WO2013119014A1 - 전극패턴 검사장치 - Google Patents

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WO2013119014A1
WO2013119014A1 PCT/KR2013/000906 KR2013000906W WO2013119014A1 WO 2013119014 A1 WO2013119014 A1 WO 2013119014A1 KR 2013000906 W KR2013000906 W KR 2013000906W WO 2013119014 A1 WO2013119014 A1 WO 2013119014A1
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electrode pattern
sensor unit
contact
open
probe
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PCT/KR2013/000906
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English (en)
French (fr)
Inventor
김철주
박지군
박준희
김진열
야마오카슈지
Original Assignee
로체 시스템즈(주)
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/42—Measurement or testing during manufacture
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/50—Testing of electric apparatus, lines, cables or components for short-circuits, continuity, leakage current or incorrect line connections

Definitions

  • the present invention relates to an electrode pattern inspection apparatus, and more specifically, to the electrical pattern of the electrode pattern formed on the glass panel for flat-panel TV, that is, the electrode pattern inspection that can inspect the open (open) and short (SHORT) Relates to a device.
  • an electrode pattern formed of a data line and a gate line is formed on a surface of a flat panel TV glass panel such as a PDP and an LED.
  • the line width and pitch of one electrode pattern are 50 ⁇ m and 300 ⁇ m, respectively, whereas the line length reaches 1 m, so that not only in the process of forming the electrode pattern but also in the subsequent repeated heat treatment Frequently, lines are broken or short with an adjacent line. Therefore, inspecting whether the formed electrode pattern is short-circuited in the middle of the manufacturing process is an essential process for increasing the yield of the finished product.
  • a test pin block is generally used, and the test using the test pin block is performed by connecting a plurality of probes provided in the test pin block to both ends of the electrode pattern, The contact method of conducting the conduction test of the electrode pattern to check the opening and short-circuit of the electrode pattern, and the non-contact method of receiving power applied without contacting the probe on one side and applying power to the electrode pattern. Used.
  • the conventional electrode pattern inspection apparatus as described above has a problem in that it is possible to detect whether the electrode pattern is open or shorted, but not to the position of the open or shorted electrode pattern.
  • FIG. 1 is a diagram illustrating an electrode pattern formed on a general glass panel.
  • a general electrode pattern 500 may include a plurality of pad parts 510 for contacting a probe, an active area 520 connected to the pad part 510, and the active area ( And a fan out area 530 that is connected to 520 to distribute the output to another location.
  • the plurality of electrode patterns 500 formed in the active area 520 are formed horizontally with each other, but the electrode patterns 500 formed in the fan out area 530 have a glass panel 50 for distributing output to other places.
  • the gap between the electrode patterns 500 neighboring each other by the predetermined distance toward the end side of the N) is gradually reduced, and then the electrode patterns 500 neighboring each other are horizontally formed.
  • the electrode pattern 500 of the general glass panel 50 is formed to be divided into the active area 520 and the fan out area 530, thereby performing electrical inspection of the electrode pattern 500 using a general electrode pattern inspection device.
  • the active area 520 and the fan out area 530 had to be separately performed.
  • the conventional electrode pattern inspection apparatus as described above has a problem that the electrode pattern inspection takes a long time.
  • Another object of the present invention is to provide a contact electrode pattern inspection apparatus capable of simultaneously performing an electrical inspection of an active area of an electrode pattern and an electrical inspection of a fan out area.
  • Still another object of the present invention is to provide a non-contact electrode pattern inspection apparatus capable of detecting open and short positions as well as open and short positions of electrode patterns formed in a fan out area in one scanning operation.
  • Still another object of the present invention is an electrical inspection capable of detecting open and short positions as well as opening and shorting of an electrode pattern formed in a fan out area, and opening and shorting together with opening and shorting of an electrode pattern formed in an active area. It is to provide a non-contact electrode pattern inspection apparatus that can simultaneously perform an electrical inspection that can detect even a position.
  • An apparatus for inspecting a contact type electrode pattern includes a first probe contacting an electrode pattern of a glass panel to apply an electrical signal to the electrode pattern, and an electrode pattern applied from the first probe.
  • a first sensor unit capable of receiving an electrical signal transmitted through the non-contact method and detecting whether the electrode pattern formed in the active area is opened and shorted, and the position thereof; and the electrode pattern of the glass panel is in electrical contact with the electrode pattern.
  • the active area detection sensor unit is formed by an array sensor in which a plurality of sensors are disposed along the length direction of the electrode pattern, so that each sensor is positioned at an electrode pattern for an electrical signal transmitted through the electrode pattern.
  • the opening and the short position of the electrode pattern may be detected at the same time as detecting whether the electrode pattern formed in the active area has been received.
  • the first sensor unit is installed to be movable along the electrode pattern.
  • the second sensor unit is installed to be movable in a direction perpendicular to the scan direction.
  • the second sensor unit is formed by an array sensor.
  • An apparatus for inspecting a non-contact electrode pattern includes a first probe for applying an electrical signal in a non-contact manner to an electrode pattern formed in a fan out area of a glass panel, and applied from the first probe to the fan. And a first sensor unit configured to receive an electrical signal transmitted through an electrode pattern formed in the out area in a non-contact manner and detect whether the electrode pattern formed in the fan out area is open or short.
  • the first sensor unit is installed to be movable in a direction perpendicular to the scan direction.
  • the first sensor unit is formed by an array sensor in which a plurality of sensors are disposed along a length direction of an electrode pattern, and each sensor receives an electrical signal transmitted through the electrode pattern for each position of the electrode pattern. It is possible to detect whether the electrode pattern formed in the fan out area is open or short, and even open and short positions.
  • the non-contact electrode pattern inspection apparatus the second probe for contacting the pad portion formed in the electrode pattern of the glass panel to apply an electrical signal to the electrode pattern formed in the active area
  • the second probe may further include a second sensor unit configured to receive an electrical signal transmitted from the electrode pattern formed in the active area in a non-contact manner and detect whether the electrode pattern formed in the active area is open, shorted, and positioned.
  • the second sensor unit is formed by an array sensor in which a plurality of sensors are arranged along the length direction of the electrode pattern, and each sensor transmits electrical signals transmitted through the electrode pattern for each position of the electrode pattern.
  • each sensor transmits electrical signals transmitted through the electrode pattern for each position of the electrode pattern.
  • the second sensor unit is installed to be movable along the electrode pattern.
  • the contact type electrode pattern inspection apparatus is capable of detecting whether the electrode pattern is opened or shorted in one scanning operation, as well as opening and shorting positions of the electrode pattern formed in the active area.
  • the electrode pattern inspection time can be shortened, thereby improving the production efficiency of the glass panel.
  • the contact electrode pattern inspection apparatus according to an embodiment of the present invention, the electrode pattern inspection time by performing the electrical inspection of the active area and the fan out area of the electrode pattern at the same time in one scan operation By further shortening, there is an effect that can further improve the production efficiency of the glass panel.
  • the non-contact electrode pattern inspection apparatus so as to quickly and accurately detect the open and short positions as well as the detection of the open and short of the electrode pattern formed in the fan out area in one scan operation.
  • the electrode pattern inspection time can be shortened, thereby improving the production efficiency of the glass panel.
  • the non-contact electrode pattern inspection apparatus the electrical inspection for detecting whether the electrode pattern formed in the fan out area is open and short, and the position thereof, and the opening and short of the electrode pattern formed in the active area
  • the electrical inspection to detect whether or not and the position can be performed at the same time to further shorten the electrode pattern inspection time has the effect of further improving the production efficiency of the glass panel.
  • FIG. 1 is a view showing an electrode pattern formed on a typical glass panel
  • FIG. 2 is a schematic view for explaining a contact electrode pattern inspection apparatus according to a first embodiment of the present invention
  • FIG. 3 is a view showing an example of performing an electrical inspection of the electrode pattern by the contact electrode pattern inspection apparatus according to a first embodiment of the present invention
  • Figure 4 is a schematic diagram for explaining a non-contact electrode pattern inspection apparatus according to a second embodiment of the present invention
  • FIG. 5 is a view showing an example of performing an electrical inspection of the electrode pattern by a non-contact electrode pattern inspection apparatus according to a second embodiment of the present invention
  • first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another.
  • the first component may be referred to as the second component, and similarly, the second component may also be referred to as the first component.
  • FIG. 2 is a schematic view for explaining a contact electrode pattern inspection apparatus according to a first embodiment of the present invention.
