WO2013118304A1

WO2013118304A1 - 検査装置、検査方法、および記録媒体

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Publication number: WO2013118304A1
Application number: PCT/JP2012/053189
Authority: WO
Inventors: 章太植木; 山本　修平; 泰広上田
Original assignee: シャープ株式会社
Priority date: 2012-02-10
Filing date: 2012-02-10
Publication date: 2013-08-15

Abstract

　検査装置が提供される。ピーク幅特徴量算出部（２５）は、撮像装置（１０）から受け取った画像データに基づいて、ピーク幅特徴量算出エリアごとに、ピーク幅特徴量および平均輝度を算出する。装置状態判定部（２７）は、定期的に、ピーク幅特徴量および平均輝度をそれぞれ時系列に表わすピーク幅特徴量変動パターンおよび平均輝度変動パターンを、機種名ごとおよびピーク幅特徴量算出エリアごとに生成し、生成したピーク幅特徴量変動パターンおよび平均輝度変動パターンに基づいて、画像処理検査装置（１）または製造工程に異常があるか否かを判定する。装置メンテナンス指示部（２９）は、判定結果を判定結果表示部（３１）に表示する。

Description

検査装置、検査方法、および記録媒体

　本発明は、情報を表示する情報表示装置を検査する検査装置、検査方法、および記録媒体に関する。

　情報表示装置、たとえば液晶パネルやプラズマディスプレイパネルなどのフラットパネルディスプレイの検査において、安定、高速、かつ高精度に検査対象物を評価するために、検査対象物を撮像した撮像画像に基づいて、該検査対象物を自動的に評価する画像処理検査装置の開発が進められている。このような画像処理検査装置に撮像画像を供給する撮像装置は、通常、エリアセンサとして機能する固体撮像素子と、検査対象物の像を固体撮像素子上に結像させる光学系とを備えている。光学系は、レンズその他の光学素子からなり、レンズの焦点位置を調整するフォーカス調整機構、検査対象物とレンズとの距離を調整するワークディスタンス調整機構、および光学系の光軸の傾きを調整する光軸調整機構などの調整機構によって、適正な状態に調整されている。

　しかし、光学系の状態は、長時間に渡る使用によって悪化することがある。光学系の状態を悪化させる要因は、調整機構のずれ、光学系全体の位置ずれ、および照明の劣化による照度の変化など様々である。このため、光学系の状態が悪化した撮像装置によって撮像された撮像画像に基づいて、検査対象物の適正な評価を行うことはできない。つまり、適正な評価を行うためには、装置状態が適正であるか否かを確認する方法が必要であり、場合によっては光学系の再調整などによる画像処理検査装置の定期的な校正が必要となる。

　第１の従来技術として、特許文献１に開示される欠陥検査装置の校正方法がある。この欠陥検査装置の校正方法は、開口が特定のパターンで形成された標準試料の背面から一様に照明して透過光強度を測定し、測定した透過光強度に基づいて、測定系の焦点深度および測定系の各センサ素子の位置による感度分布等を評価して校正する。

　第２の従来技術として、特許文献２に開示される画質検査装置がある。この画質検査装置は、設定されたサイズの分割領域を、互いに重複させながら設定された移動幅で横方向、および上下方向にも走査しながら移動して検査対象の全パネル領域に対応する画像データを複数の領域に分割する。そして、分割された各領域に対して、欠陥のコントラストと認識限界コントラストとから欠陥強度を算出し、算出した欠陥強度に基づいて、分割領域が欠陥であるか否かを判断する。認識限界コントラストは、空間周波数に対する感度特性であるＭＴＦ（Modulation Transfer Function）特性を用いて得られる。そして、検査対象表示デバイスの三刺激値を測定する分光輝度計で測定された分光輝度データに基づいて三刺激値パラメータを使用することによって、光源や撮像装置のバラツキや経時変化にも対応した欠陥強度算出を可能としている。

　第３の従来技術として、特許文献３に開示される撮像装置の検査装置がある。この撮像装置の検査装置は、撮像装置の撮像面との距離が異なる複数の位置におけるストライプ画像が表示されたチャートの画像を、撮像装置のレンズの位置が一定の状態で撮影する。そして、複数の位置ごとの画像の輝度値のヒストグラムを生成し、生成したヒストグラムの標準偏差値を、複数の位置ごとの画像それぞれの合焦の度合を示す評価値とする。さらに、この評価値を、撮像装置の撮像面との距離である被写体距離に対応してプロットし、合焦評価グラフを生成し、生成した合焦評価グラフに基づいて撮像装置の性能を評価する。

　第４の従来技術として、特許文献４に開示される液晶パネル検査装置の焦点合わせ方法がある。この液晶パネル検査装置の焦点合わせ方法は、液晶パネルを撮像装置で撮影して、Ｎ画素の輝度データからなる全領域データを取得する。この全領域データをＭ個の小領域データに分割する。そして、小領域データのそれぞれについて、輝度データの分散を算出し、Ｍ個の小領域データの分散を合計して合計値を評価量とする。撮像装置の焦点合わせ条件を変更して、上述の動作を繰り返す。複数の焦点合わせ条件のそれぞれについて前記評価量を取得して、その評価量が最大となる焦点合わせ条件を最適な焦点合わせ条件であると決定する。

特開２００４－２８７０６号公報特開２００９－４７４６５号公報特開２００５－３４５５９０号公報特開２０１０－８４３８号公報

　しかしながら、従来技術による画像処理検査装置などの検査装置においては、検査装置の状態を常に把握しておくことは困難である。そのため、テストパターンを用いた校正を行う、もしくは再度光学系の調整を行うといった判断は、現在の工程よりも後の工程で判定結果の異常が確認された後となり、その間に生産された製品に関しては、不確かな光学系の状態で検査を行っていたこととなる。これによって、後工程での不良発生率増加による部材ロスや確認作業などに費やされる人件費の増大など、コスト増加の要因となる可能性がある。

　このような問題に対して、第１の従来技術を適用する場合、定期的に特定のパターンによる評価を行う必要があり、また、後工程でのロスを極力防ぐためには「定期」の間隔を短くする必要がある。この作業は人手であるため、「定期」の間隔を短くすればするほど人件費の増大につながる、もしくは作業時間に生産時間が圧迫されることによる生産効率の低下などが予想される。

　第２の従来技術は、分光輝度計によって検査対象表示デバイスの三刺激値を監視し、検査対象表示デバイスの欠陥の検査を行うが、分光輝度計などの外部機器の追加によるコストの増大や分光輝度計自体の劣化という問題、および分光輝度計によって測定される三刺激値などの色彩情報や輝度しか監視することができないという問題がある。

　第３の従来技術は、撮像装置の性能を定量的に把握するものであるが、製造工程に異常があるか否かを判定することはできず、表示パネルの透過率の異常も検出することはできないという問題がある。第４の従来技術は、液晶パネル検査装置の焦点合わせを精度よく行うものであるが、第３の従来技術と同様の問題がある。

　これらの問題の解決策として、検査対象物、たとえば検査対象の表示パネルの検査結果を利用して監視する方法が考えられる。しかしながら、検査対象となる表示パネルは、第１に、表示パネルごとに明るさのばらつきがあり、評価基準とすることが困難であるという問題があり、第２に、表示パネルの検査結果が不良の発生を示している場合、検査装置の問題で異常が発生したのか製造工程の問題で異常が発生したのかを切り分けることが困難であるという問題がある。

　本発明の目的は、検査装置によって検出された表示パネルの異常が検査装置の異常に起因するのか製造工程の異常に起因するのかを容易にかつ精度よく判別することができる検査装置、検査方法、および記録媒体を提供することである。

　本発明は、階調表示可能な複数の画素が配列される表示面が形成される検査対象物を検査する検査装置であって、
　検査対象物の表示面に表示される予め定める表示パターンの画像を撮像し、撮像した画像を表す画像データを生成する撮像部と、
　撮像部によって生成された画像データに基づいて、前記撮像した画像の輝度分布を生成し、生成した輝度分布の特徴を表す特徴量を算出する特徴量算出部と、
　撮像部によって生成された画像データに基づいて、前記撮像した画像の輝度を平均した平均輝度を算出する平均輝度算出部と、
　検査対象物ごとに、特徴量算出部によって算出される特徴量および平均輝度算出部によって算出される平均輝度を記憶する記憶部と、
　記憶部に記憶された特徴量を時系列に表わす特徴量変動パターン、および記憶部に記憶された平均輝度を時系列に表わす平均輝度変動パターンに基づいて、予め定める時間間隔で、自検査装置によって検出された検査対象物の異常が、自検査装置に起因するか否か、および検査対象物を製造する製造工程に起因するか否かを判定する判定部とを含むことを特徴とする検査装置である。

　また本発明において、前記特徴量算出部は、前記画像データが示す画像の領域のうち予め定める複数の領域ごとの画像の特徴量を算出し、
　前記平均輝度算出部は、前記予め定める複数の領域ごとの画像の平均輝度を算出し、
　前記記憶部は、前記予め定める複数の領域ごとに特徴量および平均輝度を記憶し、
　前記判定部は、前記予め定める複数の領域ごとの特徴量を時系列に表わす特徴量変動パターン、および前記予め定める複数の領域ごとの平均輝度を時系列に表わす平均輝度変動パターンに基づいて、前記予め定める複数の領域ごとに、自検査装置に異常があるか否かおよび製造工程に異常があるか否かを判定することが好ましい。

　また本発明において、前記予め定める表示パターンは、輝度分布が２つの輝度の画素のみからなる分布であることが好ましい。

　また本発明において、前記特徴量は、輝度の標準偏差であることが好ましい。
　また本発明において、前記特徴量は、輝度の標準偏差を平均輝度で除算した値であることが好ましい。

