WO2020050645A1 - 전기적 검사용 프로브 카드 및 프로브 카드의 프로브 헤드 - Google Patents

전기적 검사용 프로브 카드 및 프로브 카드의 프로브 헤드 Download PDF

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WO2020050645A1
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bolt
circuit board
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정영배
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주식회사 아이에스시
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Definitions

  • the present disclosure relates to a probe card used for electrical inspection of a device under test and a probe head of a probe card.
  • a connector is provided on the inspection device that electrically connects the device under test and the inspection device.
  • the device under test is in contact with the connector, and the connector transmits an electrical test signal of the device to the device under test and a response signal of the device under test to the device under test.
  • a probe card with a plurality of probes having a needle shape is used for electrical inspection of semiconductor elements of a semiconductor wafer.
  • the probe is in contact with the terminal of the semiconductor element.
  • the probe is fixed to the probe card by the probe head, and is inserted into the probe head.
  • the probe head may have an upper plate, an intermediate plate with a rectangular opening in the center, and a lower plate. The probe can be inserted into the top plate, middle plate and bottom plate, and held by the probe head.
  • Republic of Korea Patent Publication No. 10-2018-0059867 proposes to couple the upper plate, the intermediate plate, and the lower plate with the probe fully inserted into the probe card. .
  • a guide film disposed on the intermediate plate is used, the lower plate and the intermediate plate are assembled first, and then attached to the guide film. By which the probe is inserted.
  • the probe is fixed to the probe card through the probe head in such a way that the probe head into which the probe is fully inserted is coupled to the probe card.
  • the probe With the top plate, the middle plate and the bottom plate all assembled, the probe must be fully inserted into the probe head. Accordingly, the process of inserting the probe into the probe head is very precise and complicated, and in some cases, must be performed manually.
  • the probe head in which the upper plate, the intermediate plate and the lower plate must be assembled first can be applied only to probes having a specific length. If some probes are worn or some probes are replaced, the probe head must be removed from the probe card and disassembled from the individual plate.
  • the probe head illustrated above is not advantageous in terms of easy and quick insertion of the probe, easy replacement of the probe, and application to various probes.
  • One embodiment of the present disclosure provides a probe head that enables easy and rapid insertion of the probe.
  • One embodiment of the present disclosure provides a probe head in which the holding position of the probe is variable.
  • One embodiment of the present disclosure provides a probe head that can be applied to probes of various lengths.
  • One embodiment of the present disclosure provides a probe head that can easily respond to probe wear, probe damage, or probe replacement.
  • One embodiment of the present disclosure provides a probe card with the above-described probe head.
  • the probe head of one embodiment includes a first plate, a second plate, a nut member, and a first bolt member.
  • the first plate and the second plate hold a plurality of probes.
  • the second plate is disposed below the first plate.
  • the nut member is coupled to the second plate.
  • the first bolt member is screwed to the nut member in the first position and the second position through the circuit board assembly.
  • the first bolt member is screwed to the nut member in the first position so that the first plate and the second plate are in close contact.
  • the first bolt member is screwed to the nut member in the second position so that the second plate is spaced from the first plate.
  • the first plate and the second plate in close contact at the first position hold a plurality of probes
  • the first and second plates spaced at the second position hold a plurality of probes.
  • Each of the plurality of probes includes a first protruding length protruding from the second plate in a first position of the first bolt member, and a second protruding from the second plate shorter than the first protruding length and protruding from the second plate in the second position of the first bolt member It has a protruding length.
  • the nut member is coupled to the top surface of the second plate and penetrates the first plate.
  • the probe head includes a stopper that secures the first bolt member in a second position.
  • the stopper can be secured to the circuit board assembly by contacting the first bolt member in the second position.
  • the probe head includes a second bolt member in contact with the first bolt member and screwed to the nut member through the first bolt member. The rotation of the second bolt member moves the second plate relative to the first plate through the nut member.
  • the nut member has a first screw threaded with the first bolt member and a second screw threaded with the second bolt member.
  • the thread pitch of the second screw may be smaller than that of the first screw.
  • the nut member includes a hollow nut body in which the first screw is formed on the outer circumferential surface and the second screw is formed on the inner circumferential surface.
  • the first bolt member includes a hollow bolt head supporting a second bolt member, and a hollow bolt body having a female screw screwed to the first screw of the nut member on an inner circumferential surface.
  • the second bolt member is threaded to the nut member at the second position of the first bolt member.
  • the probe card of one embodiment includes a circuit board assembly that is electrically connectable to the inspection apparatus, a plurality of probes that are in contact with the device under test, and a probe head coupled to the circuit board assembly and holding the plurality of probes.
  • the probe head includes a first plate, a second plate, a nut member, and a first bolt member.
  • the first plate and the second plate hold a plurality of probes.
  • the second plate is disposed below the first plate.
  • the nut member is coupled to the second plate.
  • the first bolt member is screwed to the nut member in the first position and the second position through the circuit board assembly.
  • the first bolt member is screwed to the nut member in the first position so that the first plate and the second plate are in close contact.
  • the first bolt member is screwed to the nut member in the second position so that the second plate is spaced from the first plate.
  • the first plate and the second plate in close contact at the first position hold a plurality of probes, and the first and second plates spaced at the second position hold a plurality of probes.
  • the nut member is coupled to the top surface of the second plate and penetrates the first plate.
  • the probe head includes a stopper that contacts the first bolt member and is coupled to the circuit board assembly and secures the first bolt member in a second position.
  • the probe head includes a second bolt member in contact with the first bolt member and screwed to the nut member through the first bolt member. The rotation of the second bolt member moves the second plate relative to the first plate through the nut member.
  • the nut member includes a hollow nut body in which a first screw screwed with the first bolt member is formed on the outer circumferential surface and a second screw screwed with the second bolt member is formed on the inner circumferential surface.
  • the first bolt member includes a hollow bolt head supporting a second bolt member, and a hollow bolt body having a female screw screwed to the first screw of the nut member on an inner circumferential surface.
  • the thread pitch of the second screw may be smaller than that of the first screw.
  • the circuit board assembly includes a plurality of terminal pitches electrically conductively coupled to the inspection device and a terminal pitch between terminals of the first circuit board assembly and conductively coupled to the first circuit board assembly. It includes a second circuit board assembly to adjust the probe pitch between probes.
  • One embodiment of the present disclosure can provide a probe head having first and second plates that are closely spaced and spaced apart while holding the probe.
  • the probe head of this embodiment achieves easy insertion of the probe, easy maintenance of the probe, simple and simple assembly, and response to probes of various lengths.
  • the probe head may be replaced by a probe head in one embodiment without using a separate repair jig at the inspection site of the device under test.
  • the probe head according to an embodiment of the present disclosure can respond to a worn probe without detaching and disassembling the probe head due to the second plate being moved relative to the first plate while holding the probe, thereby prolonging the life of the probe card. Can be increased.
  • the probe head according to an embodiment of the present disclosure due to the first bolt member and the second bolt member all coupled to one nut member, has a large range and a small gap between the insertion state of the probe and the first and second plates. It can be precisely adjusted to the range.
  • the probe head according to an embodiment of the present disclosure after the probe is inserted into the first and second plates in close contact, the spaced first plate and the second plate ensure complete insertion of the probe. Accordingly, the probe head according to an embodiment may realize development of an automatic probe insertion device.
  • FIG. 1 schematically shows a probe card according to an embodiment with a probe head according to one embodiment.
  • FIG. 2 is a bottom perspective view of a probe card according to an embodiment.
  • FIG 3 is an exploded perspective view of an upper portion of a probe card according to an embodiment.
  • FIG. 4 is an exploded bottom perspective view of a probe card according to an embodiment.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line 5-5 of FIG. 2.
  • FIG. 6 is a cross-sectional view showing a nut member, a first bolt member, and a second bolt member.
  • FIG. 7 is a perspective view showing a probe card according to an embodiment in which the probe head is not seated.
  • FIG. 8 is a perspective view illustrating an assembly example of a probe card according to an embodiment, and shows a circuit board assembly and a probe head.
  • FIG. 10 is a perspective view illustrating an assembly example of a probe card according to an embodiment, and shows a probe head mounted on a circuit board assembly.
  • FIG. 11 shows a nut member and a first bolt member in a probe head seated on a circuit board assembly.
  • FIG. 12 illustrates an example in which the probe is held by the probe head according to an embodiment, and shows that the first bolt member is coupled to the nut member in the first position.
  • FIG. 13 is a view similar to FIG. 12, showing that the first bolt member is coupled to the nut member in a second position.
  • FIG 14 shows another example where a probe is held by a probe head according to one embodiment.
  • FIG. 15 is a view similar to FIG. 14, showing that the second bolt member is coupled to the nut member.
  • FIG. 16 shows a probe head according to one embodiment coupled to a circuit board assembly.
  • a component when referred to as being "connected” or “connected” to another component, the component may be directly connected to or connected to the other component, or new It is to be understood that the connection may be made or may be connected via other components.
  • the “direction” direction directive is based on the direction in which the probe head is positioned relative to the device under test, and the “downward” direction directive means the opposite direction upward. It should be understood that the direction directives of the "vertical direction” used in the present disclosure include an upward direction and a downward direction, but do not mean a specific one of the upward direction and the downward direction.
  • the embodiments described below and the examples shown in the accompanying drawings relate to a probe card used for electrical inspection of a device under test and a probe head of the probe card.
