CN1813185A - 缺陷显示装置 - Google Patents

缺陷显示装置 Download PDF

Info

Publication number
CN1813185A
CN1813185A CNA2004800185074A CN200480018507A CN1813185A CN 1813185 A CN1813185 A CN 1813185A CN A2004800185074 A CNA2004800185074 A CN A2004800185074A CN 200480018507 A CN200480018507 A CN 200480018507A CN 1813185 A CN1813185 A CN 1813185A
Authority
CN
China
Prior art keywords
image data
defect
original digital
digital image
inspection condition
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CNA2004800185074A
Other languages
English (en)
Other versions
CN100476416C (zh
Inventor
大西孝明
秋山周次
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Olympus Corp
Original Assignee
Olympus Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Olympus Corp filed Critical Olympus Corp
Publication of CN1813185A publication Critical patent/CN1813185A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN100476416C publication Critical patent/CN100476416C/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/958—Inspecting transparent materials or objects, e.g. windscreens
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1306—Details
    • G02F1/1309—Repairing; Testing

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Image Processing (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Processing Or Creating Images (AREA)
  • Image Analysis (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)

Abstract

把玻璃基板的各原图像数据保存在图像保存部(6)内，把在已由检查条件变更部(9)针对这些原图像数据通过手动或自动对各缺陷检测水平或对比度等检查条件进行了设定变更时的各缺陷部(G1～G6)的检测结果显示在显示器(3)的画面上。

