画像データから生成された補
正データにもとづき、液晶の視角依存性等による輝度シ
ェーディングが除去された状態のコントラスト多値画像
データが得られた上、該コントラスト多値画像データ上
から欠陥種別対応判定用２値化しきい値により検出され
た、しみ、むらを含む各種欠陥については、欠陥種別対
応に評価値が算出されるようにして、上記視角対応に得
られる、欠陥種別対応評価値を考慮の上、上記評価対象
についての総合的な合否判定が行われるようにした、液
晶基板の配向状態評価方法。
【請求項２】評価対象としての液晶基板の発光面に対
し、画像検出上での視角が順次更新設定される度に、画
像検出上での視線差により生じる輝度シェーディングが
除去されつつ、多値画像データ部分として順次検出され
る上記発光面は全体多値画像データとして合成された
後、検出多値画像データからは、該検出多値画像データ
上でのサンプリング画像データから生成された補正デー
タにもとづき、液晶の視角依存性等による輝度シェーデ
ィングが除去された状態のコントラスト多値画像データ
が得られた上、該コントラスト多値画像データ上から欠
陥種別対応判定用２値化しきい値により検出された、し
み、むらを含む各種欠陥については、欠陥種別対応に評
価値が算出されるようにして、上記視角対応に得られ
る、欠陥種別対応評価値を考慮の上、上記評価対象につ
いての総合的な合否判定が行われるようにした、液晶基
板の配向状態評価方法。
【請求項３】評価対象としての液晶基板の発光面を、
画像検出上での視線差により生じる輝度シェーディング
が除去された状態の多値画像データとして検出する画像
検出手段と、該画像検出手段の上記発光面に対する、画
像検出上での視角を順次更新設定する視角更新設定手段
と、該視角更新設定手段により視角が更新設定される度
に、上記画像検出手段からの多値画像データを、該多値
画像データ上でのサンプリング画像データから生成され
た補正データにより処理することで、液晶の視角依存性
等による輝度シェーディングが除去された状態のコント
ラスト多値画像データとして得る画像データ前処理手段
と、該画像データ前処理手段からのコントラスト多値画
像データから、しみ、むらを含む各種欠陥を欠陥種別対
応判定用２値化しきい値により検出する欠陥検出手段
と、該欠陥検出手段により検出された欠陥について欠陥
種別対応に評価値を算出する評価値算出手段と、該評価
値算出手段から得られる評価値を格納する評価値格納手
段と、該評価値格納手段上に視角対応に格納されている
欠陥種別対応評価値を考慮の上、上記評価対象について
総合的な合否判定を行う合否判定手段とを少なくとも含
む構成の液晶基板の配向状態評価装置。
【請求項４】評価対象としての液晶基板を発光させる
点灯機と、該液晶基板を平面内でＸ，Ｙ方向に移動可と
するステージと、該液晶基板の発光面を全体画像として
検出、あるいは部分画像として順次検出するための、テ
レセントリックレンズおよびカメラからなる画像検出光
学系と、該画像検出光学系の上記発光面に対する、画像
検出上での視角を順次更新設定する傾斜ステージと、上
記カメラからの輝度信号を多値ディジタルするディジタ
ル化回路と、該ディジタル化回路からの多値ディジタル
信号を多値画像データとして記憶する第１のメモリと、
該第１のメモリに記憶された多値画像データから、該検
出多値画像データ上でのサンプリング画像データから生
成された補正データにもとづき、液晶の視角依存性等に
よる輝度シェーディングが除去された状態のコントラス
ト多値画像データとして得る画像データ前処理回路と、
該画像データ前処理回路からのコントラスト多値画像デ
ータから、しみ、むらを含む各種欠陥を欠陥種別対応判
定用２値化しきい値により検出した上、検出された欠陥
について欠陥種別対応に評価値を算出する第１の処理回
路と、該第１の処理回路からの評価値を格納する第２の
メモリと、該第２のメモリ上に視角対応に格納されてい
る欠陥種別対応評価値を考慮の上、上記評価対象につい
て総合的な合否判定を行う第２の処理回路とを少なくと
も含む構成の液晶基板の配向状態評価装置。
【請求項５】請求項３記載の液晶基板の配向状態評価
装置に対し、良品レベルについて、品質の変動を評価値
により時系列に管理した上、不良発生の徴候を検出・警
告する手段が付加されてなる構成の液晶基板製造モニタ
リング装置。
【請求項６】請求項３記載の液晶基板の配向状態評価
装置に対し、欠陥種別対応評価値にもとづき、不良発生
に係わる製造工程を特定した状態として検出する手段が
付加されてなる構成の液晶基板製造モニタリング装置。
【請求項７】請求項３記載の液晶基板の配向状態評価
装置での総合的な合否判定で、合格品として判定されて
なる液晶基板。