WO2005001455A1 - 欠陥表示装置 - Google Patents

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WO2005001455A1
WO2005001455A1 PCT/JP2004/009467 JP2004009467W WO2005001455A1 WO 2005001455 A1 WO2005001455 A1 WO 2005001455A1 JP 2004009467 W JP2004009467 W JP 2004009467W WO 2005001455 A1 WO2005001455 A1 WO 2005001455A1
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defect
image data
original image
display
inspection condition
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PCT/JP2004/009467
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Takaaki Onishi
Shuji Akiyama
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Olympus Corporation
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    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1306—Details
    • G02F1/1309—Repairing; Testing

Definitions

  • the present invention relates to a defect display device capable of setting and changing a defect detection level optimal for extracting a defect on an inspection object such as a semiconductor wafer or a glass substrate of a liquid crystal display.
  • a substrate inspection device inspects the substrate for the glass substrate.
  • image data obtained by macroscopically imaging a glass substrate is displayed on a display screen, and the operator can display a defective portion on this screen. It is described that a part of the image area including the image is extracted and saved as defect image data, and the defect image data is combined with the reference image data and displayed on the display screen.
  • the defect detection level When inspecting a glass substrate, it is formed on the glass substrate depending on the state of the glass substrate according to each process of liquid crystal display production, for example, the number of layers formed on the glass substrate, or the presence or absence of resist coating. The appearance of patterns and defects changes. In such a case, as inspection conditions (recipe) for the glass substrate For example, the defect detection level needs to be changed.
  • the current status of inspection of glass substrate is to acquire each defect image data of the defect on the glass substrate and display it on the display screen, confirm the condition of the displayed glass substrate, and The defect detection level has been changed.
  • the defect detection level is not set to the optimum level according to each process of the liquid crystal display manufacturing or the opening of the glass substrate, the defective portion which affects the liquid crystal display manufacturing is selected. If it can not be detected or if it is a defective part, it will falsely detect unnecessary parts as pseudo defects and it will not be possible to carry out accurate substrate inspection.
  • An object of the present invention is to provide a defect display device capable of setting and changing an optimum inspection condition according to a change in the state of a glass substrate in a short time even if the state of the glass substrate changes.
  • an image storage unit for storing original image data including defects on the inspection target extracted from the image data of the inspection target, and an original image stored in the image storage unit.
  • An inspection condition change unit that changes the setting of an inspection condition for extracting a defect from data, and defect image data including a defect from original image data based on the inspection condition whose setting is changed by the inspection condition change unit.
  • a defect comprising a defect extraction unit to be extracted, and a display control unit to list original image data stored in the image storage unit or defect image data extracted by the defect extraction unit on a display screen.
  • a display device is provided.
  • FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of a defect display device according to the present invention.
  • Fig. 2 is a schematic diagram showing the cutting of the original image data in the same device.
  • Fig. 3A shows original image data used to create overlay image data by the same device.
  • Fig. 3B is a diagram showing defect image data used to create overlay image data by the same apparatus.
  • Fig. 3C shows overlay image data selected and displayed by the same device.
  • Fig. 4A is a diagram showing the setting change of the detection level for the white level defect by the same device.
  • Fig. 4B is a diagram showing the setting change of the detection level for the black level defect by the same device.
  • Fig. 5A is a diagram for explaining the emplacement of defect detection level in the same device.
  • Fig. 5B is a diagram for explaining the emplacement of defect detection level in the same device.
  • Fig. 6 A shows the original image data used to automatically set the defect detection level in the same device.
  • Fig. 6B is a diagram showing laterally shifted original image data when the defect detection level in the same device is automatically set.
  • Fig. 6C is a diagram showing the difference image data between the original image data and the laterally shifted original image data when the defect detection level in the same apparatus is automatically set.
  • Fig. 6D is a frequency distribution chart used when automatically setting the defect detection level in the same device.
  • Fig. 7A shows the frequency distribution before changing the setting of contrast enhancement level in the same device.
  • Fig. 7B shows the frequency distribution after changing the setting of contrast enhancement level in the same device.
  • Figure 1 is a block diagram of the defect display device.
  • the main control unit 1 has C PU.
  • a display 3 such as a liquid crystal or CRT is connected to the main control unit 1 via an output unit 2.
  • a manual input unit 5 such as a keyboard or a mouse is connected to the main control unit 1 through an input unit 4.
  • the main control unit 1 stores and reads out image data from the image storage unit 6 and writes and reads out information on defective parts in the defect information storage unit 7.
  • the main control unit 1 issues operation commands to the display control unit 8, the inspection condition changing unit 9, the defect extraction unit 10 and the defect information display unit 1 1.
  • Data is saved.
  • the original image data is, for example, as shown in FIG. 2, from the entire image data D acquired by imaging the entire surface of the glass substrate in the substrate inspection apparatus, image data D ni i around the image including the defect portion G is obtained. It is cut out. If a plurality of defects G, for example, six defects G to G 6 exist on the glass substrate, the image storage 6 stores six original image data D m D ms.
  • the defect information storage unit 7 stores information on each of the defects G to G 6 on the glass substrate, for example, each coordinate of six defects G to G 6 , each brightness, each defect type, each size, etc. Be done.
  • Display control unit 8 displays a list of original image data D mi ⁇ D me stored in image storage unit 6 on the screen of display 3 in accordance with the manual operation to manual input unit 5 ( Display).
  • the display control unit 8 extracts the defect extraction unit 10 when the inspection condition changed by the inspection condition change unit 9, for example, when the inspection condition for each of the defect portions G to G 6 on the glass substrate is changed.
  • the defect image data D g L to D g 6 including only each defect part G i G e obtained by the operation result are listed and displayed on the display 3 screen.
  • the screen of the di splay 3 shown in FIG. 1, for example, the defect image data D g E ⁇ D g 6 are listed.
  • These defect image data D gl to D g 6 respectively have respective defect parts G ⁇ to G 6 .
  • the display control unit 8 follows the manual operation of the manual input unit 5 to detect each defect image of each defect portion GG e extracted by each of the original image data D mj to D m 6 and the defect extraction unit 10. data D g r ⁇ D g 6, or each original image data D m D me and the defect image data D g E ⁇ ] ⁇ g s and were combined each of O ICHIBA ray image data D r to D r 6 Select one of them on the display 3 screen.
  • the display control unit 8 may display only each of the overlay image data D r 1 to D r 6 on the screen of the display 3.
  • FIG. 3A shows an example of original image data D m.
  • a regular pattern for example, a bus line
  • a defect portion G is also present.
  • Fig. 3B shows an example of defect image data D gl. Indicated, only defects exist.
  • FIG. 3C shows an example of the overlay image data D r, which is created by combining the original image data D m and the defect image data D g, and.
  • the display control unit 8 displays, for example, each defect image data D g to D g 6 or each overlay image data D r on the screen of the display 3. -When D r 6 is displayed, the display color of each defect G i to G 6 is changed and displayed for each defect type.
  • the display control unit 8 the original image data D m E ⁇ D m 6, the defect image data D gi ⁇ D g 6, or the over-ray image data D rr 6 sort by screen of the di splay 3 and indicate.
  • the items to be sorted are the information on each of the defects G to G 6 on the glass substrate stored in the defect information storage unit 7. For example, the order of the coordinates of each defect G to G 6 and the order of each brightness The order of types of defects, the order of sizes, etc.