Description

缺陷显示装置
技术领域
本发明涉及一种缺陷显示装置，其可对最适合于提取例如半导体晶片或液晶显示器的玻璃基板等检查对象上的缺陷部的缺陷检测水平进行设定变更。
背景技术
在液晶显示器的制造工序中，使用基板检查装置进行对玻璃基板的基板检查。在特开2003-100827号公报中记载了以下的技术：把对玻璃基板进行宏观摄像所取得的图像数据显示在显示器画面上，在该画面上，操作人员提取包含缺陷部分在内的一部分图像区域作为缺陷图像数据进行保存，而且把缺陷图像数据合成到基准图像数据上并显示在显示器画面上。
作为进行缺陷图像的保存/显示的技术，例如有特开2002-192699号公报。在该公报中记载了以下的技术：把基准图像和检查对象图像进行比较，切取包含缺陷部在内的区域，保存该缺陷图像数据，把该缺陷图像数据粘附在基准图像数据上进行再现。
在检查玻璃基板的情况下，因液晶显示器制造的各工序使得玻璃基板的状态，例如在玻璃基板上形成的层的数目发生变化，或者因有无涂敷抗蚀剂等而使得在玻璃基板上形成的图形或缺陷的视度发生变化。在这种情况下，作为对玻璃基板的检查条件(明细(recipe))，有必要改变例如缺陷检测水平。
在特开2003-100827号公报和特开2002-192699号公报中，仅再现显示所保存的缺陷图像数据，不变更用于检测检查对象图像数据中的缺陷部的缺陷检测水平。
玻璃基板检查的现状是，取得玻璃基板上的缺陷部的各缺陷图像数据并显示在显示器画面上，确认该所显示的玻璃基板的状态，当场对缺陷检测水平进行设定变更。
因此，在没有根据液晶显示器制造的各工序或玻璃基板的批量而设定最佳的缺陷检测水平的情况下，不能检测会对液晶显示器制造产生影响的缺陷部，或者把不是缺陷部的不必要的部分误检测为假缺陷，不能进行准确的基板检查。
而且，缺陷检测水平的设定变更很费时间，在设定变更结束之前必须暂停基板检查。而且，在对缺陷检测水平进行了设定变更后，必须取得玻璃基板上的缺陷部的各缺陷图像数据以确认是否适当地对缺陷检测水平进行了设定变更。在缺陷检测水平的设定失败的情况下，必须再次取得缺陷数据，要求对缺陷检测水平的设定要熟练。
特开2002-192699号公报中仅进行将缺陷图像数据显示在显示器画面上，所以缺陷检测水平的设定变更结果未被反映到该所显示的缺陷图像数据上。因此，必须以设定变更后的缺陷检测水平再次取得缺陷图像数据进行确认。
发明内容
本发明的目的是提供一种缺陷显示装置，即使玻璃基板的状态发生变化，也能容易地且在短时间内设定变更与玻璃基板的状态变化相对应的最佳检查条件。
根据本发明的主要观点，提供了一种缺陷显示装置，具有：图像保存部，其保存从检查对象的图像数据所切取的包含检查对象上的缺陷部在内的原图像数据；检查条件变更部，其对从保存在图像保存部内的原图像数据提取缺陷部的检查条件进行设定变更；缺陷提取部，其根据由检查条件变更部进行了设定变更的检查条件，从原图像数据提取包含缺陷部在内的缺陷图像数据；以及显示控制部，其把保存在图像保存部内的原图像数据、或者由缺陷提取部所提取的缺陷图像数据一览显示在显示器画面上。
附图说明
图1是示出本发明的缺陷显示装置的一实施方式的结构图。
图2是示出该装置的原图像数据的切取的示意图。
图3A是示出为了通过该装置制作覆盖图像数据而使用的原图像数据的图。
图3B是示出为了通过该装置制作覆盖图像数据而使用的缺陷图像数据的图。
图3C是示出通过该装置选择显示的覆盖图像数据的图。
图4A是示出该装置的对白色水平的缺陷部的检测水平的设定变更的图。
图4B是示出该装置的对黑色水平的缺陷部的检测水平的设定变更的图。
图5A是用于对该装置中的缺陷检测水平的仿真(emulation)进行说明的图。
图5B是用于对该装置中的缺陷检测水平的仿真进行说明的图。
图6A是示出自动设定该装置中的缺陷检测水平所使用的原图像数据的图。
图6B是示出当自动设定该装置中的缺陷检测水平时的横向挪动的原图像数据的图。
图6C是示出当自动设定该装置中的缺陷检测水平时的原图像数据和横向挪动的原图像数据的差图像数据的图。
图6D是示出当自动设定该装置中的缺陷检测水平时所使用的度数分布图。
图7A是示出该装置中的对比度强调水平的设定变更前的度数分布的图。
图7B是示出该装置中的对比度强调水平的设定变更后的度数分布的图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的一实施方式进行说明。
图1是缺陷显示装置的结构图。主控制部1具有CPU。该主控制部1通过输出部2连接液晶或CRT等的显示器3。主控制部1通过输入部4连接键盘和鼠标等手动输入部5。
主控制部1进行对图像保存部6的图像数据的保存和读出、以及对缺陷信息存储部7的与缺陷部有关的信息的写入和读出。主控制部1对显示控制部8、检查条件变更部9、缺陷提取部10以及缺陷信息显示部11发出动作指令。
在图像保存部6内保存有例如通过基板检查装置12对半导体晶片或液晶显示器的玻璃基板等检查对象进行检查而检测出的检查对象上的缺陷部的原图像(缺陷图像)数据。以下，以使用平板显示器的玻璃基板作为检查对象的例子来进行说明。原图像数据例如是如图2所示，从在基板检查装置中对玻璃基板的整面进行摄像所取得的整面图像数据D中切取包含缺陷部G在内的周边图像数据Dm1所得的数据。如果在玻璃基板上存在多个缺陷部G，例如6个缺陷部G1～G6，则在图像保存部6内保存6个原图像数据Dm1～Dm6。
在缺陷信息存储部7内存储有与玻璃基板上的各缺陷部G1～G6有关的信息，例如6个缺陷部G1～G6的各坐标、各亮度、各缺陷种类、各尺寸等信息。
显示控制部8根据对手动输入部5的手动操作，把保存在图像保存部6内的各原图像数据Dm1～Dm6一览显示(缩略显示)在显示器3的画面上。该显示控制部8把根据缺陷提取部10的提取动作结果而获得的仅包含各缺陷部G1～G6的各缺陷图像数据Dg1～Dg6一览显示在显示器3的画面上，所述缺陷提取部10的提取动作结果是已对由检查条件变更部9所变更的检查条件，例如针对玻璃基板上的各缺陷部G1～G6的检查条件进行了变更时的提取动作结果。在图1所示的显示器3的画面上一览显示有例如各缺陷图像数据Dg1～Dg6。这些缺陷图像数据Dg1～Dg6分别具有各缺陷部G1～G6。