  • the probe card and the probe head according to the embodiments may be used for electrical inspection of the device under test during the manufacturing process of the device under test.
  • FIG. 1 shows a probe card according to one embodiment having a probe head according to one embodiment.
  • the shapes of the probe card, probe head, device under test and inspection device are schematically illustrated for explanation of one embodiment.
  • the probe card 100 may be disposed on the inspection device 20 for electrical inspection of the device 10 to be inspected.
  • the inspection device 20 may include a prober 21 and a tester 22.
  • the probe card 100 may be arranged to be replaceable in the prober 21.
  • the tester 22 may be electrically connected to the probe card 100.
  • a transfer device 23 for supporting and transporting the device under test 10 may be provided inside the prober 21.
  • the device 10 to be inspected may be disposed on the upper surface of the conveying device 23.
  • the device 10 to be inspected may be a plurality of semiconductor elements completed on a semiconductor wafer, but is not limited thereto.
  • the semiconductor device may be a memory device or a non-memory device. Therefore, the probe card 100 may be used for inspection to check electrical functions and performance of the semiconductor device and to check defects in the semiconductor device before cutting a plurality of semiconductor devices completed on the semiconductor wafer from the semiconductor wafer.
  • the probe card 100 includes a circuit board assembly 101, a plurality of probes 102, and a probe head 200 of one embodiment that secures the plurality of probes 102 to the circuit board assembly 101. You can.
  • the circuit board assembly 101 may be the body of the probe card 100.
  • the circuit board assembly 101 is conductively connected to the inspection device 20.
  • the circuit board assembly 101 is disposed interchangeably in the prober 21 to transmit electrical test signals from the tester 22 to the device under test 10 and from the device under test 10 To transmit the response signal to the tester 22, it can be electrically connected to the tester 22.
  • the probe head 200 holds a plurality of probes 102 and is attached to the circuit board assembly 101. Accordingly, the plurality of probes 102 are fixed to the circuit board assembly 101 by the probe head 200. The plurality of probes 102 are in contact with the terminals of the circuit board assembly 101 at the top. Further, the plurality of probes 102 are in contact with the device under test 10 at the bottom, and more specifically, the terminal 11 of the device under test 10.
  • the probe head 200 includes a first plate 210 and a second plate 220, and the first plate 210 and the second plate 220 maintain a plurality of probes 102 in a vertical direction. The second plate 220 is disposed under the first plate 210.
  • the probe head 200 according to an embodiment is configured to adjust a gap between the first plate 210 and the second plate 220.
  • the device 10 to be inspected may be mounted on the transfer device 23 to be in close contact with the probe card 100.
  • the tester 22 With the probe card 100 and the device under test 10 in close contact with each other in a vertical direction, the tester 22 is electrically connected to the device under test 10 through the probe 102 contacting the device under test 10.
  • a test signal may be output, and a response signal from the device under test 10 may be transmitted to the tester 22 through the probe 102 and the circuit board assembly 101. Accordingly, an electrical inspection may be performed on the electrical characteristics, functional characteristics, operating speed, etc. of the device under test 10 through the probe card 100.
  • FIG. 2 is a bottom perspective view of a probe card according to an embodiment.
  • 3 is an exploded perspective view of a probe card according to an embodiment
  • FIG. 4 is an exploded perspective view of a probe card according to an embodiment.
  • FIG. 5 shows a cross-sectional shape taken along line 5-5 in FIG. 2.
  • the circuit board assembly 101 of the probe card 100 includes a first circuit board assembly 110 and a second circuit board assembly 120.
  • the first circuit board assembly 110 may be conductively connected to an inspection device (eg, the tester 22 of the inspection device 20 shown in FIG. 1).
  • the second circuit board assembly 120 is attached to the first circuit board assembly 110 in a vertical direction VD, and is electrically coupled to the first circuit board assembly 110.
  • the second circuit board assembly 120 may adjust the terminal pitch between the terminals of the first circuit board assembly 110 to the probe pitch between the plurality of probes 102.
  • the second circuit board assembly 120 may be referred to as a space transformer.
  • the circuit board assembly 101 of the probe card 100 may include only the first circuit board assembly 110.
  • the probe card 100 of this example can be used for electrical inspection of a device under test, such as a memory element.
  • the first circuit board assembly 110 includes a circular printed circuit board 111, a first stiffener 112 attached to an upper surface of the printed circuit board 111, and a printed circuit.
  • a second stiffener 113 formed along the first stiffener 112 on the upper surface of the substrate 111 and a plurality of connectors 114 attached to the upper surface of the printed circuit board 111 may be included.
  • a plurality of signal lines (not shown) through which electrical inspection signals and response signals pass may be mounted on the lower surface of the printed circuit board 111.
  • the first stiffener 112 is located in the second stiffener 113 and is attached to the upper surface of the printed circuit board 111.
  • the second stiffener 113 has a ring shape and may function for coupling between the probe card 100 and the inspection device. That is, the probe card 100 may be docked to the inspection device (eg, part of the prober 21 shown in FIG. 1) through the second stiffener 113. To this end, the second stiffener 113 has a docking portion for docking on its upper surface.
  • the plurality of connectors 114 are arranged radially and attached to the top surface of the printed circuit board 111.
  • the connector 114 may be coupled to a corresponding connector (not shown) provided in the inspection device.
  • a zero insertion force connector can be employed as connector 114.
  • the second circuit board assembly 120 may be attached to the bottom surface of the first circuit board assembly 110 by bolts 125.
  • the second circuit board assembly 120 includes a multilayer organic circuit board 121, a third stiffener 122 disposed between the printed circuit board 111 and the multilayer organic circuit board 121, An interposer 123 inserted into the third stiffener 122 to contact the multilayer organic circuit board 121 and a circuit board cover 124 disposed under the multilayer organic circuit board 121 can do.
  • the probe 102 of the probe card 100 may contact the terminal of the multilayer organic circuit board 121 at its top.
  • the third stiffener 122 has an opening 126 through which the interposer 123 is inserted.
  • the interposer 123 is in contact with the lower surface of the printed circuit board 111 and the upper surface of the multilayer organic circuit board 121 to electrically connect the printed circuit board 111 and the multilayer organic circuit board 121 to be electrically conductive.
  • the interposer 123 may include a conductive sheet made of a silicone rubber material having a plurality of conductive parts oriented in the vertical direction and insulating parts that insulate and space the conductive parts in the horizontal direction.
  • the circuit board cover 124 is in contact with the lower surface of the multilayer organic circuit board 121, and the probe head accommodating portion 127 accommodating the probe head 200 penetrates the circuit board cover 124 as an opening shape. It is done.
  • the probe head 200 is inserted into the head receiving portion 127.
  • the bolt 125 is fastened to the second circuit board assembly 120 through the printed circuit board 111 to fix the second circuit board assembly 120 to the printed circuit board 111.
  • the probe head 200 fixes the plurality of probes 102 to the circuit board assembly 101.
  • the probe head 200 includes a first plate 210 and a second plate 220 that hold the probe 102.
  • the probe head 200 may be replaceably coupled to the circuit board assembly 101.
  • the probe head 200 may be disposed on the second circuit board assembly 120 in such a way that it is inserted into the probe head receiving portion 127 of the circuit board cover 124.
  • the first plate 210 of the probe head 200 may be fixed to the second circuit board assembly 120 of the circuit board assembly.
  • the first circuit board assembly 110 and the second circuit board assembly 120 may be provided with a plurality of through holes in a vertical direction, and the first plate 210 may have a screw hole corresponding to the plurality of through holes.
  • a screw groove may be provided along the edge. A screw is fastened to the screw hole or screw groove through the through holes of the first circuit board assembly 110 and the second circuit board assembly 120, so that the first plate 210 is the second circuit board assembly 120. Can be fixed on.
  • the second plate 220 of the probe head 200 may be moved in a vertical direction VD with respect to the first plate 210.
  • the first and second plates 210 and 220 may have a square plate shape of the same size.
  • a plurality of first probe holes 211 into which the probes 102 are respectively inserted are penetrated in the first plate 210 in the vertical direction VD.
  • the probe 102 may be fixed to the first plate 210 at the upper end.
  • a locking portion capable of engaging with the first probe hole 211 is provided at an upper end of the probe 102 to achieve fixation between the probe 102 and the first plate 210.
  • the second plate 220 is disposed under the first plate 210.
  • the probes 102 are respectively inserted into the second plate 220, and the second probe holes 221 respectively corresponding to the first probe holes 211 are penetrated in the vertical direction VD.
  • the first plate 210 and the second plate 220 may be in close contact with each other while maintaining the probe 102.
  • a predetermined gap in the vertical direction (VD) therebetween for example, the gap (C) shown in Figure 1) It may be spaced in the vertical direction (VD).
  • the probe 102 may be first inserted into the first and second plates 210 and 220 in the downward direction LD.
  • the first and second plates 210 and 220 can simultaneously hold the upper portion of the probe 102.
  • the first and second plates 210 and 220 may maintain the upper portion and the lower portion of the probe 102, respectively.
  • the probe head 200 includes a fixing device that fixes the first and second plates 210 and 220 holding the probe 102 to the circuit board assembly 101.
  • the fixing device the probe head 200 is coupled to the nut member 230 coupled to the second plate 220 and the nut member 230 through the circuit board assembly 101. It includes a first bolt member 240.
  • the nut member 230 may be coupled to the upper surface of the second plate 220 and may penetrate the first plate 210 in the vertical direction (VD).