  • the contact electrode pattern inspection apparatus 100 includes a moving block 110, a first probe 120, a first sensor unit 130, and a second probe ( 140, the second sensor unit 150.
  • the movable block 110 is installed to be positioned above the glass panel 30 (see FIG. 3).
  • the moving block 110 may be installed in the three-axis moving means movable in the three axis direction.
  • the three-axis moving means capable of moving the moving block 110 in the three-axis direction is generally applied to an electrode pattern inspection device, and for the convenience of description, the schematic and description of the configuration thereof will be omitted. .
  • the first probe 120 is installed in the moving block 110 to be in contact with the electrode pattern of the glass panel 30 to apply an electrical signal to the electrode pattern 300.
  • the first probe path 120 may be in direct contact with the electrode pattern 300 of the glass panel 30 to directly apply an electrical signal to the electrode pattern 300.
  • the first probe 120 is in contact with the electrode pattern 300 of the glass panel 30 to apply an electrical signal to the electrode pattern 300.
  • the first probe 120 is preferably installed directly on the moving block 110 as described above to be moved in conjunction with the moving block 110, otherwise, the first probe ( 120 may be installed in a test pin block (not shown) installed to be movable in three axes along the side of the moving block 110.
  • the first probe 120 may be attached to the test pin block or the moving block 110 by a wire bonding method.
  • the first probe 120 may be fixed to the test pin block or the moving block 110 by a plurality of fixing members.
  • the first sensor unit 130 receives the electrical signal applied from the first probe 120 and transmitted through the electrode pattern 300 in a non-contact manner to form the electrode pattern 300 in the active area 320. Can be detected as open or short.
  • the first sensor unit 130 may be installed in the moving block 110 by the moving means 131 to be movable along the electrode pattern 300.
  • the moving means 131 capable of moving the first sensor unit 130 along the electrode pattern 300 is generally applied to a general mechanical device, and a detailed description thereof is omitted for convenience of description. do.
  • the first sensor unit 130 is formed by an array sensor in which a plurality of sensors are disposed along a length direction of the electrode pattern 300 (the electrode pattern formed in the active area 320).
  • the first sensor unit 130 receives an electrical signal transmitted through the electrode pattern 300 by each sensor by the position of the electrode pattern 300, the electrode pattern 300 formed in the active area 320 ) Can be detected, as well as open and short positions of the electrode pattern 300.
  • the first sensor unit 130 is electrically transmitted through the electrode pattern 300 by forming a plurality of sensors by an array sensor disposed along a length direction of the electrode pattern 300 formed in the active area 320. Each sensor may receive a signal for each position of the electrode pattern 300. Therefore, the contact electrode pattern inspection apparatus according to the present embodiment can detect the opening and shorting of the electrode pattern 300 with only one detection operation, and also open and short positions of the electrode pattern formed in the active area 320. Can be detected accurately. For example, when the electrode pattern 300 formed in the active area 320 is shorted, electrical signals are no longer applied along the electrode pattern 300 from the shorted position of the electrode pattern 300.
  • the sensor provided from the electrode pattern 300 to which the first probe 120 is contacted to the position before the electrode pattern 300 is shorted can detect an electrical signal, but from the sensor provided at the shorted position, No electrical signal is detected. Accordingly, the position of the electrode pattern 300 in which the sensor, for which the electrical signal is not detected, is located is detected as a shorted portion so that the open and shorted positions of the electrode pattern 300 can be detected quickly and accurately.
  • the second probe 140 is installed in the moving block 110 to be in contact with the electrode pattern 300 of the glass panel 30 to apply an electrical signal to the electrode pattern 300.
  • the second probe path 140 may directly contact the electrode pattern 300 of the glass panel 30 to directly apply an electrical signal to the electrode pattern 300.
  • Contact probes can be used.
  • the second probe 140 is in contact with the electrode pattern 300 of the glass panel 30 to apply an electrical signal to the electrode pattern 300.
  • the second probe 140 is preferably installed directly on the moving block 110 to be moved in conjunction with the moving block 110, otherwise, the second probe 140 is the
  • the moving block 110 may be installed in a test pin block (not shown) installed to be movable in three axes next to one side.
  • the second probe 140 may be attached to the test pin block or the moving block by a wire bonding method.
  • the second probe 140 may be fixed to the test pin block or the moving block 110 by a plurality of fixing members.
  • the second sensor unit 150 receives the electrical signal applied from the second probe 140 and transmitted through the electrode pattern 300 in a non-contact manner to form the electrode pattern 300 in the fan out area 330. ) Open and short can be detected.
  • the second sensor unit 150 may be installed in the moving block 110 by the moving means 151 to be movable in a direction perpendicular to the scan direction of the contact type electrode pattern inspection apparatus according to the present embodiment.
  • the movement means 151 capable of moving the second sensor unit 150 in a direction perpendicular to the scan direction moves to move the first sensor unit 130 along the electrode pattern 300.
  • the second sensor unit 150 is formed by an array sensor in which a plurality of sensors are disposed along the scan direction.
  • the contact electrode pattern inspection apparatus is further installed to be located on one side of the first and second probes 120 and 140, so that the first and second probes 120, It may be confirmed whether the 140 is properly in contact with the electrode pattern 300 formed on the glass panel 20.
  • FIGS. 2 and 3 a process and an effect of performing an open and short inspection of an electrode pattern using the contact electrode pattern inspection apparatus according to the first embodiment of the present invention will be described below.
  • FIG 3 is a view showing an example of performing an electrical inspection of the electrode pattern by the contact electrode pattern inspection apparatus according to a first embodiment of the present invention.
  • the moving block 110 in order to perform the open and short inspection of the electrode pattern 300 formed on the glass panel 30 using the contact electrode pattern inspection apparatus according to the present embodiment, first, the moving block 110. ) So that the first and second probes 120 and 140 installed in the moving block 110 are in contact with the electrode pattern 300 so that an electrical signal can be applied to the electrode pattern 300.
  • the first probe 120 applies an electrical signal to the electrode pattern 300 for the open and short inspection of the electrode pattern 300 formed in the active area 320
  • the second probe 140 is An electrical signal for open and short inspection of the electrode pattern 300 formed in the fan out area 330 is applied to the electrode pattern 300.
  • the electrical signal applied to the electrode pattern 300 by the first probe 120 is received in a non-contact manner by the first sensor unit 130, thereby forming the electrode pattern 300 formed in the active area 320. It is possible to detect whether the door is open or short.
  • the first sensor unit 120 is formed by an array sensor disposed along the length direction of the electrode pattern 300 and is applied by the first probe 120 to be transmitted through the electrode pattern 300. Each sensor receives the electrical signal for each position of the electrode pattern 300, and simultaneously detects whether the electrode pattern 300 formed in the active area 320 is open or short, and at the same time, the electrode pattern formed in the active area 320. Even open and short positions of 300 can be detected.
  • the electrical inspection time of the electrode pattern 300 can be shortened.
  • the electrical signal applied to the electrode pattern 300 by the second probe 140 is received in a non-contact manner by the second sensor unit 150 to form an electrode pattern 300 in the fan out area 330. It is possible to detect whether the door is open or short.
  • the active block 320 moves in a direction perpendicular to the electrode pattern 300 formed in the active area 330 in the above state. And detection of whether the electrode pattern 300 formed in the fan out area 330 is opened and shorted at the same time, and whether the electrode pattern 300 formed in the active area 320 is opened or shorted. Even if is detected, since it is not necessary to perform a separate inspection for detecting the open and short positions of the electrode pattern 300, the glass panel 30 can be significantly shortened the electrical inspection time of the electrode pattern 300 The production efficiency of can be further improved.
  • FIG. 4 is a schematic view for explaining a non-contact electrode pattern inspection apparatus according to a second embodiment of the present invention.
  • the non-contact electrode pattern inspection apparatus 200 includes a moving block 210, a first probe 240, a first sensor unit 250, a second probe 220, and a second.
  • the sensor unit 230 is included.
  • the moving block 210 is installed to be positioned above the glass panel 40 (see FIG. 3).
  • the moving block 210 may be installed on the three-axis moving means that can move in the three axis direction.
  • Three-axis moving means capable of moving the moving block 210 in the three-axis direction is generally applied to the electrode pattern inspection device for the convenience of description, the schematic and description of the configuration in the drawings and detailed description will be omitted. .
  • the first probe 240 directly to the first sensor unit 250 to be described later to apply an electrical signal to the electrode pattern 400 formed in the fan out area 430 of the glass panel 40 in a non-contact manner. Is installed. The first probe 240 applies an electrical signal to the electrode pattern 400 formed in the fan out area 430 of the glass panel 40 in a non-contact manner.