显示控制部8根据对手动输入部5的手动操作，在显示器3的画面上选择显示各原图像数据Dm1～Dm6、由缺陷提取部10所提取的仅有各缺陷部G1～G6的各缺陷图像数据Dg1～Dg6、或者分别合并各原图像数据Dm1～Dm6和各缺陷图像数据Dg1～Dg6而得到的各覆盖图像数据Dr1～Dr6中的任意一种数据。另外，显示控制部8也可以仅把各覆盖图像数据Dr1～Dr6显示在显示器3的画面上。
例如，图3A示出了原图像数据Dm1的一例。该原图像数据Dm1是拍摄了在玻璃基板上所形成的规则图形(例如基线)P得到的原图像数据，并且其中还存在有缺陷部G1。图3B示出了缺陷图像数据Dg1的一例，仅存在缺陷部G1。图3C示出了覆盖图像数据Dr1的一例，将原图像数据Dm1和缺陷图像数据Dg1合并而制成。
当显示控制部8在显示器3的画面上显示例如各缺陷图像数据Dg1～Dg6或者各覆盖图像数据Dr1～Dr6时，按缺陷的每个种类改变各缺陷部G1～G6的显示颜色来进行显示输出。
显示控制部8对各原图像数据Dm1～Dm6、各缺陷图像数据Dg1～Dg6、或者各覆盖图像数据Dr1～Dr6进行排序并显示在显示器3的画面上。进行排序的项是存储在缺陷信息存储部7内的与玻璃基板上的各缺陷部G1～G6有关的信息，即例如各缺陷部G1～G6的各坐标顺序、各亮度顺序、各缺陷种类顺序、各尺寸顺序等。
显示控制部8根据对手动输入部5的手动选择指示，从各原图像数据Dm1～Dm6、各缺陷图像数据Dg1～Dg6、或者各覆盖图像数据Dr1～Dr6中选择任意的图像数据来显示在显示器3的画面上。
检查条件变更部9对从保存在图像保存部6内的各原图像数据Dm1～Dm6中提取各缺陷部G1～G6的检查条件进行设定变更。检查条件是第1缺陷检测水平La和第2缺陷检测水平Lb的设定变更，该第1缺陷检测水平La针对具有比各原图像数据Dm1～Dm6的正常水平高的亮度(亮度水平)的白色水平，该第2缺陷检测水平Lb针对具有比正常水平低的亮度的黑色水平。检查条件是针对各原图像数据Dm1～Dm6的对比度强调水平的设定变更。
这些第1、第2缺陷检测水平La、Lb的可变方法如下所述。
检查条件变更部9如图1所示，在显示器3的画面上显示用于对第1、第2缺陷检测水平La、Lb进行设定变更的缺陷检测水平变更块BL。在该缺陷检测水平变更块BL内具有作为第1可变操作端的各第1可变按钮Bh1、Bh2和作为第2可变操作端的各第2可变按钮Bd1、Bd2，所述第1可变操作端使针对图4A所示的各原图像数据Dm1～Dm6中的例如断线等的白色水平的缺陷部Gh的第1缺陷检测水平La可变，所述第2可变操作端使针对图4B所示的例如由尘埃等引起的黑色水平的缺陷部Gd的第2缺陷检测水平Lb可变。
另外，检查条件变更部9可以一并设定变更针对各原图像数据Dm1～Dm6的第1、第2缺陷检测水平La、Lb。检查条件变更部9也可以通过操作手动输入部5的鼠标等，使用指针指定各原图像数据Dm1～Dm6，来个别对第1、第2缺陷检测水平La、Lb进行设定变更。
在缺陷检测水平变更块BL内具有仿真按钮EB和自动设定按钮AB，该仿真按钮EB是用于把第1、第2缺陷检测水平La、Lb通过对手动输入部5的手动操作可任意改变时的各缺陷部G1～G6的检测结果显示在显示器3的画面上进行确认的确认操作端，该自动设定按钮AB用于自动设定第1、第2缺陷检测水平La、Lb。
各第1可变按钮Bh1、Bh2以及各第2可变按钮Bd1、Bd2通过对手动输入部5的手动操作来设定。第1、第2可变按钮Bh1、Bd1分别把第1、第2缺陷检测水平La、Lb设定得较高。第1、第2可变按钮Bh2、Bd2分别把第1、第2缺陷检测水平La、Lb设定得较低。
在例如如图5A和图5B所示，设使亮度往左侧为低水平、往右侧为高水平的情况下，例如如果如图5A所示，把针对原图像数据Dm1的第1缺陷检测水平La设定在低水平侧，则针对缺陷部G1的检测精度变得严格，如果设定在高水平侧，则针对缺陷部G1的检测精度变得宽松。
因此，如果缺陷部G1处于亮度比第1缺陷检测水平La高的水平上，则该缺陷部G1在检测水平域Wa内并且能够检测。如图5B所示，如果缺陷部G1位于比缺陷检测水平La低的水平侧，则该缺陷部G1在不可检测域Wb内并且不能检测。
另外，对于第2缺陷检测水平Lb，如果缺陷部G1处于亮度比该第2缺陷检测水平Lb低的水平上，则该缺陷部G1在检测水平域Wa内并且能够检测。因此，如果把针对原图像数据Dm1的第2缺陷检测水平Lb设定在低水平侧，则针对缺陷部G1的检测精度变得宽松，如果设定在高水平侧，则针对缺陷部G1的检测精度变得严格。
这样当在对各第1可变按钮Bh1、Bh2和各第2可变按钮Bd1、Bd2进行手动操作并任意设定了第1、第2缺陷检测水平La、Lb的状态下操作仿真按钮EB时，检查条件变更部9使用已进行了设定变更的第1缺陷检测水平La或第2缺陷检测水平Lb对保存在图像保存部6内的各原图像数据Dm1～Dm6进行各缺陷部G1～G6的检测，把根据该检测结果重新提取的各缺陷图像数据Dg1～Dg6一览显示在显示器3的画面上。
当操作自动设定按钮AB时，检查条件变更部9分别自动设定针对各原图像数据Dm1～Dm6、或者1张原图像数据Dm1、…、或Dm6的第1和第2缺陷检测水平La、Lb。
第1、第2缺陷检测水平La、Lb的自动设定按如下进行。
例如，在自动设定针对图6A所示的原图像数据Dm1的第1缺陷检测水平La的情况下，首先，如图6B所示，检查条件变更部9制作将原图像数据Dm1横向挪动了恰好为形成于玻璃基板上的规则图形的1个周期而得到的横向图像数据Dm1’。
然后，如图6C所示，检查条件变更部9制作原图像数据Dm1和图像数据Dm1’的差图像数据Dm1S。在该差图像数据Dm1S中，由于恰好横向挪动了形成于玻璃基板上的规则图形的1个周期，因而玻璃基板上的图形相抵消，而保留下了原图像数据Dm1上的缺陷部G1和横向挪动的图像数据Dm1’上的缺陷部G1’。
然后，检查条件变更部9对差图像数据Dm1S中的各像素的亮度(原图像数据Dm1和图像数据Dm1’的各像素的亮度差)的数据数进行计数，制作图6D所示的亮度的度数分布图。在该亮度的度数分布图中，分布K1表示各缺陷部G1、G1’，分布K2表示低水平的噪声。
因此，为了检测各缺陷部G1、G1’，检查条件变更部9把第1缺陷检测水平La自动设定为比分布K1低的水平。