  • the nut member 230 may be coupled to the top surface of the second plate 220 by adhesion using an adhesive or brazing using a metallic material.
  • 3 and 4 show that the four nut members 230 are coupled to the second plate 220, but this is merely exemplary. At least two or more nut members 230 may be employed in the probe head 200.
  • the nut member 230 includes a nut head 231 coupled with the second plate 220 and a sleeve-shaped nut body extending upwardly from the nut head 231 (UD) ( 232).
  • the first bolt member 240 is screwed to the nut member 230 through the first circuit board assembly 110 and the second circuit board assembly 120.
  • the number of first bolt members 240 equal to the number of nut members 230 is employed in the probe head 200.
  • the first bolt member 240 may include a bolt head 241 and a bolt body 242 extending vertically downward from the bolt head 241.
  • the first stiffener 112 of the first circuit board assembly is formed with a plurality of grooves 115 that are concave from the top surface and have a substantially elongated rectangular shape. Each corner of the groove 115 is cut out in an arc shape to have a relief.
  • the alignment hole 116 is located in the center of the groove 115, and the alignment hole 116 penetrates the first stiffener 112 in the vertical direction. Further, along the circumference of the alignment hole 116, a bolt head seat 117 is formed more concave than the bottom surface of the groove 115.
  • An alignment hole 118 corresponding to the alignment hole 116 is penetrated in the printed circuit board 111 of the first circuit board assembly in the vertical direction.
  • alignment holes 128 and alignment holes 129 corresponding to the alignment holes 116 and 118 penetrate vertically. It is done.
  • the alignment holes 116, 118, 128, and 129 have a diameter through which the nut body 232 and the bolt body 242 can be inserted.
  • the nut body 232 penetrates through the alignment holes 129 of the multilayer organic circuit board 121, the alignment holes 128 of the third stiffener 122, and the alignment holes 118 of the printed circuit board 111, and The top may be positioned up to the height of the top surface of the printed circuit board 111.
  • the bolt body 242 passes through the alignment hole 116 of the first stiffener 112 and the alignment hole 118 of the printed circuit board 111, and the bottom thereof has an alignment hole 118 of the printed circuit board 111. ).
  • the first bolt member 240, the bolt head 241 is in contact with the top surface of the first stiffener 112 (in detail, the bolt head sheet 117), the position may be limited.
  • the bolt head 241 may contact the bolt head sheet 117 at its lower surface.
  • the nut body 232 may have a hollow sleeve shape.
  • the bolt body 242 may have a hollow sleeve shape.
  • the first bolt member 240 may be screwed to the nut member 230.
  • the first screw 233 of the male screw may be formed on the outer circumferential surface of the nut body 232
  • the female screw 243 screwed with the first screw 233 may be formed on the inner circumferential surface of the bolt body 242.
  • a female screw is formed on the inner circumferential surface of the nut body 232
  • a male screw is formed on the outer circumferential surface of the bolt body 242, so that the bolt body may be inserted into the nut body.
  • the first bolt member 240 may be screwed to the nut member 230 in a first position and a second position. In the first position, the first bolt member 240 may be screwed with the nut member 230 such that the first plate 210 and the second plate 220 are in close contact with each other. In the second position, the first bolt member 240 may be screwed with the nut member 230 so that the second plate 220 is spaced vertically from the first plate 210.
  • the second position is a position spaced apart in the upward direction (UD) from the first position, and is a position where it is guaranteed that the probe 102 is completely maintained by the first and second plates 210 and 220.
  • the first bolt member 240 is the nut member 230 so that the first plate 210 and the second plate 220 are not in close contact with each other, thereby forming the aforementioned predetermined gap therebetween. It can be a position that is screwed to
  • the probe head 200 may include a stopper 250 that secures the nut member 230 and the first bolt member 240 screwed to the second position.
  • the stopper 250 restrains the movement of the upward direction UD of the first bolt member 240 to maintain the second plate 220 while the second plate 220 is spaced apart from the first plate 210. You can.
  • the stopper 250 may be formed to cover the first bolt member 240.
  • the stopper 250 may contact the upper end of the bolt head 241 and fix the first bolt member 240 in the second position.
  • the stopper 250 has a size inserted into the groove 115. Due to the margin provided at each corner of the groove 115, the stopper 250 can be inserted into the groove 115 with a precise fit.
  • a pair of through holes 251 are formed in the stopper 250, and a pair of thread holes 119 drilled downward from the bottom surface of the groove 115 in the groove 115 Is formed.
  • the clamping bolt 252 passes through the stopper 250 and is fastened to the screw hole 119, so that the stopper 250 contacts the bolt head 241 of the first bolt member 240, and the first circuit board assembly 1 can be fixed to the stiffener 112. That is, the stopper 250 may be fixed to the circuit board assembly 101 by being in contact with the first bolt member 240 at the second position of the first bolt member 240.
  • the second plate 220 maintains a portion of the probe 102 while the first plate 210 Can be separated from. Accordingly, the upper portion and the lower portion of the probe 102 may be held by the spaced first and second plates 210 and 220, respectively.
  • the probe head 200 may precisely adjust the predetermined spacing of the first and second plates 210 and 220.
  • the probe head 200 may include a second bolt member 260 screwed to the nut member 230 through the first bolt member 240.
  • the second bolt member 260 screwed to the nut member 230 may be rotated in the forward or reverse direction with respect to the nut member 230.
  • the rotation of the second bolt member 260 may finely move the second plate 220 upward or downward with respect to the first plate 210 through the nut member 230. Accordingly, the distance between the first and second plates 210 and 220 can be precisely adjusted, and the position where the second plate 220 holds the probe 102 can be changed.
  • the second bolt member 260 may be screwed to the nut member 230 at the second position of the first bolt member 240.
  • the first bolt member 240 may be formed such that the second bolt member 260 penetrates the first bolt member 240 in the vertical direction.
  • the bolt head 241 of the first bolt member 240 has a bolt head sheet 244 that is concave in a hexagonal shape, and a through hole 245 in a vertical direction from the bottom surface of the bolt head sheet 244. It is drilled in the bolt body 242.
  • the second bolt member 260 has a bolt head 261 having a hexagonal wrench hole and a circumferential bolt body 262 extending from the bolt head 261.
  • the bolt body 262 may be inserted into the first bolt member 240 through the through hole 245.
  • the lower surface of the bolt head 261 may contact the bottom surface of the bolt head sheet 244, so that the second bolt member 260 may contact the first bolt member 240. Therefore, the bolt head 241 of the first bolt member 240 can support the second bolt member 260.
  • the nut member 230 is screwed with the first screw 233 and the second bolt member 260 screwed to the first bolt member 240 and smaller than the first screw 233 It may have a second screw (234) having a.
  • the first screw 233 and the second screw 234 may be provided to the nut member 230 in a manner that is respectively formed on the outer circumferential surface and the inner circumferential surface of the sleeve-shaped nut body 232.
  • the first screw 233 and the second screw 234 may be formed on the outer circumferential surface of the circumferential nut body.
  • the first screw 233 and the second screw 234 may be formed on the inner circumferential surface of the sleeve-shaped nut body.
  • the outer circumferential surface of the nut body 232 of the nut member 230 includes a first screw 233 of a male screw threaded with a female screw 243 of the first bolt member 240 ) Is formed, and on the inner circumferential surface of the nut body 232, a second screw 234 of a female screw that is screwed with the male screw 263 of the second bolt member 260 is formed.
  • the thread pitch TP2 of the second screw 234 is smaller than the thread pitch TP1 of the first screw 233.
  • the ratio may be determined so that the gap between the first plate 210 and the second plate 220 can be finely adjusted.
  • the thread pitch of the male screw 263 of the second bolt member 260 is smaller than the thread pitch of the female screw 243 of the first bolt member 240.
  • the bolt head 261 of the second bolt member 260 is in contact with the bolt head sheet 244 to move the vertical direction VD of the second bolt member 260 This is limited, and the nut member 230 is fixed to the second plate 220. Accordingly, as the second bolt member 260 rotates in the forward or reverse direction with respect to the nut member 230, the nut member 230 may be finely moved upward or downward by a screw motion accompanying such rotation. The gap between the first plate 210 and the second plate 220 may be adjusted.
  • the second circuit board assembly 120 is attached to the first circuit board assembly 110.
  • the probe head 200 in a state where the second circuit board assembly 120 is assembled to the first circuit board assembly 110, the probe head 200 is seated on the second circuit board assembly 120.
  • the probe head 200 is provided through the probe head receiving portion 127 of the circuit board cover 124 so that the first plate 210 of the probe head 200 faces the lower surface of the multilayer organic circuit board 121.
  • the first and second plates 210 and 220 are in close contact with each other. As illustrated in FIG.
  • the probe 102 in a state in which the first and second plates 210 and 220 are in close contact, the probe 102 may be initially inserted into the first and second plates 210 and 220.
  • the upper end portion of the probe 102 in the initial insertion state of the probe 102, may be coupled to the first probe hole 211 by engaging, and the upper end portion of the probe 102 is a second probe hole ( 221).
  • the first and second plates 210 and 220 in which the probe 102 is inserted and in close contact with each other are mounted on the second circuit board assembly 120.
  • the first plate 210 is screwed to the first plate 210 through the first circuit board assembly 110 and the second circuit board assembly 120, and thus the second circuit board assembly 120 Can be fixed on.
