JP5236241B2 - 欠陥検査装置、欠陥検査方法、画像処理装置、プログラム、及び該プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 - Google Patents

Description

本発明は、例えば、液晶表示パネルなどのフラット・パネル・ディスプレイを点灯させて欠陥を検査するパネル点灯検査に適した、表示パネルの欠陥検査装置等に関するものである。

液晶表示パネルなどのフラット・パネル・ディスプレイは、軽量、薄型、低消費電力などの特性を活かして、家電製品や情報端末装置などのディスプレイとして、幅広い分野で使用されている。こうしたフラット・パネル・ディスプレイの製造現場では、各製造工程において電気的動作検査や、パネルを点灯させて検査する表示パネル欠陥検査などの種々の検査が行われ、品質が管理されている。

このような検査うち、表示パネル欠陥検査では、パネルを実際に点灯させて、輝点や黒点などの点欠陥、輝線や黒線などの線欠陥、パネルのムラなど、の各欠陥について、許容できる欠陥である（ＯＫ欠陥）か、許容できない欠陥である（ＮＧ欠陥）かが判定される。

従来の点灯検査は、作業者による目視検査によって、欠陥の判定を行っていた。しかし、目視検査は、作業者の個人差による判定結果のバラツキや、作業者による処理能力の差が生じる。そこで、表示パネル欠陥検査を自動で行う、自動検査装置が導入されている。

この自動検査装置は、点欠陥および線欠陥などのように、判定基準を数値化できる欠陥を判定する場合には、判定結果のバラツキをなくすことができる（統一した判定ができる）ため適している。しかし、ムラなどのように、数値化が困難な欠陥を判定するためには、自動検査装置は適しているとはいえない。

また、自動検査装置は、目視検査で確認できる限界の輝度の欠陥に関しては、その判定が困難であるため、目視検査の場合よりも過剰に検出するよう検査感度が設定される。このため、自動検査装置で許容できないと判定される表示パネル数は、実際に許容できない表示パネル数よりも多くなる。つまり、自動検査装置では、検出感度が高く設定されるため、欠陥の検出数も多くなる。このため、自動検査装置を用いる場合、最終的な欠陥の判定は、目視検査を行うのが望ましい。なお、最終製品が表示パネルの場合は、目視検査が最終的な欠陥の判定基準となるのが実状である。

しかし、目視検査では、色毎に目視の感度が異なります。このため、Ｒ・Ｇ・Ｂ（赤・緑・青）の同じ輝度の輝点でも、緑色の輝点はよりＮＧ欠陥となり、青色の輝点はよりＯＫ欠陥となる。しかし、自動検査装置で色判定をしない場合、緑輝点のＮＧ欠陥で感度を調整するために、実際はＯＫ欠陥である青色の輝点をより多くＮＧ欠陥として検出してしまう。その結果、目視検査の確認作業が増えてしまうという問題がある。

従って、自動検査装置に色ごとに欠陥の判定基準を設定すれば、自動検査装置によって許容できない欠陥と判定される表示パネル数（検出数）を、減らすことができる。これにより、目視での確認作業を減らし、検査時間を短縮できる。

例えば、特許文献１および２には、欠陥の色を特定して表示パネルの欠陥を検査する方法が開示されている。

具体的には、特許文献１の欠陥検査は、まず、カラー液晶パネルの全絵素を消灯させ、点灯している絵素を色判定対象の欠陥絵素として検出する。次に、カラー液晶パネルの絵素を色別に順次点灯させ、点灯している各色の絵素と明るさの異なるものを、色判定対象の欠陥絵素の中から検出する。次に、全絵素を消灯させた時の検出結果と各色絵素を点灯させた時の検出結果とを比較することにより、色判定対象の欠陥絵素のうち、赤色絵素の点灯時に検出されなかった欠陥絵素の色を赤色と判定する。そして、緑色および青色の判定も、赤色の判定と同様に行う。このように、特許文献１の欠陥検査方法では、赤（Ｒ）緑（Ｇ）青（Ｂ）の各色を点灯させて欠陥検査を実施し、欠陥の色を特定する。

一方、特許文献２の欠陥検査は、表示パネル上の同色絵素が配列する方向に、ラインセンサを走査させて、各色ごとの画像データに基づいて、欠陥検査を実施している。
特開平６−２３６１６２（１９９４年８月２３日公開） 特開平１０−１４８５９７（１９９８年６月２日公開）

しかしながら、特許文献１および２の欠陥検査では、欠陥の検査時間が長くなるという問題が生じる。

具体的には、特許文献１では、欠陥検査パターンとＲ，Ｇ，Ｂの３枚の点灯パターンを点灯させて、欠陥部位の色を特定する。このため、欠陥部位の色を特定するために、Ｒ，Ｇ，Ｂの各色の点灯パターンの検査が必要となる。その結果、自動検査装置を導入しているにもかかわらず、検査時間が非常に長くなる。さらに、輝点を検出する場合、表示パネルの点灯パターンは、黒パターンとするため、色を特定することができない。

一方、特許文献２においても、パネルの端から端までの輝度情報を積算する必要があるため、この積算に長時間必要になる。さらに、特許文献２では、最終的な欠陥不良（ＮＧ）の判定が終了するまで、画像全体または欠陥部分を含むように、パネルの端から端までの全画像または欠陥部分を含む一部の画像を保存する必要がある。このため、この画像を保存するために、コンピュータのメモリが占有される。従って、このようにメモリが占有されている間は、次の点灯パターンを撮像して画像を取り込む作業ができなくなる。つまり、特許文献２の構成では、検査（コンピュータでの画像処理および輝度情報の積算）と、次の点灯パターンの撮像および撮像した画像の取り込みとを同時行うことができない。従って、特許文献２の構成も、全体の検査時間が非常に長くなる。

本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、検査時間を短縮することができる欠陥検査装置等を実現することにある。

本発明の欠陥検査装置は、上記の課題を解決するために、複数色の絵素が一定方向に配列した表示パネルを、撮像素子を有する撮像部で撮像することにより、表示パネルの欠陥を検査する欠陥検査装置であって、
撮像素子により撮像された画像データを処理することにより欠陥を判定する画像処理部を備え、
上記画像処理部は、
表示パネルの欠陥を検査するための検査パターンを、表示パネルに表示させるパターン表示部と、
検査パターンが表示された表示パネルを撮像素子により撮像して得られた画像データに基づいて、表示パネルの欠陥部位候補を検出する欠陥部位検出部と、
上記全画像データのうち、表示パネルの異なる絵素が配列する方向に割当てられた撮像素子により撮像された画像データを用いて、輝度分布を検出すると共に、その輝度分布に基づいて、上記欠陥部位候補の色を特定する欠陥部位色特定部を備えることを特徴としている。

また、本発明の欠陥検査方法は、上記の課題を解決するために、複数色の絵素が一定方向に配列した表示パネルを、撮像素子を有する撮像部で撮像することにより、表示パネルの欠陥を検査する欠陥検査方法であって、
撮像素子により撮像された画像データを処理することにより欠陥を判定する画像処理工程を含み、
上記画像処理工程は、
表示パネルの欠陥を検査するための検査パターンを、表示パネルに表示させるパターン表示工程と、
検査パターンが表示された表示パネルを撮像素子により撮像して得られた画像データに基づいて、表示パネルの欠陥部位候補を検出する欠陥部位検出工程と、
上記撮像素子により撮像された全画像データのうち、表示パネルの異なる絵素が配列する方向に割当てられた撮像素子により撮像された画像データを用いて、輝度分布を検出すると共に、その輝度分布に基づいて、上記欠陥部位候補の色を特定する欠陥部位色特定工程を有することを特徴とする欠陥検査方法。