如图1所示，检查条件变更部9在显示器3的画面上显示用于设定变更对比度强调水平的对比度强调水平变更块BC。
对比度强调水平的设定变更如下所述。
检查条件变更部9对例如原图像数据Dm1中的各像素的亮度的数据数进行计数，制作图7A所示的亮度的度数分布图。
然后，检查条件变更部9如图7B所示，针对亮度的度数分布图把亮度的宽度变宽，根据把该亮度的宽度变宽后的亮度的度数分布图变换为原图像数据Dm1’。这样所得到的原图像数据Dm1’成为明暗差变得明了的图像，对缺陷部G1进行强调，以显示在显示器3的画面上。
缺陷提取部10根据由检查条件变更部9进行了设定变更的第1、第2缺陷检测水平La、Lb以及对比度强调水平的检查条件，对各原图像数据Dm1～Dm6一并进行缺陷部的提取动作。缺陷提取部10通过操作手动输入部5的鼠标等，使用指针指定各原图像数据Dm1～Dm6，来个别地进行缺陷部的提取动作。
当使用手动输入部5的鼠标等对显示在显示器3的画面上的玻璃基板上的各缺陷部G1～G6进行手动指示时，缺陷信息显示部11从缺陷信息存储部7中读出与该缺陷部G1～G6有关的信息，即各缺陷部G1～G6的各坐标、各亮度、各种类、各尺寸等，在显示器画面上，与各原图像数据Dm1～Dm6、各缺陷图像数据Dg1～Dg6、或者各覆盖图像数据Dr1～Dr6一起，显示在显示器画面上的空的画面区域上。
下面，对上述构成的装置的动作进行说明。
在检查形成在液晶显示器的玻璃基板上的规则图形的情况下，当例如因玻璃基板的制造工序使得形成在玻璃基板上的层数不同，或者因抗蚀剂的涂敷的有无等使得玻璃基板上的图形等的视度发生变化时，必须变更针对玻璃基板的检查条件。
在图像保存部6内已保存了具有玻璃基板上的各缺陷部G1～G6的各原图像数据Dm1～Dm6。并且，在缺陷信息存储部7内存储有玻璃基板上的各缺陷部G1～G6的各坐标、各亮度、各缺陷的种类、各尺寸等信息。
当通过手动输入部5操作输入了对各原图像数据Dm1～Dm6进行一览显示的指示时，显示控制部8读出保存在图像保存部6内的各原图像数据Dm1～Dm6并一览显示在显示器3的画面上。
这些进行了一览显示的各原图像数据Dm1～Dm6中具有的各缺陷部G1～G6包括：由于对液晶显示器制造产生影响所以一定需要检测的缺陷部(例如各缺陷部G1～G3)，以及不对液晶显示器制造产生影响而不需要检测的缺陷部(例如各缺陷部G4～G6)。因此，为了仅对一定需要检测的各缺陷部G1～G3可靠地进行检测，进行第1、第2缺陷检测水平La、Lb的设定变更。
在手动进行第1、第2缺陷检测水平La、Lb的设定变更的情况下，如图1所示，通过检查条件变更部9，从手动输入部5通过手动操作来变更显示在显示器3的画面上的缺陷检测水平变更块BL中的各第1可变按钮Bh1、Bh2。这样，设定变更针对图4所示的原图像数据Dm1中的白色水平的缺陷部Gh的缺陷检测水平La。
而且，从手动输入部5通过手动操作来变更各第2可变按钮Bd1、Bd2，从而设定变更针对图4B所示的黑色水平的缺陷部Gd的第2缺陷检测水平Lb。
这样在对第1、第2缺陷检测水平La、Lb进行了设定变更后，当操作仿真按钮EB时，缺陷提取部10根据由检查条件变更部9进行了设定变更的第1、第2缺陷检测水平La、Lb，对各原图像数据Dm1～Dm6进行缺陷部的提取动作。
当该缺陷部的提取动作结束时，显示控制部8把由缺陷提取部10所提取的仅各缺陷部G1～G6的各缺陷图像数据Dg1～Dg6一览显示在显示器3的画面上。这样，通过检查被一览显示在显示器3的画面上的各缺陷图像数据Dg1～Dg6，能够确认基于进行了设定变更的各缺陷检测水平La、Lb的各缺陷部G1～G6的检测结果。
即，在显示器3的画面上显示包含有一定必须检测的各缺陷部G1～G3的各缺陷图像数据Dg1～Dg3，而不显示无需检测的各缺陷部(假缺陷)G4～G6。这样，能够立即判断通过手动进行了设定变更的各缺陷检测水平La、Lb是否是合适的水平。
另外，如果无需检测的各缺陷部G4～G6中的一个被显示，则再次手动操作各第1可变按钮Bh1、Bh2和各第2可变按钮Bd1、Bd2，对第1、第2缺陷检测水平La、Lb进行设定变更。
在自动进行第1、第2缺陷检测水平La、Lb的设定变更的情况下，当通过手动输入部5操作自动设定按钮AB时，检查条件变更部9分别自动设定针对各原图像数据Dm1～Dm6、或者1张原图像数据Dm1、…、或Dm6的第1、第2缺陷检测水平La、Lb。
例如，在为了不检测被判定为假缺陷的各缺陷部G4～G6而自动设定第1、第2缺陷检测水平La、Lb的情况下，检查条件变更部9将原图像数据Dm4～Dm6恰好横向挪动玻璃基板上的图形的1个周期，然后如图6C所示，制作原图像数据Dm4～Dm6和横向挪动图像数据Dm4’～Dm6’的差图像数据Dm4S～Dm6S。
然后，检查条件变更部9制作差图像数据Dm4S～Dm6S的亮度的度数分布图，根据该亮度的度数分布图自动设定用于检测各缺陷部G4～G6、G4’～G6’的第1、第2缺陷检测水平La、Lb。
当第1缺陷检测水平La的自动设定结束时，缺陷提取部10根据进行了自动设定的第1、第2缺陷检测水平La、Lb对各原图像数据Dm1～Dm6进行缺陷部的提取动作。
显示控制部8仅把包含有由缺陷提取部10所提取的各缺陷部(真缺陷)G1～G6的各缺陷图像数据Dg1～Dg3一览显示在显示器3的画面上。这样，通过检查被一览显示在显示器3的画面上的各缺陷图像数据Dg1～Dg3，能够立即确认进行了自动设定的第1、第2缺陷检测水平La、Lb是否是合适的水平。
当进行第1、第2缺陷检测水平La、Lb的手动设定或自动设定时，为了强调各原图像数据Dm1～Dm6上的各缺陷部G1～G6来显示在显示器3的画面上，可以强调各原图像数据Dm1～Dm6的对比度。
这样根据上述一实施方式，保存玻璃基板的各原图像数据Dm1～Dm6，由于能够在显示器3的画面上确认在已针对这些原图像数据Dm1～Dm6通过手动或自动设定变更了各缺陷检测水平La、Lb时的各缺陷部G1～G6的检测结果，因而能够容易地且短时间内设定变更最合适的第1、第2缺陷检测水平La、Lb。结果，通过把重新设定后的第1、第2缺陷检测水平La、Lb反馈给基板检查装置12，即使当玻璃基板的状态发生了变化时，也能通过基板检查装置12缩短基板检查的建立时间(立ち上がり時間)。