  • the display control unit 8 follows the manual selection instruction to the manual input unit 5 to input each original image data D mi to D m 6 , each defect image data D g to D g 6 , or each overlay image data D r Select any image data from ⁇ 13 r 6 to display it on display 3 screen.
  • the inspection condition changing unit 9 changes the setting of the inspection conditions for extracting the defective portions G i to G 6 from the original image data D ni i D me stored in the image storage unit 6.
  • the inspection conditions have the first defect detection level L a for the white level having brightness (brightness level) higher than the normal level of each original image data D mi D me and the brightness lower than the normal level.
  • Second Missing from Black Level It is a setting change of depression detection level L b.
  • the inspection conditions are the setting change of contrast emphasis level for each original image data D m D ni e.
  • the first and second defect detection levels L a and L b can be varied as follows.
  • the inspection condition change unit 9 has a defect detection level change block BL for changing the settings of the first and second defect detection levels L a and L b on the screen of the display 3 as shown in FIG. indicate.
  • this defect detection level changing block BL a first defect detection for a white level defect G h such as a break in each original image data D m to D m 6 as shown in FIG. 4A is performed.
  • Each second variable button B d 1 B d 2 as a second variable operation end for changing a second defect detection level L b with respect to d.
  • the inspection condition change unit 9 can set and change the first and second defect detection levels L a and L b collectively for each of the original image data Dm to Dm 6 .
  • the inspection condition change unit 9 operates the mouse of the manual input unit 5 to designate each original image data D mi D iii e with a pointer and individually detect the first and second defect detection levels L It is also possible to change the setting of a and L b.
  • 6 detection Automatically set the Emulation button EB, which is the confirmation operation end for displaying and confirming the result on the screen of Display 3, and the first and second defect detection levels L a and L b Have automatic setting buttons AB and.
  • Each first variable button B hi B h 2 , each second variable button B d! , B d 2 are set by manual operation on the manual input unit 5.
  • the first and second variable patterns B hi B set the first and second defect detection levels L a and L b high, respectively.
  • the first and second variable buttons B h 2 and B d 2 set the first and second defect detection levels L a and L b low, respectively.
  • the first defect detection for the original image data D mi is performed . If the level L a is set to the low level side, the detection accuracy for the defect part G i will be strict. If the level L a is set to the high level side, the detection accuracy for the defect part G i will be loose.
  • the defect G i can be detected in the detection level area Wa. As shown in FIG. 5B, if there is a defect G on the lower side of the defect detection level L a, the defect G i is in the undetectable area W b and can not be detected.
  • the defect G is in the detection level area Wa Able to detect It is Therefore, if the second defect detection level L b for the original image data D ni i is set to the low level side, the detection accuracy for the defect portion G will be loose, and if it is set to the high level side, for the defect portion Detection accuracy becomes severe.
  • the good each in cormorants first variable Potassium emissions B hi B h 2, the second variable button B d ⁇ B d 2 between two.
  • the first and Yuaru operation a second defect detection level L a
  • the inspection condition changing unit 9 uses the first defect detection level L a or the second defect detection level L b whose setting has been changed.
  • Each defect image GG e is detected with respect to each original image data D mi D ni e stored in the image storage unit 6 and each defect image data D g! Re-extracted based on the detection result.
  • the inspection condition changing unit 9 causes each original image data D rr ⁇ D me or one original image data D m!
  • the first and second defect detection levels L a and L b for N ... or D m 6 are automatically set separately.
  • the automatic setting of the first and second defect detection levels L a and L b is performed as follows.
  • the inspection condition changing unit 9 generates the original image data D as shown in FIG. Horizontal image data D m is generated by shifting m laterally by one period of a regular pattern formed on a glass substrate.
  • the inspection condition changing unit 9 generates the original image data.
  • the difference image data D m ls between the data D ni i and the image data D m ' is created.
  • the pattern on the glass substrate is offset since the lateral image is shifted by one period of the regular pattern formed on the glass substrate, and the original image data D! ! !
  • the upper defect part and the lateral displacement image data D m 'and the defective part G' remain.
  • the inspection condition changing unit 9 the brightness of each pixel that put on the difference image data D m E s (original image data D m 1 and the image data D m
  • the frequency distribution chart of brightness shown in Fig. 6D is created with the number of data of 1) and the difference in brightness of each pixel as a count.
  • the distribution K is each defect part G i, G! 'Indicates'-distribution K 2 shows low level noise.
  • each defect part G G, G! In order to detect ', the inspection condition change unit 9 automatically sets the first defect detection level L a to a level lower than the distribution K.
  • the inspection condition change unit 9 displays the contrast emphasis level change protocol BC for changing the setting of the contrast emphasis level on the display 3 screen as shown in FIG. .
  • the setting change of the contrast enhancement level is as follows.
  • the inspection condition changing unit 9 creates, for example, the brightness frequency distribution diagram shown in FIG. 7A with the number of data of the brightness of each pixel in the original image data Dmi as a count.
  • the inspection condition changing unit 9 widens the width of the brightness and spreads the width of the brightness as shown in FIG. 7B. Convert to image data D m ' t
  • the original image data D mi 'thus obtained is an image that clearly shows the difference in light and dark, and the defect part G is emphasized and displayed on the display 3 screen.
  • the defect extraction unit 10 is set based on the inspection conditions of the first and second defect detection levels L a and L b and the contrast enhancement level changed by the inspection condition change unit 9. extracting operation of the defect portion collectively for the original image data D m E ⁇ D m 6.
  • the defect extraction unit 10 operates the mouse or the like of the manual input unit 5 to designate each of the original image data Dm to Dm 6 with a pointer and performs an extraction operation of the defect portion individually.
  • the defect information display unit 11 is a manual of the defective portion G i G e on the glass substrate displayed on the screen of the display 3 with the manual input unit 5 and the like.
  • information about the defective portion G ⁇ G 6, i.e. the coordinates of each defective portion G ⁇ G e, the intensity, the type, di scan and read out and the size of the defect information storage section 7 Fit the original screen data D m ⁇ D m 6 , each defect image data D gl to D g 6 , or each overlay image data D ri to D r 6 on the display screen to the empty screen area on the display screen. Display.
  • each original image data D m ⁇ D ms having each defect portion G i to G 6 on the glass substrate is already stored c.
  • the defect information storage unit 7 on the glass substrate The information on each coordinate of each defect part G i G e, each brightness, each defect type, each size, etc. is stored.
  • the display control unit 8 controls each original image data D stored in the image storage unit 6. Read m to D m 6 and list them on the display 3 screen.
  • the defects G to G 6 included in each of the listed raw image data D m D me are defects which must be detected in order to affect the manufacture of the liquid crystal display (for example, each defect GG s) and defects (for example, each defect G 4 to G 6 ) which do not affect detection of the liquid crystal display and do not require detection. Therefore, the first and second defect detection levels L a and L b are changed in order to reliably detect only each defect G i G g which needs to be detected.
  • the inspection condition change unit 9 displays them on the screen of the display 3.
  • the first variable point B hi and B h 2 in the defect detection level change block BL are manually changed from the manual input unit 5.
  • the defect detection level L a for the defect portion G h of the white level in the original image data D m is changed. Ru.
  • each second variable button B di B d 2 from the manual input unit 5 by manual operation, a black level defect G as shown in FIG. 4B can be obtained.
  • the second defect detection level L b for d is changed.