  • the first bolt member 240 can be screwed to the nut member 230
  • the second bolt member 260 is a nut member It may be screwed to 230.
  • the stopper 250 may be coupled to the first circuit board assembly 110 by a clamping bolt 252.
  • the nut member 230 is provided with an alignment hole 129. And through the alignment hole 128.
  • the first bolt member 240 penetrates the alignment hole 116 and the alignment hole 118 and is screwed to the nut member 230.
  • the first bolt member 240 is screwed with the nut member 230 and held in the aforementioned first position. Therefore, the first bolt member 240 is screwed to the nut member 230 at the first position, and the first and second plates 210 and 220 are in close contact in the vertical direction (VD).
  • the respective probe holes 211 and 221 are aligned in the vertical direction VD, and the probe 102 is the first plate It is sequentially inserted into the 210 and the second plate 220. Therefore, when the probe 102 is first inserted into the probe head 200, due to the first and second plates 210 and 220 in close contact, easy insertion of the probe 102 can be achieved.
  • the probe 102 is first inserted into the first plate 210 in the downward direction LD, and its upper end portion is fixed to the first plate 210 by the above-described engagement.
  • the upper ends of the inserted probes 102 can be located at the same level, and stable contact between the probe 102 and the circuit board assembly can be ensured.
  • 12 to 16 illustrate examples in which a probe is held on a probe card by a probe head according to an embodiment.
  • 12 to 16 show examples of the probe being held by the first and second plates, and examples of the relative positions between the nut member and the first bolt member.
  • FIG. 12 shows that the probe is first inserted into the probe head and held by the probe head.
  • FIG. 12 shows the following state of the state shown in FIG. 12, the first bolt member 240 is screwed to the nut member 230 in the first position P1.
  • the first and second plates 210 and 220 are in close contact in the vertical direction VD, and the probe 102 is in close contact with the first and second It is held by the plates 210 and 220.
  • the probe 102 In the first position P1 of the first bolt member 240, the probe 102 is held by the first and second plates 210, 220 in its upper part, and the probe 102 is a second plate ( It has a first protrusion length (L1) protruding from 220).
  • FIG. 13 is a view similar to FIG. 12, showing that the first bolt member is released from the nut member and coupled to the nut member in the second position.
  • the first bolt member 240 is screwed with the nut member 230 at a second position P2 spaced apart from the first position P1 in the upward direction UD.
  • the height difference between the first position P1 and the second position P2 may be appropriately selected according to the length of the probe 102. Since the first bolt member 240 is released from the nut member 230, a gap is formed between the lower surface of the bolt head 241 and the bolt head sheet 117. Accordingly, the first bolt member 240 may be moved downward with the nut member 230 until the lower surface of the bolt head 241 contacts the bolt head seat 117. In addition, with the downward movement of the first bolt member 240, the second plate 220 may be spaced apart from the first plate 210.
  • FIG. 14 shows another example in which the probe is held by the probe head, and shows that the second plate is spaced from the first plate. 13 and 14, the first bolt member 240 is screwed to the nut member 230 at the second position P2. As the first bolt member 240 moves in the downward direction LD, the second plate 220 is spaced apart from the first plate 210 in the downward direction LD. As the second plate 220 is moved downward, the upper portion of the probe 102 is held by the first plate 210, and the lower portion of the probe 102 is held by the second plate 220. . Therefore, the probe 102 is held by the spaced first and second plates 210 and 220 at the second position P2 of the first bolt member 240.
  • the probe 102 has a second protruding length L2 protruding from the second plate 220.
  • the second protrusion length L2 is shorter than the first protrusion length L1.
  • the probe 102 As shown in FIG. 14, as the second plate 220 is spaced apart from the first plate 210, the probe 102 is moved by the first and second plates 210 and 220 in the upper portion and the lower portion thereof. maintain. Accordingly, the probe 102 can be easily assembled to the probe head 200 by the separation of the second plate 220 from the first plate 210.
  • the probe head of the embodiment can probe the various lengths of the first and second plates 210 and 220 without additional devices. It can be maintained by adjusting the gap C of the liver.
  • the installation of the probe head 200 and the probe 102 may be completed.
  • the stopper 250 (see FIGS. 3 and 4) contacts the bolt head 241 and is coupled to the first stiffener 112, thereby placing the first bolt member 240 in the second position P2. Can be fixed on. The stopper restrains the upward movement of the first bolt member 240, so that the second plate 220 is spaced apart from the first plate 210 and the probe 102 is completely inserted, of the second plate 220 Movement can be restrained.
  • the second bolt member 260 is screwed to the nut member through the first bolt member.
  • the second bolt member 260 is screwed to the nut member 230 through the first bolt member 240 at a second position P2 of the first bolt member 240.
  • the second bolt member 260 may be screwed to the nut member 230 until the bolt head 261 contacts the bolt head seat 244.
  • the male screw of the second bolt member 260 and the second screw of the nut member 230 are screwed, and the female screw of the first bolt member 240 and the first screw of the nut member 230 are screwed.
  • the thread pitch TP2 of the second screw is smaller than the thread pitch TP1 of the first screw (see FIG. 6).
  • the second plate 220 is moved by the screw movement between the second bolt member 260 and the nut member 230.
  • the first plate 210 may be approached in the upward direction UD or further spaced apart from the first plate 210 in the downward direction LD. Accordingly, the gap C between the first plate 210 and the second plate 220 secured at the second position P2 of the first bolt member 240 can be precisely adjusted.
  • the first bolt member 240 is rotated together with the second bolt member 260 in the rotation direction of the second bolt member 260, so that the nut member 230 and the second The plate 220 can be precisely moved.
  • the gaps C of the first and second plates 210 and 220 set at the second position P2 of the first bolt member 240 can be finely and precisely adjusted by rotation of the second bolt member 260. You can. For example, when the lower end of the probe 102 is worn and the length of the probe 102 is short, the second plate 220 may be moved such that the gap C is narrowed by rotation of the second bolt member 260. have. That is, the gap C of the first and second plates 210 and 220 can be adjusted using the second bolt member 260 without disassembling the first and second plates 210 and 220. Accordingly, the lifespan of the probe card can be improved.
  • the stopper 250 may be fixed to the first circuit board assembly.
  • the stopper 250 can be mounted to the first stiffener 112 while being in contact with the first bolt member 240. have.
  • the stopper 250 mounted on the first stiffener 112 constrains the first bolt member 240 so that the gap C between the first and second plates 210 and 220 can be maintained.
  • the nut member, the first bolt member, and the second bolt member may have a shape and arrangement different from the shape and arrangement shown in the accompanying drawings.
  • the nut body may have a first portion where a first screw is formed, and a second portion having a diameter smaller than the diameter of the first portion and extending from the first portion to form a second screw on the outer circumferential surface.
  • the bolt body of the second bolt member may have a hollow cylindrical shape, and may have a female screw coupled to the second screw of the male screw of the nut body on its inner circumferential surface.
  • the inner circumferential surface of the hollow nut body may have a first screw of a female screw and a second screw of a female screw smaller than the diameter of the first screw
  • the bolt body of the first bolt member may include a first screw on an outer circumferential surface. It may have a male screw that is screwed
  • the bolt body of the second bolt member may have a male screw that is screwed with the second screw on the outer circumferential surface.
  • the probe card may include only the first circuit board assembly described above.
  • the printed circuit board of the first circuit board assembly may be equipped with a device capable of fixing the probe head to the printed circuit board.
  • the shape of the stopper and the position of the circuit board assembly on which the stopper is mounted are merely exemplary.
  • the stopper can have various shapes and can be mounted on the probe card or the probe head by various devices as long as the first bolt member can be fixed in the second position.
  • the shape of the probe shown in the figure is merely exemplary.
  • a pogo pin type probe and a needle type probe may be employed in the probe card.
  • a probe with offset top and bottom may be employed in the probe card.

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Abstract

검사 장치에 도전 가능하게 연결되는 회로 기판 조립체에 피검사 디바이스와 접촉되는 복수의 프로브를 고정하는 프로브 헤드가 제공된다. 프로브 헤드는, 제1 플레이트와, 제2 플레이트와, 너트 부재와, 제1 볼트 부재를 포함한다. 제1 플레이트와 제2 플레이트는 복수의 프로브를 유지한다. 제2 플레이트는 제1 플레이트의 아래에 배치된다. 너트 부재는 제2 플레이트에 결합된다. 제1 볼트 부재는 회로 기판 조립체를 통해 너트 부재에 제1 위치 및 제2 위치에서 나사결합된다. 제1 플레이트와 제2 플레이트가 밀착되도록, 제1 볼트 부재가 제1 위치에서 너트 부재에 나사결합된다. 제2 플레이트가 제1 플레이트로부터 이격되도록 제1 볼트 부재가 제2 위치에서 너트 부재에 나사결합된다.

Description

전기적 검사용 프로브 카드 및 프로브 카드의 프로브 헤드
본 개시는 피검사 디바이스의 전기적 검사에 사용되는 프로브 카드 및 프로브 카드의 프로브 헤드에 관한 것이다.
피검사 디바이스의 전기적 검사를 위해, 피검사 디바이스와 검사 장치를 전기적으로 연결시키는 커넥터가 검사 장치에 제공된다. 피검사 디바이스는 커넥터에 접촉되며, 커넥터는 검사 장치의 전기적 테스트 신호를 피검사 디바이스에 전달하고, 피검사 디바이스의 응답 신호를 검사 장치에 전달한다. 이러한 커넥터의 일 예로서, 니들 형상을 갖는 복수의 프로브를 갖춘 프로브 카드가 반도체 웨이퍼의 반도체 소자의 전기적 검사를 위해 사용된다.