　また本発明において、前記判定部は、特徴量変動パターンおよび平均輝度変動パターンに加えて、自検査装置による複数の検査結果のうちの少なくとも１つの検査結果に基づいて、検査対象物に異常があるか否かおよび自検査装置に異常があるか否かを判定することが好ましい。

　また本発明は、画像を撮像する撮像部および記憶部を有し、階調表示可能な複数の画素が配列される表示面が形成される検査対象物を検査する検査装置が実行する検査方法であって、
　検査対象物に形成される表示面に表示される予め定める表示パターンの画像を撮像部によって撮像し、撮像した画像を表す画像データを生成する撮像工程と、
　撮像工程で生成された画像データに基づいて、前記撮像した画像の輝度分布を生成し、生成した輝度分布の特徴を表す特徴量を算出する特徴量算出工程と、
　撮像工程で生成された画像データに基づいて、前記撮像した画像の輝度を平均した平均輝度を算出する平均輝度算出工程と、
　検査対象物ごとに、特徴量算出工程で算出される特徴量および平均輝度算出工程で算出される平均輝度を記憶部に記憶する記憶工程と、
　記憶工程で記憶された特徴量を時系列に表わす特徴量変動パターン、および記憶工程で記憶された平均輝度を時系列に表わす平均輝度変動パターンに基づいて、予め定める時間間隔で、自検査装置によって検出された検査対象物の異常が、自検査装置に起因するか否か、および検査対象物を製造する製造工程に起因するか否かを判定する判定工程とを含むことを特徴とする検査方法である。

　また本発明は、画像を撮像する撮像部、記憶部およびコンピュータを有し、階調表示可能な複数の画素が配列される表示面が形成される検査対象物を検査する検査装置に含まれるコンピュータに、
　　検査対象物に形成される表示面に表示される予め定める表示パターンの画像を撮像部によって撮像し、撮像した画像を表す画像データを生成する撮像工程と、
　　撮像工程で生成された画像データに基づいて、前記撮像した画像の輝度分布を生成し、生成した輝度分布の特徴を表す特徴量を算出する特徴量算出工程と、
　　撮像工程で生成された画像データに基づいて、前記撮像した画像の輝度を平均した平均輝度を算出する平均輝度算出工程と、
　　検査対象物ごとに、特徴量算出工程で算出される特徴量および平均輝度算出工程で算出される平均輝度を記憶部に記憶する記憶工程と、
　　記憶工程で記憶された特徴量を時系列に表わす特徴量変動パターン、および記憶工程で記憶された平均輝度を時系列に表わす平均輝度変動パターンに基づいて、予め定める時間間隔で、自検査装置によって検出された検査対象物の異常が、自検査装置に起因するか否か、および検査対象物を製造する製造工程に起因するか否かを判定する判定工程とを実行させるためのプログラムが記録されたコンピュータ読取り可能な記録媒体である。

　本発明によれば、階調表示可能な複数の画素が配列される表示面が形成される検査対象物を検査するにあたって、撮像部は、検査対象物の表示面に表示される予め定める表示パターンの画像を撮像し、撮像した画像を表す画像データを生成する。特徴量算出部は、撮像部によって生成された画像データに基づいて、前記撮像した画像の輝度分布を生成し、生成した輝度分布の特徴を表す特徴量を算出する。平均輝度算出部は、撮像部によって生成された画像データに基づいて、前記撮像した画像の輝度を平均した平均輝度を算出する。記憶部は、検査対象物ごとに、特徴量算出部によって算出される特徴量および平均輝度算出部によって算出される平均輝度を記憶する。そして、判定部は、記憶部に記憶された特徴量を時系列に表わす特徴量変動パターン、および記憶部に記憶された平均輝度を時系列に表わす平均輝度変動パターンに基づいて、予め定める時間間隔で、自検査装置によって検出された検査対象物の異常が、自検査装置に起因するか否か、および検査対象物を製造する製造工程に起因するか否かを判定する。

　したがって、特殊な表示パターンや外部装置を追加することなく、表示パネルの異常が検査装置の異常に起因するのか製造工程の異常に起因するのかを容易にかつ精度よく判定することができる。また、検査装置および製造工程の状態を、常時継続的に人手を介さず自動的に監視することができ、製造工程の管理能力の向上に寄与することができる。

　本発明によれば、前記特徴量算出部は、前記画像データが示す画像の領域のうち予め定める複数の領域ごとの画像の特徴量を算出する。前記平均輝度算出部は、前記予め定める複数の領域ごとの画像の平均輝度を算出する。前記記憶部は、前記予め定める複数の領域ごとに特徴量および平均輝度を記憶する。そして、前記判定部は、前記予め定める複数の領域ごとの特徴量を時系列に表わす特徴量変動パターン、および前記予め定める複数の領域ごとの平均輝度を時系列に表わす平均輝度変動パターンに基づいて、前記予め定める複数の領域ごとに、自検査装置に異常があるか否かおよび製造工程に異常があるか否かを判定する。

　したがって、表示パネルの表示面全体の広域で評価する場合に比べて、表示パネルの表示面内での輝度むらのようなばらつきの影響を低減して検査装置の状態の評価の精度を向上させ、かつ表示パネルの表示面の１個所の領域のみで評価する場合に比べて、表示パネルの表示面の複数の個所での検査装置の状態の判別が可能となる。たとえば、撮像部である撮像装置の光軸が表示パネルの表示面に対して傾いている場合、表示面の一部の個所ではレンズの焦点が適合であっても、異なる別の個所ではレンズの焦点が不適合となることがある。このような場合においても、表示パネルの表示面全体の複数の個所で個別に検査装置の状態の判別が可能なため、撮像装置の光軸の傾きを検出することができる。

　本発明によれば、前記予め定める表示パターンは、輝度分布が２つの輝度の画素のみからなる分布であるので、白黒など輝度が２値からなる縦縞模様や市松模様などの単純な表示パターンによって検査することができる。

　本発明によれば、前記特徴量は、輝度の標準偏差であるので、撮像装置のフォーカス異常のようなピーク幅特徴量に影響をあたえる検査装置の異常を判定することができる。

　本発明によれば、前記特徴量は、輝度の標準偏差を平均輝度で除算した値であるので、撮像装置のフォーカス異常のようなピーク幅特徴量に影響をあたえる検査装置の異常とバックライト異常のような平均輝度に影響をあたえる検査装置の異常とを両方判定することができる。また、標準偏差を平均輝度で除算して正規化することによって、製造工程に起因する個々の表示パネルのばらつきがピーク幅特徴量に反映される影響を低減することが可能である。

　本発明によれば、前記判定部は、特徴量変動パターンおよび平均輝度変動パターンに加えて、自検査装置による複数の検査結果のうちの少なくとも１つの検査結果に基づいて、検査対象物に異常があるか否かおよび自検査装置に異常があるか否かを判定するので、より精度よく判定することができる。

　本発明によれば、画像を撮像する撮像部および記憶部を有し、階調表示可能な複数の画素が配列される表示面が形成される検査対象物を検査するにあたって、撮像工程では、検査対象物に形成される表示面に表示される予め定める表示パターンの画像を撮像部によって撮像し、撮像した画像を表す画像データを生成する。特徴量算出工程では、撮像工程で生成された画像データに基づいて、前記撮像した画像の輝度分布を生成し、生成した輝度分布の特徴を表す特徴量を算出する。平均輝度算出工程では、撮像工程で生成された画像データに基づいて、前記撮像した画像の輝度を平均した平均輝度を算出する。記憶工程では、検査対象物ごとに、特徴量算出工程で算出される特徴量および平均輝度算出工程で算出される平均輝度を記憶部に記憶する。そして、判定工程では、記憶工程で記憶された特徴量を時系列に表わす特徴量変動パターン、および記憶工程で記憶された平均輝度を時系列に表わす平均輝度変動パターンに基づいて、予め定める時間間隔で、自検査装置によって検出された検査対象物の異常が、自検査装置に起因するか否か、および検査対象物を製造する製造工程に起因するか否かを判定する。

　本発明によれば、画像を撮像する撮像部、記憶部およびコンピュータを有し、階調表示可能な複数の画素が配列される表示面が形成される検査対象物を検査する検査装置に含まれるコンピュータに、検査対象物に形成される表示面に表示される予め定める表示パターンの画像を撮像部によって撮像し、撮像した画像を表す画像データを生成する撮像工程と、撮像工程で生成された画像データに基づいて、前記撮像した画像の輝度分布を生成し、生成した輝度分布の特徴を表す特徴量を算出する特徴量算出工程と、撮像工程で生成された画像データに基づいて、前記撮像した画像の輝度を平均した平均輝度を算出する平均輝度算出工程と、検査対象物ごとに、特徴量算出工程で算出される特徴量および平均輝度算出工程で算出される平均輝度を記憶部に記憶する記憶工程と、記憶工程で記憶された特徴量を時系列に表わす特徴量変動パターン、および記憶工程で記憶された平均輝度を時系列に表わす平均輝度変動パターンに基づいて、予め定める時間間隔で、自検査装置によって検出された検査対象物の異常が、自検査装置に起因するか否か、および検査対象物を製造する製造工程に起因するか否かを判定する判定工程とを実行させるためプログラムが記録されたコンピュータ読取り可能な記録媒体を提供することができる。