  • the defect extraction unit 10 receives the inspection condition change unit. Based on the first and second defect detection levels L a and L b changed according to S. 9, the defect extraction operation is performed on each of the original image data D m to D m 6 .
  • each defect image data D g ⁇ of each defective portion G E ⁇ G 6 only Ri that has been extracted by the! ⁇ g 6 will be listed on Display 3 screen.
  • each defect image data D gi to D g 6 listed and displayed on the screen of display 3 is checked, so that each defect detection level L a and L b changed. It is possible to confirm the detection results of each defective part G to G 6 by.
  • each defect image data D g D D g 3 including each defect part G to G 3 that must be detected is displayed, and it is not necessary to detect it.
  • Each defect part (simulated defect) G 4 to G 6 is not displayed. In this way, it is possible to immediately judge whether each defect detection level La and Lb whose setting has been changed by the computer is an appropriate level.
  • the inspection condition changing part 9 Original image data D m! ⁇ D m 6 N Automatically sets the first and second defect detection levels L a and L b separately for the original image data D m, "or D m 6 ".
  • the inspection condition change unit 9 When automatically setting the first and second defect detection levels L a and L b so as not to detect each of the defects G 4 to G 6 determined to be pseudo defects, the inspection condition change unit 9 The image data D m 4 to D m 6 are laterally shifted by one period of the pattern on the glass substrate, and then, as shown in FIG. 6C, the original image data D m 4 to D m 6 are laterally staggered. to create a difference image data D m 4 S ⁇ D m 6 s of the image data D m 4 ' ⁇ D m 6 , and.
  • the inspection condition changing unit 9 creates a frequency distribution diagram of the brightness of the difference image data D m 4 s to D m 6 S , and from the frequency distribution diagram of this brightness, each defect portion G 4 to G 6 , The first and second defect detection levels L a and L b for detecting G 4 ′ to G 6 , are automatically set.
  • the defect extraction unit 10 selects each original image data D m based on the automatically set first and second defect detection levels L a and L b. Perform defect extraction operation for 1 to D m 6 .
  • the display control unit 8 detects each defect extracted by the defect extraction unit 10. 4009467
  • second defect detection level L a to come to perform the Mani Interview al setting or automatic setting of L b, emphasizes the defect G ⁇ 0 6 on each original image data D mi D me di
  • the contrast of each original image data D m D me can be emphasized for display on the screen of the spray 3 screen.
  • each original image data D mi D ni e glass substrate these original image data D m 1 ⁇ D each defect detection level for m 6 L a, Since the detection results of each defect G to G 6 can be confirmed on the screen of display 3 when L b is changed manually or automatically, the optimal first and second defects can be obtained.
  • the detection level can be easily and quickly changed to L a and L b.
  • the substrate inspection apparatus 12 by feeding back the reset first and second defect detection levels L a and L b to the substrate inspection apparatus 12, the substrate can be changed even when the state of the glass substrate changes.
  • the start-up time of substrate inspection can be shortened with inspection device 12.
  • each original image data DmiDme is subjected to a process of contrast enhancement.
  • Each original image data D rc ⁇ D me displayed on the screen of display 3 Defective parts G i to G 6 can be highlighted, and each defective part G to G 6 can be easily recognized.
  • Each of the original image data D m 1 to D m 6 is obtained by imaging only the entire area of the glass substrate and cutting out only a part of the image data D acquired from the image data D.
  • the storage capacity of the image storage section 6 can be greatly reduced, and the original image data, defect image data and overlay image data can be displayed on the display 3 screen in a short time. It can be shown.
  • the display control unit 8 outputs, for example, original image data instructed by the manual input unit 5 among the original image data D m to D m 6 , for example, each original image data D m and D m 3 .
  • the defect portions G i and G 3 can be detected by the first and second defect detection levels L a and L b changed only to the setting. That is, according to the first and second defect detection levels L a and L b, the brightness of each defective portion G i G e, for example, a defective portion G h of white level such as disconnection or a defective portion of black level due to dust G d can be detected.
  • first, second defect detection level L a, L b is a first variable button B h 1 B h 2, it can be varied Ri by the second variable Potassium emissions B d B d 2, each of the defect G
  • the detection accuracy of D to G 6 can be arbitrarily changed.
  • one defect detection level is provided without providing the first and second defect detection levels La and Lb, and the defect detection level is changed by one variable button to obtain the white level
  • the defect G h and the black level defect G d may be separately detected.
  • the display control unit 8 follows the selection instruction from the manual input unit 5.
  • the data can be selected and displayed on the screen of Display 3 or each defect
  • Each coordinate order of ⁇ G 6, each luminance order, each type order, Ru can be displayed on the screen of the di splay 3 sort like each size order.
  • the display control unit 8 is capable of displaying a di scan testing each defect image data in various ways depending on the D of-play each defective portion G E ⁇ G 6 on the screen of the 3 gi ⁇ D g 3.
  • each defect image data D gi to D g 3 extracted by the defect extraction unit 10 when the inspection condition is changed is listed on the screen of the display 3 each overlay image data Display Dri to D r 6 on the display 3 screen.
  • One of each defect image data D gl to D g 3 , each original image data D m D me or each overlay image data D ri to D r 6 is selected and displayed on the screen of the display 3.
  • the display color of each defect G to G 6 can be changed on the screen of display 3 by changing the display color according to the type of defect.
  • the inspection condition changing unit 9 can change the setting of the first and second defect detection levels L a and L b collectively or individually according to the inspection of each of the defect portions G i to G 6 .
  • Each first variable parameter B h ⁇ , ⁇ as a first variable control end h 2 , each second variable button B d as a second variable control end! , B d 2 and the Emulation Button EB, which is the confirmation operation end, are not limited to being displayed on the screen of Display 3, but may also be switched using switches provided on the operation panel etc. Or, it may be operated by the key operation of the keyboard.