프로브는 반도체 소자의 단자와 접촉된다. 프로브는 프로브 헤드에 의해 프로브 카드에 고정되며, 프로브 헤드에 삽입된다. 일 예로, 프로브 헤드는 상부 플레이트와, 중앙에 사각형의 개구가 뚫린 중간 플레이트와, 하부 플레이트를 가질 수 있다. 프로브는 상부 플레이트, 중간 플레이트 및 하부 플레이트에 삽입되어, 프로브 헤드에 의해 유지될 수 있다.
프로브 헤드에 의해 프로브를 프로브 카드에 고정하는 일 예로서, 대한민국 공개특허공보 제10-2018-0059867호는, 프로브가 완전히 삽입된 상부 플레이트, 중간 플레이트 및 하부 플레이트를 프로브 카드에 결합시키는 것을 제안한다.
프로브 헤드에 의해 프로브를 프로브 카드에 고정하는 또 하나의 예로서, 상단과 하단이 옵셋된 프로브의 경우, 중간 플레이트 위에 배치된 가이드 필름이 이용되며, 하부 플레이트와 중간 플레이트가 먼저 조립되고 가이드 필름에 의해 프로브가 삽입된다.
전술한 바와 같이, 프로브가 완전히 삽입된 프로브 헤드가 프로브 카드에 결합되는 방식으로, 프로브가 프로브 헤드를 통해 프로브 카드에 고정된다. 특히, 상부 플레이트, 중간 플레이트 및 하부 플레이트 모두가 조립된 상태에서, 프로브가 프로브 헤드에 완전히 삽입되어야 한다. 이에 따라, 프로브를 프로브 헤드에 삽입하는 공정은 매우 정밀하고 복잡하며, 경우에 따라서는 수작업으로 행해져야 한다.
긴 프로브를 위해 중간 플레이트의 두께가 큰 경우, 상부 플레이트와 하부 플레이트 간의 거리가 커지며, 이로 인해 프로브의 삽입 작업이 매우 어렵고 삽입 작업의 시간이 증대한다. 상부 플레이트, 중간 플레이트 및 하부 플레이트가 먼저 조립되어야만 하는 프로브 헤드는, 특정 길이를 갖는 프로브에만 적용될 수 있다. 일부 프로브가 마모되거나 일부 프로브를 교체하는 경우, 프로브 헤드가 프로브 카드로부터 분리되어야만 하고 개개의 플레이트로부터 분해되어야만 한다.
이와 같이, 앞에서 예시한 프로브 헤드는, 프로브의 용이하고 신속한 삽입, 프로브의 용이한 교체, 다양한 프로브에의 적용 등의 측면에서, 유리하지 않다.
본 개시의 일 실시예는, 프로브의 용이하고 신속한 삽입을 가능하게 하는 프로브 헤드를 제공한다. 본 개시의 일 실시예는, 프로브의 유지 위치가 가변되는 프로브 헤드를 제공한다. 본 개시의 일 실시예는, 다양한 길이의 프로브에 적용될 수 있는 프로브 헤드를 제공한다. 본 개시의 일 실시예는, 프로브의 마모, 프로브의 손상 또는 프로브 교체에 용이하게 대응할 수 있는 프로브 헤드를 제공한다. 본 개시의 일 실시예는 전술한 프로브 헤드를 갖춘 프로브 카드를 제공한다.
본 개시의 실시예들의 일 측면은, 검사 장치에 도전 가능하게 연결되는 회로 기판 조립체에 피검사 디바이스와 접촉되는 복수의 프로브를 고정하는 프로브 헤드에 관련된다. 일 실시예의 프로브 헤드는, 제1 플레이트와, 제2 플레이트와, 너트 부재와, 제1 볼트 부재를 포함한다. 제1 플레이트와 제2 플레이트는 복수의 프로브를 유지한다. 제2 플레이트는 제1 플레이트의 아래에 배치된다. 너트 부재는 제2 플레이트에 결합된다. 제1 볼트 부재는 회로 기판 조립체를 통해 너트 부재에 제1 위치 및 제2 위치에서 나사결합된다. 제1 플레이트와 제2 플레이트가 밀착되도록, 제1 볼트 부재가 제1 위치에서 너트 부재에 나사결합된다. 제2 플레이트가 제1 플레이트로부터 이격되도록 제1 볼트 부재가 제2 위치에서 너트 부재에 나사결합된다.
일 실시예에 있어서, 제1 위치에서 밀착된 제1 플레이트와 제2 플레이트가 복수의 프로브를 유지하고, 제2 위치에서 이격된 제1 플레이트와 제2 플레이트가 복수의 프로브를 유지한다. 복수의 프로브의 각각은 제1 볼트 부재의 제1 위치에서 제2 플레이트로부터 돌출된 제1 돌출 길이와, 제1 돌출 길이보다 짧고 제1 볼트 부재의 제2 위치에서 제2 플레이트로부터 돌출된 제2 돌출 길이를 갖는다.
일 실시예에 있어서, 너트 부재는 제2 플레이트의 상면에 결합되고 제1 플레이트를 관통한다.
일 실시예에 있어서, 프로브 헤드는 제1 볼트 부재를 제2 위치에 고정하는 스토퍼를 포함한다. 스토퍼는 제2 위치에서 제1 볼트 부재에 접촉되어 회로 기판 조립체에 고정될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 프로브 헤드는, 제1 볼트 부재와 접촉되고 제1 볼트 부재를 통해 너트 부재에 나사결합되는 제2 볼트 부재를 포함한다. 제2 볼트 부재의 회전이 너트 부재를 통해 제2 플레이트를 제1 플레이트에 대해 이동시킨다.
일 실시예에 있어서, 너트 부재는 제1 볼트 부재와 나사결합되는 제1 나사와 제2 볼트 부재와 나사결합되는 제2 나사를 갖는다. 제2 나사의 나사 피치가 제1 나사의 나사 피치보다 작을 수 있다.
일 실시예에 있어서, 너트 부재는 제1 나사가 외주면에 형성되고 제2 나사가 내주면에 형성된 중공의 너트 바디를 포함한다. 제1 볼트 부재는 제2 볼트 부재를 지지하는 중공의 볼트 헤드와, 너트 부재의 제1 나사와 나사결합되는 암나사를 내주면에 갖는 중공의 볼트 바디를 포함한다.
일 실시예에 있어서, 제2 볼트 부재는 제1 볼트 부재의 제2 위치에서 너트 부재에 나사결합된다.
본 개시의 실시예들의 또 하나의 측면은, 피검사 디바이스의 전기적 검사에 사용되는 프로브 카드에 관련된다. 일 실시예의 프로브 카드는, 검사 장치에 도전 가능하게 연결되는 회로 기판 조립체와, 피검사 디바이스와 접촉되는 복수의 프로브와, 회로 기판 조립체에 결합되고 복수의 프로브를 고정하는 프로브 헤드를 포함한다. 프로브 헤드는, 제1 플레이트와, 제2 플레이트와, 너트 부재와, 제1 볼트 부재를 포함한다. 제1 플레이트와 제2 플레이트는 복수의 프로브를 유지한다. 제2 플레이트는 제1 플레이트의 아래에 배치된다. 너트 부재는 제2 플레이트에 결합된다. 제1 볼트 부재는 회로 기판 조립체를 통해 너트 부재에 제1 위치 및 제2 위치에서 나사결합된다. 제1 플레이트와 제2 플레이트가 밀착되도록, 제1 볼트 부재가 제1 위치에서 너트 부재에 나사결합된다. 제2 플레이트가 제1 플레이트로부터 이격되도록 제1 볼트 부재가 제2 위치에서 너트 부재에 나사결합된다.
일 실시예에 있어서, 제1 위치에서 밀착된 제1 플레이트와 제2 플레이트가 복수의 프로브를 유지하고, 제2 위치에서 이격된 제1 플레이트와 제2 플레이트가 복수의 프로브를 유지한다.
일 실시예에 있어서, 너트 부재는 제2 플레이트의 상면에 결합되고 제1 플레이트를 관통한다.
일 실시예에 있어서, 프로브 헤드는, 제1 볼트 부재에 접촉되어 회로 기판 조립체에 결합되고 제1 볼트 부재를 제2 위치에 고정하는 스토퍼를 포함한다.
일 실시예에 있어서, 프로브 헤드는, 제1 볼트 부재와 접촉되고 제1 볼트 부재를 통해 너트 부재에 나사결합되는 제2 볼트 부재를 포함한다. 제2 볼트 부재의 회전이 너트 부재를 통해 제2 플레이트를 제1 플레이트에 대해 이동시킨다.
일 실시예에 있어서, 너트 부재는, 제1 볼트 부재와 나사결합되는 제1 나사가 외주면에 형성되고 제2 볼트 부재와 나사결합되는 제2 나사가 내주면에 형성된 중공의 너트 바디를 포함한다. 제1 볼트 부재는 제2 볼트 부재를 지지하는 중공의 볼트 헤드와, 너트 부재의 제1 나사와 나사결합되는 암나사를 내주면에 갖는 중공의 볼트 바디를 포함한다. 제2 나사의 나사 피치가 제1 나사의 나사 피치보다 작을 수 있다.