  • the first sensor unit 250 is applied from the first probe 240 to receive the electrical signal transmitted through the electrode pattern 400 formed in the fan out area 430 in a non-contact manner fan area 430 Open or short of the electrode pattern 400 formed in the) can be detected.
  • the first probe 240 is installed in the first sensor unit 250.
  • the first sensor unit 250 may be installed in the moving block 210 by the moving means 251 to be movable in a direction perpendicular to the scan direction of the non-contact electrode pattern inspection apparatus according to the present embodiment.
  • the moving means 251 capable of moving the first sensor unit 250 in a direction perpendicular to the scan direction is generally applied to a general mechanical device, and for the convenience of description, the configuration thereof will be described in detail. The description is omitted.
  • the first sensor unit 250 is formed by an array sensor in which a plurality of sensors are disposed along the length direction of the electrode pattern 400, each sensor is an electrical signal transmitted through the electrode pattern 400 Received by the position of the electrode pattern 400 can detect whether the electrode pattern 400 formed in the fan out area 430 is open or short, and can also detect the open and short positions.
  • the second probe 220 is in direct contact with the pad portion 410 formed in the electrode pattern 400 of the glass panel 40 to apply an electrical signal to the electrode pattern 400 formed in the active area 420. It is installed on the moving block 210 so that. The second probe 220 is in direct contact with the pad portion 410 formed at the end of the electrode pattern 400 of the glass panel 40 to be electrically connected to the electrode pattern 400 formed in the active area 420. Apply a signal.
  • the second probe 220 is preferably installed directly on the moving block 210 as described above so that the second probe 220 can be moved in conjunction with the moving block 210, otherwise, the second probe ( 220 may be installed on a test pin block (not shown) installed to be movable in three axes along the side of the moving block 210.
  • the second probe 220 may be attached to the test pin block or the moving block 210 by a wire bonding method.
  • the second probe 220 may be fixed to the test pin block or the moving block 210 by a plurality of fixing members.
  • the second sensor unit 230 receives the electrical signal applied from the second probe 220 and transmitted through the electrode pattern 400 formed in the active area 420 in a non-contact manner to receive the active area 420. Whether the electrode pattern 400 formed therein is open or short may be detected.
  • the second sensor unit 230 may be installed in the moving block 210 by the moving means 231 to be movable along the electrode pattern 400.
  • Moving means 231 for moving the second sensor unit 230 along the electrode pattern 400 is a moving means for moving the first sensor unit 250 along the electrode pattern 400 ( Like 251, it is generally applied to a general mechanical device, and a detailed description thereof will be omitted for convenience of description.
  • the second sensor unit 230 is formed by an array sensor in which a plurality of sensors are disposed along a length direction of the electrode pattern 400 (the electrode pattern formed in the active area 420).
  • the second sensor unit 230 receives the electrical signal transmitted through the electrode pattern 400 formed in the active area 420 for each sensor by the position of the electrode pattern 400 to receive the active area ( In addition to detecting whether the electrode pattern 400 formed in the 420 is open or short, the open and short positions of the electrode pattern 400 may be detected.
  • the second sensor unit 230 is a plurality of sensors are formed by the array sensor disposed along the longitudinal direction of the electrode pattern 400 formed in the active area 420, the electrical transfer through the electrode pattern 400 Each sensor may receive a signal for each position of the electrode pattern 400. Therefore, the non-contact electrode pattern inspection apparatus according to this embodiment detects whether the electrode pattern 400 is opened or shorted with only one detection operation, and also quickly and accurately the open and short positions of the electrode pattern formed in the active area 420. Can be detected. For example, when the electrode pattern 400 formed in the active area 420 is shorted, an electrical signal is no longer applied along the electrode pattern 400 from the shorted position of the electrode pattern 400.
  • the sensor provided from the electrode pattern 400 to which the second probe 220 is contacted to the position before the electrode pattern 400 is shorted can detect an electrical signal, but from the sensor provided at the shorted position. No electrical signal is detected. Accordingly, the position of the electrode pattern 400 in which the sensor, for which the electrical signal is not detected, is located is detected as a shorted portion so that the open and shorted positions of the electrode pattern 400 can be detected quickly and accurately.
  • a camera is further installed to be located on one side of the second probe 220 such that the second probe 220 is attached to the glass panel 40. It may be checked whether the electrode pattern 400 is properly contacted.
  • FIG. 5 is a view showing an example of performing an electrical inspection of the electrode pattern by a non-contact electrode pattern inspection apparatus according to a second embodiment of the present invention.
  • the moving block 210 in order to perform the open and short inspection of the electrode pattern 400 formed on the glass panel 40 using the non-contact electrode pattern inspection apparatus according to the present embodiment, first, the moving block 210.
  • the second probe 220 installed in the moving block 210 is brought into direct contact with the pad part 410 so that an electrical signal can be applied to the electrode pattern 400 formed in the active area 420.
  • the first probe 240 may apply an electrical signal directly to the electrode pattern 400 formed in the fan out area 420 in a non-contact manner. That is, the second probe 220 applies an electrical signal for open and short inspection of the electrode pattern 400 formed in the active area 420 to the pad part 410 formed in the electrode pattern 400 in a contact manner.
  • the first probe 240 directly transmits an electrical signal for open and short inspection of the electrode pattern 400 formed in the fan out area 430 to the electrode pattern 400 formed in the fan out area 430. Is authorized.
  • the electrical signal applied to the electrode pattern 400 by the second probe 220 is received by the second sensor unit 230 in a non-contact manner, thereby forming the electrode pattern 400 formed in the active area 420. It is possible to detect whether the door is open or short.
  • the second sensor unit 220 is formed by an array sensor disposed along the length direction of the electrode pattern 400 and applied by the second probe 220 to be transmitted through the electrode pattern 400. Each sensor receives an electrical signal for each position of the electrode pattern 400, and simultaneously detects whether the electrode pattern 400 formed in the active area 420 is opened or shorted, and at the same time, the electrode pattern formed in the active area 420. Even open and short positions of 400 can be detected.
  • the electrical inspection time of the electrode pattern 400 can be shortened.
  • the electrical signal applied to the electrode pattern 400 formed in the fan out area 430 in a non-contact manner by the first probe 240 is received in a non-contact manner by the first sensor unit 250 to fan out. It is possible to detect whether the electrode pattern 400 formed in the area 430 is open or short.
  • the first sensor unit 250 is formed by an array sensor disposed along the longitudinal direction of the electrode pattern 400 like the second sensor unit 220 and applied by the first probe 240. And the detection of whether the electrode pattern 400 is opened and shorted in the fan out area 430 by receiving the electrical signals transmitted through the electrode pattern 400 for each position of the electrode pattern 400. At the same time, the open and short positions of the electrode pattern 400 formed in the fan out area 430 may be detected.
  • the electrical inspection time of the electrode pattern 400 may be shortened.
  • the moving block 210 moves in a direction perpendicular to the electrode pattern 400 formed in the active area 430, that is, in a scan direction, in the state as described above.
  • the detection of whether the plurality of electrode patterns 400 formed in the 420 and the fan out area 430 are open and short can be performed simultaneously.
  • the non-contact electrode pattern inspection apparatus detects whether the electrode pattern 400 formed in the fan-out area 430 is opened or shorted in one scan operation, and also quickly and accurately even in the open and short positions. Can be detected.
  • the non-contact electrode pattern inspection apparatus can quickly and accurately detect not only the open and short positions of the electrode pattern 400 formed in the active area 430 but also the open and short positions in one scanning operation. have.
  • the non-contact electrode pattern inspection apparatus needs to perform a separate inspection operation for detecting the open and short positions of the electrode pattern 400 even if the electrode pattern 400 is open or short. There is no.
  • the non-contact electrode pattern inspection apparatus can shorten the electrical inspection time of the electrode pattern 400 can improve the production efficiency of the glass panel 40.
  • the non-contact electrode pattern inspection apparatus as well as the electrical inspection for detecting the position and the position of the electrode pattern 400 formed in the fan out area 430 in one scan operation, as well as the active area ( An electrical test for detecting whether the electrode pattern 400 formed in the 420 is open or short and its position may be simultaneously performed.
  • the non-contact electrode pattern inspection apparatus can further shorten the electrical inspection time of the electrode pattern 400 to further improve the production efficiency of the glass panel 20.