　本発明の目的、特色、および利点は、下記の詳細な説明と図面とからより明確になるであろう。
本発明の一実施形態である画像処理検査装置の構成を模式的に示す図である。画像処理検査装置の機能の構成を示すブロック図である。ピーク幅特徴量算出エリアおよび選択エリアにおける拡大画像の例を示す図である。ピーク幅特徴量算出エリアおよび選択エリアにおける拡大画像の例を示す図である。撮像装置の解像能力によるヒストグラムの変動の例を示す図である。撮像装置の解像能力によるヒストグラムの変動の例を示す図である。撮像装置の解像能力によるヒストグラムの変動の例を示す図である。撮像装置の解像能力によるヒストグラムの変動の例を示す図である。撮像装置の解像能力によるヒストグラムの変動の例を示す図である。撮像装置の解像能力によるヒストグラムの変動の例を示す図である。機種ごとのピーク幅特徴量変動パターンおよび平均輝度変動パターンのケース１の例を示す図である。機種ごとのピーク幅特徴量変動パターンおよび平均輝度変動パターンのケース１の例を示す図である。機種ごとのピーク幅特徴量変動パターンおよび平均輝度変動パターンのケース１の例を示す図である。機種ごとのピーク幅特徴量変動パターンおよび平均輝度変動パターンのケース２の例を示す図である。機種ごとのピーク幅特徴量変動パターンおよび平均輝度変動パターンのケース２の例を示す図である。機種ごとのピーク幅特徴量変動パターンおよび平均輝度変動パターンのケース２の例を示す図である。機種ごとのピーク幅特徴量変動パターンおよび平均輝度変動パターンのケース３の例を示す図である。機種ごとのピーク幅特徴量変動パターンおよび平均輝度変動パターンのケース３の例を示す図である。機種ごとのピーク幅特徴量変動パターンおよび平均輝度変動パターンのケース３の例を示す図である。機種ごとのピーク幅特徴量変動パターンおよび平均輝度変動パターンのケース４の例を示す図である。機種ごとのピーク幅特徴量変動パターンおよび平均輝度変動パターンのケース４の例を示す図である。機種ごとのピーク幅特徴量変動パターンおよび平均輝度変動パターンのケース４の例を示す図である。１つの機種についての選択エリアごとのピーク幅特徴量変動パターンおよび平均輝度変動パターンの例を示す図である。１つの機種についての選択エリアごとのピーク幅特徴量変動パターンおよび平均輝度変動パターンの例を示す図である。１つの機種についての選択エリアごとのピーク幅特徴量変動パターンおよび平均輝度変動パターンの例を示す図である。１つの機種についての選択エリアごとのピーク幅特徴量変動パターンおよび平均輝度変動パターンの例を示す図である。１つの機種についての選択エリアごとのピーク幅特徴量変動パターンおよび平均輝度変動パターンの例を示す図である。画像処理検査装置１が実行する判定処理の処理手順を示すフローチャートである。

　以下図面を参考にして本発明の好適な実施形態を詳細に説明する。
　図１は、本発明の一実施形態である画像処理検査装置１の構成を模式的に示す図である。検査装置である画像処理検査装置１は、検査対象物である表示パネル２を検査する装置である。本発明に係る検査方法は、画像処理検査装置１によって実行される。画像処理検査装置１は、撮像装置１０、制御装置２０および表示装置３０を含んで構成される。

　撮像部である撮像装置１０は、表示パネル２の表示面に表示される予め定める表示パターンの画像を撮像し、制御装置２０は、撮像装置１０が撮像した撮像画像に基づいて、表示パネル２に欠陥があるか否かを検査するとともに、該検査結果の履歴に基づいて、検出された表示パネル２の異常が画像処理検査装置１の異常に起因するのかおよび製造工程の異常に起因するのかを判定し、検査結果および判定結果を表示装置３０に表示する。画像処理検査装置１は、表示パネル２を検査することが主たる機能であるが、付随する機能として、画像処理検査装置１に異常があるか否かおよび製造工程に異常があるか否かを判定する。本発明は、この付随する機能に係るものである。

　表示パネル２は、たとえば液晶パネルによって構成される。表示パネル２は、階調表示可能な複数の画素が配列される表示面が形成される。画素は、表示パネル２が複数色、たとえば赤色（以下「Ｒ」という）、緑色（以下「Ｇ」という）および青色（以下「Ｂ」という）の３原色を用いる３原色液晶パネルの場合、Ｒ単色の表示単位、Ｇ単色の表示単位およびＢ単色の表示単位である。以下、Ｒの１画素、Ｇの１画素およびＢの１画素からなる１組の画素を「絵素」という。撮像装置１０の電荷結合素子（Charge Coupled Device：略称ＣＣＤ）からなる後述する撮像素子１２は、１単位が１画素であり、１画素は、ＲＧＢ単色のそれぞれの撮像単位である。

　表示パネル２は、検査時に、予め定める表示パターンの画像を表示する。予め定める表示パターンは、各画素の輝度が周期的に変化するように配列された周期配列パターンであり、たとえば縦縞模様あるいは市松模様のパターンである。予め定める表示パターンは、表示パネル２に記憶させておいて表示パネル２自身で表示させてもよいし、他の装置、たとえば制御装置２０から予め定める表示パターンを送信し、表示パネル２が制御装置２０から受信して表示してもよい。予め定める表示パターンは、表示パネル２を検査するために用いる表示パターンを併用してもよいし、あるいは表示パネル２を検査するために用いる表示パターンとは異なる専用の表示パターンを用いてもよいが、表示パネル２を検査するために用いる表示パターンと併用するほうが好ましい。

　撮像装置１０は、たとえばＣＣＤを用いるカメラによって構成され、光学系および固体撮像素子を含んで構成される。光学系は、たとえばレンズ１１などの光学素子およびその調整機構によって構成され、表示パネル２の表示面に表示される画像を固体撮像素子の受光部上に結像させる。固体撮像素子は、たとえばエリアセンサタイプのＣＣＤイメージセンサあるいは電界効果とＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）イメージセンサなどの撮像素子１２およびその調整機構によって構成され、受光部上に結像された画像を画像信号に変換する。

　光学系を構成するレンズ１１、および撮像素子１２は、それぞれの調整機構を介して、撮像装置１０の筐体内壁に取り付けられている。表示パネル２は、該表示パネル２の表示面が撮像装置１０に対向するように載置される。撮像装置１０は、対向する表示パネル２の表示面に表示される予め定める表示パターンの画像を撮像する。撮像装置１０は、撮像素子１２からの画像信号を、撮影画像を表わす画像データに変換し、変換した画像データを制御装置２０に送る。

　制御装置２０は、たとえばパーソナルコンピュータあるいはワークステーションなどのコンピュータによって構成され、制御部２１および画像メモリ２２を含んで構成される。制御部２１は、たとえば図示しない中央処理装置（Central Processing Unit：略称ＣＰＵ）および図示しない記憶装置を含んで構成される。図示しないＣＰＵは、図示しない記憶装置に記憶されるプログラムを実行することによって、後述する各機能を実現するとともに、撮像装置１０および表示装置３０を制御する。図示しない記憶装置は、たとえば半導体メモリなどによって構成され、図示しないＣＰＵが実行するプログラムおよび図示しないＣＰＵが処理を行うために必要な情報を記憶する。図示しない記憶装置は、図示しないＣＰＵによって情報の書き込みおよび読み出しが行われる。

　画像メモリ２２は、たとえば半導体メモリによって構成され、画像データを記憶する。画像メモリ２２に記憶される画像データは、図示しないＣＰＵによって書き込みおよび読み出しが行われる。

　制御装置２０は、撮像装置１０から受け取る画像データに基づいて、ピーク幅特徴量Ｐを算出する。ピーク幅特徴量Ｐは、解像能力に応じて算出されるパラメータであり、撮像装置１０から受け取る画像データが示す撮影画像の輝度分布の標準偏差σおよび平均輝度Ｉ_ａｖｅを用いて算出される。具体的には、ピーク幅特徴量Ｐは、式（１）によって算出される。
　　　Ｐ＝σ／Ｉ_ａｖｅ　　　　　　　　…（１）

　すなわち、ピーク幅特徴量Ｐは、解像能力によって変動する標準偏差σを平均輝度Ｉ_ａｖｅによって除算して正規化したものである。標準偏差σおよび平均輝度Ｉ_ａｖｅの詳細については後述する。

　制御装置２０は、予め定める時間間隔で、撮影画像の領域に含まれる複数の領域ごとに、ピーク幅特徴量Ｐおよび平均輝度Ｉ_ａｖｅを算出し、算出したピーク幅特徴量Ｐおよび平均輝度Ｉ_ａｖｅを図示しない記憶装置に記憶する。そして、制御装置２０は、記憶したピーク幅特徴量Ｐおよび平均輝度Ｉ_ａｖｅそれぞれを時系列に表わすピーク幅特徴量変動パターンおよび平均輝度変動パターンに基づいて、画像処理検査装置１の異常および製造工程の異常の有無を判定する。

　表示装置３０は、たとえば液晶ディスプレイ（Liquid Crystal Display：略称ＬＣＤ）あるいはブラウン管（Cathode Ray Tube：略称ＣＲＴ）などによって構成される。表示装置３０は、制御装置２０から受け取る検査結果および判定結果を表示する。

　このように、画像処理検査装置１は、表示パネル２の検査を行いつつ、検査結果の履歴を監視することによって、画像処理検査装置１の異常および製造工程の異常の有無を判定する。そして、画像処理検査装置１は、判定結果を作業者に報知して、画像処理検査装置１および製造工程で用いられる製造装置の調整あるいは校正を促し、あるいは次期メンテナンス項目の洗い出しや設計へのフィードバックを可能とする。

　図２は、画像処理検査装置１の機能の構成を示すブロック図である。制御装置２０は、画像データ保存部２３、ピーク幅特徴量算出エリア設定部２４、ピーク幅特徴量算出部２５、ピーク幅特徴量保存部２６、装置状態判定部２７、判定情報保存部２８および装置メンテナンス指示部２９を含んで構成される。

　ピーク幅特徴量算出エリア設定部２４、ピーク幅特徴量算出部２５、装置状態判定部２７および装置メンテナンス指示部２９は、制御部２１が実現する機能、すなわち、図示しないＣＰＵが図示しない記憶装置に記憶されるプログラムを実行することによって実現される機能である。画像データ保存部２３は、画像メモリ２２であり、ピーク幅特徴量保存部２６および判定情報保存部２８は、図示しない記憶像置に含まれる記憶領域である。