일 실시예에 있어서, 회로 기판 조립체는, 검사 장치에 도전 가능하게 연결되는 제1 회로 기판 조립체와, 제1 회로 기판 조립체에 도전 가능하게 결합되고 제1 회로 기판 조립체의 단자들 간의 단자 피치를 복수의 프로브 간의 프로브 피치로 조정하는 제2 회로 기판 조립체를 포함한다.
본 개시의 일 실시예는, 프로브를 유지한 채로 밀착되고 이격되는 제1 및 제2 플레이트를 갖는 프로브 헤드를 제공할 수 있다. 이러한 일 실시예의 프로브 헤드는, 프로브의 용이한 삽입, 프로브의 용이한 유지, 간편하고 간단한 조립, 다양한 길이의 프로브에의 대응을 달성한다. 또한, 일 실시예의 프로브 헤드에 의해, 피검사 디바이스의 검사 현장에서 별도의 리페어 지그를 사용하지 않고서 프로브가 교체될 수 있다. 본 개시의 일 실시예에 따른 프로브 헤드는, 프로브를 유지한 채로 제1 플레이트에 대해 이동되는 제2 플레이트로 인해, 프로브 헤드의 분리 및 분해 없이 마모된 프로브에 대응할 수 있어, 프로브 카드의 수명을 증대시킬 수 있다. 본 개시의 일 실시예에 따른 프로브 헤드는, 하나의 너트 부재에 모두 결합되는 제1 볼트 부재와 제2 볼트 부재로 인해, 프로브의 삽입 상태와 제1 및 제2 플레이트 간의 간격을 큰 범위와 작은 범위로 정밀하게 조정할 수 있다. 본 개시의 일 실시예에 따른 프로브 헤드에서는, 프로브가 밀착된 제1 및 제2 플레이트에 삽입된 후, 이격되는 제1 플레이트와 제2 플레이트가 프로브의 완전한 삽입을 보증한다. 이에 따라, 일 실시예에 따른 프로브 헤드는 자동 프로브 삽입 장치의 개발을 실현할 수 있다.
도 1은 일 실시예에 따른 프로브 헤드를 구비하는 일 실시예에 따른 프로브 카드를 개략적으로 도시한다.
도 2는 일 실시예에 따른 프로브 카드의 하방 사시도이다.
도 3은 일 실시예에 따른 프로브 카드의 상방 분해 사시도이다.
도 4는 일 실시예에 따른 프로브 카드의 하방 분해 사시도이다.
도 5는 도 2의 5-5 선을 따라 취한 단면도이다.
도 6은 너트 부재, 제1 볼트 부재 및 제2 볼트 부재를 도시하는 단면도이다.
도 7은 프로브 헤드가 안착되지 않은 일 실시예에 따른 프로브 카드를 도시하는 사시도이다.
도 8은 일 실시예에 따른 프로브 카드의 조립 예를 도시하는 사시도로서, 회로 기판 조립체와 프로브 헤드를 도시한다.
도 9는 상호 밀착된 제1 및 제2 플레이트에 프로브가 최초로 삽입되는 예를 도시한다.
도 10은 일 실시예에 따른 프로브 카드의 조립 예를 도시하는 사시도로서, 회로 기판 조립체에 안착된 프로브 헤드를 도시한다.
도 11은 회로 기판 조립체에 안착된 프로브 헤드에서 너트 부재와 제1 볼트 부재를 도시한다.
도 12는 일 실시예에 따른 프로브 헤드에 의해 프로브가 유지되는 일 예를 도시하며, 제1 볼트 부재가 너트 부재에 제1 위치에서 결합된 것을 도시한다.
도 13은 도 12와 유사한 도면으로서, 제1 볼트 부재가 너트 부재에 제2 위치에서 결합된 것을 도시한다.
도 14는 일 실시예에 따른 프로브 헤드에 의해 프로브가 유지되는 또 하나의 예를 도시한다.
도 15는 도 14와 유사한 도면으로서, 제2 볼트 부재가 너트 부재에 결합된 것을 도시한다.
도 16은 회로 기판 조립체에 결합된 일 실시예에 따른 프로브 헤드를 도시한다.
본 개시의 실시예들은 본 개시의 기술적 사상을 설명하기 위한 목적으로 예시된 것이다. 본 개시에 따른 권리범위가 이하에 제시되는 실시예들이나 이들 실시예들에 대한 구체적 설명으로 한정되는 것은 아니다.
본 개시에 사용되는 모든 기술적 용어들 및 과학적 용어들은, 달리 정의되지 않는 한, 본 개시가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 일반적으로 이해되는 의미를 갖는다. 본 개시에 사용되는 모든 용어들은 본 개시를 더욱 명확히 설명하기 위한 목적으로 선택된 것이며 본 개시에 따른 권리범위를 제한하기 위해 선택된 것이 아니다.
본 개시에서 사용되는 "포함하는", "구비하는", "갖는" 등과 같은 표현은, 해당 표현이 포함되는 어구 또는 문장에서 달리 언급되지 않는 한, 다른 실시예를 포함할 가능성을 내포하는 개방형 용어(open-ended terms)로 이해되어야 한다.
본 개시에서 기술된 단수형의 표현은 달리 언급하지 않는 한 복수형의 의미를 포함할 수 있으며, 이는 청구범위에 기재된 단수형의 표현에도 마찬가지로 적용된다.
본 개시에서 사용되는 "제1", "제2" 등의 표현들은 복수의 구성요소들을 상호 구분하기 위해 사용되며, 해당 구성요소들의 순서 또는 중요도를 한정하는 것은 아니다.
본 개시에서, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 경우, 상기 어떤 구성요소가 상기 다른 구성요소에 직접적으로 연결될 수 있거나 접속될 수 있는 것으로, 또는 새로운 다른 구성요소를 매개로 하여 연결될 수 있거나 접속될 수 있는 것으로 이해되어야 한다.
본 개시에서 사용되는 "상방"의 방향지시어는 프로브 헤드가 피검사 디바이스에 대해 위치하는 방향에 근거하고, "하방"의 방향지시어는 상방의 반대 방향을 의미한다. 본 개시에서 사용되는 "수직 방향"의 방향지시어는 상방 방향과 하방 방향을 포함하지만, 상방 방향과 하방 방향 중 특정한 하나의 방향을 의미하지는 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 실시예들을 설명한다. 첨부된 도면에서, 동일하거나 대응하는 구성요소에는 동일한 참조부호가 부여되어 있다. 또한, 이하의 실시예들의 설명에 있어서, 동일하거나 대응하는 구성요소를 중복하여 기술하는 것이 생략될 수 있다. 그러나, 구성요소에 관한 기술이 생략되어도, 그러한 구성요소가 어떤 실시예에 포함되지 않는 것으로 의도되지는 않는다.
이하에 설명되는 실시예들과 첨부된 도면에 도시된 예들은, 피검사 디바이스의 전기적 검사에 사용되는 프로브 카드와 프로브 카드의 프로브 헤드에 관련된다. 일 예로, 실시예들에 따른 프로브 카드 및 프로브 헤드는, 피검사 디바이스의 제조 공정 도중 피검사 디바이스의 전기적 검사를 위해 사용될 수 있다.
도 1은 일 실시예에 따른 프로브 헤드를 구비하는 일 실시예에 따른 프로브 카드를 도시한다. 도 1에 있어서, 프로브 카드, 프로브 헤드, 피검사 디바이스 및 검사 장치의 형상은 일 실시예의 설명을 위해 개략적으로 도시되어 있다.
일 실시예에 따른 프로브 카드(100)는 피검사 디바이스(10)의 전기적 검사를 위해 검사 장치(20)에 배치될 수 있다. 일 예로, 검사 장치(20)는 프로버(21)와 테스터(22)를 포함할 수 있다. 프로브 카드(100)는 프로버(21)에 교체 가능하게 배치될 수 있다. 테스터(22)는 프로브 카드(100)와 전기적으로 연결될 수 있다. 프로버(21)의 내부에는 피검사 디바이스(10)를 지지하고 이송하는 반송 장치(23)가 구비될 수 있다. 피검사 디바이스(10)는 반송 장치(23)의 상면에 배치될 수 있다.
피검사 디바이스(10)는 반도체 웨이퍼 상에 완성된 다수의 반도체 소자일 수 있으나, 이에 한정되지는 않는다. 또한, 상기 반도체 소자는 메모리 소자 또는 비메모리 소자가 될 수 있다. 따라서, 프로브 카드(100)는, 반도체 웨이퍼 상에 완성된 다수의 반도체 소자를 반도체 웨이퍼로부터 절단하기 전에 반도체 소자의 전기적 기능 및 성능을 검사하고 반도체 소자의 불량을 확인하기 위한 검사에 사용될 수 있다.
프로브 카드(100)는, 회로 기판 조립체(101)와, 복수의 프로브(102)와, 복수의 프로브(102)를 회로 기판 조립체(101)에 고정하는 일 실시예의 프로브 헤드(200)를 포함할 수 있다. 회로 기판 조립체(101)는 프로브 카드(100)의 몸체가 될 수 있다. 회로 기판 조립체(101)는 검사 장치(20)에 도전 가능하게 연결된다. 상세하게는, 회로 기판 조립체(101)는 프로버(21)에 교환 가능하게 배치되어, 테스터(22)로부터의 전기적 테스트 신호를 피검사 디바이스(10)에 전달하고 피검사 디바이스(10)로부터의 응답 신호를 테스터(22)에 전달하도록, 테스터(22)에 도전 가능하게 연결될 수 있다.