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Abstract

고해상도 글래스 패널에 형성되는 전극패턴의 전기적 검사를 안정적이고 신속하게 수행할 수 있는 전극패턴 검사장치가 개시된다. 상기 전극패턴 검사장치는 한 번의 스캔작업으로 전극패턴의 액티브 에어리어 및 팬 아웃 에어리어의 전기적 검사를 동시에 수행하여 상기 전극패턴의 오픈 및 쇼트 여부의 검출은 물론 오픈 및 쇼트 위치까지도 신속하고 정확하게 검출할 수 있도록 하여 전극패턴의 검사시간을 단축하여 글래스 패널의 생산효율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

Description

전극패턴 검사장치
본 발명은 전극패턴 검사장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 평면 TV용 글래스(GLASS) 패널에 형성된 전극패턴의 전기적 검사, 즉 오픈(OPEN) 및 쇼트(SHORT)여부를 검사할 수 있는 전극패턴 검사장치에 관한 것이다.
일반적으로 PDP, LED 등과 같은 평면 TV용 글래스 패널의 표면에는 데이터 라인과 게이트 라인으로 형성된 전극 패턴이 형성되어 있다.
통상, 42인치 PDP의 경우 전극패턴 하나의 선폭과 피치는 각각 50㎛ 및 300㎛인 반면, 선 길이는 1m에 달하기 때문에 전극패턴을 형성하는 공정에서 뿐만 아니라 그 후에 반복되는 가열처리와 같은 제조과정에서 선이 끊어지거나(Open) 인접한 선과 연결되는(Short) 경우가 빈번히 발생한다. 따라서, 형성된 전극패턴의 단락여부를 제조공정의 중간 중간에 검사하는 것이 완성품의 수율을 높이기 위해서는 필수적인 과정이 된다.
상기와 같은 전극패턴에 대한 전기적 특성을 검사하기 위해서는 통상 테스트 핀 블록이 사용되며, 이를 이용한 검사는 테스트 핀 블록에 구비된 다수개의 프로브를 전극패턴의 양단에 접속시켜 검사대상 전극 패턴 및 인접 패턴과의 도통 검사를 실시하여 전극패턴의 오픈 및 단락여부를 검사하는 접촉식 방식과, 일측은 전극패턴에 프로브를 접촉시켜 전원을 인가하고 타측은 프로브를 접촉시키지 않고 인가된 전원을 받아들이는 비접촉식 방식이 사용된다.
그러나, 상기와 같은 종래의 전극패턴 검사 장치는 전극패턴의 오픈 및 단락여부에 대해서는 검출할 수는 있으나 오픈 또는 단락된 전극패턴의 위치까지는 검출할 수 없다는 문제점이 있었다.
도 1을 참조하여 글래스 패널에 형성된 일반적인 전극패턴의 구조를 설명하면 다음과 같다.
도 1은 일반적인 글래스 패널에 형성된 전극패턴을 도시한 도면이다.
도 1을 참조하면, 일반적인 전극패턴(500)은 프로브의 접촉을 위한 복수개의 패드부(510)와, 상기 패드부(510)와 연결되는 액티브 에어리어(520 : Active area)와, 상기 액티브 에어리어(520)와 연결되어 출력을 다른 곳으로 배분하는 팬 아웃 에어리어(530 : Fan out area)를 포함할 수 있다. 여기서, 상기 액티브 에어리어(520)에 형성된 복수개의 전극패턴(500)은 서로 수평하게 형성되나 상기 팬 아웃 에어리어(530)에 형성된 전극패턴(500)은 출력을 다른 곳으로 배분하기 위하여 글래스 패널(50)의 끝단부 측으로 소정의 거리만큼 서로 이웃하는 전극패턴(500)의 간격이 점차적으로 줄어들도록 형성된 후, 다시 서로 이웃하는 전극패턴(500)이 서로 수평하게 형성된다.
상기와 같이 일반적인 글래스 패널(50)의 전극패턴(500)은 액티브 에어리어(520)와 팬 아웃 에어리어(530)로 구분되도록 형성됨으로써 일반적인 전극 패턴 검사장치를 사용하여 전극패턴(500)의 전기적 검사를 수행하기 위해서는 상기 액티브 에어리어(520)와 팬 아웃 에어리어(530)를 전기적 검사를 각각 별도로 수행해야만 하였다. 그리하여, 상기와 같은 종래의 전극패턴 검사장치는 전극패턴 검사시간이 오래 걸린다는 문제점이 있었다.
따라서, 본 발명의 목적은 전극패턴의 오픈 및 쇼트 여부와 더불어 오픈 및 쇼트 위치까지도 동시에 검출할 수 있는 접촉식 전극패턴 검사장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 전극패턴의 액티브 에어리어의 전기적 검사와 팬 아웃 에어리어의 전기적 검사를 동시에 수행할 수 있는 접촉식 전극패턴 검사장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 한 번의 스캔작업으로 팬 아웃 에어리어 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트 여부는 물론 오픈 및 쇼트 위치까지도 검출할 수 있는 비접촉식 전극패턴 검사장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 팬 아웃 에어리어 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트 여부와 더불어 오픈 및 쇼트 위치를 검출할 수 있는 전기적 검사와, 액티브 에어리어 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트 여부와 더불어 오픈 및 쇼트 위치까지도 검출할 수 있는 전기적 검사를 동시에 수행할 수 있는 비접촉식 전극패턴 검사장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 예시적인 일실시예에 따른 접촉식 전극패턴 검사장치는, 글래스 패널의 전극패턴에 접촉되어 상기 전극패턴에 전기적 신호를 인가하는 제 1 프로브와, 상기 제 1 프로브로부터 인가되어 상기 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 비접촉 방식으로 받아들여 액티브 에어리어 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트여부와 위치를 검출할 수 있는 제 1 센서부와, 상기 글래스 패널의 전극패턴에 접촉되어 상기 전극패턴에 전기적 신호를 인가하는 제 2 프로브 및, 상기 제 2 프로브로부터 인가되어 상기 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 비접촉 방식으로 받아들여 팬 아웃 에어리어 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트 여부를 검출할 수 있는 제 2 센서부를 포함한다.
일예를 들면, 상기 액티브 에어리어 검출용 센서부는 다수개의 센서가 상기 전극패턴의 길이 방향을 따라 배치된 어레이 센서에 의해 형성되어, 상기 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 각각의 센서가 전극패턴의 위치별로 전달받아 액티브 에어리어 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트 여부를 검출함과 동시에 전극패턴의 오픈 및 쇼트 위치까지도 검출할 수도 있다.
일예를 들면, 상기 제 1 센서부는 상기 전극패턴을 따라 이동 가능하도록 설치된다.
일예를 들면, 상기 제 2 센서부는 스캔 방향과 수직한 방향으로 이동 가능하도록 설치된다.
일예를 들면, 상기 제 2 센서부는 어레이 센서에 의해 형성된다.
본 발명의 예시적인 일실시예에 따른 비접촉식 전극패턴 검사장치는, 글래스 패널의 팬 아웃 에어리어 내에 형성된 전극패턴에 비접촉 방식으로 전기적 신호를 인가하는 제 1 프로브 및, 상기 제 1 프로브로부터 인가되어 상기 팬 아웃 에어리어 내에 형성된 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 비접촉 방식으로 받아들여 상기 팬 아웃 에어리어 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트 여부를 검출할 수 있는 제 1 센서부를 포함한다.
일예를 들면, 상기 제 1 센서부는 스캔 방향과 수직한 방향으로 이동 가능하도록 설치된다.
일예를 들면, 상기 제 1 센서부는 다수개의 센서가 전극패턴의 길이 방향을 따라 배치된 어레이 센서에 의해 형성되어, 상기 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 각각의 센서가 전극패턴의 위치별로 전달받아 팬 아웃 에어리어 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트 여부를 검출함과 동시에 오픈 및 쇼트 위치까지도 검출할 수 있다.
한편, 본 발명의 일실시예에 따른 비접촉식 전극패턴 검사장치는, 글래스 패널의 전극패턴에 형성된 패드부와 접촉되어 액티브 에어리어 내에 형성된 전극패턴에 전기적 신호를 인가하는 제 2 프로브 및, 상기 제 2 프로브로부터 인가되어 상기 액티브 에어리어 내에 형성된 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 비접촉 방식으로 받아들여 상기 액티브 에어리어 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트여부와 위치를 검출할 수 있는 제 2 센서부를 더 포함한다.
일예를 들면, 상기 제 2 센서부는 다수개의 센서가 상기 전극패턴의 길이 방향을 따라 배치된 어레이 센서에 의해 형성되어, 상기 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 각각의 센서가 전극패턴의 위치별로 전달받아 액티브 에어리어 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트 여부를 검출함과 동시에 오픈 및 쇼트 위치까지도 검출할 수 있다.