また、本発明の画像処理装置は、上記の課題を解決するために、複数色の絵素が一定方向に配列した表示パネルを、撮像素子を有する撮像部で撮像することにより、表示パネルの欠陥を検査する欠陥検査装置に備えられ、
撮像素子により撮像された画像データを処理することにより欠陥を判定する画像処理装置であって、
表示パネルの欠陥を検査するための検査パターンを、表示パネルに表示させるパターン表示部と、
検査パターンが表示された表示パネルを撮像素子により撮像して得られた画像データに基づいて、表示パネルの欠陥部位候補を検出する欠陥部位検出部と、
上記撮像素子により撮像された全画像データのうち、表示パネルの異なる絵素が配列する方向に割当てられた撮像素子により撮像された画像データを用いて、輝度分布を検出すると共に、その輝度分布に基づいて、上記欠陥部位候補の色を特定する欠陥部位色特定部を備えることを特徴としている。

上記の構成によれば、欠陥部位検出部による欠陥部位候補の検出と、欠陥部位色特定部による欠陥部位候補の色の特定とに用いられる検査パターンは、同一である。つまり、撮像素子により撮像された、単一の画像データを用いて、欠陥部位候補の検出と、その欠陥部位候補の特定とを行う。

また、欠陥部位色特定部は、撮像素子により撮像された全画像データの中から、輝度分布を検出する。この輝度分布は、表示パネルの異なる絵素が配列する方向に割当てられた撮像素子により撮像された画像データを用いて検出されたものである。このため、この輝度分布には、表示パネルの複数色の絵素の輝度値が含まれる。このため、表示パネルの各色の絵素ごとに、輝度分布を検出する必要がない。

また、上記の構成によれば、例えば、撮像素子により撮像された全画像データのうち、欠陥を含む一領域の画像データを用いれば、それ以外の画像データは不要となる。このため、不必要な部分は画像データはメモリ上から消去できる。これにより、撮像素子による次の点灯パターンの撮像および画像取り込みと、前の点灯パターンを用いた検査とを同時に行うことができる。

従って、欠陥検査装置による表示パネルの欠陥検査時間を、短縮することができる。

本発明の欠陥検査装置では、上記欠陥部位色特定部は、表示パネルが有する絵素の全色の輝度分布を検出することが好ましい。

上記の構成によれば、欠陥部位色特定部によって検出された輝度分布には、必ず欠陥部位と同色の輝度が含まれる。従って、確実に欠陥部位候補の色を特定することができる。

本発明の欠陥検査装置では、上記欠陥部位色特定部は、上記輝度分布の周期性に基づいて、欠陥部位候補の色を特定することが好ましい。

本発明の欠陥検査装置では、表示パネルは、複数色の絵素が一定方向に配列しているため、輝度分布も周期性を有する。上記の構成によれば、欠陥部位色特定部が、そのような輝度分布の周期性に基づいて欠陥部位候補の色を特定する。従って、容易に欠陥部位候補の色を特定することができる。

さらに、このように、輝度分布の周期性に基づいて欠陥部位候補の色を特定する場合、欠陥部位候補の周辺の各色の平均的輝度に対しての輝度のずれ方（閾値設定）により、欠陥部位候補の色を特定する。このため、画面の中央と周辺とで輝度の異なるシェーディングが存在する場合であっても、色の判定を間違える可能性が低い。従って、目視検査により近い判定結果を得ることができる。

このシェーディングの係り具合は、表示パネルによって異なる。このため、特許文献２のように、パネルの端から端までの輝度情報を積算し、全画面の各色の平均的輝度に対しての輝度のずれ方（閾値設定）で判定すると、色判定を間違える可能性が高くなる。

本発明の欠陥検査装置では、上記欠陥部位色特定部は、欠陥部位候補を含まないように輝度分布を検出してもよい。

上記の構成によれば、輝度分布には欠陥部位候補の輝度が含まれない。このため、輝度分布が欠陥によって乱れることがない。これにより、少ない画像データを用いて、輝度分布を検出することができる。従って、検査時間をより短縮することができる。

本発明の欠陥検査装置では、上記欠陥部位色特定部は、欠陥部位候補を含むように輝度分布を検出してもよい。

上記の構成によれば、輝度分布には欠陥部位候補の輝度が含まれる。このため、輝度分布は、欠陥部位に対応する部分の輝度値が、周期性から乱れる。これにより、欠陥部位候補の色を、輝度分布から特定することができる。従って、欠陥部位候補の色の特定が容易であり、色の特定精度を高めることができる。

本発明の欠陥検査装置では、上記画像処理部は、上記欠陥部位色特定部によって特定された欠陥部位候補の色ごとに設定された判定基準に基づいて、欠陥部位候補の良否を判定することが好ましい。

上記の構成によれば、欠陥部位色特定部によって特定された欠陥部位候補の色ごとに設定された判定基準が設定される。従って、目視検査が不要なるため、検査時間を短縮することができる。

本発明の欠陥検査装置では、上記撮像部は、ラインセンサであることが好ましい。

上記の構成によれば、撮像部としてラインセンサを用いているため、表示パネルと撮像部（撮像素子）との相対的な位置合わせが容易となる。

また、上記欠陥検査装置の上記各手段としてコンピュータを機能させるための輝度算出プログラムおよび当該輝度算出プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体も本発明の技術的範囲に含まれる。

すなわち、本発明の欠陥検査装置は、コンピュータによって実現してもよい。この場合には、コンピュータを欠陥検査装置の各手段として動作させることにより、欠陥検査装置をコンピュータにて実現させるプログラム、及びそれを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体も本発明の範疇に入る。

以上のように、本発明によれば、欠陥の種類に関係なく、同一の検査パターンにより獲られた画像データを用いて、欠陥部位候補の特定と、欠陥部位候補の色を特定とが可能となる。従って、欠陥の検査時間を短縮することができるという効果を奏する。

以下、本発明の実施形態について図面を参照しつつ詳細に説明する。

本発明の表示パネル欠陥検査装置（以下、検査装置）は、色絵素の周期性を利用して、欠陥部位の色を特定するものである。

図１は、本発明の表示パネル欠陥検査装置（以下「検査装置」）の概略構成を示すブロック図である。検査装置１は、撮像部２、パターン表示部３、欠陥部位検出部４、欠陥部位色特定部５、主制御部６から構成される。

撮像部２は、検査対象である表示パネル７を撮像し、表示パネル７の画像データ（画像情報）を取得する。撮像部２の具体的構成は、後述する。

パターン表示部３は、表示パネル７に接続されており、欠陥検査のための検査パターンの点灯および非点灯を切り替える。パターン表示部３は、例えば、表示パネル７を点灯するための回路から構成される。また、パターン表示部３は、ＰＣから構成することもできる。なお、パターン表示部３と表示パネル７との接続が有線の場合、人手によって接続する必要があるので、この接続は無線であることが好ましい。