  • the present invention is not limited to the setting change of the defect detection level used in the substrate inspection device for glass substrates of LCDs, Ru can be applied to Ken ⁇ semiconductor wafer formed a regular pattern c

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Abstract

ガラス基板の各原画像データを画像保存部（６）に保存し、これら原画像データに対して検査条件変更部（９）により各欠陥検出レベルやコントラストなどの検査条件をマニュアル又は自動により設定変更したときの各欠陥部（Ｇ１～Ｇ６）の検出結果をディスプレイ（３）の画面上に表示する。

Description

明 細 書
欠陥表示装置
技術分野
本発明は、 例えば半導体ウェハや液晶ディ スプレイのガラ ス基板等の検査対象上の欠陥部を抽出するのに最適な欠陥検 出レベルを設定変更可能な欠陥表示装置に関する。
背景技術
液晶ディ スプレイ の製造工程では、 基板検査装置によ り ガ ラス基板に対する基板検査が行なわれている。 特開 2 0 0 3 - 1 0 0 8 2 7号公報には、 ガラス基板をマク ロ的に撮像し て取得した画像データをディ スプレイ画面上に表示し、 この 画面上でオペレータが欠陥部分を含む一部の画—像領域を抜き 取って欠陥画像データ と して保存し、 かつ欠陥画像データを 基準画像データに合成してディ スプレイ画面上に表示する こ とが記載されている。
欠陥画像の保存 · 表示を行う技術と して例えば特開 2 0 0 2 — 1 9 2 6 9 9号公報がある。 この公報には、 基準画像と 検査対象画像と を比較して欠陥部を含む領域を切り 出し、 こ の欠陥画像データを保存し、 この欠陥画像データを基準画像 データに貼り付けて再生する こ とが記載されている。
ガラス基板を検査する場合、 液晶ディ スプレイ製造の各ェ 程によってガラス基板の状態、 例えばガラス基板上に形成さ れる層の数、 又はレジス トの塗布の有無等によってガラス基 板上に形成されたパターンや欠陥の見え方が変化する。 この よ う な場合、 ガラス基板に対する検査条件 （レシピ） と して 例えば欠陥検出レベルを変更する必要がある。
特開 2 0 0 3 — 1 0 0 8 2 7号公報及び特開 2 0 0 2 - 1 9 2 6 9 9 号公報では、 保存した欠陥画像データを再生して 表示するだけであ り 、 検査対象画像データ中の欠陥部を検出 するための欠陥検出レベルを変更する こ と は行っていない。
ガラス基板の検査の現状は、 ガラス基板上の欠陥部の各欠 陥画像データを取得してディ ス プレイ画面上に表示し、 こ の 表示されたガラス基板の状態を確認して、 その場で欠陥検出 レベルを設定変更 している。
このため、 液晶ディ スプレイ製造の各工程又はガラス基板 の口 ッ トに応じて最適な欠陥検出レベルに設定されていない 場合には、 液晶ディ ス プ レイ製造に影響を与える よ う な欠陥 部を検出できなかった り 、 欠陥部となら.ない不必要な部分を 疑似欠陥と して誤検出 して しまい、 正確な基板検査をする こ とができない。
又、 欠陥検出レベルの設定変更に時間がかかり 、 設定変更 が終了するまで基板検査を一時停止しなければならない。 そ の う え、 欠陥検出レベルを設定変更した後に、 ガラス基板上 'の欠陥部の各欠陥画像データを取得して欠陥検出レベルが適 切に設定変更されたかを確認する必要がある。 欠陥検出レべ ルの設定に失敗した場合には、 再度欠陥データを取得するす る必要があ り 、 欠陥検出レベルの設定に熟練を要する。
特開 2 0 0 2 — 1 9 2 6 9 9号公報の欠陥画像データは、 ディ ス プレイ画面上に表示されるだけなので、 欠陥検出レべ ルを設定変更した結果が、 この表示された欠陥画像データに は反映されない。 このため、 設定変更された欠陥検出レベル で再度欠陥画像データを取得して確認する必要がある。
本発明は、 ガラス基板の状態が変化しても、 ガラス基板の 状態変化に応じた最適な検査条件を容易にかつ短時間に設定 変更できる欠陥表示装置を提供する こ と を目的とする。
発明の開示
本発明の主要な観点によれば、 検査対象の画像データから 切 り 出された検査対象上の欠陥部を含む原画像データを保存 する画像保存部と、 画像保存部に保存されている原画像デー タから欠陥部を抽出する検査条件を設定変更する検査条件変 更部と、 検査条件変更部によ り設定変更された検査条件に基 づいて原画像データから欠陥部を含む欠陥画像データを抽出 する欠陥抽出部と、 画像保存部に保存されている原画像デー タ、 又は欠陥抽出部によ り抽出された欠陥画像データをディ スプレイ画面上に一覧表示する表示制御部とを具備した欠陥 表示装置が提供される。
図面の簡単な説明
図 1 は本発明に係わる欠陥表示装置の一実施の形態を示す 構成図。
図 2は同装置における原画像データの切 り 出 しを示す摸式 図。
図 3 Aは同装置によ り オーバレイ画像データを作成するた めに用いる原画像データを示す図。
図 3 Bは同装置によ り オーバレイ画像データを作成するた めに用いる欠陥画像データを示す図。 図 3 Cは同装置によ り選択表示されるオーバ レイ画像デー タを示す図。
図 4 Aは同装置による 白 レベルの欠陥部に対する検出レべ ルの設定変更を示す図。
図 4 Bは同装置による黒レベルの欠陥部に対する検出レべ ルの設定変更を示す図。
図 5 Aは同装置における欠陥検出レベルのエミ ユ レ一トを 説明するための図。
図 5 Bは同装置における欠陥検出レベルのエミ ユ レ一トを 説明するための図。
図 6 A.は同装置における欠陥検出レベルを自動設定するに 用いる原画像データを示す図。
図 6 Bは同装置における欠陥検出レベルを自動設定する と きの横ずら しした原画像データを示す図。
図 6 Cは同装置における欠陥検出レベルを自動設定する と き の原画像データ と横ずら しした原画像データ と の差画像デ ータ を示す図。
図 6 Dは同装置における欠陥検出レベルを自動設定する と きに用いる度数分布図。
図 7 Aは同装置における コ ン ト ラ ス ト強調レベルの設定変 更前の度数分布を示す図。
図 7 Bは同装置における コ ン ト ラス ト強調レベルの設定変 更後の度数分布を示す図。
発明を実施するための最良の形態
以下、 本発明の一実施の形態について図面を参照して説明 する。
図 1 は欠陥表示装置の構成図である。 主制御部 1 は、 C P Uを有する。 この主制御部 1 には、 出力部 2 を介して液晶又 は C R T等のディ スプレイ 3 が接続されている。 主制御部 1 には、 入力部 4 を介してキーボー ドゃマウス等のマニュアル 入力部 5 が接続されている。
主制御部 1 は、 画像保存部 6 に対する画像データの保存及 び読み出 しと、 欠陥情報記憶部 7 に対する欠陥部に関する情 報の書き込み及び読み出 しと を行う。 主制御部 1 は、 表示制 御部 8 、 検査条件変更部 9 、 欠陥抽出部 1 0及び欠陥情報表 示部 1 1 に対して動作指令を発する。