일예를 들면, 상기 제 2 센서부는 상기 전극패턴을 따라 이동 가능하도록 설치된다.
상술한 바와 같이 본 발명의 일실시예에 의한 접촉식 전극패턴 검사장치는, 한 번의 스캔작업으로 전극패턴의 오픈 및 쇼트 여부의 검출은 물론 액티브 에어리어에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트 위치까지도 신속하고 정확하게 검출할 수 있도록 함으로써 전극패턴 검사시간을 단축하여 글래스 패널의 생산효율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
이에 더하여, 본 발명의 일실시예에 의한 접촉식 전극패턴 검사장치는, 한 번의 스캔작업으로 전극패턴의 액티브 에어리어의 전기적 검사와 팬 아웃 에어리어의 전기적 검사를 동시에 수행할 수 있도록 하여 전극패턴 검사시간을 더욱 단축하여 글래스 패널의 생산효율을 한층 더 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 일실시예에 의한 비접촉식 전극패턴 검사장치는, 한 번의 스캔작업으로 팬 아웃 에어리어 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트 여부의 검출은 물론 오픈 및 쇼트 위치까지도 신속하고 정확하게 검출할 수 있도록 함으로써 전극패턴 검사시간을 단축하여 글래스 패널의 생산효율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
이에 더하여, 본 발명의 일실시예에 의한 비접촉식 전극패턴 검사장치는, 팬 아웃 에어리어 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트 여부와 그 위치를 검출하는 전기적 검사와, 액티브 에어리어 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트 여부와 그 위치를 검출하는 전기적 검사를 동시에 수행할 수 있도록 하여 전극패턴 검사 시간을 더욱 단축하여 글래스 패널의 생산효율을 한층 더 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
도 1은 일반적인 글래스 패널에 형성된 전극패턴을 도시한 도면
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 접촉식 전극패턴 검사장치를 설명하기 위한 개략도
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 의한 접촉식 전극패턴 검사장치에 의해 전극패턴의 전기적 검사를 수행하는 일예를 도시한 도면
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 비접촉식 전극패턴 검사장치를 설명하기 위한 개략도
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 의한 비접촉식 전극패턴 검사장치에 의해 전극패턴의 전기적 검사를 수행하는 일예를 도시한 도면
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
제 1, 제 2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제 1 구성 요소는 제 2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제 2 구성 요소도 제 1 구성 요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예들을 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 갖는다.
일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하 도면을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명한다.
<실시예1>
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 접촉식 전극패턴 검사장치를 설명하기 위한 개략도이다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 접촉식 전극패턴 검사장치(100)는 이동블록(110), 제 1 프로브(120), 제 1 센서부(130), 제 2 프로브(140), 제 2 센서부(150)를 포함한다.
상기 이동블록(110)은 글래스 패널(30 : 도 3참조)의 상부에 위치할 수 있도록 설치된다. 여기서, 상기 이동블록(110)은 3축 방향으로 이동 가능한 3축 이동수단에 설치될 수 있다. 상기 이동블록(110)을 3축 방향으로 이동시킬 수 있는 3축 이동수단은 전극패턴 검사장치에 일반적으로 적용되는 것으로서 설명의 편의를 위하여 도면과 상세한 설명에서 그 구성에 대한 도식과 설명은 생략한다.
상기 제 1 프로브(120)는 상기 글래스 패널(30)의 전극패턴에 접촉되어 상기 전극패턴(300)에 전기적 신호를 인가할 수 있도록 상기 이동블록(110)에 설치된다. 상기 제 1 프로브로(120)는 예를 들면, 상기 글래스 패널(30)의 전극패턴(300)에 직접적으로 접촉되어 상기 전극패턴(300)에 전기적 신호를 직접적으로 인가할 수 있는 접촉 방식의 프로브를 사용할 수 있다. 상기 제 1 프로브(120)는 글래스 패널(30)의 전극패턴(300)과 접촉되어 상기 전극패턴(300)에 전기적 신호를 인가한다. 여기서, 상기 제 1 프로브(120)는 상기 이동블록(110)과 연동되어 이동될 수 있도록 상술한 바와 같이 상기 이동블록(110)에 직접적으로 설치되는 것이 바람직하나, 이와 다르게, 상기 제 1 프로브(120)는 상기 이동블록(110) 일측 옆에 3축 방향으로 이동가능하게 설치된 테스트 핀 블록(도시되지 않음)에 설치될 수도 있다. 예컨대, 상기 제 1 프로브(120)는 상기 테스트 핀 블록 또는 상기 이동블록(110)에 와이어 본딩 방식에 의해 부착될 수 있다. 또한, 상기 제 1 프로브(120)는 상기 테스트 핀 블록 또는 상기 이동블록(110)에 다수개의 고정부재에 의해 고정될 수도 있다.
상기 제 1 센서부(130)는 상기 제 1 프로브(120)로부터 인가되어 상기 전극패턴(300)을 통해 전달되는 전기적 신호를 비접촉 방식으로 받아들여 액티브 에어리어(320) 내에 형성된 상기 전극패턴(300)의 오픈 및 쇼트 여부를 검출할 수 있다. 상기 제 1 센서부(130)는 상기 전극패턴(300) 따라 이동 가능하도록 이동수단(131)에 의해 상기 이동블록(110)에 설치될 수 있다. 상기 제 1 센서부(130)를 상기 전극패턴(300)을 따라 이동시킬 수 있는 이동수단(131)은 통상적인 기계장치에 일반적으로 적용되는 것으로서 설명의 편의를 위하여 그 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다. 한편, 상기 제 1 센서부(130)는 다수개의 센서가 상기 전극패턴(300 : 액티브 에어리어(320) 내에 형성된 전극패턴)의 길이 방향을 따라 배치된 어레이 센서에 의해 형성된다. 그리하여, 상기 제 1 센서부(130)는 상기 전극패턴(300)을 통해 전달되는 전기적 신호를 각각의 센서가 전극패턴(300)의 위치별로 전달받아 상기 액티브 에어리어(320) 내에 형성된 전극패턴(300)의 오픈 및 쇼트 여부를 검출함은 물론 상기 전극패턴(300)의 오픈 및 쇼트 위치까지도 검출할 수 있다.
상기 제 1 센서부(130)는 다수개의 센서가 액티브 에어리어(320) 내에 형성된 상기 전극패턴(300)의 길이 방향을 따라 배치된 어레이 센서에 의해 형성됨으로써 상기 전극패턴(300)을 통해 전달되는 전기적 신호를 각각의 센서가 전극패턴(300)의 위치별로 전달받을 수 있다. 그러므로, 본 실시예에 의한 접촉식 전극패턴 검사장치는 한 번의 검출 작업만으로 전극패턴(300)의 오픈 및 쇼트 여부의 검출과 더불어 액티브 에어리어(320) 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트 위치까지도 신속하고 정확하게 검출할 수 있다. 예를 들면, 상기 액티브 에어리어(320) 내에 형성된 전극패턴(300)이 쇼트 되었을 경우에는 상기 전극패턴(300)의 쇼트된 위치에서부터는 더 이상 전기적 신호가 전극패턴(300)을 따라 인가되지 않는다. 그러므로, 상기 제 1 프로브(120)가 접촉된 전극패턴(300)에서부터 상기 전극패턴(300)의 쇼트되기 전의 위치까지 구비된 센서에서는 전기적 신호를 감지할 수 있으나 쇼트된 위치에 구비된 센서에서부터는 전기적 신호가 감지되지 않는다. 이에 따라 처음으로 전기적 신호가 감지되지 않은 센서가 위치한 전극패턴(300)의 위치가 쇼트된 부분으로 검출되어 전극패턴(300)의 오픈 및 쇼트된 위치까지도 신속하고 정확하게 검출할 수 있도록 한다.