欠陥部位検出部４は、撮像部２で取得した表示パネル７の画像データから欠陥部位候補を特定する。

欠陥部位色特定部５は、欠陥部位検出部４で検出された欠陥部位候補の色を特定する。

主制御部６は、撮像部２、パターン表示部３、欠陥部位検出部４、欠陥部位色特定部５をそれぞれ制御する。主制御部６は、図示しないデータベースに接続されていて、検出した欠陥の情報をデータベースに蓄積する。

表示パネル７は、検査装置１による欠陥検査の対象である。表示パネル７は、複数色の絵素が、一定方向にマトリクス状に配列したものである。つまり、表示パネル７の絵素は、規則性を持って配列しており、ランダムな配列ではない。なお、表示パネル７は、表示画面に複数の絵素を有し、各絵素を点灯または非点灯にすることで、画像を表示するものであればよく、特に限定されない。例えば、表示パネル７は、液晶表示パネル、プラズマ表示パネル、ＥＬ表示パネル、及びブラウン管表示装置等を適用することができる。

なお、パターン表示部３、欠陥部位検出部４、欠陥部位色特定部５、主制御部６は、１台ないし複数台のＰＣで構成することも可能である。パターン表示部３と、表示パネル７および主制御部６との接続は、有線でも無線でも構わない。無線接続の場合は、表示パネル検査装置１の設置の煩雑さを解消することができる。

ここで、図２に基づき、検査装置１の具体的な構成を説明する。図２は、図１の検査装置１の概略構成を示す斜視図である。

図２のように、検査装置１は、撮像部２、パターン表示部３、搬送コンベア１０、および制御ボックス１１を備えている。なお、検査装置１は、これらの構成要素と有線または無線接続された、図示しない検査装置制御部を備えており、この検査装置制御部によって、これらの構成要素を統括して制御される。検査装置１は、検査対象となる表示パネル７が欠陥を有しているか否かを検出する。

撮像部２は、撮像カメラ８と、撮像カメラ８を載置する撮像カメラステージ９とから構成される。撮像カメラ８は、例えば、ラインセンサまたはエリアセンサなどである。撮像カメラ８がラインセンサの場合、撮像カメラステージ９は、撮像カメラ８が表示パネル７をスキャンできるように、表示パネル７の表示面に対して平行に撮像カメラ８を駆動する。一方、撮像カメラ８がエリアセンサの場合、撮像カメラ８は撮像カメラステージ９に固定されたままでよい。

パターン表示部３は、制御ボックス１１に接続されており、表示パネル７に表示させる検査パターンの点灯制御を行う。

搬送コンベア１０は、検査装置制御部の指示により、表示パネル７を撮像カメラ８の撮像領域まで搬送し、表示パネル７が撮像領域に達すると停止する。なお、図２では、表示パネル７を１つだけ記載しているが、その表示パネル７の検査終了後、次の検査対象となる表示パネル７が搬送コンベア１０により搬送される。このため、検査装置１では、複数の表示パネル７の欠陥検査を順次、自動的に行うことができる。

制御ボックス１１内には、欠陥部位検出部４、欠陥部位色特定部５、および主制御部６が格納されている。また、制御ボックス１１には、撮像部２およびパターン表示部３が接続されており、制御ボックス１１内の主制御部６により、撮像部２およびパターン表示部３が制御される。撮像カメラ８は撮像データを制御ボックス１１に送信し、パターン表示部３は、表示パネル７への検査パターンの点灯情報を送信する。制御ボックス１１は、検査パターンが表示された表示パネル７を、撮像カメラ８が撮像して得られる撮像データ（画像データ）を処理して、表示パネル７の欠陥を検査する画像処理装置（画像処理部）として機能する。なお、前述のパターン表示部３も、この画像処置装置の一部として機能する。欠陥検査の結果は、前述のデータベースに格納される。なお、図２では、制御ボックス１１は、１台のＰＣから構成されているが、複数台のＰＣから構成されていてもよい。

このような検査装置１は、搬送コンベア１０によって搬送された表示パネル７の欠陥を自動検査する。すなわち、検査装置１に表示パネル７が搬送されると、表示パネル７に接続されたパターン表示部３の指示により、表示パネル７に検査パターンが点灯する。この検査パターンが点灯した表示パネル７を、撮像部２（撮像カメラ８）が撮像し、表示パネル７の画像データを取得する。撮像部２は、撮像した画像データを、欠陥部位検出部４および欠陥部位色特定部５に送信する。次に、欠陥部位検出部４が、送信された画像データから欠陥部位（欠陥部位候補）を特定する。そして、欠陥部位色特定部５がその特定された欠陥部位（欠陥部位候補）の色を特定する。最後に、特定された色に基づき、その欠陥が許容範囲であるか否かが判定される。

つまり、検査装置１は、図３のような処理手順により、表示パネル７の欠陥を検査する。図３は、検査装置１の処理手順を示すフローチャートである。検査装置１は、表示パネル７を撮像して取得した画像データから、欠陥部位の検出、および、その欠陥部位の色を特定する。以下、図３のフローに沿って、検査装置１の処理を説明する。

図３のように、まず、撮像カメラ８（撮像部２）により表示パネル７を撮像し、表示パネル７の全面の画像データ（輝度データ）を取得する（ステップ１（Ｓ１））。次に、この画像データからコントラストを算出する（Ｓ２）。次に、このコントラストの中から、欠陥候補となるコントラストを抽出する（Ｓ３）。次に、抽出された欠陥候補の欠陥強度を算出する（Ｓ４）。次に、算出した欠陥強度に基づき、欠陥候補の部位を特定する（Ｓ５）。次に、特定された欠陥部位候補または欠陥部位候補の周囲の輝度分布を検出する（Ｓ６）。次に、この輝度分布に基づき、欠陥部位の色を特定する（Ｓ７）。最後に、特定した色ごとに、欠陥の許容性を判定する（Ｓ８）。

このように、検査装置１の処理は、欠陥部位候補を検出する工程（Ｓ１〜Ｓ５）と、検出された欠陥部位候補の色を特定する工程（Ｓ６〜Ｓ７）と、特定された欠陥部位の色ごとに設定された判定値により、欠陥部位の許容性を判定する工程とを有している。なお、Ｓ１は撮像部２，Ｓ２〜Ｓ５は欠陥部位検出部４，Ｓ６〜Ｓ８は欠陥部位色特定部５により行われる。

ここで、一例として、点欠陥を検査する場合の検査装置１の各処理についてより具体的に説明する。図４は、画像データの取得（Ｓ１）およびコントラストの算出（Ｓ２）を説明するための図である。

図４のように、表示パネル７には、複数の画素１４がマトリクス状に配置されている。各画素１４は、Ｒ（赤）絵素１５，Ｇ（緑）絵素１６，Ｂ（青）絵素１７の３色の絵素から構成される。つまり、本実施形態における表示パネル７は、Ｒ・Ｇ・Ｂのカラーフィルタを備えた液晶表示パネルである。なお、図４では、３つの画素１４が示されている。このように、表示パネル７は、複数の絵素１５，１６，１７が、一定方向に規則的に配列している。