画像保存部 6 には、 例えば基板検査装置 1 2 によ り 半導体 ウェハや液晶ディ スプレイ のガラス基板などの検査対象を検 査して検出された検査対象上の欠陥部の原画像 （欠陥画像） データが保存される。 以降、 検査対象と してフラ ッ トパネル ディ スプレイ のガラス基板を用いた例で説明する。 原画像デ ータは、 例えば図 2 に示すよ う に基板検査装置においてガラ ス基板の全面を撮像して取得された全面画像データ D中から 欠陥部 Gを含む周辺の画像データ D ni iを切り 出 したもので ある。 ガラス基板上に複数の欠陥部 G、 例えば 6つの欠陥部 Gェ〜 G 6が存在すれば、 画像保存部 6 には 6つの原画像デ ータ D m D m sが保存される。
欠陥情報記憶部 7 には、 ガラス基板上の各欠陥部 G 〜 G 6に関する情報、 例えば 6つの欠陥部 G 〜 G 6の各座標、 各輝度、 各欠陥の種類、 各サイズなどの情報が記憶される。 表示制御部 8 は、 マニ ュ アル入力部 5 に対するマニュ アル 操作に応じて画像保存部 6 に保存されている各原画像データ D m i ^ D m eをディ スプレイ 3 の画面上に一覧表示 （サム ネイ ル表示） する。 こ の表示制御部 8 は、 検査条件変更部 9 によ り 変更された検査条件、 例えばガラス基板上の各欠陥部 G 〜 G 6に対する検査条件を変更したと き の欠陥抽出部 1 0の抽出動作結果によ り得られる各欠陥部 G i G eのみを 含む各欠陥画像データ D g L〜D g 6 をディ ス プ レイ 3 の画 面上に一覧表示する。 図 1 に示すディ スプレイ 3 の画面上に は、 例えば各欠陥画像データ D g ェ〜 D g 6が一覧表示され ている。 これら欠陥画像データ D g l〜D g 6は、 それぞれ 各欠陥部 Gェ〜 G 6を有する。
表示制御部 8 は、 マニ ュ アル入力部 5 に対するマニュ アル 操作に従って、 各原画像データ D m j〜 D m 6、 欠陥抽出部 1 0 によ り抽出された各欠陥部 G G eのみの各欠陥画像 データ D g r〜D g 6、 又は各原画像データ D m D m e と 各欠陥画像データ D g ェ 〜 ]^ g s と をそれぞれ合わせた各ォ 一バ レイ画像データ D r 〜D r 6 の う ちいずれかをデイ ス プレイ 3 の画面上に選択表示する。 なお、 表示制御部 8 は、 各オーバ レイ画像データ D r 1〜D r 6のみをディ ス プ レイ 3 の画面上に表示する ものと しても よい。
例えば、 図 3 Aは原画像データ D m の一例を示す。 こ の 原画像データ D m は、 ガラ ス基板上に形成された規則的な パターン （例えばバス ラ イ ン） Pが撮像される と共に、 欠陥 部 G， も存在する。 図 3 Bは欠陥画像データ D g l の一例を 示し、 欠陥部 のみが存在する。 図 3 Cはオーバレイ画像 データ D r の一例を示し、 原画像データ D m と欠陥画像 データ D g , と を合わせて作成される。
表示制御部 8 は、 ディ スプレイ 3 の画面上に例えば各欠陥 画像データ D g 〜D g 6又は各オーバ レイ画像データ D r ！ - D r 6を表示する と き、 各欠陥部 G i〜G 6 の表示色を欠 陥の種類毎に色を変えて表示出力する。
表示制御部 8 は、 各原画像データ D mェ ~ D m 6、 各欠陥 画像データ D g i〜D g 6、 又は各オーバ レイ画像データ D r r 6をソー ト してディ スプレイ 3 の画面上に表示す る。 ソー トする項目 は、 欠陥情報記憶部 7 に記憶されている ガラ ス基板上の各欠陥部 G 〜 G 6に関する情報である例え ば各欠陥部 Gェ〜 G 6の各座標順、 各輝度順、 各欠陥の種類 順、 各サイズ順などである。
表示制御部 8 は、 マニュ アル入力部 5 に対するマニュ アル の選択指示に従って、 各原画像データ D m i〜 D m 6、 各欠 陥画像データ D g 〜 D g 6、 又は各オーバ レイ画像データ D r 〜13 r 6の中力 ら任意の画像データをセ レク ト してデ イ ス プレイ 3 の画面上に表示する。
検査条件変更部 9 は、 画像保存部 6 に保存されている各原 画像データ D ni i D m eから各欠陥部 G i〜G 6を抽出する 検査条件を設定変更する。 検査条件は、 各原画像データ D m i D m e の正常レベルよ り も高い明る さ （輝度レベル） を 有する 白 レベルに対する第 1 の欠陥検出レベル L a と、 正常 レベルよ り も低い明る さを有する黒レベルに対する第 2 の欠 陥検出レベル L b と の設定変更である。 検査条件は、 各原画 像データ D m D ni eに対する コ ン ト ラ ス ト強調レベルの 設定変更である。
これら第 1 、 第 2 の欠陥検出レベル L a 、 L b の可変方法 は次の通 り である。
検査条件変更部 9 は、 図 1 に示すよ う にディ スプレイ 3 の 画面上に第 1 、 第 2 の欠陥検出レベル L a 、 L b を設定変更 するための欠陥検出レベル変更プロ ック B Lを表示する。 こ の欠陥検出レベル変更ブロ ック B Lには、 図 4 Aに示すよ う な各原画像データ D mェ〜 D m 6における例えば断線等の白 レベルの欠陥部 G hに対する第 1 の欠陥検出レベル L a を可 変する第 1 の可変操作端と しての各第 1 の可変ポタ ン B h 1 B h 2 と、 図 4 Bに示すよ う な例えば塵等による黒レベルの 欠陥部 G d に対する第 2 の欠陥検出レベル L b を可変する第 2 の可変操作端と しての各第 2 の可変ボタン B d 1 B d 2 と を有する。 - なお、 検査条件変更部 9 は、 各原画像データ D mェ〜 D m 6に対する第 1 、 第 2 の欠陥検出レベル L a 、 L b を一括し て設定変更可能である。 検査条件変更部 9 は、 マニ ュ アル入 力部 5 のマウス等を操作して各原画像データ D m i D iii e をポイ ンタによ り 指定し個別に第 1 、 第 2 の欠陥検出レベル L a 、 L b を設定変更する こ と も可能である。
欠陥検出レベル変更プロ ック B Lには、 マニュ アル入力部 5 に対するマニュ アル操作で第 1 、 第 2 の欠陥検出レベル L a 、 L b を任意に可変したと きの各欠陥部 G，〜 G 6の検出 結果をディ スプレイ 3 の画面上に表示して確認するための確 認操作端であるエ ミ ュ レー トボタ ン E B と、 第 1 、 第 2 の欠 陥検出レベル L a 、 L b を自動設定するための自動設定ボタ ン A B と を有する。
各第 1 の可変ボタン B h i B h 2、 各第 2の可変ボタ ン B d ！ , B d 2は、 マニュ アル入力部 5 に対するマニュアル 操作によ り設定される。 第 1 、 第 2 の可変ポタ ン B h i B は、 それぞれ第 1 、 第 2 の欠陥検出レベル L a 、 L b を 高く 設定する。 第 1 、 第 2の可変ボタ ン B h 2、 B d 2は、 それぞれ第 1 、 第 2 の欠陥検出レベル L a 、 L b を低く 設定 する。
例えば図 5 A及び図 5 Bに示すよ う に明る さを左側に低レ ベル、 右側に高レベルと した場合、 例えば図 5 Aに示すよ う に原画像データ D m iに対する第 1 の欠陥検出レベル L a を 低レベル側に設定すれば、 欠陥部 G iに対する検出精度が厳 しく な り .、 高レベル側に設定すれば、 欠陥部 G iに対する検 出精度が緩く なる。