상기 제 2 프로브(140)는 상기 글래스 패널(30)의 전극패턴(300)에 접촉되어 상기 전극패턴(300)에 전기적 신호를 인가할 수 있도록 상기 이동블록(110)에 설치된다. 상기 제 2 프로브로(140)는 상기 제 1 프로브(120)와 마찬가지로 상기 글래스 패널(30)의 전극패턴(300)에 직접적으로 접촉되어 상기 전극패턴(300)에 전기적 신호를 직접적으로 인가할 수 있는 접촉 방식의 프로브를 사용할 수 있다. 상기 제 2 프로브(140)는 글래스 패널(30)의 전극패턴(300)과 접촉되어 상기 전극패턴(300)에 전기적 신호를 인가한다. 여기서, 상기 제 2 프로브(140)는 상기 이동블록(110)과 연동되어 이동될 수 있도록 상기 이동블록(110)에 직접적으로 설치되는 것이 바람직하나, 이와 다르게, 상기 제 2 프로브(140)는 상기 이동블록(110) 일측 옆에 3축 방향으로 이동가능하게 설치된 테스트 핀 블록(도시되지 않음)에 설치될 수도 있다. 예컨대, 상기 제 2 프로브(140)는 상기 테스트 핀 블록 또는 상기 이동블록에 와이어 본딩 방식에 의해 부착될 수 있다. 또한, 상기 제 2 프로브(140)는 상기 테스트 핀 블록 또는 상기 이동블록(110)에 다수개의 고정부재에 의해 고정될 수도 있다.
상기 제 2 센서부(150)는 상기 제 2 프로브(140)로부터 인가되어 상기 전극패턴(300)을 통해 전달되는 전기적 신호를 비접촉 방식으로 받아들여 팬 아웃 에어리어(330) 내에 형성된 상기 전극패턴(300)의 오픈 및 쇼트 여부를 검출할 수 있다. 상기 제 2 센서부(150)는 본 실시예에 의한 접촉식 전극패턴 검사장치의 스캔 방향과 수직한 방향으로 이동 가능하도록 이동수단(151)에 의해 상기 이동블록(110)에 설치될 수 있다. 여기서, 상기 제 2 센서부(150)를 상기 스캔 방향과 수직한 방향으로 이동시킬 수 있는 이동수단(151)은 상기 제 1 센서부(130)를 전극패턴(300)을 따라 이동시킬 수 있는 이동수단(131)과 마찬가지로 통상적인 기계장치에 일반적으로 적용되는 것으로서 설명의 편의를 위하여 상세한 설명에서 그 구성에 대한 설명은 생략한다. 한편, 상기 제 2 센서부(150)는 다수개의 센서가 스캔 방향을 따라 배치된 어레이 센서에 의해 형성된다.
또한, 본 실시예에 의한 접촉식 전극패턴 검사장치는, 도면에는 도시되지 않았지만 상기 제 1, 2 프로브(120, 140)의 일측에 위치하도록 카메라가 더 설치되어 상기 제 1, 2 프로브(120, 140)가 글래스 패널(20)에 형성된 전극패턴(300)에 제대로 접촉되었는지를 확인할 수도 있다.
도 2 및 도 3을 참조하여 본 발명의 제1 실시예에 의한 접촉식 전극패턴 검사장치를 사용하여 전극패턴의 오픈 및 쇼트 검사를 하는 과정과 작용 효과에 대하여 설명하면 다음과 같다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 의한 접촉식 전극패턴 검사장치에 의해 전극패턴의 전기적 검사를 수행하는 일예를 도시한 도면이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 본 실시예에 의한 접촉식 전극패턴 검사장치를 사용하여 글래스 패널(30)에 형성된 전극패턴(300)의 오픈 및 쇼트 검사를 수행하기 위해서는 먼저, 이동블록(110)을 이동시켜 상기 이동블록(110)에 설치된 제 1, 2 프로브(120, 140)가 상기 전극패턴(300)에 접촉되도록 하여 상기 전극패턴(300)에 전기적 신호를 인가할 수 있도록 한다. 여기서, 상기 제 1 프로브(120)는 액티브 에어리어(320)에 형성된 전극패턴(300)의 오픈 및 쇼트 검사를 위한 전기적 신호를 상기 전극패턴(300)에 인가하며, 상기 제 2 프로브(140)는 팬 아웃 에어리어(330)에 형성된 전극패턴(300)의 오픈 및 쇼트 검사를 위한 전기적 신호를 상기 전극패턴(300)에 인가한다.
상기와 같이 제 1 프로브(120)에 의해 전극패턴(300)에 인가된 전기적 신호는 제 1 센서부(130)에 의해 비접촉식 방식으로 받아들여지게 됨으로써 액티브 에어리어(320)에 형성된 전극패턴(300)의 오픈 및 쇼트 여부를 검출할 수 있도록 한다. 이때, 상기 제 1 센서부(120)는 상기 전극패턴(300)의 길이 방향을 따라 배치된 어레이 센서에 의해 형성되어 상기 제 1 프로브(120)에 의해 인가되어 상기 전극패턴(300)을 통해 전달되는 전기적 신호를 각각의 센서가 전극패턴(300)의 위치별로 전달받아 액티브 에어리어(320) 내에 형성된 상기 전극패턴(300)의 오픈 및 쇼트 여부의 검출과 동시에 상기 액티브 에어리어(320) 내에 형성된 전극패턴(300)의 오픈 및 쇼트 위치까지도 검출할 수 있다. 그러므로, 상기 액티브 에어리어(320)에 형성된 상기 전극패턴(300)의 오픈 또는 쇼트 여부가 검출되었다 하더라도 상기 전극패턴(300)의 오픈 및 쇼트 위치를 검출하기 위한 별도의 검사작업을 수행할 필요가 없으므로 전극패턴(300)의 전기적 검사시간을 단축시킬 수 있다.
이와 동시에, 상기 제 2 프로브(140)에 의해 전극패턴(300)에 인가된 전기적 신호는 제 2 센서부(150)에 의해 비접촉식 방식으로 받아들여져 팬 아웃 에어리어(330)에 형성된 전극패턴(300)의 오픈 및 쇼트 여부를 검출할 수 있도록 한다.
따라서, 본 실시예에 의한 접촉식 전극패턴 검사장치는 상기와 같은 상태로 이동블록(110)이 상기 액티브 에어리어(330)에 형성된 전극패턴(300)과 수직한 방향으로 이동하면서 액티브 에어리어(320)와 팬 아웃 에어리어(330)에 형성된 전극패턴(300)의 오픈 및 쇼트 여부의 검출을 동시해 수행할 수 있을 뿐만 아니라, 상기 액티브 에어리어(320)에 형성된 상기 전극패턴(300)의 오픈 또는 쇼트 여부가 검출되었다 하더라도 상기 전극패턴(300)의 오픈 및 쇼트 위치를 검출하기 위한 별도의 검사작업을 수행할 필요가 없으므로 전극패턴(300)의 전기적 검사시간을 대폭 단축시킬 수 있도록 하여 글래스 패널(30)의 생산효율을 한층 더 향상시킬 수 있다.
<실시예2>
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 비접촉식 전극패턴 검사장치를 설명하기 위한 개략도이다.
도 4를 참조하면, 본 실시예에 따른 비접촉식 전극패턴 검사장치(200)는 이동블록(210), 제 1 프로브(240), 제 1 센서부(250), 제 2 프로브(220), 제 2 센서부(230)를 포함한다.
상기 이동블록(210)은 글래스 패널(40 : 도 3참조)의 상부에 위치할 수 있도록 설치된다. 여기서, 상기 이동블록(210)은 3축 방향으로 이동 가능한 3축 이동수단에 설치될 수 있다. 상기 이동블록(210)을 3축 방향으로 이동시킬 수 있는 3축 이동수단은 전극패턴 검사장치에 일반적으로 적용되는 것으로서 설명의 편의를 위하여 도면과 상세한 설명에서 그 구성에 대한 도식과 설명은 생략한다.
상기 제 1 프로브(240)는 상기 글래스 패널(40)의 팬 아웃 에어리어(430) 내에 형성된 전극패턴(400)에 비접촉 방식으로 전기적 신호를 인가할 수 있도록 후술되는 제 1 센서부(250)에 직접 설치된다. 상기 제 1 프로브(240)는 글래스 패널(40)의 팬 아웃 에어리어(430) 내에 형성된 전극패턴(400)에 비접촉 방식으로 전기적 신호를 인가한다.