撮像カメラ８により表示パネル７を撮像する際には、表示パネル７の各画素１４に対し、撮像カメラ８の撮像素子１８が割当てられる。また、このとき、表示パネル７の表示面と、撮像カメラ８の撮像面（撮像素子１８）とが、互いに平行となっている。図４では、一例として、撮像素子１８が、１画素当たり３６個（各絵素１５，１６，１７に対し各６×２列）の撮像素子１８が割当てられる。Ｓ１では、このように割当てられた各撮像素子１８が、表示パネル７上の各点の輝度を検出し、表示パネル７全体の画像データ（輝度データ）を作成する。

次に、Ｓ２では、撮像された画像データ（輝度データ）から、コントラストを算出する。コントラストの算出方法は、特に限定されるものではない。例えば、図４の地点Ａ（注目点）に点欠陥（輝点欠陥）があり、地点Ａのコントラストを計算するとする。地点Ａのコントラストは、地点Ａの輝度値と、地点Ａの画素に隣接する２つの画素における、地点Ａと同一地点Ｂ１，Ｂ２（比較点）の輝度値とを比較して決定する。Ａ地点の輝度値をＩａ，Ｂ１地点の輝度値をＩｂ１，Ｂ２の地点の輝度値をＩｂ２とすると、Ａ地点のコントラストＣａは、下記（１）式で表すことができる。
Ｃａ＝Ｉａ−｛（Ｉｂ１＋Ｉｂ２）／２｝ ・・・（１）
なお、図４では、注目点（地点Ａ）に対する比較点（地点Ｂ１，Ｂ２）を、注目点が存在する画素の左右に隣接する画素とした。しかし、比較点を設定する画素は、この隣接画素に限定されるものではなく、例えば、注目点から左右に各々２画素離れた（または２画素以上はなれた）画素を、比較点を設定する画素としてもよい。また、図４では、注目点（地点Ａ）が存在する画素の左右の隣接画素を、比較点を設定する画素としているが、上下の画素を比較点の設定対象に入れることもできる。このような比較点を設定する画素数を多くすれば、コントラストのノイズを低減することができる。一方、比較点を設定する画素数を少なくすれば、コントラストの計算時間（処理時間）を短くすることができる。このため、比較点を設定する画素は、検査装置１全体の検査時間を考慮して任意に設定すればよい。

このようにして、Ｓ２では、表示パネル７の全面の画像データについて、コントラストを算出する。なお、Ｓ２のコントラスト（Ｃａ’）は、（１）式に代えて、下記（１’）式で算出することもできる。
Ｃａ’＝２Ｉａ／（Ｉｂ１＋Ｉｂ２） ・・・（１’）
次に、Ｓ３では、Ｓ２で算出されたコントラストの中から、欠陥候補となるコントラストを抽出する。この抽出は、例えば、Ｓ２で算出されたコントラスト値と、予め設定した判定値（閾値）Ｓとを比較し、閾値Ｓ以上のコントラスト値を示した場合に、欠陥候補とする。なお、この判定値Ｓは、表示パネル７の全ての色に共通する値である。判定値Ｓの設定方法は特に限定されるものではなく、例えば、検出しなければならない最低限度の欠陥を検出できる値に設定すればよい。図４の場合、地点Ａ（注目点）に欠陥（輝点欠陥）があるため、Ｓ３では、地点Ａ（地点Ａのコントラスト値）が、欠陥候補とされる。また、判定値（閾値）Ｓは、実欠陥のコントラストの最小値から、検査装置１の検出再現性を差し引いた値であることが望ましい。

次に、Ｓ４では、Ｓ３において、欠陥候補と判定されたコントラスト値について、欠陥部位候補を検出するとともに、その欠陥部位候補の欠陥強度（欠陥特徴量）を算出する。

欠陥部位候補の検出、および、欠陥強度（欠陥特徴量）の算出方法は、特に限定されるものではなく、例えば、以下のように算出できる。

図５は、Ｓ４における、欠陥部位候補の検出、および、欠陥強度の算出方法を説明するための図である。図５の地点Ａは、Ｓ３で欠陥候補の判定された点である。Ｓ５では、地点Ａの周囲でコントラスト値が判定値Ｒ以上となる地点を算出する。そして、地点Ａと、地点Ａの周囲の判定値Ｒ以上のコントラストを示す地点とを、欠陥部位候補１９とする。すなわち、図５の場合、地点Ａを含み四角で囲った部分が、欠陥部位候補１９となる。具体的には、図５では、地点Ａの周囲の撮像素子１８ａ〜１８ｅにより撮像された５つの地点が、判定値Ｒ以上のコントラストを示す。従って、欠陥部位候補１９が、地点Ａと、撮像素子１８ａ〜１８ｅにより撮像された５つの地点とから構成されることになる。

このような欠陥部位候補１９における欠陥強度（Ｉ）は、例えば、各コントラストの合計とすることができる。ここで、欠陥部位候補１９が、欠陥候補として抽出された地点のコントラストＣａ以外に、ｎ個のコントラストを有するとすると、欠陥強度（Ｉ）は、下記（２）式で表すことができる。
Ｉ＝Ｃａ＋（Ｃ１＋Ｃ２＋・・・＋Ｃｎ） ・・・（２）
なお、（Ｃ１＋Ｃ２＋・・・＋Ｃｎ）は、欠陥部位候補１９における、欠陥候補として抽出された地点Ａを除く、コントラストの和である。

図５の場合、欠陥候補として抽出された地点ＡのコントラストＣａ以外に、５個の地点のコントラストを有している。このため、欠陥部位候補１９の欠陥強度（Ｉ）は、下記（３）式で表されることになる。
Ｉ＝Ｃａ＋Ｃ１＋Ｃ２＋Ｃ３＋Ｃ４＋Ｃ５ ・・・（３）
次に、Ｓ５では、Ｓ４で算出された欠陥部位候補１９の欠陥強度（Ｉ）と、判定値Ｔとを比較し、欠陥強度（Ｉ）が判定値Ｔ以上である場合に、その欠陥部位候補１９が、欠陥部位１９ａであると判定する。なお、この判定値Ｔは、後述する各色ごとに設定される判定値Ｕの最小値と設定するか、検査装置１の検出再現性を考慮して、その最小値よりもやや小さい値に設定する。

このように、欠陥部位候補１９は、地点Ａと地点Ａの周囲の撮像素子１８ａ〜１８ｅにより撮像された５つの地点とから形成されており、所定の面積を有している。このため、Ｓ５で欠陥部位１９ａを判定するためには、その判定の指標として、面積ファクターが必要となる。そこで、Ｓ４では、面積ファクターを加えた指標として、欠陥強度（Ｉ）を算出している。すなわち、地点Ａと、地点Ａの周囲の判定値Ｒ以上のコントラストを示す地点とを欠陥部位候補１９としている。つまり、Ｓ４では、欠陥部位候補１９の面積を算出しており、判定値Ｒは、単に欠陥部位候補１９の面積を算出するための値である。

そして、Ｓ５では、このようにＳ４で算出した欠陥部位候補１９の欠陥強度（Ｉ）が判定値Ｔ以上である場合に、欠陥部位候補１９が、欠陥部位１９ａであると判定する。

なお、Ｓ４では、地点Ａと、地点Ａの周囲の判定値Ｒ以上のコントラストを示す地点とを、欠陥部位候補１９としている。つまり、欠陥部位候補１９の面積は変動する。しかし、欠陥部位候補１９の面積を固定し、固定した面積内のコントラストの和を欠陥強度（Ｉ’）として、Ｓ４，Ｓ５の各処理を行うこともできる。