　画像データ保存部２３は、画像データ、機種情報および時間情報を記憶して保存するための保存部であり、画像メモリ２２によって構成される。制御部２１は、撮像装置１０から画像データを受け取ると、受け取った画像データと、機種情報および時間情報と関連付けて画像データ保存部２３に記憶して保存する。

　機種情報は、たとえば機種名およびパネルＩＤ（Identification）番号を含む。機種名は、表示パネル２の機種を識別するための機種識別情報である。パネルＩＤ番号は、個々の表示パネル２を識別するためのパネル識別情報である。機種情報は、検査対象物である表示パネル２の機種情報を画像処理検査装置１とは独立して管理する工程管理システムから取り込んだものであってもよいし、表示パネル２に印刷等されている機種情報を撮影装置などによって撮影し、撮影した画像から認識したものでもよいし、あるいは図示しない操作部などから入力されたものであってもよい。時間情報は、たとえば日時である。画像処理検査装置１は、自画像処理検査装置１に設けられる図示しない計時部などを参照して、撮像装置１０から画像データを受け取った時点の日時を取得し、取得した日時を時間情報とする。

　ピーク幅特徴量算出エリア設定部２４は、ピーク幅特徴量Ｐを算出する領域であるピーク幅特徴量算出エリアとして、画像データが示す撮像画像の領域に含まれる複数の領域を予め設定している。ピーク幅特徴量算出エリアは、表示パネル２の表示面内の位置によるばらつき、および撮像装置１０の光学系の姿勢などを把握するために、複数の領域が設定される。各ピーク幅特徴量算出エリアには、エリアＩＤ番号が割り当てられる。エリアＩＤ番号は、各ピーク幅特徴量算出エリアを識別するためのエリア識別情報である。

　図３Ａおよび図３Ｂは、ピーク幅特徴量算出エリアおよび選択エリアにおける拡大画像の例を示す図である。図３Ａは、ピーク幅特徴量算出エリア設定部２４によって設定されたピーク幅特徴量算出エリアの一例を示す。図３Ｂは、ピーク幅特徴量算出エリアの中から選択された選択エリア、たとえばピーク幅特徴量算出エリア６１４の撮像画像を拡大した拡大画像の一例である。

　ピーク幅特徴量算出エリア設定部２４は、光学系、たとえばレンズ１１の姿勢を把握するため、および表示パネル２の表示面全体を広くカバーするために、図３Ａに示すように、撮像エリア６１の中央部にピーク幅特徴量算出エリア６１３、および撮像エリア６１の４隅にピーク幅特徴量算出エリア６１１，６１２，６１４，６１５の合計５つのピーク幅特徴量算出エリアを予め設定している。撮像エリア６１は、表示パネル２の表示面６２の領域よりも一回り大きな範囲を撮像することができる範囲に設定される。

　図３Ｂに示した拡大画像は、ピーク幅特徴量算出エリア６１４の画像を拡大したものである。各ピーク幅特徴量算出エリアの撮像画像に基づいて、各ピーク幅特徴量算出エリアのピーク幅特徴量Ｐおよび平均輝度Ｉ_ａｖｅが算出される。

　図４Ａ～図４Ｆは、撮像装置１０の解像能力によるヒストグラムの変動の例を示す図である。ピーク幅特徴量算出部２５は、ピーク幅特徴量算出エリア設定部２４によって設定されているピーク幅特徴量算出エリアごとに、ピーク幅特徴量Ｐおよび平均輝度Ｉ_ａｖｅを算出する。ピーク幅特徴量算出部２５は、特徴量算出部および平均輝度算出部である。

　図４Ａは、予め定める表示パターンである周期パターン４１の画像である。図４Ａに示した画像の周期パターン４１は、白色部分４１１および黒色部分４１２が予め定める周期で交互に配列される縦縞模様の周期配列パターンである。図４Ａに示した周期パターン４１の画像が撮像装置１０によってそのまま撮像されて撮像画像となるのが理想状態であるが、実際には、撮像装置１０の光学系のばらつきや劣化、あるいは撮像装置１０の撮像素子１２の１つ１つの受光素子による離散化などによって、合焦状態でも、図４Ｃに示した周期パターン４２の画像となる。合焦状態は、光学系の焦点が表示パネル２の表示面に合っている状態である。図４Ｃに示した周期パターン４２の画像は、白色部分４２１と黒色部分４２２との境界部分に白色と黒色とが混合した中間色部分４２３が発生している。図４Ｅは、撮像装置１０の光学系が合焦状態から外れた非合焦状態の場合の周期パターン４３の画像である。白色部分および黒色部分の割合が極端に少なくなり、ほとんどが中間色部分となっている。非合焦状態は、光学系の焦点が表示パネル２の表示面に合っていない状態である。

　図４Ｂは、図４Ａに示した周期パターン４１の画像の輝度分布を表すヒストグラム５１である。図４Ｄは、図４Ｃに示した周期パターン４２の画像の輝度分布を表すヒストグラム５２である。図４Ｆは、図４Ｅに示した周期パターン４３の画像の輝度分布を表すヒストグラム５３である。いずれのヒストグラムも、縦軸は画素数（ｐｉｘ）であり、横軸は輝度（ｃｄ／ｍ^２）である。図４Ｂ、図４Ｄおよび図４Ｆに示されるヒストグラム５１～５３は、撮像素子１２の各画素について、各画素が撮像した撮像画像の輝度を測定し、測定した各画素の輝度を、輝度ごとの画素の数として集計した分布である。

　図４Ｂに示したヒストグラム５１は、各画素の輝度が、白色部分４１１の画素の輝度および黒色部分４１２の画素の輝度の２つの輝度のみから構成されており、２つのピーク５１１，５１２が生成されている。ヒストグラム５１は、周期パターン４１の白色部分４１１と黒色部分４１２とが完全に分離された状態であり、解像能力は高い状態であることを示している。

　図４Ｄに示したヒストグラム５２は、理想状態のヒストグラム５１と比較して、白色部分４２１と黒色部分４２２とが完全に分離されておらず、解像能力は低くなっていることを示している。図４Ｆに示したヒストグラム５３は、ヒストグラム５２と比較して、中間色の占める割合が高くなるため、分離がさらに低下し、解像能力もさらに低下していることを示している。

　ピーク幅特徴量算出部２５は、１つのピーク幅特徴量算出エリアについて、まず、平均輝度Ｉ_ａｖｅを算出する。平均輝度Ｉ_ａｖｅは、当該ピーク幅特徴量算出エリア内の各画素の輝度を平均した値であり、各画素の輝度をＩ_ｉとし、当該ピーク幅特徴量算出エリア内の画素数をｎとすると、平均輝度Ｉ_ａｖｅは、式（２）によって算出される。
　　　Ｉ_ａｖｅ＝（Ｉ_１＋Ｉ_２＋・・・＋Ｉ_ｎ）／ｎ　　　　　　…（２）

　次に、ピーク幅特徴量算出部２５は、当該ピーク幅特徴量算出エリアについて、式（３）によって、標準偏差σを算出する。

　すなわち、標準偏差σは、それぞれの画素における輝度Ｉ_ｉと平均輝度Ｉ_ａｖｅとの差分に相当する値であり、画素ごとの輝度のばらつきを表す。したがって、図４Ａに示した周期パターン４１の画像のような理想状態では、標準偏差σは大きい値になり、非合焦状態が進むほど、標準偏差σは小さい値になる。

　式（３）は、標準偏差σの単位の次元が輝度と同じであり、また標準偏差σが各画素の輝度Ｉ_ｉと平均輝度Ｉ_ａｖｅとの差の絶対値の大きさに依存して変動することを示している。換言すると、表示パネル２の光源の状態によって輝度が変化した場合、表示パネル２の光学的な劣化が発生していない場合であっても、標準偏差σの値が変動するので、光学系の状態を正確に評価することが困難になる場合がある。表示パネル２の光源の輝度が変化することによる影響を回避するために、標準偏差σを平均輝度Ｉ_ａｖｅで除算した値を評価値とする。具体的には、評価値であるピーク幅特徴量Ｐを式（１）によって算出する。

　記憶部であるピーク幅特徴量保存部２６は、ピーク幅特徴量Ｐおよび平均輝度Ｉ_ａｖｅを記憶して保存するための保存部であり、図示しない記憶像置に設けられる記憶領域である。ピーク幅特徴量算出部２５は、算出したピーク幅特徴量Ｐおよび平均輝度Ｉ_ａｖｅを、対応するエリアＩＤ番号、機種情報および時間情報と関連付けてピーク幅特徴量保存部２６に記憶する。ピーク幅特徴量Ｐおよび平均輝度Ｉ_ａｖｅは、検査対象物である表示パネル２ごとの検査結果であり、ピーク幅特徴量保存部２６に記憶され、検査結果の履歴として保存される。

　ピーク幅特徴量算出部２５は、画像データ保存部２３に記憶された画像データに基づいて、各ピーク幅特徴量算出エリアのピーク幅特徴量Ｐを算出するが、画像データはデータ量が大きく、多数の表示パネル２についての画像データを画像データ保存部２３に同時に記憶することは困難である。そこで、ピーク幅特徴量算出部２５は、画像データ保存部２３に記憶するデータ量を減らすために、定期的にピーク幅特徴量Ｐおよび平均輝度Ｉ_ａｖｅを算出し、算出したピーク幅特徴量Ｐおよび平均輝度Ｉ_ａｖｅをピーク幅特徴量保存部２６に記憶するとともに、画像データ保存部２３に記憶された画像データのうち、ピーク幅特徴量Ｐおよび平均輝度Ｉ_ａｖｅが算出された画像データを消去して、画像データ保存部２３に記憶可能なデータ量を増やす。