従って、 第 1 の欠陥検出レベル L a よ り も明る さが高レべ ルに欠陥部 G があれば、 当該欠陥部 G iは検出レべル域 W a にあって検出可能である。 図 5 Bに示すよ う に欠陥検出レ ベル L a よ り も低レベル側に欠陥部 Gェがあれば、 当該欠陥 部 G iは検出不可域 W b にあって検出不可能である。
なお、 第 2 の欠陥検出レベル L b については、 当該第 2 の 欠陥検出レベル L b よ り も明る さが低レベルに欠陥部 G 丄が あれば、 当該欠陥部 G は検出レベル域 W a にあって検出可 能である。 従って、 原画像データ D ni iに対する第 2 の欠陥 検出レベル L b を低レベル側に設定すれば、 欠陥部 G に対 する検出精度が緩く な り 、 高レベル側に設定すれば、 欠陥部 に対する検出精度が厳しく なる。
このよ う に各第 1 の可変ポタ ン B h i B h 2、 各第 2の 可変ボタ ン B d ^ B d 2をマ二.ュアル操作して第 1 、 第 2 の欠陥検出レベル L a 、 L b を任意に設定した状態にエミ ュ レー トボタン E Bを操作する と、 検査条件変更部 9 は、 設定 変更された第 1 の欠陥検出レベル L a 又は第 2 の欠陥検出レ ベル L b を用いて画像保存部 6 に保存されている各原画像デ ータ D m i D ni e に対して各欠陥部 G G eの検出を行い こ の検出結果で再抽出された各欠陥画像データ D g ！ - D g 6をディ ス プレイ 3 の画面上に一覧表示する。
自動設定ポタン A Bを操作する と、 検査条件変更部 9 は、 各原画像データ D rr^ D m e 又は 1枚の原画像データ D m！ N …、 又は D m 6に対する第 1 と第 2 の欠陥検出レベル L a 、 L b と を別々 に自動設定する。
第 1 、 第 2 の欠陥検出レベル L a 、 L b の自動設定は次の よ う に行われる。
例えば、 図 6 Aに示す原画像データ D mェに対する第 1 の 欠陥検出レベル L a を自動設定する場合、 先ず、 検査条件変 更部 9 は、 図 6 Bに示すよ う に原画像データ D m をガラス 基板上に形成された規則的なパター ンの 1周期分だけ横ずら した横画像データ D m を作成する。
次に、 検査条件変更部 9 は、 図 6 Cに示すよ う に原画像デ ータ D ni i と画像データ D m ' と の差画像データ D m l sを 作成する。 こ の差画像データ D m sでは、 ガラス基板上に 形成された規則的なパターンの 1周期分だけ横ずら している ので、 ガラス基板上のパターンが相殺されて原画像データ D ！！！ 上の欠陥部 と横ずら し画像データ D m ' 上の欠陥 部 G ' とが残る。
次に、 検査条件変更部 9 は、 差画像データ D mェ sにおけ る各画素の明る さ （原画像データ D m 1 と画像データ D m
1 ' との各画素の明る さの差） のデータ数をカ ウン ト と して 図 6 Dに示す明る さの度数分布図を作成する。 こ の明る さの 度数分布図において分布 K は各欠陥部 G i 、 G ！ ' を示 し - 分布 K 2は低レベルの雑音を示す。
従って、 各欠陥部 Gェ、 G！ ' を検出するために、 検査条 件変更部 9 は、 分布 K よ り も低レベルに第 1 の欠陥検出レ ベル L a を自動設定する。
検査条件変更部 9 は、 図 1 に示すよ う にディ ス プレイ 3 の 画面上にコ ン ト ラ ス ト強調レベルを設定変更するためのコ ン トラス ト強調レベル変更プロ ック B Cを表示する。
コ ン ト ラ ス ト強調レベルの設定変更は次の通 り である。
検査条件変更部 9 は、 例えば原画像データ D m iにおける 各画素の明る さのデータ数をカ ウン ト と して図 7 Aに示す明 る さ の度数分布図を作成する。
次に、 検査条件変更部 9 は、 明る さの度数分布図を図 7 B に示すよ う に明る さの幅を広げ、 こ の明る さの幅を広げた明 る さの度数分布図に従って原画像データ D m ' に変換する t のよ う に得られた原画像データ D m i ' は、 明暗の差を明 瞭と した画像と な り 、 欠陥部 Gェが強調されてディ ス プレイ 3 の画面上に表示される。
欠陥抽出部 1 0 は、 検査条件変更部 9 によ り設定変更され た第 1 、 第 2 の欠陥検出レベル L a 、 L b及びコ ン ト ラ ス ト 強調レベルの検查条件に基づいて各原画像データ D mェ〜 D m 6に対して一括して欠陥部の抽出動作する。 欠陥抽出部 1 0 は、 マニュ アル入力部 5 のマウス等を操作して各原画像デ ータ D mェ〜 D m 6をポイ ンタによ り 指定し個別に欠陥部の 抽出動作を行う。
欠陥情報表示部 1 1 は、 ディ ス プレイ 3 の画面上に表示さ れている ガラ ス基板上の各欠陥部 G i G eをマニ ュ アル入 力部 5 のマ ウ ス等によ り マニュ アル指示する と、 当該欠陥部 G 〜 G 6に関する情報、 すなわち各欠陥部 G 〜 G eの各座 標、 各輝度、 各種類、 各サイズなどを欠陥情報記憶部 7から 読み出 してディ ス プ レイ画面上に各原画像データ D m^ D m 6、 各欠陥画像データ D g l〜 D g 6、 又は各オーバ レイ 画像データ D r i〜 D r 6 と共に、 ディ スプレイ画面上の空 いた画面領域に合わせて表示する。
次に、 上記の如く 構成された装置の動作について説明する 液晶ディ ス プレイ のガラ ス基板上に形成された規則的なパ ターンを検查する場合、 例えばガラス基板の製造工程によつ てガラス基板上に形成される層の数が異なった り 、 レジス ト の塗布の有無などによってガラス基板上のパターン等の見え 方が変化したと きには、 ガラス基板に対する検査条件を変更 する必要がある。
画像保存部 6 には、 既にガラス基板上の各欠陥部 G i〜 G 6 を有する各原画像データ D m^ D m sが保存されている c これと共に欠陥情報記憶部 7 には、 ガラス基板上の各欠陥部 G i G eの各座標、 各輝度、 各欠陥の種類、 各サイズなど の情報が記憶されている。
マニュ アル入力部 5 によ り各原画像データ D m i〜D m 6 を一覧表示する指示が操作入力される と、 表示制御部 8 は、 画像保存部 6 に保存されている各原画像データ D m 〜 D m 6を読み出 してディ スプレイ 3 の画面上に一覧表示する。
これら一覧表示された各原画像データ D m D m eに有 する各欠陥部 Gェ〜 G 6は、 液晶ディ スプレイ製造に影響を 与えるために必ず検出を必要とする欠陥部 （例えば各欠陥部 G G s ) と、 液晶ディ ス プレイ製造に影響を与える も の でなく 検出を不必要とする欠陥部 （例えば各欠陥部 G 4〜 G 6 ) と を有する。 そこで、 必ず検出を必要とする各欠陥部 G i G gのみを確実に検出するために第 1 、 第 2の欠陥検出 レベル L a 、 L b の設定変更が行なわれる。