なお、検査装置１における欠陥部位の特定方法は、上述の方法に限定されるものではなく、種々の方法を適用することができる。つまり、欠陥部位の特定方法は、検出する欠陥の種類に応じて、その欠陥を特定できる方法を、任意に設定すればよい。また、上述の説明では、輝点欠陥を検出しているが、検査装置１では、黒点欠陥の場合も同様の方法を取ることができる。ただし、輝点欠陥と黒点欠陥とでは、コントラスト値が正負逆となるため、この点を考慮して、黒点欠陥を検出するための判定値を設定する。

このように、Ｓ１〜Ｓ５では、表示パネル７の欠陥部位を特定する。そして、後続の処理では、特定された欠陥部位の色を特定する。

まず、Ｓ６では、前段の工程で特定された欠陥部位を含む領域、または、欠陥部位を含まない欠陥部位周囲の領域について、輝度分布を検出する。図６は、欠陥部位を含まない欠陥部位周囲の領域の輝度分布の検出結果を示す図である。一方、図７は、欠陥部位（地点Ａ）を含む領域の輝度分布の検出結果を示す図である。このような輝度分布は、欠陥部位色特定部５によって検出する。

図６のように、欠陥部位１９ａを含まない欠陥部位周囲の領域の輝度分布は、欠陥部位色特定部５によって検出する。具体的には、欠陥部位色特定部５は、Ｓ１で撮像カメラ８（撮像部２）により撮像された画像データを用いて、輝度分布を検出する。この輝度分布は、表示パネル７上の異なる色の絵素が配列する方向に割当てられた撮像素子１８により撮像された画像データを用いて検出される。例えば、欠陥部位色特定部５は、図６の上段に示すように、矢印２０上にある撮像素子１８により撮像された画像データから、輝度分布を検出する。図６の下段は、検出された輝度分布を示すグラフであり、このグラフの輝度値は、上段の撮像素子１８に対応している。図６では、矢印２０方向には、表示パネル７の全色の絵素が含まれる。このため、得られた輝度分布には、欠陥部位１９ａと同色の輝度分布が含まれることになる。従って、後述するように、この輝度分布によって、欠陥部位１９ａの色を特定することができる。

次に、Ｓ７では、Ｓ６で検出した輝度分布に基づいて、欠陥部位１９ａの色を特定する。ここで、表示パネル７に同一光量を照射しても、ＲＧＢのカラーフィルタ透過率の違い、または、撮像カメラ８の分光特性により、ＲＧＢ各色の検出輝度は異なる。例えば、黒パターンであっても表示パネル７からは多少の光が透過している。この透過率は色によって異なるため、検出される輝度も色ごとに異なる。

また、前述のように、表示パネル７は、ＲＧＢの各絵素が、規則性を持って配列されている。このため、図６のように検出された輝度分布は、各色ごとに周期性を持って変化する。ここで、ＲＧＢの各色の輝度の強度は、撮像素子１８により撮像された画像データから予め分かっている。このため、その輝度強度の周期性に基づいて、欠陥部位１９ａの色を特定することができる。

検査装置１では、このような輝度分布の周期性に基づいて欠陥部位１９ａの色を特定する。すなわち、撮像素子１８により撮像された画像データから、ＲＧＢの各輝度強度が、Ｇ＞Ｒ＞Ｂの順となっていたとすると、図６のように周期性を持った輝度分布においても、高い輝度値がＧ色、低い地点がＢ色、その中間がＲ色となる。

ここで、図６のように、表示パネル７では、Ｙ方向に同色絵素が配列される。このため、輝度分布には、欠陥部位１９ａと同一のＸ座標の輝度値が含まれている。従って、図６の輝度分布から、欠陥部位１９ａのＸ座標と同一地点の輝度値を読み取れば、欠陥部位１９ａの色を特定することができる。すなわち、図６の場合、欠陥部位１９ａ（地点Ａ）とＸ座標が同一である部位の輝度値は、周期的に変化する輝度分布の最大値の部分である。従って、輝度分布から、この欠陥部位１９ａ（地点Ａ）の色が緑色（Ｇ）であると判定することができる。

このように、図６の輝度分布は、欠陥部位１９ａを含まないものである。しかし、図７のように、欠陥部位１９ａを含む領域の輝度分布を検出した場合も、欠陥部位１９ａの色を特定することができる。具体的には、図７では、欠陥である地点Ａを含む矢印２０上にある撮像素子１８に撮像された画像データから、輝度分布を検出する。このため、検出された輝度分布は、欠陥部位１９ａの輝度値が、正常な輝度値に対し異常な値を示す。しかし、表示パネル７には、各画素および各絵素が規則的に配列している。例えば、図７のように、表示パネル７の各画素は、周期ｆ１で配列している。このため、輝度分布を、周期ｆ１に区切って各周期ｆ１の輝度値を比較すれば、欠陥部位１９ａの色を特定することができる。例えば、図７では、欠陥部位１９ａのＸ座標から周期ｆ１離れた位置の輝度値は、輝度分布上の最大値を示している。このため、輝度分布の周期性に基づけば、欠陥部位１９ａのＸ座標に対する輝度値は、同様に輝度分布上の最大値を示すはずである。しかし、実際の輝度値は、最大値ではなく異常値を示している。このようにして、欠陥部位１９ａの色は、緑（Ｇ）色であると判定することができる。設定される。

このように、Ｓ６およびＳ７では、欠陥部位１９ａを含む輝度分布であっても、欠陥部位１９ａを含まない輝度分布であっても、欠陥部位１９ａの色を特定することができる。

最後に、Ｓ８では、特定された欠陥部位１９ａの色ごとに、欠陥部位１９ａが許容できる（良品）か、許容できない（不良）であるかを判定する。具体的には、Ｓ４で算出した欠陥強度（Ｉ）と、判定値Ｕとを比較し、欠陥強度（Ｉ）が、判定値Ｕ以上である場合に、欠陥部位１９ａを不良と判定し、判定値Ｕ未満である場合に、欠陥部位１９ａを良品と判定する。

なお、Ｓ８の判定値（判定基準）Ｕは、表示パネル７を構成する絵素の色ごとに設定することが好ましい。これにより、目視検査のように、目視感度の違いによる判定精度のバラツキをなくすことができる。なお、この判定値は、表示パネル７の色ごとに設定された欠陥の強さの閾値であるともいえる。また、この場合、各ステップにおける、判定値Ｒ、判定値（閾値）Ｓ、判定値（閾値）Ｔ、および判定値Ｕのうち、色ごとに異なるのは、Ｓ８の判定値Ｕのみであり、その他の値は、色の違いに関係なく共通の値である。

また、各色ごとに設定される判定値Ｔ（Ｉｕ）は、各色での輝点欠陥および黒点欠陥となる最小値（Ｉｍｉｎ）から、検査装置１の検出再現性（Ｉｒ）を差し引いた値（Ｉｕ＝Ｉｍｉｎ−Ｉｒ）に設定することが好ましい。これにより、Ｓ８での判定精度を高めることができる。

このように、検査装置１では、欠陥部位１９ａ付近の非欠陥部位の輝度分布を検出することによって、その輝度分布に基づいて、欠陥部位１９ａの色を特定し、特定された色に応じた欠陥判定を行う。