　ここで定期的にとは、たとえば各表示パネル２を検査するごとに、あるいは予め定める監視時間が経過するごとにということである。予め定める監視時間は、たとえば画像データ保存部２３に画像データを保存しておく最大の期間である画像保存期間を決めておき、その画像保存期間未満の値に設定される時間である。

　判定部である装置状態判定部２７は、定期的に、ピーク幅特徴量算出部２５に記憶されるピーク幅特徴量Ｐおよび平均輝度Ｉ_ａｖｅをそれぞれ時系列に表わすピーク幅特徴量変動パターンおよび平均輝度変動パターンを、機種名ごとおよびピーク幅特徴量算出エリアごとに生成し、生成したピーク幅特徴量変動パターンおよび平均輝度変動パターンに基づいて、装置状態の判定を行う。装置状態とは、画像処理検査装置１および製造工程の状態である。製造工程の状態は、製造工程で用いられる製造装置の状態を含む。装置状態の判定とは、画像処理検査装置１の異常の有無および製造工程の異常の有無の判定であり、メンテナンス等のための異常原因の特定を含む。ここでの定期的にとは、前記予め定める監視期間間隔でという意味であるが、作業者が図示しない操作部から指示することによって、不定期に判定を行うことも可能である。

　図５Ａ～図５Ｃは、機種ごとのピーク幅特徴量変動パターンおよび平均輝度変動パターンのケース１の例を示す図である。図６Ａ～図６Ｃは、機種ごとのピーク幅特徴量変動パターンおよび平均輝度変動パターンのケース２の例を示す図である。図７Ａ～図７Ｃは、機種ごとのピーク幅特徴量変動パターンおよび平均輝度変動パターンのケース３の例を示す図である。図８Ａ～図８Ｃは、機種ごとのピーク幅特徴量変動パターンおよび平均輝度変動パターンのケース４の例を示す図である。図５Ａ～図５Ｃ、図６Ａ～図６Ｃ、図７Ａ～図７Ｃおよび図８Ａ～図８Ｃは、装置状態に異常があると考えられる典型的な４つの例をケース１～４として示している。

　図５Ａ～図５Ｃ、図６Ａ～図６Ｃ、図７Ａ～図７Ｃおよび図８Ａ～図８Ｃは、機種名「機種Ａ」、「機種Ｂ」および「機種Ｃ」の３つの機種について、それぞれ上段にピーク幅特徴量変動パターン、および下段に平均輝度変動パターンを示している。ピーク幅特徴量変動パターンの縦軸はピーク幅特徴量Ｐであり、横軸は時間である。平均輝度変動パターンの縦軸は平均輝度Ｉ_ａｖｅであり、横軸は時間である。

　図５Ａ，図６Ａ，図７Ａおよび図８Ａは、機種名「機種Ａ」の機種についてのピーク幅特徴量変動パターンおよび平均輝度変動パターンであり、図５Ｂ，図６Ｂ，図７Ｂおよび図８Ｂは、機種名「機種Ｂ」の機種についてのピーク幅特徴量変動パターンおよび平均輝度変動パターンであり、図５Ｃ，図６Ｃ，図７Ｃおよび図８Ｃは、機種名「機種Ｃ」の機種についてのピーク幅特徴量変動パターンおよび平均輝度変動パターンである。

　図５Ａ～図５Ｃに示したケース１の例は、図５Ａに示した機種名「機種Ａ」の機種のピーク幅特徴量変動パターンが時刻ｔ１付近でのみ上昇している。平均輝度変動パターンは、どの機種も大きな変動はない。この場合、特定の機種のみで、一時的に、ピーク幅特徴量の上昇がみられるので、機種名「機種Ａ」、「機種Ｂ」および「機種Ｃ」の機種を共通に検査する画像処理検査装置１に異常が発生した可能性は低い。また、機種名「機種Ａ」の機種でのみ、一時的に、ピーク幅特徴量の上昇がみられるので、機種名「機種Ａ」の機種の表示パネル２の開口部の加工幅などに異常が発生した可能性があり、機種名「機種Ａ」の機種の製造工程に異常が発生した可能性が高い。したがって、装置状態判定部２７は、画像処理検査装置１のメンテナンスを行う必要はなく、機種名「機種Ａ」の機種の製造工程に異常が発生したと判定する。開口部は、表示パネル２の液晶パネルのうち、表示パネル２を背後から照明するバックライトの光が通過する部分、たとえばカラーフィルタが塗布されている領域である。

　異常の判定は、事前に変動量の閾値を設定しておき、閾値を基に定量的に判定する。ここで閾値の設定は、管理目標とする検査精度や製造工程異常の水準に応じて適宜決定すればよい。たとえば、装置異常によって欠陥検出率が低下する問題がある場合であって、検査精度の管理目標が欠陥検出率９０％以上の維持である場合は、欠陥検出率が９０％のときの特徴量を閾値として設定すればよい。ここで、閾値を設定するには、欠陥検出率が９０％のときの特徴量を知る必要があるが、その方法としては、欠陥検出率が９０％の装置状態時の特徴量を実際に計測する方法や、過去の欠陥未検出率と特徴量の履歴データから欠陥未検出率と特徴量の相関関係を求めることにより推定する方法がある。

　図６Ａ～図６Ｃに示したケース２の例は、図６Ａに示した機種名「機種Ａ」の機種、図６Ｂに示した機種名「機種Ｂ」の機種、および図６Ｃに示した機種名「機種Ｃ」の機種のすべてのピーク幅特徴量変動パターンが時刻ｔ２付近で上昇し、時刻ｔ２以降上昇した状態が継続している。平均輝度変動パターンは、どの機種も大きな変動はない。この場合、すべての機種で、ある時刻以降、ピーク幅特徴量が上昇し、上昇した状態が継続しているので、すべての機種を共通に検査する画像処理検査装置１の光学系に異常が発生した可能性がある。すべての機種で、ある時刻以降、ピーク幅特徴量が下降し、その時刻以降下降した状態が継続している場合も同様である。したがって、装置状態判定部２７は、画像処理検査装置１、特に光学系のメンテナンスを行う必要があり、製造工程については、異常はないと判定する。

　図７Ａ～図７Ｃに示したケース３の例は、図７Ａに示した機種名「機種Ａ」の機種の平均輝度変動パターンが時刻ｔ３付近でのみ上昇している。ピーク幅特徴量変動パターンは、どの機種も大きな変動はない。この場合、特定の機種のみで、一時的に、平均輝度の上昇がみられるので、機種名「機種Ａ」、「機種Ｂ」および「機種Ｃ」の機種を共通に検査する画像処理検査装置１に異常が発生した可能性は低い。また、製造工程の機種名「機種Ａ」の機種でのみ、一時的に、平均輝度の上昇がみられるので、製造工程で表示パネル２のカラーフィルタなどの透過率に異常が発生した可能性があり、機種名「機種Ａ」の機種のカラーフィルタの製造工程に異常が発生した可能性が高い。したがって、装置状態判定部２７は、画像処理検査装置１のメンテナンスを行う必要はなく、機種名「機種Ａ」の機種の製造工程に異常が発生したと判定する。

　図８Ａ～図８Ｃに示したケース４の例は、図８Ａに示した機種名「機種Ａ」の機種、図８Ｂに示した機種名「機種Ｂ」の機種、および図８Ｃに示した機種名「機種Ｃ」の機種のすべての平均輝度変動パターンが時刻ｔ４付近で上昇し、時刻ｔ４以降上昇した状態が継続している。ピーク幅特徴量変動パターンは、どの機種も大きな変動はない。この場合、すべての機種で、ある時刻以降、平均輝度が上昇し、上昇した状態が継続しているので、表示パネル２のコンタクト部に起因する点灯不良、および表示パネル２を背後から照明する画像処理検査装置１に含まれる図示しないバックライトの異常が考えられる。

　コンタクト部は、表示パネル２に形成される端子部である。表示パネル２を点灯させるためには表示パネル２に電圧をかける必要がある。端子部は、この電圧を表示パネル２に印加するための外部電極と接触する部分である。端子部は、表示パネル２の非表示エリアに設けられ、端子部から表示面の各画素への配線が引き出されている。外部電極は、たとえばコンタクト針によって構成され、コンタクト針がコンタクト部に押圧されて駆動用の信号の電圧がコンタクト針からコンタクト部に印加される。コンタクト針の折れ、汚れ、または位置ずれなどによって、電気的な接触不良が発生すると、コンタクト部に起因する点灯不良となる。以下、「コンタクト部に起因する点灯不良」のことを「コンタクト不良」といい、「バックライトの異常」のことを「バックライト異常」という。

　バックライトは、バックライト異常の場合、バックライトの一部に異常が発生しても、その異常が発生している一部の周辺部の光が、その異常が発生している一部の光を補う構造となっているため、輝度が低下した箇所と輝度が正常である箇所との境界では、光の強度は連続的に増加または減少する。一般的には、バックライト異常の場合、異常のある箇所の輝度がピーク幅特徴量検出エリアよりも非常に広い範囲で全体的に低下するため、ピーク幅特徴量はほとんど変化せずに、平均輝度のみが低下する。

　それに対して、コンタクト不良の場合は、コンタクト不良の箇所の輝度のみが低下し、それ以外の箇所はまったく輝度が変化しないため、コンタクト不良を起こした画素の輝度のみが低輝度側にシフトする。このため、コンタクト不良が軽度の場合は、輝度分布のピークを構成する画素の一部の輝度が、ピークから完全に分離されない程度に低輝度側にシフトするためピーク幅が大きくなり、平均輝度が低下すると同時にピーク幅特徴量が変化することになる。したがって、ピーク幅特徴量が変化せずに平均輝度のみが変化する場合は、バックライト異常の可能性が高いと言える。