프로브 헤드(200)는 복수의 프로브(102)를 유지하며 회로 기판 조립체(101)에 부착된다. 따라서, 복수의 프로브(102)는 프로브 헤드(200)에 의해 회로 기판 조립체(101)에 고정된다. 복수의 프로브(102)는 상단에서 회로 기판 조립체(101)의 단자에 접촉된다. 또한, 복수의 프로브(102)는 하단에서 피검사 디바이스(10)에, 상세하게는 피검사 디바이스(10)의 단자(11)에 접촉된다. 프로브 헤드(200)는 제1 플레이트(210)와 제2 플레이트(220)를 포함하며, 제1 플레이트(210)와 제2 플레이트(220)가 복수의 프로브(102)를 수직 방향으로 유지한다. 제2 플레이트(220)는 제1 플레이트(210)의 아래에 배치된다. 일 실시예에 따른 프로브 헤드(200)는 제1 플레이트(210)와 제2 플레이트(220) 간의 간격을 조정하도록 구성된다.
도 1을 참조하면, 피검사 디바이스(10)는 반송 장치(23) 상에 탑재되어 프로브 카드(100)에 밀착될 수 있다. 프로브 카드(100)와 피검사 디바이스(10)가 수직 방향으로 밀착된 상태에서, 피검사 디바이스(10)에 접촉되는 프로브(102)를 통해, 테스터(22)가 피검사 디바이스(10)에 전기적 테스트 신호를 출력할 수 있고, 피검사 디바이스(10)로부터의 응답 신호가 프로브(102)와 회로 기판 조립체(101)를 통해 테스터(22)에 전달될 수 있다. 이에 따라, 프로브 카드(100)를 통해 피검사 디바이스(10)의 전기적 특성, 기능적 특성, 동작 속도 등에 관해 전기적 검사가 수행될 수 있다.
도 2 내지 도 11에 도시된 예를 참조하여, 일 실시예의 프로브 카드 및 일 실시예의 프로브 헤드가 설명된다.
도 2는 일 실시예에 따른 프로브 카드의 하방 사시도이다. 도 3은 일 실시예에 따른 프로브 카드의 상방 분해 사시도이고, 도 4는 일 실시예에 따른 프로브 카드의 하방 분해 사시도이다. 도 5는 도 2의 5-5 선을 따라 취한 단면 형상을 도시한다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 일 실시예에 있어서, 프로브 카드(100)의 회로 기판 조립체(101)는 제1 회로 기판 조립체(110)와 제2 회로 기판 조립체(120)를 포함한다. 제1 회로 기판 조립체(110)는 검사 장치(예컨대, 도 1에 도시된 검사 장치(20)의 테스터(22))에 도전 가능하게 연결될 수 있다. 제2 회로 기판 조립체(120)는 제1 회로 기판 조립체(110)에 수직 방향(VD)에서 부착되어, 제1 회로 기판 조립체(110)에 도전 가능하게 결합된다. 제2 회로 기판 조립체(120)는 제1 회로 기판 조립체(110)의 단자들 간의 단자 피치를 복수의 프로브(102)들 간의 프로브 피치로 조정할 수 있다. 이러한 제2 회로 기판 조립체(120)는, 스페이스 트랜스포머(space transformer)로서 참조될 수 있다. 다른 실시예에 있어서, 프로브 카드(100)의 회로 기판 조립체(101)는 제1 회로 기판 조립체(110)만을 구비할 수 있다. 이러한 예의 프로브 카드(100)는 메모리 소자와 같은 피검사 디바이스의 전기적 검사에 사용될 수 있다.
도 3을 참조하면, 제1 회로 기판 조립체(110)는, 원형의 인쇄 회로 기판(111)과, 인쇄 회로 기판(111)의 상면에 부착되는 제1 스티프너(stiffener)(112)와, 인쇄 회로 기판(111)의 상면에 제1 스티프너(112)를 따라 형성된 제2 스티프너(113)와, 인쇄 회로 기판(111)의 상면에 부착된 다수의 커넥터(114)를 포함할 수 있다.
인쇄 회로 기판(111)의 하면에는 전기적 검사 신호 및 응답 신호가 통과하는 다수의 신호선(미도시)이 실장될 수 있다. 제1 스티프너(112)는 제2 스티프너(113) 내에 위치하며, 인쇄 회로 기판(111)의 상면에 부착된다. 제2 스티프너(113)는 링 형상을 가지며, 프로브 카드(100)와 검사 장치 간의 결합을 위해 기능할 수 있다. 즉, 프로브 카드(100)는 제2 스티프너(113)를 통해 검사 장치(예컨대, 도 1에 도시된 프로버(21)의 일부)에 도킹될 수 있다. 이를 위해, 제2 스티프너(113)는 그 상면에 도킹을 위한 도킹부를 가진다. 다수의 커넥터(114)는 방사상으로 배치되며, 인쇄 회로 기판(111)의 상면에 부착된다. 커넥터(114)는 검사 장치에 마련되는 대응 커넥터(미도시)에 결합될 수 있다. 일 예로서, 제로 인서션 포스(zero insertion force) 커넥터가 커넥터(114)로서 채용될 수 있다.
도 4를 참조하면, 제2 회로 기판 조립체(120)는 제1 회로 기판 조립체(110)의 하면에 볼트(125)에 의해 부착될 수 있다. 제2 회로 기판 조립체(120)는, 다층 유기(multilayer organic) 회로 기판(121)과, 인쇄 회로 기판(111)과 다층 유기 회로 기판(121)의 사이에 배치되는 제3 스티프너(122)와, 제3 스티프너(122)에 삽입되어 다층 유기 회로 기판(121)과 접촉되는 인터포우저(interposer)(123)와, 다층 유기 회로 기판(121)의 아래에 배치되는 회로 기판 커버(124)를 포함할 수 있다.
프로브 카드(100)의 프로브(102)는 그 상단에서 다층 유기 회로 기판(121)의 단자에 접촉될 수 있다. 제3 스티프너(122)에는 인터포우저(123)가 삽입되는 개구(126)가 뚫려 있다. 인터포우저(123)는 인쇄 회로 기판(111)의 하면과 다층 유기 회로 기판(121)의 상면에 접촉되어, 인쇄 회로 기판(111)과 다층 유기 회로 기판(121)을 도전 가능하게 연결시킨다. 인터포우저(123)는, 수직 방향으로 배향된 다수의 도전부와 도전부들을 수평 방향으로 절연 및 이격시키는 절연부를 갖고 실리콘 러버 재료로 이루어지는 도전 시트(conductive sheet)를 포함할 수 있다. 회로 기판 커버(124)는 다층 유기 회로 기판(121)의 하면에 접촉되며, 프로브 헤드(200)를 수용하는 프로브 헤드 수용부(127)가 개구의 형상으로서 회로 기판 커버(124)를 관통해 형성되어 있다. 프로브 헤드(200)는 헤드 수용부(127)에 삽입된다. 볼트(125)가 인쇄 회로 기판(111)을 통해 제2 회로 기판 조립체(120)에 체결되어, 제2 회로 기판 조립체(120)를 인쇄 회로 기판(111)에 고정시킨다.
도 2를 참조하면, 일 실시예에 따른 프로브 헤드(200)는, 복수의 프로브(102)를 회로 기판 조립체(101)에 고정한다. 도 3 및 도 4를 참조하면, 프로브 헤드(200)는, 프로브(102)를 유지하는 제1 플레이트(210) 및 제2 플레이트(220)를 포함한다. 프로브 헤드(200)는 회로 기판 조립체(101)에 교체 가능하게 결합될 수 있다. 도 3 및 도 4에 도시된 예에서, 프로브 헤드(200)는 회로 기판 커버(124)의 프로브 헤드 수용부(127)에 삽입되는 식으로 제2 회로 기판 조립체(120)에 배치될 수 있다. 프로브 헤드(200)의 제1 플레이트(210)는 회로 기판 조립체의 제2 회로 기판 조립체(120)에 고정될 수 있다. 일 예로, 제1 회로 기판 조립체(110)와 제2 회로 기판 조립체(120)에는 수직 방향으로 복수개의 관통공이 마련될 수 있고, 제1 플레이트(210)에는 이러한 복수개의 관통공에 대응하는 나사공 또는 나사홈이 가장자리를 따라 마련될 수 있다. 나사가 제1 회로 기판 조립체(110)와 제2 회로 기판 조립체(120)의 상기 관통공을 통해 상기 나사공 또는 나사홈에 체결되어, 제1 플레이트(210)가 제2 회로 기판 조립체(120)에 고정될 수 있다. 프로브 헤드(200)의 제2 플레이트(220)는 제1 플레이트(210)에 대해 수직 방향(VD)으로 이동될 수 있다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 제1 및 제2 플레이트(210, 220)는 동일한 크기의 사각 평판 형상을 가질 수 있다. 제1 플레이트(210)에는 프로브(102)가 각각 삽입되는 복수의 제1 프로브 홀(211)이 수직 방향(VD)으로 관통되어 있다. 프로브(102)는 상단부에서 제1 플레이트(210)에 고정될 수 있다. 일 예로, 프로브(102)의 상단부에 제1 프로브 홀(211)과 걸림결합할 수 있는 걸림부가 마련되어, 프로브(102)와 제1 플레이트(210) 간의 고정을 달성할 수 있다. 제2 플레이트(220)는 제1 플레이트(210)의 아래에 배치된다. 제2 플레이트(220)에는 프로브(102)가 각각 삽입되고 제1 프로브 홀(211)에 각각 대응하는 제2 프로브 홀(221)이 수직 방향(VD)으로 관통되어 있다.