なお、図６および図７では、表示パネル７に対し、撮像素子１８が位置ズレすることなく、高精度に設置されている。つまり、表示パネル７における絵素配列方向と、撮像カメラ８が有する撮像素子１８の配列方向とが、互いに平行になるように、撮像カメラ８が配置されている。しかし、図８のように、表示パネル７に対して、この絵素配列方向と、撮像素子１８の配列方向とが平行ではない状態であっても（撮像素子１８がずれて配置されていても）、欠陥部位１９ａの判定は可能である。図８は、表示パネル７に対し撮像素子１８が、斜めにずれて配置された場合の輝度分布の検出結果を示す図である。図８のように、表示パネル７の画素に対し、撮像素子１８が回転して配置された場合でも、矢印２０上にある撮像素子１８により撮像された画像データから、輝度分布を検出すると、この輝度分布は、図６の輝度分布と同様に、周期性を有する。従って、表示パネル７と撮像素子１８との相対的な位置関係の精度が悪くても、欠陥部位１９ａの色を特定することができる。

なお、このように撮像素子１８がずれて配置された場合、ある撮像素子１８が複数色にまたがって撮像する場合がある。しかし、現状の各色の単位面積当たりの輝度と幅（面積）では、絵素１個に対し１個（１画素に対し３個）の撮像素子１８を割当て、撮像素子１８が複数色にまたがって撮像したとしても、３個の撮像素子１８が示す輝度が同一になることはない。このため、欠陥部位１９ａの色を特定できなくなることはない。また、この場合、絵素ピッチおよび撮像素子１８のピッチの情報と、各色絵素の単位面積当たりの輝度、輝度差、または輝度比などの情報とを予め求めておけば、確実に欠陥部位１９ａの色を特定できる。

また、絵素ピッチ（絵素の面積）、ＢＭ（ブラックマトリックス）巾が色により異なる場合、１画素当たりの絵素数の違う場合、各絵素配列が不規則である場合、各絵素ピッチ（絵素の面積）、各絵素とＢＭの単位面積当たり輝度、あるいは、１画素中の各絵素の配列状態などの情報を求めておけば、それを考慮して欠陥部位１９ａの色を特定することができる。

また、前述の説明は、点欠陥の色を特定するものであったが、線欠陥の色を特定することも可能である。図９は、線欠陥の色を特定する場合の輝度分布の検出結果を示す図である。図９のように、線欠陥は、同色絵素（図中央のＧ）の１ラインが異常を示す。この場合は、図７のように、欠陥である地点Ａを含む領域の輝度分布を検出した場合と同様に、輝度分布を検出する。つまり、矢印２０のように、地点Ａを中心に、異なる色絵素が配列する方向に割当てられた撮像素子１８により撮像された画像データに基づき、輝度分布を検出する。そして、輝度分布の周期性に基づいて、異常値を示した欠陥部位１９ａの色が、緑（Ｇ）色であると判定することができる。なお、線欠陥は、点欠陥が連続して並んだものとみなすなどの方法により、線欠陥と点欠陥とを区別することができる。

本実施形態において、輝度分布を検出する距離（範囲）は、輝度分布の周期性が得られる範囲であればよい。このためには、少なくとも表示パネル７の全色を含む１画素の輝度分布が必要となる。つまり、撮像素子１８により表示パネル７の全面を撮像して得られた画像データの一部を用いて、輝度分布を検出すればよい。すなわち、全画像データの中から、輝度分布の周期性を得るために必要な最低限度の画像データを用いて輝度分布を検出すればよく、全画像データを用いる必要はない。このため、撮像素子１８により撮像した画像データは、いったん輝度分布を作成すれば、メモリから削除してもよい。例えば、欠陥部位候補１９を抽出した段階（Ｓ５）で、輝度分布を検出するのに必要なサイズだけ画像データを残しておき、残りの画像データは消去しても良い。これにより、欠陥強度や欠陥部位１９ａの色を特定するときに、ＰＣなどの制御機器にかかる負担を低減できる。従って、より短時間での処理が可能となる。

また、本実施の形態では、表示パネル７の絵素配列はＹ軸方向には同色である場合を説明した。しかし、Ｙ軸方向に同色でない場合の表示パネル７でも、欠陥部位１９ａの色特定が可能となる。図１０は、絵素配列がＹ軸方向にずれて分布された表示パネル７の図である。図１０のように表示パネル７の絵素配列がＹ軸方向に同色ではない場合、Ｘ方向にもＹ軸方向にも、異なる色絵素が配列されることになる。しかし、このように絵素配列がずれた場合も、絵素配列はランダムではなく規則性を持って配列している。つまり、この場合は、そのため、欠陥部位１９ａの色特定のために輝度分布を検出する際、欠陥部位１９ａを含んだＸ方向の輝度分布を検出すればよい。このように検出された輝度分布は、上記の説明と同様に周期性を持つことになるため、その周期性から欠陥部位の色を特定することが可能となる。この場合、Ｙ軸方向にも異なる色の絵素が配列するので、Ｙ軸方向の輝度分布を検出しても、輝度分布の周期性を検出することができ、欠陥部位１９ａの色を特定することが可能である。

また、本実施形態では、撮像素子１８により撮像した画像データに、モアレが発生してもモアレの周期が少なくとも１画素以上よりも長ければ、欠陥部位１９ａの色特定を行うことができる。この場合、輝度分布はモアレの影響を受ける可能性があるものの、輝度分布が各色の周期性を検出されたものであれば、欠陥部位１９ａの色を決めることができる。

また同様に、表示パネル７に輝度ムラが発生している場合であっても、欠陥部位１９ａの色を特定することができる。この場合、検出された輝度分布の平均値は変動する可能性があるものの、色絵素による周期性が輝度分布に現れていれば、欠陥部位１９ａの色を特定することは容易である。そのため、表示パネル７に輝度ムラやムラが欠陥として存在し、その上にさらに輝点、黒点の欠陥が存在しても、欠陥部位の色特定が可能になる。

ところで、従来は、黒点欠陥を検出するときには、Ｒ点灯パターン、Ｇ点灯パターン、Ｂ点灯パターンの各点灯パターン（検査パターン）を表示パネル７に表示させて、黒点欠陥部の色を特定する必要があった。

しかし、本実施の形態の検査装置１のように、輝度分布の周期性に基づいて欠陥を検出れば、ＲＧＢ全てを点灯した状態で黒点欠陥の検出を行い、かつ、黒点欠陥の色を特定することが可能である。従って、黒点検査の点灯パターン（検査パターン）を、従来よりも２パターン削減することが可能である。従って、検査装置１による検査時間を短縮することができる。

また、本実施形態では、図７などのように、各絵素に対し、矢印２０方向（異なる色絵素が配列する方向）に２個の撮像素子１８が割当てられる。この場合、２個の撮像素子１８の内、少なくとも一個の撮像素子１８は、撮像素子１８の全面に同一色（単一色）が割当てられる。このため、全面に同一色（単一色）が割当てられた撮像素子１８から、６個ごとの撮像素子１８現れる輝度値が、輝度分布の最大値であればＧ、最小値であればＢ、その中間であればＲと判定することができる。この場合も、欠陥部位１９ａを含む画素と、その左右２画素分の輝度分布を検出するだけで、欠陥部位１９ａの色を特定することができる。つまり、表示パネル７の絵素ピッチ（隣接絵素の間隔）が、撮像素子１８のピッチの整数倍（正の整数倍）であれば、撮像素子１８は単一色の画像データ（輝度データ）となる。従って、より確実に欠陥部位１９ａの色を特定することができる。