マニュ アルで第 1 、 第 2 の欠陥検出レベル L a 、 L b の設 定変更する場合、 図 1 に示すよ う に検査条件変更部 9 によ り ディ スプ レイ 3 の画面上に表示された欠陥検出レベル変更プ ロ ック B L中の各第 1 の可変ポタ ン B h i、 B h 2をマニュ アル入力部 5 からマニュアル操作によ り 変更する。 これによ り 、 図 4 Aに示すよ う な原画像データ D m における 白 レべ ルの欠陥部 G h に対する欠陥検出レベル L a が設定変更され る。
又、 各第 2 の可変ボタン B d i B d 2をマニ ュ アル入力 部 5 からマニ ュ アル操作によ り 変更する こ と によ り 、 図 4 B に示すよ う な黒レベルの欠陥部 G d に対する第 2 の欠陥検出 レベル L b が設定変更される。
こ の よ う に第 1 、 第 2 の欠陥検出レベル L a 、 L b が設定 変更された後に、 エ ミ ュ レー トポタ ン E Bが操作される と、 欠陥抽出部 1 0 は、 検査条件変更部 9 によ り 設定変更された 第 1 、 第 2 の欠陥検出レベル L a 、 L b に基づいて各原画像 データ D mェ ~ D m 6に対して欠陥部の抽出動作を行う。
こ の欠陥部の抽出動作が終了する と、 表示制御部 8 は、 欠 陥抽出部 1 0 によ り抽出された各欠陥部 Gェ〜 G 6 のみの各 欠陥画像データ D g 〜！^ g 6をディ ス プ レイ 3 の画面上に 一覧表示する。 これによ り 、 ディ スプレイ 3 の画面上に一覧 表示された各欠陥画像データ D g i 〜 D g 6をチェ ックする こ と によ り 、 .設定変更 した各欠陥検出レベル L a 、 L b によ る各欠陥部 G 〜 G 6 の検出結果を確認でき る。
すなわち、 ディ ス プ レイ 3 の画面上には、 必ず検出 しなけ ればならない各欠陥部 G 〜 G 3を含む各欠陥画像データ D g ェ ~ D g 3が表示され、 検出しなく と も よい各欠陥部 （疑 似欠陥） G 4〜 G 6は表示されない。 これによ り 、 マエユア ルによ り設定変更した各欠陥検出レベル L a 、 L bが適切な レベルであるかを直ちに判断でき る。
なお、 検出 しなく ても よい各欠陥部 G 4〜 G 6の う ち 1 つ でも表示されていれば、 再度各第 1 の可変ボタン B h B 画 09467
15 h 2、 各第 2 の可変ボタ ン B d i B d 2をマニュアル操作 に して第 1 、 第 2 の欠陥検出レベル L a 、 L b を設定変更す る。
自動によ り 第 1 、 第 2 の欠陥検出レベル L a 、 L b の設定 変更する場合、 自動設定ボタ ン A Bをマニュアル入力部 5 に よ り操作する と、 検查条件変更部 9 は、 各原画像データ D m ！ ~ D m 6 N 又は 1枚の原画像データ D m 、 " 又は D m 6 に対する第 1 、 第 2 の欠陥検出レベル L a 、 L b を別々 に自 動設定する。
例えば、 疑似欠陥と判定された各欠陥部 G 4〜 G 6を検出 しないよ う に第 1 、 第 2 の欠陥検出レベル L a 、 L b を自動 設定する場合、 検査条件変更部 9 は、 原画像データ D m 4〜 D m 6 をガラス基板上のパター ンの 1 周期分だけ横ずら し し、 次に図 6 Cに示すよ う に原画像データ D m 4〜 D m 6 と横ず ら し画像データ D m 4 ' 〜 D m 6， との差画像データ D m 4 S 〜 D m 6 sを作成する。
次に、 検査条件変更部 9 は、 差画像データ D m 4 s〜 D m 6 Sの明る さの度数分布図を作成し、 この明る さ の度数分布 図から各欠陥部 G 4〜 G 6、 G 4 ' 〜 G 6， を検出するための 第 1 、 第 2 の欠陥検出レベル L a 、 L b を自動設定する。
第 1 の欠陥検出レベル L a の自動設定が終了する と、 欠陥 抽出部 1 0 は、 自動設定された第 1 、 第 2 の欠陥検出レベル L a 、 L b に基づいて各原画像データ D m 1〜 D m 6に対し て欠陥部の抽出動作を行う。
表示制御部 8 は、 欠陥抽出部 1 0 によ り抽出された各欠陥 4009467
16 部 （真の欠陥） G i〜 G 6が含まれる各欠陥画像データ D g 丄〜 ]3 g 3のみをディ スプレイ 3 の画面上に一覧表示する。
これによ り 、 ディ スプレイ 3 の画面上に一覧表示された各欠 陥画像データ D g l〜 D g 3をチェ ックする こ と によ り 、 自 動設定した第 1 、 第 2 の欠陥検出レベル L a 、 L b が適切な レベルであるかを直ちに確認できる。
第 1 、 第 2 の欠陥検出レベル L a 、 L b のマニ ュ アル設定 又は自動設定を行う と きに、 各原画像データ D m i D m e 上の各欠陥部 G 〜 0 6を強調してディ スプレイ 3 の画面上 に表示するために各原画像データ D m D m e の コ ン ト ラ ス トを強調できる。
このよ う に上記一実施の形態によれば、 ガラス基板の各原 画像データ D m i D ni eを保存し、 これら原画像データ D m 1〜 D m 6に対して各欠陥検出レベル L a 、 L b をマニュ アル又は自動によ り 設定変更したと きの各欠陥部 G 〜 G 6 の検出結果をディ スプレイ 3 の画面上で確認でき.るので、 最 適な第 1 、 第 2の欠陥検出レベル L a 、 L b に容易かつ短時 間で設定変更でき る。 この結果、 再設定した第 1 、 第 2 の欠 陥検出レベル L a 、 L b を基板検査装置 1 2 にフィー ドバッ クする こ と によ り 、 ガラス基板の状態が変化したと きでも基 板検査装置 1 2 で基板検査の立ち上がり 時間を短縮でき る。
第 1 、 第 2 の欠陥検出レベル L a 、 L b のマニュ アル設定 又は自動設定を行う と きは、 各原画像データ D m i D m e をコン ト ラス ト強調の処理を行う こ と によ り 、 ディ スプレイ 3 の画面上に表示する各原画像データ D rc^ D m e上の各 欠陥部 G i〜 G 6を強調して表示でき、 各欠陥部 G 〜 G 6を 認識しやすく なる。
各原画像データ D m 1〜D m 6は、 ガラス基板の全面を撮 像して取得した画像データ D中から欠陥部分を含む一部の領 域のみを切 り 出すこ と によ り 、 各原画像データ D m i〜D m
6 のデータ容量が小さ く な り 、 画像保存部 6 の保存容量を大 幅に削減できる と共に、 原画像データ、 欠陥画像データ、 ォ 一バレイ画像データを短時間でディ スプレイ 3 の画面上に表 示でき る。
表示制御部 8 は、 各原画像データ D m 〜 D m 6 の う ち例 えばマニ ュ アル入力部 5 によ り指示された原画像データ、 例 えば各原画像データ D m 、 D m 3に対してのみに設定変更 された第 1 、 第 2 の欠陥検出レベル L a、 L b によ り各欠陥 部 G i、 G 3を検出する こ とができる。 すなわち、 第 1 、 第 2 の欠陥検出レベル L a、 L b によ り各欠陥部 G i G eの 明る さ、 例えば断線等の白 レベルの欠陥部 G h、 塵等による 黒レベルの欠陥部 G d を検出する こ と ができ る。 これら第 1、 第 2の欠陥検出レベル L a、 L b は、 第 1 の可変ボタン B h 1 B h 2、 第 2 の可変ポタ ン B d B d 2によ り 可変でき、 各欠陥部 G ェ 〜 G 6 の検出精度を任意に変更可能である。