상기 제 1 센서부(250)는 상기 제 1 프로브(240)로부터 인가되어 상기 팬 아웃 에어리어(430) 내에 형성된 전극패턴(400)을 통해 전달되는 전기적 신호를 비접촉 방식으로 받아들여 팬 아웃 에어리어(430)에 형성된 상기 전극패턴(400)의 오픈 및 쇼트 여부를 검출할 수 있다. 상기 제 1 센서부(250)에는 상기 제 1 프로브(240)가 설치된다. 상기 제 1 센서부(250)는 본 실시예에 의한 비접촉식 전극패턴 검사장치의 스캔 방향과 수직한 방향으로 이동 가능하도록 이동수단(251)에 의해 상기 이동블록(210)에 설치될 수 있다. 여기서, 상기 제 1 센서부(250)를 상기 스캔 방향과 수직한 방향으로 이동시킬 수 있는 이동수단(251)은 통상적인 기계장치에 일반적으로 적용되는 것으로서 설명의 편의를 위하여 상세한 설명에서 그 구성에 대한 설명은 생략한다. 한편, 상기 제 1 센서부(250)는 다수개의 센서가 전극패턴(400)의 길이 방향을 따라 배치된 어레이 센서에 의해 형성되어 상기 전극패턴(400)을 통해 전달되는 전기적 신호를 각각의 센서가 전극패턴(400)의 위치별로 전달받아 팬 아웃 에어리어(430) 내에 형성된 전극패턴(400)의 오픈 및 쇼트 여부를 검출함과 동시에 오픈 및 쇼트 위치까지도 검출할 수 있다.
상기 제 2 프로브(220)는 상기 글래스 패널(40)의 전극패턴(400)에 형성된 패드부(410)와 직접적으로 접촉되어 액티브 에어리어(420) 내에 형성된 전극패턴(400)에 전기적 신호를 인가할 수 있도록 상기 이동블록(210)에 설치된다. 상기 제 2 프로브(220)는 글래스 패널(40)의 전극패턴(400)의 끝단부에 형성된 상기 패드부(410)에 직접적으로 접촉되어 상기 액티브 에어리어(420) 내에 형성된 전극패턴(400)에 전기적 신호를 인가한다. 여기서, 상기 제 2 프로브(220)는 상기 이동블록(210)과 연동되어 이동될 수 있도록 상술한 바와 같이 상기 이동블록(210)에 직접적으로 설치되는 것이 바람직하나, 이와 다르게, 상기 제 2 프로브(220)는 상기 이동블록(210) 일측 옆에 3축 방향으로 이동가능하게 설치된 테스트 핀 블록(도시되지 않음)에 설치될 수도 있다. 예컨대, 상기 제 2 프로브(220)는 상기 테스트 핀 블록 또는 상기 이동블록(210)에 와이어 본딩 방식에 의해 부착될 수 있다. 또한, 상기 제 2 프로브(220)는 상기 테스트 핀 블록 또는 상기 이동블록(210)에 다수개의 고정부재에 의해 고정될 수도 있다.
상기 제 2 센서부(230)는 상기 제 2 프로브(220)로부터 인가되어 상기 액티브 에어리어(420) 내에 형성된 전극패턴(400)을 통해 전달되는 전기적 신호를 비접촉 방식으로 받아들여 상기 액티브 에어리어(420) 내에 형성된 전극패턴(400)의 오픈 및 쇼트 여부를 검출할 수 있다. 상기 제 2 센서부(230)는 상기 전극패턴(400) 따라 이동 가능하도록 이동수단(231)에 의해 상기 이동블록(210)에 설치될 수 있다. 상기 제 2 센서부(230)를 상기 전극패턴(400)을 따라 이동시킬 수 있는 이동수단(231)은 상기 제 1 센서부(250)를 전극패턴(400)을 따라 이동시킬 수 있는 이동수단(251)과 마찬가지로 통상적인 기계장치에 일반적으로 적용되는 것으로서 설명의 편의를 위하여 그 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다. 한편, 상기 제 2 센서부(230)는 다수개의 센서가 상기 전극패턴(400 : 액티브 에어리어(420) 내에 형성된 전극패턴)의 길이 방향을 따라 배치된 어레이 센서에 의해 형성된다. 그리하여, 상기 제 2 센서부(230)는 상기 액티브 에어리어(420) 내에 형성된 상기 전극패턴(400)을 통해 전달되는 전기적 신호를 각각의 센서가 전극패턴(400)의 위치별로 전달받아 상기 액티브 에어리어(420) 내에 형성된 전극패턴(400)의 오픈 및 쇼트 여부를 검출함은 물론 상기 전극패턴(400)의 오픈 및 쇼트 위치까지도 검출할 수 있다.
상기 제 2 센서부(230)는 다수개의 센서가 액티브 에어리어(420) 내에 형성된 상기 전극패턴(400)의 길이 방향을 따라 배치된 어레이 센서에 의해 형성됨으로써 상기 전극패턴(400)을 통해 전달되는 전기적 신호를 각각의 센서가 전극패턴(400)의 위치별로 전달받을 수 있다. 그러므로, 본 실시예에 의한 비접촉식 전극패턴 검사장치는 한 번의 검출 작업만으로 전극패턴(400)의 오픈 및 쇼트 여부의 검출과 더불어 액티브 에어리어(420) 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트 위치까지도 신속하고 정확하게 검출할 수 있다. 예를 들면, 상기 액티브 에어리어(420) 내에 형성된 전극패턴(400)이 쇼트 되었을 경우에는 상기 전극패턴(400)의 쇼트된 위치에서부터는 더 이상 전기적 신호가 전극패턴(400)을 따라 인가되지 않는다. 그러므로, 상기 제 2 프로브(220)가 접촉된 전극패턴(400)에서부터 상기 전극패턴(400)의 쇼트되기 전의 위치까지 구비된 센서에서는 전기적 신호를 감지할 수 있으나 쇼트된 위치에 구비된 센서에서부터는 전기적 신호가 감지되지 않는다. 이에 따라 처음으로 전기적 신호가 감지되지 않은 센서가 위치한 전극패턴(400)의 위치가 쇼트된 부분으로 검출되어 전극패턴(400)의 오픈 및 쇼트된 위치까지도 신속하고 정확하게 검출할 수 있도록 한다.
또한, 본 실시예에 의한 비접촉식 전극패턴 검사장치는, 도면에는 도시되지 않았지만 상기 제 2 프로브(220)의 일측에 위치하도록 카메라가 더 설치되어 상기 제 2 프로브(220)가 글래스 패널(40)에 형성된 전극패턴(400)에 제대로 접촉되었는지를 확인할 수도 있다.
도 4 및 도 5를 참조하여 본 발명의 제2 실시예에 의한 비접촉식 전극패턴 검사장치를 사용하여 전극패턴의 오픈 및 쇼트 검사를 하는 과정과 작용 효과에 대하여 설명하면 다음과 같다.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 의한 비접촉식 전극패턴 검사장치에 의해 전극패턴의 전기적 검사를 수행하는 일예를 도시한 도면이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 본 실시예에 의한 비접촉식 전극패턴 검사장치를 사용하여 글래스 패널(40)에 형성된 전극패턴(400)의 오픈 및 쇼트 검사를 수행하기 위해서는 먼저, 이동블록(210)을 이동시켜 상기 이동블록(210)에 설치된 제 2 프로브(220)가 패드부(410)에 직접적으로 접촉되도록 하여 액티브 에어리어(420) 내에 형성된 전극패턴(400)에 전기적 신호를 인가할 수 있도록 함과 동시에 상기 제 1 프로브(240)는 비접촉 방식으로 팬 아웃 에어리어(420) 내에 형성된 전극패턴(400)에 직접 전기적 신호를 인가할 수 있도록 한다. 즉, 상기 제 2 프로브(220)는 액티브 에어리어(420)에 형성된 전극패턴(400)의 오픈 및 쇼트 검사를 위한 전기적 신호를 상기 전극패턴(400)에 형성된 패드부(410)에 접촉식으로 인가하며, 상기 제 1 프로브(240)는 팬 아웃 에어리어(430)에 형성된 전극패턴(400)의 오픈 및 쇼트 검사를 위한 전기적 신호를 상기 팬 아웃 에어리어(430) 내에 형성된 전극패턴(400)에 직접적으로 인가한다.
상기와 같이 제 2 프로브(220)에 의해 전극패턴(400)에 인가된 전기적 신호는 제 2 센서부(230)에 의해 비접촉식 방식으로 받아들여지게 됨으로써 액티브 에어리어(420)에 형성된 전극패턴(400)의 오픈 및 쇼트 여부를 검출할 수 있도록 한다. 이때, 상기 제 2 센서부(220)는 상기 전극패턴(400)의 길이 방향을 따라 배치된 어레이 센서에 의해 형성되어 상기 제 2 프로브(220)에 의해 인가되어 상기 전극패턴(400)을 통해 전달되는 전기적 신호를 각각의 센서가 전극패턴(400)의 위치별로 전달받아 액티브 에어리어(420) 내에 형성된 상기 전극패턴(400)의 오픈 및 쇼트 여부의 검출과 동시에 상기 액티브 에어리어(420) 내에 형성된 전극패턴(400)의 오픈 및 쇼트 위치까지도 검출할 수 있다. 그러므로, 상기 액티브 에어리어(420)에 형성된 상기 전극패턴(400)의 오픈 또는 쇼트 여부가 검출되었다 하더라도 상기 전극패턴(400)의 오픈 및 쇼트 위치를 검출하기 위한 별도의 검사작업을 수행할 필요가 없으므로 전극패턴(400)의 전기적 검사시간을 단축시킬 수 있다.