なお、本発明の表示パネル欠陥検査装置は、表示パネルを撮像する撮像手段と、表示パネルにパターンを表示するパターン表示手段と、撮像した画像信号を画像処理によって前記表示パネルの欠陥部位を検出する欠陥部位検出手段と、撮像手段、パターン表示手段、欠陥部位検出手段を制御する主制御手段有した表示パネル欠陥検査装置において、前記欠陥部を検出したパターンと同じパターンで前記表示パネルの欠陥部位を検出するとともに、前記表示パネルの異なる色絵素が配列した方向の輝度分布を検出し、前記表示パネルの欠陥部位の色を特定する欠陥部位色特定手段を有するものであるともいえる。

本発明によれば、欠陥部位の近傍で表示パネルの異なる色絵素が配列する方向に輝度分布を検出すると、色毎に輝度が異なるので輝度分布は周期的に変化する。そのため、欠陥部位が、輝度分布の変化のどの周期に対応するかに基づいて、欠陥部位の色を特定できる。従って、検査パターンと同一パターンで輝度変化を検出できる。さらに、輝度変化は周期的なので、短い距離の輝度変化（輝度分布）を検出するだけですむので、パネルの傾きには強い。

本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、請求項に開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。

最後に、検査装置１の各ブロック、特に欠陥部位検出部４，欠陥部位色特定部５，主制御部６は、ハードウェアロジックによって構成してもよいし、次のようにＣＰＵを用いてソフトウェアによって実現してもよい。

すなわち、検査装置１は、各機能を実現する制御プログラムの命令を実行するＣＰＵ（central processing unit）、上記プログラムを格納したＲＯＭ（read only memory）、上記プログラムを展開するＲＡＭ（random access memory）、上記プログラムおよび各種データを格納するメモリ等の記憶装置（記録媒体）などを備えている。そして、本発明の目的は、上述した機能を実現するソフトウェアである検査装置１の制御プログラム（輝度算出プログラム）のプログラムコード（実行形式プログラム、中間コードプログラム、ソースプログラム）をコンピュータで読み取り可能に記録した記録媒体を、上記検査装置１に供給し、そのコンピュータ（またはＣＰＵやＭＰＵ）が記録媒体に記録されているプログラムコードを読み出し実行することによっても、達成可能である。

上記記録媒体としては、例えば、磁気テープやカセットテープ等のテープ系、フロッピー（登録商標）ディスク／ハードディスク等の磁気ディスクやＣＤ−ＲＯＭ／ＭＯ／ＭＤ／ＤＶＤ／ＣＤ−Ｒ等の光ディスクを含むディスク系、ＩＣカード（メモリカードを含む）／光カード等のカード系、あるいはマスクＲＯＭ／ＥＰＲＯＭ／ＥＥＰＲＯＭ／フラッシュＲＯＭ等の半導体メモリ系などを用いることができる。

また、検査装置１を通信ネットワークと接続可能に構成し、上記プログラムコードを通信ネットワークを介して供給してもよい。この通信ネットワークとしては、特に限定されず、例えば、インターネット、イントラネット、エキストラネット、ＬＡＮ、ＩＳＤＮ、ＶＡＮ、ＣＡＴＶ通信網、仮想専用網（virtual private network）、電話回線網、移動体通信網、衛星通信網等が利用可能である。また、通信ネットワークを構成する伝送媒体としては、特に限定されず、例えば、ＩＥＥＥ１３９４、ＵＳＢ、電力線搬送、ケーブルＴＶ回線、電話線、ＡＤＳＬ回線等の有線でも、ＩｒＤＡやリモコンのような赤外線、Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ（登録商標）、８０２．１１無線、ＨＤＲ、携帯電話網、衛星回線、地上波デジタル網等の無線でも利用可能である。なお、本発明は、上記プログラムコードが電子的な伝送で具現化された、搬送波に埋め込まれたコンピュータデータ信号の形態でも実現され得る。

本発明の欠陥検査装置は、液晶表示パネル、プラズマ表示パネル、ＥＬ表示パネル等の表示パネルを用いた表示装置やブラウン管表示装置等の様々な表示装置の欠陥検査に適用することができる。

本発明の表示パネル欠陥検査装置の概略構成を示すブロック図である。 図１の表示パネル欠陥検査装置の概略構成を示す斜視図である。 図１の検査装置の処理手順を示すフローチャートである。 図３の処理手順における、画像データの取得（Ｓ１）およびコントラストの算出（Ｓ２）を説明するための図である。 図３の処理手順における、欠陥部位候補の検出（Ｓ３）、および、欠陥強度の算出方法（Ｓ４）を説明するための図である。 欠陥部位を含まない欠陥部位周囲の領域の輝度分布の検出結果を示す図である。 欠陥部位を含む領域の輝度分布の検出結果を示す図である。 表示パネルに対し撮像素子がずれて配置された場合の輝度分布の検出結果を示す図である。 線欠陥の色を特定する場合の輝度分布の検出結果を示す図である。 絵素配列がＹ軸方向にずれて分布された表示パネルを示す図である。

符号の説明

１ 検査装置
２ 撮像部
３ パターン表示部
４ 欠陥部位検出部
５ 欠陥部位色特定部
６ 主制御部
７ 表示パネル
８ 撮像カメラ
９ 撮像カメラステージ
１０ 搬送コンベア
１４ 画素
１５，１６，１７ 絵素
１８ 撮像素子
１８ａ〜１８ｅ 撮像素子
１９ 欠陥部位候補
１９ａ 欠陥部位

Claims (9)