在进行第1、第2缺陷检测水平La、Lb的手动设定或自动设定时，通过对各原图像数据Dm1～Dm6进行对比度强调处理，能够强调显示在显示器3的画面上显示的各原图像数据Dm1～Dm6上的各缺陷部G1～G6，容易识别各缺陷部G1～G6。
关于各原图像数据Dm1～Dm6，通过从对玻璃基板的整面进行摄像所取得的图像数据D中仅切取包含缺陷部分在内的一部分区域，使得各原图像数据Dm1～Dm6的数据容量减小，可大幅削减图像保存部6的保存容量，并在短时间内即可把原图像数据、缺陷图像数据以及覆盖图像数据显示在显示器3的画面上。
显示控制部8可以使用仅针对各原图像数据Dm1～Dm6中的例如通过手动输入部5指示的原图像数据(例如各原图像数据Dm1、Dm3)进行了设定变更的第1、第2缺陷检测水平La、Lb，来检测各缺陷部G1、G3。即，可以使用第1、第2缺陷检测水平La、Lb来检测各缺陷部G1～G6的亮度，例如断线等白色水平缺陷部Gh和尘埃等引起的黑色水平缺陷部Gd。该第1、第2缺陷检测水平La、Lb可使用第1可变按钮Bh1、Bh2和第2可变按钮Bd1、Bd2来改变，可任意变更各缺陷部G1～G6的检测精度。
另外，也可以不设置第1、第2缺陷检测水平La、Lb，而设置1个缺陷检测水平，使用1个可变按钮来变更该缺陷检测水平，从而分别检测白色水平的缺陷部Gh和黑色水平的缺陷部Gd。
显示控制部8可以根据来自手动输入部5的选择指示，从各原图像数据Dm1～Dm6、各缺陷图像数据Dg1～Dg6、或者覆盖图像数据中选择任意的图像数据来显示在显示器3的画面上，或者按照各缺陷部G1～G6的各坐标顺序、各亮度顺序、各种类顺序、各尺寸顺序等进行排序来显示在显示器3的画面上，以便容易检查各缺陷部G1～G6。
显示控制部8可以在显示器3的画面上，根据各缺陷部G1～G6的检查，使用各种方法显示各缺陷图像数据Dg1～Dg3等。例如，仅把在已变更了检查条件时的由缺陷提取部10所提取的各缺陷图像数据Dg1～Dg3一览显示在显示器3的画面上。把各覆盖图像数据Dr1～Dr6显示在显示器3的画面上。把各缺陷图像数据Dg1～Dg3、各原图像数据Dm1～Dm6、或者各覆盖图像数据Dr1～Dr6中的任意一种数据选择显示在显示器3的画面上。可以按缺陷种类改变显示颜色把各缺陷部G1～G6显示在显示器3的画面上。
检查条件变更部9可以根据各缺陷部G1～G6的检查，一并或分别设定变更第1、第2缺陷检测水平La、Lb。而且，具有仿真按钮EB，该仿真按钮EB用于把在已改变了第1、第2缺陷检测水平La、Lb时的各缺陷部G1～G6的检测结果显示在显示器3的画面上来进行确认。
另外，上述一实施方式可以按如下所述变形。
作为第1可变操作端的各第1可变按钮Bh1、Bh2、作为第2可变操作端的各第2可变按钮Bd1、Bd2、以及作为确认操作端的仿真按钮EB不限于显示在显示器3的画面上，可以使用分别设置在操作盘等上的开关，或者也可以通过键盘的键操作来进行操作。
产业上的可利用性
本发明不限于在针对液晶显示器的玻璃基板的基板检查装置中使用的缺陷检测水平的设定变更，也可以应用于形成有规则图形的半导体晶片的检查。
权利要求书
(按照条约第19条的修改)
1.(修改后)一种缺陷显示装置，其特征在于，具有：
图像保存部，其保存从通过基板检查装置对检查对象基板进行摄像所取得的基板图像数据中切取包含所述检查对象基板上的缺陷部在内的周边原图像而得到的原图像数据；
缺陷提取部，其根据所设定的检查条件，针对保存在所述图像保存部内的所述原图像数据提取所述缺陷部；
检查条件变更部，其针对所述原图像数据变更所述检查条件；以及
显示控制部，其把由所述缺陷提取部根据由所述检查条件变更部进行了变更的所述检查条件，针对所述原图像数据重新提取的缺陷图像数据显示在显示器画面上。
2.(修改后)根据权利要求1所述的缺陷显示装置，其特征在于，所述检查条件变更部针对全部所述原图像数据或者所指定的任意所述原图像数据，一并变更所述检查条件。
3.(修改后)根据权利要求1所述的缺陷显示装置，其特征在于，所述显示控制部把作为所述检查条件变更部的可变按钮显示在所述显示器画面上，把由所述缺陷提取部根据通过所述可变按钮进行了变更的所述检查条件而重新提取的所述缺陷部的缺陷图像显示在所述显示器画面上。
4.(修改后)根据权利要求1至3中的任意一项所述的缺陷显示装置，其特征在于，所述检查条件变更部针对所述原图像数据与将所述原图像数据恰好挪动了规则图形的周期的量而得到的原图像数据的差图像数据，根据针对所述差图像数据中的各像素的亮度的亮度分布，自动设定缺陷检测水平。
5.(修改后)根据权利要求1至3中的任意一项所述的缺陷显示装置，其特征在于，所述检查条件变更部，作为所述检测条件分别对所述原图像数据中的白色水平缺陷部和黑色水平缺陷部的缺陷检测水平进行设定变更。
6.(修改后)根据权利要求1至3中的任意一项所述的缺陷显示装置，其特征在于，所述检查条件变更部，作为所述检测条件进行强调所述原图像数据的对比度的设定变更。
7.(修改后)根据权利要求1所述的缺陷显示装置，其特征在于，所述显示控制部改变由所述缺陷提取部所提取的所述缺陷部的颜色，与所述原图像数据重合，显示在所述显示器画面上。
8.(修改后)根据权利要求7所述的缺陷显示装置，其特征在于，所述显示控制部按照所述缺陷部的各种类改变颜色来进行显示。
9.(修改后)根据权利要求1所述的缺陷显示装置，其特征在于，所述显示控制部可以在所述显示器画面上选择显示所述缺陷图像数据、所述原图像数据、或者合并了所述缺陷图像数据和所述原图像数据得到的覆盖图像数据中的任意一种数据。
10.(修改后)根据权利要求9所述的缺陷显示装置，其特征在于，所述显示控制部可以对所述原图像数据、所述缺陷图像数据或者所述覆盖图像数据进行排序或选择来显示在所述显示器画面上。
11.(修改后)根据权利要求10所述的缺陷显示装置，其特征在于，所述显示控制部根据所述缺陷部的坐标顺序、亮度顺序、缺陷的种类顺序或者尺寸顺序的项来进行所述排序。
12.(修改后)根据权利要求1所述的缺陷显示装置，其特征在于，具有：
缺陷信息存储部，其存储与所述缺陷部有关的信息；以及
缺陷信息显示部，当对显示在所述显示器画面上的所述缺陷部进行指示时，其从所述缺陷信息存储部中读出与该缺陷部有关的所述信息并显示在所述显示器画面上。
13.(删除)
14.(删除)
15.(删除)
16.(删除)