　この場合、画像処理検査装置１の光学系、特に、画像処理検査装置１に含まれる図示しないバックライトの異常である可能性が高い。したがって、装置状態判定部２７は、画像処理検査装置１、特にバックライトのメンテナンスを行う必要があり、製造工程については、異常はないと判定する。

　このように、装置状態判定部２７は、複数の機種にわたるピーク幅特徴量変動パターンおよび平均輝度変動パターンの変動の傾向に基づいて判定するので、表示パネル２の検査で異常のあることが検出される原因が、画像処理検査装置１の異常によるものであるのか、製造工程の異常によるものであるのかを切り分けることができ、さらに、異常原因、たとえば画像処理検査装置１の中で重点的にメンテナンスを施す必要がある項目、および製造工程の中で重点的に見直すべき工程を特定することができる。

　図９Ａ～図９Ｅは、１つの機種についての選択エリアごとのピーク幅特徴量変動パターンおよび平均輝度変動パターンの例を示す図である。図９Ａは、ピーク幅特徴量算出エリア６１１について、図９Ｂは、ピーク幅特徴量算出エリア６１２について、図９Ｃは、ピーク幅特徴量算出エリア６１３について、図９Ｄは、ピーク幅特徴量算出エリア６１４について、図９Ｅは、ピーク幅特徴量算出エリア６１５について、それぞれ上段にピーク幅特徴量変動パターン、および下段に平均輝度変動パターンを示している。ピーク幅特徴量変動パターンの縦軸はピーク幅特徴量Ｐであり、横軸は時間である。平均輝度変動パターンの縦軸は平均輝度Ｉ_ａｖｅであり、横軸は時間である。

　図９Ｄに示したピーク幅特徴量算出エリア６１４のピーク幅特徴量変動パターンが時刻ｔ５付近で上昇し、時刻ｔ５以降上昇した状態が維持され、平均輝度変動パターンも時刻ｔ５付近で上昇し、時刻ｔ５以降若干変動はあるものの上昇した状態が維持されている。図９Ａ～図９Ｃおよび図９Ｅにそれぞれ示したピーク幅特徴量算出エリア６１１～６１３，６１５のピーク幅特徴量変動パターンおよび平均輝度変動パターンは、どのピーク幅特徴量算出エリアについても大きな変動はない。この場合、ピーク幅特徴量変動パターンの変動は解像能力の変動を示しており、また平均輝度変動パターンも変動しているので、特定のピーク幅特徴量算出エリアでの撮像画像の周期パターン自体に異常が発生した可能性が考えられる。

　予想される原因としては、作業者の不注意によって、表示パネル２の周囲環境からの光漏れで、表示パネル２へのなんらかの映り込みが発生した可能性、もしくは一部のコンタクト部の異常に起因する点灯不良が発生した可能性などが挙げられる。したがって、装置状態判定部２７は、画像処理検査装置１、特にコンタクト部のメンテナンス、もしくは光漏れがないかの見直しを行う必要があり、製造工程については、異常はないと判定する。

　ピーク幅特徴量および平均輝度に現れる変動が顕著であれば、表示パネル２の検査結果にも大きな変化が現れるので、検査結果だけからでも異常の有無を検出することは可能である。ところが、ピーク幅特徴量および平均輝度に現れる変動が顕著でなく、小さい変動であると、検査結果に大きな変化が見られないため、検査結果からだけでは異常の有無を検出することは困難である。しかしながら、本実施形態によれば、ピーク幅特徴量変動パターンおよび平均輝度変動パターンを用いて時系列に変動を監視するので、ピーク幅特徴量および平均輝度に現れる変動が顕著でなく、小さい変動である場合にも、異常の有無を検出することができる可能性が高い。

　判定情報保存部２８は、装置状態判定部２７によって判定された判定結果を記憶して保存するための保存部であり、図示しない記憶像置に設けられる記憶領域である。装置状態判定部２７は、判定結果を判定情報保存部２８に記憶する。

　装置メンテナンス指示部２９は、判定情報保存部２８に記憶された判定結果に応じた情報を表示装置３０に送り表示させる。装置メンテナンス指示部２９は、判定結果が、装置状態が正常であることを示していると、問題がないことを示す情報を表示装置３０に送り表示させる。また、装置メンテナンス指示部２９は、判定結果が、装置状態が異常であること、すなわち画像処理検査装置１に異常があること、または製造工程に異常があることを示しているとき、アラート情報を、表示装置３０に送り表示させる。アラート情報は、作業者に対して、画像処理検査装置１のメンテナンス、または製造工程の見直しが必要であることを通知するための情報である。

　表示装置３０は、判定結果表示部３１を含んで構成される。判定結果表示部３１は、制御装置２０の装置メンテナンス指示部２９から受け取った情報を表示する。

　このように、画像処理検査装置１は、ピーク幅特徴量と平均輝度とを組み合わせて複合的に監視するので、より詳細かつ精度高く、画像処理検査装置１の異常および製造工程の異常を監視し、画像処理検査装置１の詳細なメンテナンス指針および製造工程での詳細な見直し指針を作業者に通知することができる。

　図１０は、画像処理検査装置１が実行する判定処理の処理手順を示すフローチャートである。画像処理検査装置１の電源が投入されて動作可能になり、検査対象物である表示パネル２が、撮像装置１０に対向して載置されると、ステップＡ１に進む。

　撮像工程であるステップＡ１では、制御部２１は、画像データを取得する。具体的には、制御部２１は、撮像装置１０に表示パネル２の画像データを送るように指示する。撮像装置１０は、制御部２１から、表示パネル２の画像データを送るように指示されると、表示パネル２の表示面に表示された予め定める表示パターンの画像を撮像し、撮像した撮像画像を表わす画像データを制御装置２０に送る。制御部２１は、撮像装置１０から送られる画像データを受け取り、受け取った画像データを画像データ保存部２３に記憶して保存させる。制御部２１は、受け取った画像データの表示パネル２の機種情報、および画像データを受け取った時点の時間情報を、該画像データに関連付けて画像データ保存部２３に記憶する。

　ステップＡ２では、ピーク幅特徴量算出エリア設定部２４は、ピーク幅特徴量を算出する領域であるピーク幅特徴量算出エリアとして、画像データが示す撮像画像の領域内に複数の領域を設定する。常に同じ領域をピーク幅特徴量算出エリアとする場合、２回目以降は、このステップを実行することなくステップＡ３に進む。

　ステップＡ３では、ピーク幅特徴量算出部２５は、ピーク幅特徴量算出エリア設定部２４によって設定されているピーク幅特徴量算出エリアごとに、ピーク幅特徴量Ｐおよび平均輝度Ｉ_ａｖｅを算出する。ステップＡ３は、特徴量算出工程および平均輝度算出工程である。

　記憶工程であるステップＡ４では、ピーク幅特徴量算出部２５は、算出したピーク幅特徴量Ｐおよび平均輝度Ｉ_ａｖｅを、対応するエリアＩＤ番号、機種情報および時間情報と関連付けてピーク幅特徴量保存部２６に記憶して保存させる。

　ステップＡ５では、装置状態判定部２７は、ピーク幅特徴量Ｐおよび平均輝度Ｉ_ａｖｅを時系列に表わす。具体的には、装置状態判定部２７は、定期的に、ピーク幅特徴量算出部２５に記憶されるピーク幅特徴量Ｐおよび平均輝度Ｉ_ａｖｅをそれぞれ時系列に表わすピーク幅特徴量変動パターンおよび平均輝度変動パターンを、機種名ごとおよびピーク幅特徴量算出エリアごとに生成する。

　ステップＡ６では、装置状態判定部２７は、特徴量は正常であるか否かを判定する。装置状態判定部２７は、ステップＡ５で生成したピーク幅特徴量変動パターンおよび平均輝度変動パターンのいずれにも大きな変動がないとき、特徴量は正常であると判定し、ステップＡ７に進む。ステップＡ５で生成したピーク幅特徴量変動パターンおよび平均輝度変動パターンのうちのいずれかに大きな変動があるとき、特徴量は正常でないと判定し、ステップＡ９に進む。ステップＡ５およびステップＡ６は、判定工程である。

　ステップＡ７では、装置状態判定部２７は、装置状態が正常であることを示す判定結果を判定情報保存部２８に記憶して保存させる。装置状態は、画像処理検査装置１および製造工程の状態である。ステップＡ８では、装置メンテナンス指示部２９は、判定情報保存部２８に記憶される判定結果が、装置状態が正常であることを示しているので、問題がないことを示す情報を判定結果表示部３１に表示して、判定処理を終了する。問題がないことを示す情報は、たとえば「画像処理検査装置１および製造工程は正常である」というメッセージである。

　ステップＡ９では、装置状態判定部２７は、特徴量を解析し、異常原因を特定する。具体的には、装置状態判定部２７は、機種名ごとおよびピーク幅特徴量算出エリアごとに生成したピーク幅特徴量変動パターンおよび平均輝度変動パターンを解析し、異常原因を特定する。たとえば、図５Ａ～図５Ｃ、図６Ａ～図６Ｃ、図７Ａ～図７Ｃ、図８Ａ～図８Ｃおよび図９Ａ～図９Ｅに示したような解析を行い、画像処理検査装置１のどの部位に異常があるのか、および製造工程のどの工程およびどの製造装置に異常があるのかを特定する。装置状態判定部２７は、解析および特定が完了すると、装置状態が異常であることを示す判定結果および解析結果を判定情報保存部２８に記憶して保存させる。

　ステップＡ１０では、装置メンテナンス指示部２９は、判定情報保存部２８に記憶される判定結果が、装置状態が異常であることを示しているので、装置メンテナンスの実施等を促すアラート情報を判定結果表示部３１に表示して、判定処理を終了する。装置メンテナンスの実施を促すアラート情報は、たとえば「輝度値異常を検出、バックライトのメンテナンスを行ってください。」というメッセージである。