なお、 第 1 、 第 2 の欠陥検出 レベル L a、 L b を設けずに、 1 つの欠陥検出レベルを設け、 こ の欠陥検出レベルを 1 つの 可変ポタ ンによ り 変更して、 白 レベルの欠陥部 G h と黒レべ ルの欠陥部 G d とを別々 に検出する よ う にしても よい。
表示制御部 8 は、 マニュアル入力部 5 からの選択指示に従 つて各欠陥部 G i G eを検査し易いよ う に、 各原画像デー タ D m i D m ^ 各欠陥画像データ D g l〜D g 6、 又はォ 一バ レイ画像データの中から任意の画像データ をセ レク ト し てディ スプレイ 3 の画面上に表示した り 、 又は各欠陥部
〜 G 6 の各座標順、 各輝度順、 各種類順、 各サイズ順などで ソー ト してディ スプレイ 3 の画面上に表示でき る。
表示制御部 8 は、 ディ ス プ レイ 3 の画面上に各欠陥部 Gェ 〜G 6 の検査に応じて各種方法で各欠陥画像データ D g i〜 D g 3などを表示可能である。 例えば、 検査条件を変更した と きの欠陥抽出部 1 0 によ り 抽出された各欠陥画像データ D g i〜D g 3のみをディ ス プ レイ 3 の画面上に一覧表示する 各オーバ レイ画像データ D r i〜D r 6をディ スプ レイ 3 の 画面上に表示する。 各欠陥画像データ D g l ~ D g 3、 各原 画像データ D m D m e 又は各オーバ レイ画像データ D r i〜D r 6の う ちいずれかをディ スプレイ 3 の画面上に選 択表示する。 各欠陥部 Gェ〜 G 6を欠陥の種類別に表示色を 変化させてディ ス プ レイ 3 の画面上に表示でき る。
検査条件変更部 9 は、 各欠陥部 G i〜 G 6 の検査に応じて 第 1 、 第 2 の欠陥検出レベル L a、 L b を一括又は個別に設 定変更可能である。 さ らに、 第 1 、 第 2 の欠陥検出レベル L a、 L b を可変したと き の各欠陥部 G i G e の検出結果を ディスプレイ 3 の画面上に表示して確認するためのエミ ユ レ ― トポタ ン E Bを有する。
なお、 上記一実施の形態は、 次のよ う に変形してもよい。 第 1 の可変操作端と しての各第 1 の可変ポタ ン B h χ , Β h 2、 第 2 の可変操作端 と して の各第 2 の可変ボタ ン B d ！ , B d 2、 確認操作端であるエ ミ ュ レー ト ボタ ン E B は、 ディ スプレイ 3 の画面上に表示する に限らず、 それぞれ操作盤等 に設けたスィ ツチを用いても ょレヽ し、 又はキーボー ドのキー 操作によ り 操作する よ う に しても よい。
産業上の利用可能性
本発明は、 液晶ディ スプレイ のガラス基板に対する基板検 査装置に用いる欠陥検出 レベルの設定変更に限らず、 規則的 なパター ンの形成された半導体ウェハの検查にも適用でき る c

Claims

請 求 の 範 囲
1 . 検査対象の画像データから切り 出された前記検査対象上 の欠陥部を含む原画像データを保存する画像保存部と、
前記画像保存部に保存されている前記原画像データから前 記欠陥部を抽出する検査条件を設定変更する検査条件変更部 と、
前記検査条件変更部によ り設定変更された前記検査条件に 基づいて前記原画像データから前記欠陥部を含む欠陥画像デ ータを抽出する欠陥抽出部と、
前記画像保存部に保存されている前記原画像データ、 又は 前記欠陥抽出部によ り抽出された前記欠陥画像データをディ スプレイ画面上に一覧表示する表示制御部と、
を具備したこ とを特徴とする欠陥表示装置。
2 . 前記画像保存部は、 複数の前記原画像データを保存し、 前記検査条件変更部は、 指定した任意の前記原画像データ 又は全ての前記原画像データに対して前記検査条件の設定変 更を行う こ と を特徴とする請求項 1記載の欠陥表示装置。
3 . 前記検査条件変更部は、 前記ディ スプレイ画面上に欠陥 検出レベルを可変する可変ポタンを表示し、
前記欠陥抽出部は、 前記可変ポタ ンで設定された前記検査 条件に応じて前記原画像データから前記欠陥部を抽出し、 前記表示制御部は、 前記可変ボタンと前記欠陥抽出部によ り抽出された前記欠陥画像データ と を表示する、
こ と を特徴とする請求項 1記載の欠陥表示装置。
4 . 前記検査条件変更部は、 前記原画像データ と前記原画像 データを規則的なパターンの周期分だけずら して得た原画像 データ との差画像データを作成し、 前記差画像データにおけ る各画素に対する明る さの度数分布に基づいて欠陥検出レべ ルを自動設定する こ と を特徴とする請求項 1記載の欠陥表示
5 . 前記検査条件変更部は、 前記検査条件と して前記原画像 データの明る さに対する欠陥検出レベルを設定変更する こ と を特徴とする請求項 1記載の欠陥表示装置。
6 . 前記検査条件変更部は、 前記原画像データにおける 白レ ベル欠陥部と黒レベルと の前記欠陥検出レベルをそれぞれ可 変する可変操作端を有するこ とを特徴とする請求項 5記載の 欠陥表示装置。
7 . 前記検査条件変更部は、 複数の前記原画像データに対す る欠陥検出レベルを一括して設定変更可能である こ とを特徴 とする請求項 1記載の欠陥表示装置。
8 . 前記検査条件変更部は、 複数の前記原画像データを指定 して個別に前記欠陥部を抽出する前記検査条件を設定変更可 能であるこ とを特徴とする請求項 1 記載の欠陥表示装置。
9 . 前記表示制御部は、 前記検査条件変更部によ り前記検査 条件を可変したと きの前記各欠陥部の検出結果を前記ディ ス プレイ画面上に表示させるこ とを特徴とする請求項 1記載の 欠陥表示装置。
1 0 . 前記表示制御部は、 前記検査条件変更部によ り前記検 查条件を変更したと き の前記欠陥抽出部によ り抽出される前 記欠陥画像データのみを前記ディ スプ レイ画面上に一覧表示 する こ とを特徴とする請求項 9記載の欠陥表示装置。
1 1 . 前記検査条件変更部は、 前記検査条件と して前記原画 像データのコン トラ ス トを強調する設定変更を行う こ とを特 徴とする請求項 1記載の欠陥表示装置。
1 2 . 前記表示制御部は、 前記欠陥画像データ、 前記原画像 データ、 又は前記欠陥画像データ と前記原画像データ とを合 わせたオーバ レイ画像データの う ちいずれかを前記ディスプ レイ画面上に選択表示可能である こ とを特徴とする請求項 1 記載の欠陥表示装置。
1 3 . 前記表示制御部は、 前記欠陥部を欠陥の種類別に表示 色を変化させて前記ディスプレイ画面上に表示する こと を特 徴とする請求項 1記載の欠陥表示装置。
1 4 . 前記表示制御部は、 前記原画像データ、 前記欠陥画像 データ又は前記オーバ レイ画像データに対してソー ト又はセ レク ト して前記ディ スプレイ画面上に表示可能であるこ と を 特徴とする請求項 1 2記載の欠陥表示装置。
1 5 . 前記表示制御部は、 前記欠陥部の座標順、 輝度順、 欠 陥の種類順又はサイズ順の項目 によ り前記ソー トするこ と を 特徴とする請求項 1 4記載の欠陥表示装置。
1 6 . 前記欠陥部に関する情報を記憶する欠陥情報記憶部と 前記ディ スプレイ画面上に表示されている前記欠陥部を指 示する と、 当該欠陥部に関する前記情報を前記欠陥情報記憶 部から読み出 して前記ディ スプレイ画面上に表示する欠陥情 報表示部と、
を有する こ と を特徴とする請求項 1記載の欠陥表示装置。
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