1. 複数色の絵素が一定方向に配列した表示パネルを、撮像素子を有する撮像部で撮像することにより、表示パネルの欠陥を検査する欠陥検査装置であって、
   撮像素子により撮像された画像データを処理することにより欠陥を判定する画像処理部を備え、
   上記画像処理部は、
   表示パネルの欠陥を検査するための検査パターンを、表示パネルに表示させるパターン表示部と、
   検査パターンが表示された表示パネルを撮像素子により撮像して得られた表示パネルが有する複数色の絵素を含む画像データと表示パネルが有する全ての色に共通する判定値とに基づいて、表示パネルの欠陥部位候補を、該欠陥部位候補の色を特定せずに検出する欠陥部位検出部と、
   上記撮像素子により撮像された全画像データのうち、表示パネルの異なる絵素が配列する方向に割当てられた撮像素子により撮像された画像データを用いて、輝度分布を検出すると共に、その輝度分布に基づいて、上記欠陥部位候補の色を特定する欠陥部位色特定部を備え、
   上記画像処理部は、上記欠陥部位色特定部によって特定された欠陥部位候補の色ごとに設定された判定基準に基づいて、欠陥部位候補の良否を判定し、
   上記欠陥部位色特定部は、上記輝度分布の周期性に基づいて、欠陥部位候補の色を特定すると共に、
   上記欠陥部位検出部は、検査パターンが表示された表示パネルを撮像素子により撮像して得られた、表示パネルの全画像データに基づいて、表示パネルの欠陥部位候補を検出し、
   上記欠陥部位色特定部は、上記表示パネルの全画像データのうち、表示パネルの全色の絵素を含むように割り当てられた撮像素子により撮像された画像データを用いて、欠陥部位候補を含まないように輝度分布を検出すると共に、その輝度分布から、欠陥部位候補における表示パネルの異なる絵素が配列する方向の座標と同一地点の輝度値を読み取ることによって、欠陥部位候補の色を特定することを特徴とする欠陥検査装置。
2. 複数色の絵素が一定方向に配列した表示パネルを、撮像素子を有する撮像部で撮像することにより、表示パネルの欠陥を検査する欠陥検査装置であって、
   撮像素子により撮像された画像データを処理することにより欠陥を判定する画像処理部を備え、
   上記画像処理部は、
   表示パネルの欠陥を検査するための検査パターンを、表示パネルに表示させるパターン表示部と、
   検査パターンが表示された表示パネルを撮像素子により撮像して得られた表示パネルが有する複数色の絵素を含む画像データと表示パネルが有する全ての色に共通する判定値とに基づいて、表示パネルの欠陥部位候補を、該欠陥部位候補の色を特定せずに検出する欠陥部位検出部と、
   上記撮像素子により撮像された全画像データのうち、表示パネルの異なる絵素が配列する方向に割当てられた撮像素子により撮像された画像データを用いて、輝度分布を検出すると共に、その輝度分布に基づいて、上記欠陥部位候補の色を特定する欠陥部位色特定部を備え、
   上記画像処理部は、上記欠陥部位色特定部によって特定された欠陥部位候補の色ごとに設定された判定基準に基づいて、欠陥部位候補の良否を判定し、
   上記欠陥部位色特定部は、上記輝度分布の周期性に基づいて、欠陥部位候補の色を特定すると共に、
   上記欠陥部位検出部は、検査パターンが表示された表示パネルを撮像素子により撮像して得られた、表示パネルの全画像データに基づいて、表示パネルの欠陥部位候補を検出し、
   上記欠陥部位色特定部は、上記表示パネルの全画像データのうち、表示パネルの全色の絵素を含むように割り当てられた撮像素子により撮像された画像データを用いて、欠陥部位候補を含むように輝度分布を検出すると共に、その輝度分布を各画素の周期に区切り、各周期の輝度値を比較することによって、欠陥部位候補の色を特定することを特徴とする欠陥検査装置。
3. 上記欠陥部位色特定部は、表示パネルが有する色絵素の全てを含む輝度分布を検出することを特徴とする請求項１または２に記載の欠陥検査装置。
4. 上記欠陥部位検出部は、検査パターンが表示された表示パネルを撮像素子により撮像して得られた、表示パネルの全画像データに基づいて、表示パネルの欠陥部位候補を検出し、
   上記欠陥部位色特定部は、上記表示パネルの全画像データのうち、表示パネルの全色の絵素を含むように割り当てられた撮像素子により撮像された画像データを用いて、欠陥部位候補を含まないように輝度分布を検出すると共に、その輝度分布から、欠陥部位候補における表示パネルの異なる絵素が配列する方向の座標と同一地点の輝度値を読み取ることによって、欠陥部位候補の色を特定することを特徴とする請求項２に記載の欠陥検査装置。
5. 上記撮像部は、ラインセンサであることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の欠陥検査装置。
6. 複数色の絵素が一定方向に配列した表示パネルを、撮像素子を有する撮像部で撮像することにより、表示パネルの欠陥を検査する欠陥検査方法であって、
   撮像素子により撮像された画像データを処理することにより欠陥を判定する画像処理工程を含み、
   上記画像処理工程は、
   表示パネルの欠陥を検査するための検査パターンを、表示パネルに表示させるパターン表示工程と、
   検査パターンが表示された表示パネルを撮像素子により撮像して得られた表示パネルが有する複数色の絵素を含む画像データと表示パネルが有する全ての色に共通する判定値とに基づいて、表示パネルの欠陥部位候補を、該欠陥部位候補の色を特定せずに検出する欠陥部位検出工程と、
   上記撮像素子により撮像された全画像データのうち、表示パネルの異なる絵素が配列する方向に割当てられた撮像素子により撮像された画像データを用いて、輝度分布を検出すると共に、その輝度分布に基づいて、上記欠陥部位候補の色を特定する欠陥部位色特定工程を有し、
   上記画像処理工程は、上記欠陥部位色特定工程によって特定された欠陥部位候補の色ごとに設定された判定基準に基づいて、欠陥部位候補の良否を判定し、
   上記欠陥部位色特定工程は、上記輝度分布の周期性に基づいて、欠陥部位候補の色を特定すると共に、
   上記欠陥部位検出工程は、検査パターンが表示された表示パネルを撮像素子により撮像して得られた、表示パネルの全画像データに基づいて、表示パネルの欠陥部位候補を検出し、
   上記欠陥部位色特定工程は、上記表示パネルの全画像データのうち、表示パネルの全色の絵素を含むように割り当てられた撮像素子により撮像された画像データを用いて、欠陥部位候補を含まないように輝度分布を検出すると共に、その輝度分布から、欠陥部位候補における表示パネルの異なる絵素が配列する方向の座標と同一地点の輝度値を読み取ることによって、欠陥部位候補の色を特定することを特徴とする欠陥検査方法。
7. 請求項１〜５のいずれか１項に記載の欠陥検査装置の上記各手段としてコンピュータを機能させるための欠陥検査プログラム。
8. 請求項７に記載のプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
9. 複数色の絵素が一定方向に配列した表示パネルを、撮像素子を有する撮像部で撮像することにより、表示パネルの欠陥を検査する欠陥検査装置に備えられ、
   撮像素子により撮像された画像データを処理することにより欠陥を判定する画像処理装置であって、
   表示パネルの欠陥を検査するための検査パターンを、表示パネルに表示させるパターン表示部と、
   検査パターンが表示された表示パネルを撮像素子により撮像して得られた表示パネルが有する複数色の絵素を含む画像データと表示パネルが有する全ての色に共通する判定値とに基づいて、表示パネルの欠陥部位候補を、該欠陥部位候補の色を特定せずに検出する欠陥部位検出部と、
   上記撮像素子により撮像された全画像データのうち、表示パネルの異なる絵素が配列する方向に割当てられた撮像素子により撮像された画像データを用いて、輝度分布を検出すると共に、その輝度分布に基づいて、上記欠陥部位候補の色を特定する欠陥部位色特定部を備え、
   上記欠陥部位色特定部によって特定された欠陥部位候補の色ごとに設定された判定基準に基づいて、欠陥部位候補の良否を判定し、
   上記欠陥部位色特定部は、上記輝度分布の周期性に基づいて、欠陥部位候補の色を特定すると共に、
   上記欠陥部位検出部は、検査パターンが表示された表示パネルを撮像素子により撮像して得られた、表示パネルの全画像データに基づいて、表示パネルの欠陥部位候補を検出し、
   上記欠陥部位色特定部は、上記表示パネルの全画像データのうち、表示パネルの全色の絵素を含むように割り当てられた撮像素子により撮像された画像データを用いて、欠陥部位候補を含まないように輝度分布を検出すると共に、その輝度分布から、欠陥部位候補における表示パネルの異なる絵素が配列する方向の座標と同一地点の輝度値を読み取ることによって、欠陥部位候補の色を特定することを特徴とする画像処理装置。
   

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