　上述した実施形態では、特徴量としてピーク幅特徴量Ｐを用いたが、表示パネル２の光源の状態によって輝度が変化することを考慮する必要がない場合は、平均輝度Ｉ_ａｖｅで除算する必要はなく、標準偏差σを特徴量としてもよい。この場合、上述したピーク幅特徴量Ｐに代えて標準偏差σを用い、ピーク幅特徴量変動パターンに代えて標準偏差変動パターンを用いればよい。標準偏差変動パターンは、標準偏差σを時系列に表わすパターンである。

　また、上述した実施形態では、ピーク幅特徴量と平均輝度とに基づいて、装置状態の判定を行ったが、ピーク幅特徴量および平均輝度に加えて、検査装置または製造工程に関する他のパラメータ、たとえば、画像処理検査装置１による検査結果に基づいて、装置状態の判定を行ってもよい。画像処理検査装置１による検査結果には、線欠陥数、エリアの輝度、分散、輝度自身、最大値、最小値、周期パターンの面積、および周期パターンの区間周波数などがある。

　以下、他のパラメータとして、画像処理検査装置１による表示パネル２に対する検査結果である線欠陥数を用いる例について説明する。線欠陥数は、フラットパネルディスプレイにおける欠陥の一種である線欠陥の発生数を指し、線欠陥とは、縦方向または横方向に複数の画素にわたって連続して発生する欠陥である。図８Ａ～図８Ｃに示したケース４では、すべての機種で平均輝度が低下する場合は、コンタクト不良およびバックライト異常の２つの要因が考えうるが、上述したように、ピーク幅特徴量の変化の有無によっていずれの異常であるかを判別することができる。

　しかし、コンタクト不良が重度の場合は、コンタクト不良を起こした画素が完全に点灯しなくなる。この場合は、輝度分布の点灯ピークを構成する画素の一部の輝度が、低輝度側に大きくシフトして非点灯ピークと完全に重なる。点灯ピークは、図４Ｂに示したピーク５１１であり、非点灯ピークは、たとえば図４Ｂに示したピーク５１２である。ピーク幅特徴量は、点灯と非点灯との２つのピークをもつ輝度分布のピーク幅より算出する特徴量であるため、点灯ピークの一部が非点灯ピークに移るような極端なコンタクト不良の場合は、点灯ピークの高さが減少して非点灯ピークの高さが増加するだけであり、ピーク幅に変化が表れない。このため、ピーク幅特徴量および平均輝度のみから判別する場合はコンタクト不良とバックライト異常とを誤判定する可能性がある。

　このような場合に、画像処理検査装置１の検査結果である線欠陥数を用いると、極端なコンタクト不良を、線欠陥として検出することができる。ところが、バックライト異常の場合は、バックライトの一部が故障した場合であっても、周辺部の光が故障した一部の光を補うので、輝度の変動は比較的軽度であり、線欠陥として検出されることは稀である。

　したがって、ピーク幅特徴量および平均輝度に加えて、画像処理検査装置１の検査結果である線欠陥数を特徴量に追加することによって、図８Ａ～図８Ｃに示したケース４の例のように、すべての機種で平均輝度が低下する例については、線欠陥数が多い場合に、コンタクト不良と判定し、線欠陥数が少ない場合に、バックライト異常と判定すれば、重度のコンタクト不良の場合であっても、より精度よく異常の要因を特定することができる。

　上述した実施形態では、制御部２１のＣＰＵによって実行されるプログラムは、制御部２１の図示しない記憶装置に記憶されているが、プログラムが記憶されるのは、制御部２１の図示しない記憶装置に限定されるものではなく、制御部２１のＣＰＵなどのコンピュータで読取り可能な記録媒体に記録しておき、実行時に、この記録媒体から読み出して制御部２１の図示しない記憶装置に記憶させる構成であってもよい。記録媒体は、たとえば図示しない外部記憶装置としてプログラム読取装置を設け、そこに記録媒体を挿入することによって読取り可能な記録媒体であってもよいし、あるいは他の装置の記憶装置であってもよい。

　いずれの記録媒体であっても、記憶されているプログラムがコンピュータからアクセスされて実行される構成であればよい。あるいはいずれの記録媒体であっても、プログラムが読み出され、読み出されたプログラムが、制御部２１の図示しない記憶装置に記憶されて、そのプログラムが実行される構成であればよい。さらに通信ネットワークを介して他の装置からダウンロードされて制御部２１の図示しない記憶装置に記憶させてもよい。ダウンロード用のプログラムは、予め制御部２１の図示しない記憶装置に記憶しておくか、あるいは別な記録媒体から記憶部１４にインストールしておく。

　本体と分離可能に構成される記録媒体は、たとえば磁気テープ／カセットテープなどのテープ系の記録媒体、フレキシブルディスク／ハードディスクなどの磁気ディスクもしくはＣＤ－ＲＯＭ（Compact Disk Read Only Memory）／ＭＯ（Magneto Optical disk）／ＭＤ（Mini Disc）／ＤＶＤ（Digital Versatile Disk）などの光ディスクのディスク系の記録媒体、ＩＣ（Integrated Circuit）カード（メモリカードを含む）／光カードなどのカード系の記録媒体、またはマスクＲＯＭ／ＥＰＲＯＭ（Erasable Programmable Read Only Memory）／ＥＥＰＲＯＭ（Electrically Erasable Programmable Read Only Memory）／フラッシュＲＯＭなどの半導体メモリを含む固定的にプログラムを担持する記録媒体であってもよい。したがって、本発明は、制御部２１のＣＰＵなどのコンピュータを画像処理検査装置１で実行される検査方法の各工程を実行させるためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体として提供することができる。

　このように、階調表示可能な複数の画素が配列される表示面が形成される表示パネル２を検査するにあたって、撮像装置１０は、表示パネル２の表示面に表示される予め定める表示パターンの画像を撮像し、撮像した画像を表す画像データを生成する。ピーク幅特徴量算出部２５は、撮像装置１０によって生成された画像データに基づいて、前記撮像した画像の輝度分布を生成し、生成した輝度分布の特徴を表す特徴量を算出する。ピーク幅特徴量算出部２５は、撮像装置１０によって生成された画像データに基づいて、前記撮像した画像の輝度を平均した平均輝度を算出する。ピーク幅特徴量保存部２６は、表示パネル２ごとに、ピーク幅特徴量算出部２５によって算出される特徴量およびピーク幅特徴量算出部２５によって算出される平均輝度を記憶する。そして、装置状態判定部２７は、ピーク幅特徴量保存部２６に記憶された特徴量を時系列に表わす特徴量変動パターン、およびピーク幅特徴量保存部２６に記憶された平均輝度を時系列に表わす平均輝度変動パターンに基づいて、予め定める時間間隔で、自画像処理検査装置１によって検出された表示パネル２の異常が、自画像処理検査装置１に起因するか否か、および表示パネル２を製造する製造工程に起因するか否かを判定する。

　したがって、特殊な表示パターンや外部装置を追加することなく、表示パネル２の異常が画像処理検査装置１の異常に起因するのか製造工程の異常に起因するのかを容易にかつ精度よく判定することができる。また、画像処理検査装置１および製造工程の状態を、常時継続的に人手を介さず自動的に監視することができ、製造工程の管理能力の向上に寄与することができる。

　さらに、ピーク幅特徴量算出部２５は、前記画像データが示す画像の領域のうち予め定める複数の領域ごとの画像の特徴量を算出する。ピーク幅特徴量算出部２５は、前記予め定める複数の領域ごとの画像の平均輝度を算出する。ピーク幅特徴量保存部２６は、前記予め定める複数の領域ごとに特徴量および平均輝度を記憶する。そして、装置状態判定部２７は、前記予め定める複数の領域ごとの特徴量を時系列に表わす特徴量変動パターン、および前記予め定める複数の領域ごとの平均輝度を時系列に表わす平均輝度変動パターンに基づいて、前記予め定める複数の領域ごとに、自画像処理検査装置１に異常があるか否かおよび製造工程に異常があるか否かを判定する。

　したがって、表示パネル２の表示面全体の広域で評価する場合に比べて、表示パネル２の表示面内での輝度むらのようなばらつきの影響を低減して画像処理検査装置１の状態の評価の精度を向上させ、かつ表示パネル２の表示面の１個所の領域のみで評価する場合に比べて、表示パネル２の表示面の複数の個所での画像処理検査装置１の状態の判別が可能となる。たとえば、撮像装置１０の光軸が表示パネル２の表示面に対して傾いている場合、表示面の一部の個所ではレンズの焦点が適合であっても、異なる別の個所ではレンズの焦点が不適合となることがある。このような場合においても、表示パネル２の表示面全体の複数の個所で個別に画像処理検査装置１の状態の判別が可能なため、撮像装置１０の光軸の傾きを検出することができる。

　さらに、前記予め定める表示パターンは、輝度分布が２つの輝度の画素のみからなる分布であるので、白黒など輝度が２値からなる縦縞模様や市松模様などの単純な表示パターンによって検査することができる。

　さらに、前記特徴量は、輝度の標準偏差であるので、撮像装置１０のフォーカス異常のようなピーク幅特徴量に影響をあたえる画像処理検査装置１の異常を判定することができる。

　さらに、前記特徴量は、輝度の標準偏差を平均輝度で除算した値であるので、撮像装置１０のフォーカス異常のようなピーク幅特徴量に影響をあたえる画像処理検査装置１の異常とバックライト異常のような平均輝度に影響をあたえる画像処理検査装置１の異常とを両方判定することができる。また、標準偏差を平均輝度で除算して正規化することによって、製造工程に起因する個々の表示パネル２のばらつきがピーク幅特徴量に反映される影響を低減することが可能である。