Claims (16)

1.一种缺陷显示装置，其特征在于，具有：
图像保存部，其保存从检查对象的图像数据中所切取的包含所述检查对象上的缺陷部在内的原图像数据；
检查条件变更部，其对从保存在所述图像保存部内的所述原图像数据中提取所述缺陷部的检查条件进行设定变更；
缺陷提取部，其根据由所述检查条件变更部进行了设定变更的所述检查条件，从所述原图像数据中提取包含所述缺陷部在内的缺陷图像数据；以及
显示控制部，其把保存在所述图像保存部内的所述原图像数据、或者由所述缺陷提取部所提取的所述缺陷图像数据一览显示在显示器画面上。
2.根据权利要求1所述的缺陷显示装置，其特征在于，
所述图像保存部保存多个所述原图像数据，
所述检查条件变更部针对所指定的任意的所述原图像数据或者全部所述原图像数据进行所述检查条件的设定变更。
3.根据权利要求1所述的缺陷显示装置，其特征在于，
所述检查条件变更部在所述显示器画面上显示可改变缺陷检测水平的可变按钮，
所述缺陷提取部根据通过所述可变按钮所设定的所述检查条件，从所述原图像数据中提取所述缺陷部，
所述显示控制部显示所述可变按钮和由所述缺陷提取部所提取的所述缺陷图像数据。
4.根据权利要求1所述的缺陷显示装置，其特征在于，所述检查条件变更部制作所述原图像数据与将所述原图像数据恰好挪动了规则图形的周期的量而得到的原图像数据的差图像数据，根据针对所述差图像数据中的各像素的亮度的度数分布，自动设定缺陷检测水平。
5.根据权利要求1所述的缺陷显示装置，其特征在于，所述检查条件变更部对针对所述原图像数据的亮度的缺陷检测水平进行设定变更，以作为所述检查条件。
6.根据权利要求5所述的缺陷显示装置，其特征在于，所述检查条件变更部具有可变操作端，该可变操作端可分别改变所述原图像数据中的白色水平缺陷部和黑色水平的所述缺陷检测水平。
7.根据权利要求1所述的缺陷显示装置，其特征在于，所述检查条件变更部可以一并设定变更针对多个所述原图像数据的缺陷检测水平。
8.根据权利要求1所述的缺陷显示装置，其特征在于，所述检查条件变更部可以指定多个所述原图像数据来个别地对提取所述缺陷部的所述检查条件进行设定变更。
9.根据权利要求1所述的缺陷显示装置，其特征在于，所述显示控制部把在通过所述检查条件变更部改变了所述检查条件时的所述各缺陷部的检测结果显示在所述显示器画面上。
10.根据权利要求9所述的缺陷显示装置，其特征在于，所述显示控制部仅把在通过所述检查条件变更部改变了所述检查条件时的、由所述缺陷提取部所提取的所述缺陷图像数据一览显示在所述显示器画面上。
11.根据权利要求1所述的缺陷显示装置，其特征在于，所述检查条件变更部进行强调所述原图像数据的对比度的设定变更，以作为所述检查条件。
12.根据权利要求1所述的缺陷显示装置，其特征在于，所述显示控制部可以在所述显示器画面上选择显示所述缺陷图像数据、所述原图像数据、或者合并了所述缺陷图像数据和所述原图像数据得到的覆盖图像数据中的任意一种数据。
13.根据权利要求1所述的缺陷显示装置，其特征在于，所述显示控制部将所述缺陷部按缺陷种类改变显示颜色来显示在所述显示器画面上。
14.根据权利要求12所述的缺陷显示装置，其特征在于，所述显示控制部可以对所述原图像数据、所述缺陷图像数据或者所述覆盖图像数据进行排序或选择来显示在所述显示器画面上。
15.根据权利要求14所述的缺陷显示装置，其特征在于，所述显示控制部通过所述缺陷部的坐标顺序、亮度顺序、缺陷的种类顺序或者尺寸顺序的项来进行所述排序。
16.根据权利要求1所述的缺陷显示装置，其特征在于，具有：
缺陷信息存储部，其存储与所述缺陷部有关的信息；以及
缺陷信息显示部，当对显示在所述显示器画面上的所述缺陷部进行指示时，其从所述缺陷信息存储部中读出与该缺陷部有关的所述信息并显示在所述显示器画面上。
CNB2004800185074A 2003-06-30 2004-06-28 缺陷显示装置 Expired - Fee Related CN100476416C (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP187854/2003 2003-06-30
JP2003187854A JP4079841B2 (ja) 2003-06-30 2003-06-30 欠陥表示装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN1813185A true CN1813185A (zh) 2006-08-02
CN100476416C CN100476416C (zh) 2009-04-08