이와 동시에, 상기 제 1 프로브(240)에 의해 비접촉 식으로 팬 아웃 에어리어(430) 내에 형성된 전극패턴(400)에 인가된 전기적 신호는 제 1 센서부(250)에 의해 비접촉식 방식으로 받아들여져 팬 아웃 에어리어(430)에 형성된 전극패턴(400)의 오픈 및 쇼트 여부를 검출할 수 있도록 한다. 여기서, 상기 제 1 센서부(250)는 상기 제 2 센서부(220)와 마찬가지로 상기 전극패턴(400)의 길이 방향을 따라 배치된 어레이 센서에 의해 형성되어 상기 제 1 프로브(240)에 의해 인가되어 상기 전극패턴(400)을 통해 전달되는 전기적 신호를 각각의 센서가 전극패턴(400)의 위치별로 전달받아 팬 아웃 에어리어(430) 내에 형성된 상기 전극패턴(400)의 오픈 및 쇼트 여부의 검출과 동시에 상기 팬 아웃 에어리어(430) 내에 형성된 전극패턴(400)의 오픈 및 쇼트 위치까지도 검출할 수 있다. 그러므로, 상기 팬 아웃 에어리어(430)에 형성된 상기 전극패턴(400)의 오픈 또는 쇼트 여부가 검출되었다 하더라도 상기 전극패턴(400)의 오픈 및 쇼트 위치를 검출하기 위한 별도의 검사작업을 수행할 필요가 없어 전극패턴(400)의 전기적 검사시간을 단축시킬 수 있다.
본 실시예에 의한 비접촉식 전극패턴 검사장치는 상술한 바와 같은 상태로 이동블록(210)이 상기 액티브 에어리어(430)에 형성된 전극패턴(400)과 수직한 방향, 즉 스캔방향으로 이동하면서 액티브 에어리어(420)와 팬 아웃 에어리어(430)에 형성된 복수개의 전극패턴들(400)의 오픈 및 쇼트 여부의 검출을 동시해 수행할 수 있도록 한다.
상술한 바와 같이 본 실시예에 의한 비접촉식 전극패턴 검사장치는 한 번의 스캔작업으로 팬 아웃 에어리어(430) 내에 형성된 전극패턴(400)의 오픈 및 쇼트 여부의 검출은 물론 오픈 및 쇼트 위치까지도 신속하고 정확하게 검출할 수 있다.
또한, 본 실시예에 의한 비접촉식 전극패턴 검사장치는 한 번의 스캔작업으로 액티브 에어리어(430) 내에 형성된 전극패턴(400)의 오픈 및 쇼트 여부의 검출은 물론 오픈 및 쇼트 위치까지도 신속하고 정확하게 검출할 수 있다.
따라서, 본 실시예에 의한 비접촉식 전극패턴 검사장치는 전극패턴(400)에 오픈 및 쇼트 여부가 검출되었다 하더라도 상기 전극패턴(400)의 오픈 및 쇼트 위치를 검출하기 위한 별도의 검사작업을 수행할 필요가 없다.
그러므로, 본 실시예에 의한 비접촉식 전극패턴 검사장치는 상기 전극패턴(400)의 전기적 검사시간을 단축시킬 수 있어 글래스 패널(40)의 생산효율을 향상시킬 수 있다.
또한, 본 실시예에 의한 비접촉식 전극패턴 검사장치는 한 번의 스캔작업으로 팬 아웃 에어리어(430) 내에 형성된 전극패턴(400)의 오픈 및 쇼트 여부와 그 위치를 검출하는 전기적 검사는 물론, 액티브 에어리어(420) 내에 형성된 전극패턴(400)의 오픈 및 쇼트 여부와 그 위치를 검출하는 전기적 검사를 동시에 수행할 수 있다.
따라서, 본 실시예에 의한 비접촉식 전극패턴 검사장치는 상기 전극패턴(400)의 전기적 검사시간을 더욱 단축시켜 글래스 패널(20)의 생산효율을 한층 더 향상시킬 수 있다.
앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (11)

  1. 글래스 패널에 형성된 전극패턴의 전기적 검사를 수행하는 검사 장치에 있어서,
    상기 글래스 패널의 전극패턴에 접촉되어 상기 전극패턴에 전기적 신호를 인가하는 제 1 프로브;
    상기 제 1 프로브로부터 인가되어 상기 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 비접촉 방식으로 받아들여 액티브 에어리어 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트여부와 위치를 검출할 수 있는 제 1 센서부;
    상기 글래스 패널의 전극패턴에 접촉되어 상기 전극패턴에 전기적 신호를 인가하는 제 2 프로브; 및
    상기 제 2 프로브로부터 인가되어 상기 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 비접촉 방식으로 받아들여 팬 아웃 에어리어 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트 여부를 검출할 수 있는 제 2 센서부를 포함하는 접촉식 전극패턴 검사장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 센서부는,
    다수개의 센서가 상기 전극패턴의 길이 방향을 따라 배치된 어레이 센서에 의해 형성되어, 상기 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 각각의 센서가 전극패턴의 위치별로 전달받아 액티브 에어리어 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트 여부를 검출함과 동시에 오픈 및 쇼트 위치까지도 검출할 수 있는 것을 특징으로 하는 접촉식 전극패턴 검사장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 센서부는,
    상기 전극패턴을 따라 이동 가능하도록 설치되는 것을 특징으로 하는 접촉식 전극패턴 검사장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 센서부는,
    스캔 방향과 수직한 방향으로 이동 가능하도록 설치되는 것을 특징으로 하는 접촉식 전극패턴 검사장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 센서부는 어레이 센서에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 접촉식 전극패턴 검사장치.
  6. 글래스 패널에 형성된 전극패턴의 전기적 검사를 수행하는 검사 장치에 있어서,
    상기 글래스 패널의 팬 아웃 에어리어 내에 형성된 전극패턴에 비접촉 방식으로 전기적 신호를 인가하는 제 1 프로브; 및
    상기 제 1 프로브로부터 인가되어 상기 팬 아웃 에어리어 내에 형성된 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 비접촉 방식으로 받아들여 상기 팬 아웃 에어리어 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트 여부를 검출할 수 있는 제 1 센서부를 포함하는 비접촉식 전극패턴 검사장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 제 1 센서부는,
    스캔 방향과 수직한 방향으로 이동 가능하도록 설치되는 것을 특징으로 하는 비접촉식 전극패턴 검사장치.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 제 1 센서부는 다수개의 센서가 전극패턴의 길이 방향을 따라 배치된 어레이 센서에 의해 형성되어, 상기 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 각각의 센서가 전극패턴의 위치별로 전달받아 팬 아웃 에어리어 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트 여부를 검출함과 동시에 오픈 및 쇼트 위치까지도 검출할 수 있는 것을 특징으로 하는 비접촉식 전극패턴 검사장치.
  9. 제 6 항에 있어서,
    상기 글래스 패널의 전극패턴에 형성된 패드부와 접촉되어 액티브 에어리어 내에 형성된 전극패턴에 전기적 신호를 인가하는 제 2 프로브; 및
    상기 제 2 프로브로부터 인가되어 상기 액티브 에어리어 내에 형성된 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 비접촉 방식으로 받아들여 상기 액티브 에어리어 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트여부와 위치를 검출할 수 있는 제 2 센서부를 더 포함하는 비접촉식 전극패턴 검사장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 제 2 센서부는,
    다수개의 센서가 전극패턴의 길이 방향을 따라 배치된 어레이 센서에 의해 형성되어, 상기 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 각각의 센서가 전극패턴의 위치별로 전달받아 액티브 에어리어 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트 여부를 검출함과 동시에 오픈 및 쇼트 위치까지도 검출할 수 있는 것을 특징으로 하는 비접촉식 전극패턴 검사장치.
  11. 제 9 항에 있어서,
    상기 제 2 센서부는,
    상기 전극패턴을 따라 이동 가능하도록 설치되는 것을 특징으로 하는 비접촉식 전극패턴 검사장치.
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