　さらに、装置状態判定部２７は、特徴量変動パターンおよび平均輝度変動パターンに加えて、自画像処理検査装置１による複数の検査結果のうちの少なくとも１つの検査結果に基づいて、表示パネル２に異常があるか否かおよび自画像処理検査装置１に異常があるか否かを判定するので、より精度よく判定することができる。

　さらに、画像を撮像する撮像装置１０およびピーク幅特徴量保存部２６を有し、階調表示可能な複数の画素が配列される表示面が形成される表示パネル２を検査するにあたって、図１０に示したステップＡ１では、表示パネル２に形成される表示面に表示される予め定める表示パターンの画像を撮像装置１０によって撮像し、撮像した画像を表す画像データを生成する。図１０に示したステップＡ３では、図１０に示したステップＡ１で生成された画像データに基づいて、前記撮像した画像の輝度分布を生成し、生成した輝度分布の特徴を表す特徴量を算出する。図１０に示したステップＡ３では、図１０に示したステップＡ１で生成された画像データに基づいて、前記撮像した画像の輝度を平均した平均輝度を算出する。図１０に示したステップＡ４では、表示パネル２ごとに、図１０に示したステップＡ３で算出される特徴量および図１０に示したステップＡ３で算出される平均輝度をピーク幅特徴量保存部２６に記憶する。そして、ステップＡ５およびステップＡ６では、図１０に示したステップＡ４で記憶された特徴量を時系列に表わす特徴量変動パターン、および図１０に示したステップＡ４で記憶された平均輝度を時系列に表わす平均輝度変動パターンに基づいて、予め定める時間間隔で、自画像処理検査装置１によって検出された表示パネル２の異常が、自画像処理検査装置１に起因するか否か、および表示パネル２を製造する製造工程に起因するか否かを判定する。

　したがって、特殊な表示パターンや外部装置を追加することなく、表示パネルの異常が画像処理検査装置１の異常に起因するのか製造工程の異常に起因するのかを容易にかつ精度よく判定することができる。また、画像処理検査装置１および製造工程の状態を、常時継続的に人手を介さず自動的に監視することができ、製造工程の管理能力の向上に寄与することができる。

　さらに、画像を撮像する撮像装置１０、ピーク幅特徴量保存部２６および制御部２１のＣＰＵを有し、階調表示可能な複数の画素が配列される表示面が形成される表示パネル２を検査する画像処理検査装置１に含まれる制御部２１のＣＰＵに、表示パネル２に形成される表示面に表示される予め定める表示パターンの画像を撮像装置１０によって撮像し、撮像した画像を表す画像データを生成する図１０に示したステップＡ１と、図１０に示したステップＡ１で生成された画像データに基づいて、前記撮像した画像の輝度分布を生成し、生成した輝度分布の特徴を表す特徴量を算出する図１０に示したステップＡ３と、図１０に示したステップＡ１で生成された画像データに基づいて、前記撮像した画像の輝度を平均した平均輝度を算出する図１０に示したステップＡ３と、表示パネル２ごとに、図１０に示したステップＡ３で算出される特徴量および図１０に示したステップＡ３で算出される平均輝度をピーク幅特徴量保存部２６に記憶する図１０に示したステップＡ４と、図１０に示したステップＡ４で記憶された特徴量を時系列に表わす特徴量変動パターン、および図１０に示したステップＡ４で記憶された平均輝度を時系列に表わす平均輝度変動パターンに基づいて、予め定める時間間隔で、自画像処理検査装置１によって検出された表示パネル２の異常が、自画像処理検査装置１に起因するか否か、および表示パネル２を製造する製造工程に起因するか否かを判定するステップＡ５およびステップＡ６とを実行させるためプログラムを提供することができる。

　さらに、前記プログラムを記録したコンピュータ読取り可能な記録媒体を提供することができる。

　本発明は、その精神または主要な特徴から逸脱することなく、他のいろいろな形態で実施できる。したがって、前述の実施形態はあらゆる点で単なる例示に過ぎず、本発明の範囲は特許請求の範囲に示すものであって、明細書本文には何ら拘束されない。さらに、特許請求の範囲に属する変形や変更は全て本発明の範囲内のものである。

　１　画像処理検査装置
　２　表示パネル
　１０　撮像装置
　１１　レンズ
　１２　撮像素子
　２０　制御装置
　２１　制御部
　２２　画像メモリ
　２３　画像データ保存部
　２４　ピーク幅特徴量算出エリア設定部
　２５　ピーク幅特徴量算出部
　２６　ピーク幅特徴量保存部
　２７　装置状態判定部
　２８　判定情報保存部
　２９　装置メンテナンス指示部
　３０　表示装置
　６１　パネル表示面
　６２　撮像エリア

Claims

　階調表示可能な複数の画素が配列される表示面が形成される検査対象物を検査する検査装置であって、
　検査対象物の表示面に表示される予め定める表示パターンの画像を撮像し、撮像した画像を表す画像データを生成する撮像部と、
　撮像部によって生成された画像データに基づいて、前記撮像した画像の輝度分布を生成し、生成した輝度分布の特徴を表す特徴量を算出する特徴量算出部と、
　撮像部によって生成された画像データに基づいて、前記撮像した画像の輝度を平均した平均輝度を算出する平均輝度算出部と、
　検査対象物ごとに、特徴量算出部によって算出される特徴量および平均輝度算出部によって算出される平均輝度を記憶する記憶部と、
　記憶部に記憶された特徴量を時系列に表わす特徴量変動パターン、および記憶部に記憶された平均輝度を時系列に表わす平均輝度変動パターンに基づいて、予め定める時間間隔で、自検査装置によって検出された検査対象物の異常が、自検査装置に起因するか否か、および検査対象物を製造する製造工程に起因するか否かを判定する判定部とを含むことを特徴とする検査装置。
　前記特徴量算出部は、前記画像データが示す画像の領域のうち予め定める複数の領域ごとの画像の特徴量を算出し、
　前記平均輝度算出部は、前記予め定める複数の領域ごとの画像の平均輝度を算出し、
　前記記憶部は、前記予め定める複数の領域ごとに特徴量および平均輝度を記憶し、
　前記判定部は、前記予め定める複数の領域ごとの特徴量を時系列に表わす特徴量変動パターン、および前記予め定める複数の領域ごとの平均輝度を時系列に表わす平均輝度変動パターンに基づいて、前記予め定める複数の領域ごとに、自検査装置に異常があるか否かおよび製造工程に異常があるか否かを判定することを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
　前記予め定める表示パターンは、輝度分布が２つの輝度の画素のみからなる分布であることを特徴とする請求項１または２に記載の検査装置。
　前記特徴量は、輝度の標準偏差であることを特徴とする請求項１～３のうちいずれか１つに記載の検査装置。
　前記特徴量は、輝度の標準偏差を平均輝度で除算した値であることを特徴とする請求項１～３のうちいずれか１つに記載の検査装置。
　前記判定部は、特徴量変動パターンおよび平均輝度変動パターンに加えて、自検査装置による複数の検査結果のうちの少なくとも１つの検査結果に基づいて、検査対象物に異常があるか否かおよび自検査装置に異常があるか否かを判定することを特徴とする請求項１～５のうちいずれか１つに記載の検査装置。
　画像を撮像する撮像部および記憶部を有し、階調表示可能な複数の画素が配列される表示面が形成される検査対象物を検査する検査装置が実行する検査方法であって、
　検査対象物に形成される表示面に表示される予め定める表示パターンの画像を撮像部によって撮像し、撮像した画像を表す画像データを生成する撮像工程と、
　撮像工程で生成された画像データに基づいて、前記撮像した画像の輝度分布を生成し、生成した輝度分布の特徴を表す特徴量を算出する特徴量算出工程と、
　撮像工程で生成された画像データに基づいて、前記撮像した画像の輝度を平均した平均輝度を算出する平均輝度算出工程と、
　検査対象物ごとに、特徴量算出工程で算出される特徴量および平均輝度算出工程で算出される平均輝度を記憶部に記憶する記憶工程と、
　記憶工程で記憶された特徴量を時系列に表わす特徴量変動パターン、および記憶工程で記憶された平均輝度を時系列に表わす平均輝度変動パターンに基づいて、予め定める時間間隔で、自検査装置によって検出された検査対象物の異常が、自検査装置に起因するか否か、および検査対象物を製造する製造工程に起因するか否かを判定する判定工程とを含むことを特徴とする検査方法。
　画像を撮像する撮像部、記憶部およびコンピュータを有し、階調表示可能な複数の画素が配列される表示面が形成される検査対象物を検査する検査装置に含まれるコンピュータに、
　　検査対象物に形成される表示面に表示される予め定める表示パターンの画像を撮像部によって撮像し、撮像した画像を表す画像データを生成する撮像工程と、
　　撮像工程で生成された画像データに基づいて、前記撮像した画像の輝度分布を生成し、生成した輝度分布の特徴を表す特徴量を算出する特徴量算出工程と、
　　撮像工程で生成された画像データに基づいて、前記撮像した画像の輝度を平均した平均輝度を算出する平均輝度算出工程と、
　　検査対象物ごとに、特徴量算出工程で算出される特徴量および平均輝度算出工程で算出される平均輝度を記憶部に記憶する記憶工程と、
　　記憶工程で記憶された特徴量を時系列に表わす特徴量変動パターン、および記憶工程で記憶された平均輝度を時系列に表わす平均輝度変動パターンに基づいて、予め定める時間間隔で、自検査装置によって検出された検査対象物の異常が、自検査装置に起因するか否か、および検査対象物を製造する製造工程に起因するか否かを判定する判定工程とを実行させるためのプログラムが記録されたコンピュータ読取り可能な記録媒体。