Family

ID=33549735

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNB2004800185074A Expired - Fee Related CN100476416C (zh) 2003-06-30 2004-06-28 缺陷显示装置

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JP4079841B2 (zh)
KR (1) KR100791195B1 (zh)
CN (1) CN100476416C (zh)
TW (1) TWI340356B (zh)
WO (1) WO2005001455A1 (zh)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101965605A (zh) * 2008-04-14 2011-02-02 日东电工株式会社 光学显示装置制造系统及光学显示装置制造方法
CN102937594A (zh) * 2012-11-02 2013-02-20 上海华力微电子有限公司 一种缺陷检测系统及方法
CN103489817A (zh) * 2013-09-30 2014-01-01 上海华力微电子有限公司 缺陷检测系统及方法
CN103792705A (zh) * 2014-01-28 2014-05-14 北京京东方显示技术有限公司 检测基板缺陷的检测方法及检测装置
CN103809309A (zh) * 2014-01-22 2014-05-21 北京京东方显示技术有限公司 基板检测设备及方法
CN107040725A (zh) * 2017-05-15 2017-08-11 惠科股份有限公司 一种图像获取装置的坐标校正方法及图像获取装置
CN110132979A (zh) * 2019-05-05 2019-08-16 东方电气集团东方锅炉股份有限公司 一种金属材料显微缺陷的分析方法

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007071678A (ja) * 2005-09-07 2007-03-22 Hitachi High-Technologies Corp 検査システム
JP2008033306A (ja) * 2006-07-03 2008-02-14 Olympus Corp 欠陥修正装置
JP4956077B2 (ja) * 2006-07-19 2012-06-20 株式会社メック 欠陥検査装置及び欠陥検査方法
JP4843399B2 (ja) * 2006-07-31 2011-12-21 株式会社日立ハイテクノロジーズ 検査装置及び検査方法
KR20180052246A (ko) * 2016-11-10 2018-05-18 (주) 지펙케이앤디 조도센서 센서값 설정을 통해 화면 밝기를 수동 및 자동으로 제어하는 디스플레이 장치

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59192943A (ja) * 1983-04-15 1984-11-01 Hitachi Ltd 繰返しパタ−ンの欠陥検査装置
JPH07119704B2 (ja) * 1986-03-18 1995-12-20 オムロン株式会社 基板検査装置
JP2647502B2 (ja) * 1989-06-30 1997-08-27 株式会社日立製作所 パターン比較検査方法および装置
JPH0357241A (ja) * 1989-07-26 1991-03-12 Hitachi Ltd 自動外観検査装置
JPH0776757B2 (ja) * 1990-12-14 1995-08-16 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション 光学的検査装置
JPH05172548A (ja) * 1991-12-25 1993-07-09 Honda Motor Co Ltd ワーク表面検査装置のデータ出力方法
JPH0614959U (ja) * 1992-06-01 1994-02-25 エヌオーケー株式会社 画像処理装置
JP2710527B2 (ja) * 1992-10-21 1998-02-10 大日本スクリーン製造株式会社 周期性パターンの検査装置
JPH08219721A (ja) * 1995-02-14 1996-08-30 Sony Corp 画像処理装置
JP2981434B2 (ja) * 1997-01-27 1999-11-22 株式会社日立製作所 パターン欠陥検出方法とその装置
JP3288613B2 (ja) * 1997-09-25 2002-06-04 株式会社クボタ 不良検出装置及び不良物除去装置
JPH11346308A (ja) * 1998-06-02 1999-12-14 Olympus Optical Co Ltd 透過原稿用画像読取装置
JP2000193594A (ja) * 1998-12-24 2000-07-14 Hitachi Ltd 回路パターン検査方法およびその装置
JP2000188075A (ja) * 1998-12-22 2000-07-04 Hitachi Ltd 回路パターンの検査方法および検査装置
JP4588138B2 (ja) * 1999-07-23 2010-11-24 株式会社日立製作所 回路パターンの検査装置
JP3869588B2 (ja) * 1999-09-01 2007-01-17 株式会社日立製作所 回路パターン検査装置
JP2001141601A (ja) * 1999-11-11 2001-05-25 Sony Corp 表示装置または撮像装置の評価選別方法及び装置
JP2001156135A (ja) * 1999-11-29 2001-06-08 Hitachi Ltd 欠陥画像の分類方法及びその装置並びにそれを用いた半導体デバイスの製造方法
JP2001256480A (ja) * 2000-03-09 2001-09-21 Hitachi Ltd 画像自動分類方法及び装置
JP2002228606A (ja) * 2001-01-31 2002-08-14 Hitachi Ltd 電子線式回路パターンの検査方法および装置

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101965605B (zh) * 2008-04-14 2013-07-17 日东电工株式会社 光学显示装置制造系统及光学显示装置制造方法
CN101965605A (zh) * 2008-04-14 2011-02-02 日东电工株式会社 光学显示装置制造系统及光学显示装置制造方法
CN102937594B (zh) * 2012-11-02 2015-01-21 上海华力微电子有限公司 一种缺陷检测系统及方法
CN102937594A (zh) * 2012-11-02 2013-02-20 上海华力微电子有限公司 一种缺陷检测系统及方法
CN103489817A (zh) * 2013-09-30 2014-01-01 上海华力微电子有限公司 缺陷检测系统及方法
CN103489817B (zh) * 2013-09-30 2016-01-27 上海华力微电子有限公司 缺陷检测系统及方法
CN103809309A (zh) * 2014-01-22 2014-05-21 北京京东方显示技术有限公司 基板检测设备及方法
CN103809309B (zh) * 2014-01-22 2016-07-06 北京京东方显示技术有限公司 基板检测设备及方法
CN103792705A (zh) * 2014-01-28 2014-05-14 北京京东方显示技术有限公司 检测基板缺陷的检测方法及检测装置
CN103792705B (zh) * 2014-01-28 2017-02-01 北京京东方显示技术有限公司 检测基板缺陷的检测方法及检测装置
CN107040725A (zh) * 2017-05-15 2017-08-11 惠科股份有限公司 一种图像获取装置的坐标校正方法及图像获取装置
CN107040725B (zh) * 2017-05-15 2021-04-30 惠科股份有限公司 一种图像获取装置的坐标校正方法及图像获取装置
CN110132979A (zh) * 2019-05-05 2019-08-16 东方电气集团东方锅炉股份有限公司 一种金属材料显微缺陷的分析方法

Also Published As

Publication number Publication date
TWI340356B (en) 2011-04-11
JP2005024312A (ja) 2005-01-27
CN100476416C (zh) 2009-04-08
WO2005001455A1 (ja) 2005-01-06
TW200511148A (en) 2005-03-16
JP4079841B2 (ja) 2008-04-23
KR20060031645A (ko) 2006-04-12
KR100791195B1 (ko) 2008-01-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US11915407B2 (en) Automated system and method for clarity measurements and clarity grading
CN1813185A (zh) 缺陷显示装置
CN1221926C (zh) 在电路板的预定区域中检查电路板的方法和装置
CN1339140A (zh) 缺陷检查系统
CN114881987B (zh) 基于改进YOLOv5的热压导光板缺陷可视化检测方法
EP3531817B1 (en) Substrate inspection device and substrate inspection method using same
CN204882389U (zh) 光学检测设备
US11321811B2 (en) Imaging apparatus and driving method of the same
JP2008130966A (ja) 欠陥レビュー方法および装置
CN1619790A (zh) 缺陷检查方法
JP2015004641A (ja) ウエハ外観検査装置
JP2006251561A (ja) 欠陥画素リペア方法
CN112215816A (zh) 一种生产线中显示器故障的实时检测方法、存储介质和装置
KR101409568B1 (ko) 표시패널 검사장치 및 그 검사방법
KR101426487B1 (ko) 표시패널의 검사 장치 및 그 방법
CN1275130C (zh) 用来分析图像马赛克的人机接口、方法及装置
WO2012169423A1 (ja) パターン検査装置およびパターン検査方法
JP2011029324A (ja) レシピ更新方法およびレシピ更新システム
US7330580B2 (en) System and method for inspecting an LCD panel
JP2005195515A (ja) 平面表示装置の検査装置及びその方法
JP2009086294A (ja) 点灯検査システム、点灯検査装置、点灯検査方法、点灯検査プログラム、コンピュータ読み取り可能な記録媒体
JP2002340739A (ja) 表示画面検査装置および表示画面検査方法
KR20140051547A (ko) 패널 외관 검사장치 및 이를 이용한 검사방법
JP2004301776A (ja) 画像検査装置、画像検査方法、制御プログラム、可読記録媒体および被検査部材の製造方法
CN112964722A (zh) 一种超大视野分布计算视觉检测方法及检测系统

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20090408

Termination date: 20140628

EXPY Termination of patent right or utility model