일 실시예에 있어서, 제1 플레이트(210)와 제2 플레이트(220)는 프로브(102)를 유지하면서 서로 밀착될 수 있다. 또한, 제1 플레이트(210)와 제2 플레이트(220)는 프로브(102)를 유지하면서 이들 사이에 수직 방향(VD)으로 소정의 간극(예컨대, 도 1에 도시된 간극(C))을 두고서 수직 방향(VD)으로 이격될 수 있다. 제1 및 제2 플레이트(210, 220)가 밀착된 상태에서, 프로브(102)는 제1 및 제2 플레이트(210, 220)에 하방 방향(LD)으로 최초로 삽입될 수 있다. 프로브(102)의 최초 삽입 상태에서, 제1 및 제2 플레이트(210, 220)는 프로브(102)의 상측 부분을 동시에 유지할 수 있다. 제1 및 제2 플레이트(210, 220)가 상기 소정 간극으로 이격된 상태에서, 제1 및 제2 플레이트(210, 220)는 프로브(102)의 상측 부분과 하측 부분을 각각 유지할 수 있다.
프로브 헤드(200)는, 프로브(102)를 유지하는 제1 및 제2 플레이트(210, 220)를 회로 기판 조립체(101)에 고정하는 고정 장치를 구비한다. 일 실시예에 있어서, 상기 고정 장치로서, 프로브 헤드(200)는 제2 플레이트(220)에 결합되는 너트 부재(230)와, 회로 기판 조립체(101)를 통해 너트 부재(230)에 나사결합되는 제1 볼트 부재(240)를 포함한다.
일 실시예에 있어서, 너트 부재(230)는 제2 플레이트(220)의 상면에 결합될 수 있고 제1 플레이트(210)를 수직 방향(VD)으로 관통할 수 있다. 너트 부재(230)는 접착제를 사용하는 접착 또는 금속 재료를 사용하는 브레이징에 의해 제2 플레이트(220)의 상면에 결합될 수 있다. 도 3 및 도 4는 4개의 너트 부재(230)가 제2 플레이트(220)에 결합되는 것을 도시하지만, 이는 단지 예시적이다. 적어도 2개 이상의 너트 부재(230)가 프로브 헤드(200)에 채용될 수 있다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 너트 부재(230)는 제2 플레이트(220)와 결합되는 너트 헤드(231)와 너트 헤드(231)로부터 상방 방향(UD)으로 연장하는 슬리브 형상의 너트 바디(232)를 포함할 수 있다. 제1 볼트 부재(240)는 제1 회로 기판 조립체(110)와 제2 회로 기판 조립체(120)를 통해 너트 부재(230)에 나사 결합된다. 너트 부재(230)의 개수와 같은 개수의 제1 볼트 부재(240)가 프로브 헤드(200)에 채용된다. 제1 볼트 부재(240)는 볼트 헤드(241)와 볼트 헤드(241)로부터 하방으로 수직으로 연장하는 볼트 바디(242)를 포함할 수 있다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 제1 회로 기판 조립체의 제1 스티프너(112)에는 상면으로부터 오목하고 대략 길다란 사각형의 형상을 갖는 복수의 홈(115)이 형성되어 있다. 홈(115)의 각 코너부는 여유부(relief)를 갖도록 원호 형상으로 절결되어 있다. 홈(115)의 중앙에는 정렬공(116)이 위치하며, 정렬공(116)은 제1 스티프너(112)를 수직 방향으로 관통한다. 또한, 정렬공(116)의 둘레를 따라 볼트 헤드 시트(bolt head seat)(117)가 홈(115)의 바닥면보다 오목하게 형성되어 있다. 제1 회로 기판 조립체의 인쇄 회로 기판(111)에는 정렬공(116)에 대응하는 정렬공(118)이 수직 방향으로 관통되어 있다. 제2 회로 기판 조립체의 제3 스티프너(122)와 다층 유기 회로 기판(121)의 각각에는, 정렬공(116, 118)에 대응하는 정렬공(128)과 정렬공(129)이 수직 방향으로 관통되어 있다. 정렬공(116, 118, 128, 129)은 너트 바디(232)와 볼트 바디(242)가 삽입될 수 있는 직경을 갖는다. 너트 바디(232)는 다층 유기 회로 기판(121)의 정렬공(129), 제3 스티프너(122)의 정렬공(128) 및 인쇄 회로 기판(111)의 정렬공(118)을 관통해, 그 상단이 인쇄 회로 기판(111)의 상면의 높이까지 위치할 수 있다. 볼트 바디(242)는, 제1 스티프너(112)의 정렬공(116)과 인쇄 회로 기판(111)의 정렬공(118)을 관통해, 그 하단이 인쇄 회로 기판(111)의 정렬공(118)의 중간에 위치할 수 있다. 제1 볼트 부재(240)는, 볼트 헤드(241)가 제1 스티프너(112)의 상면(상세하게는, 볼트 헤드 시트(117))에 접촉되어 그 위치가 제한될 수 있다. 볼트 헤드(241)는 그 하면에서 볼트 헤드 시트(117)에 접촉될 수 있다.
너트 바디(232)는 중공의 슬리브 형상을 가질 수 있다. 볼트 바디(242)는 중공의 슬리브 형상을 가질 수 있다. 일 실시예에 있어서, 너트 바디(232)가 볼트 바디(242)의 내부로 삽입되면서, 제1 볼트 부재(240)가 너트 부재(230)에 나사결합될 수 있다. 이와 관련하여, 너트 바디(232)의 외주면에는 수나사의 제1 나사(233)가 형성될수 있고, 볼트 바디(242)의 내주면에는 제1 나사(233)와 나사결합되는 암나사(243)가 형성될 수 있다. 다른 실시예에 있어서, 너트 바디(232)의 내주면에 암나사가 형성되고, 볼트 바디(242)의 외주면에 수나사가 형성되어, 볼트 바디가 너트 바디의 내부에 삽입될 수도 있다.
일 실시예에 있어서, 제1 볼트 부재(240)는 너트 부재(230)에 제1 위치 및 제2 위치에서 나사결합될 수 있다. 상기 제1 위치에서, 제1 볼트 부재(240)는 제1 플레이트(210)와 제2 플레이트(220)가 서로 밀착되도록 너트 부재(230)와 나사결합될 수 있다. 상기 제2 위치에서, 제1 볼트 부재(240)는, 제2 플레이트(220)가 제1 플레이트(210)로부터 수직 방향으로 이격되도록, 너트 부재(230)와 나사결합될 수 있다. 상기 제2 위치는 상기 제1 위치로부터 상방 방향(UD)으로 이격된 위치이며, 프로브(102)가 제1 및 제2 플레이트(210, 220)에 의해 완전히 유지되는 것이 보증되는 위치이다. 즉, 상기 제2 위치는, 제1 플레이트(210)와 제2 플레이트(220)가 서로 밀착되지 않아 이들 사이에 전술한 소정 간극이 형성되도록, 제1 볼트 부재(240)가 너트 부재(230)에 나사결합되는 위치가 될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 프로브 헤드(200)는 너트 부재(230)와 나사 결합된 제1 볼트 부재(240)를 상기 제2 위치에 고정하는 스토퍼(250)를 포함할 수 있다. 스토퍼(250)는 제1 볼트 부재(240)의 상방 방향(UD)의 이동을 구속하여, 제2 플레이트(220)를 제1 플레이트(210)로부터 이격된 상태로 제2 플레이트(220)를 유지할 수 있다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 스토퍼(250)는 제1 볼트 부재(240)를 덮도록 형성될 수 있다. 스토퍼(250)는 볼트 헤드(241)의 상단에 접촉하여, 제1 볼트 부재(240)를 상기 제2 위치에 고정할 수 있다. 스토퍼(250)는 홈(115)에 삽입되는 크기를 갖는다. 홈(115)의 각 코너에 마련된 여유부로 인해, 스토퍼(250)는 정밀한 끼워맞춤으로 홈(115)에 삽입될 수 있다. 도 3에 도시된 바와 같이, 스토퍼(250)에는 한 쌍의 관통공(251)이 형성되어 있고, 홈(115)에는 홈(115)의 바닥면으로부터 하방으로 뚫린 한 쌍의 나사공(119)이 형성되어 있다. 클램핑 볼트(252)가 스토퍼(250)를 관통해 나사공(119)에 체결되어, 스토퍼(250)가 제1 볼트 부재(240)의 볼트 헤드(241)에 접촉하면서 제1 회로 기판 조립체의 제1 스티프너(112)에 고정될 수 있다. 즉, 스토퍼(250)는 제1 볼트 부재(240)의 상기 제2 위치에서 제1 볼트 부재(240)에 접촉되어, 회로 기판 조립체(101)에 고정될 수 있다.
전술한 바와 같이, 제1 볼트 부재(240)가 너트 부재(230)에 상기 제2 위치에서 나사결합되므로, 제2 플레이트(220)는 프로브(102)의 일부를 유지하면서 제1 플레이트(210)로부터 이격될 수 있다. 이에 따라, 프로브(102)의 상측 부분 및 하측 부분이 이격된 제1 및 제2 플레이트(210, 220)에 의해 각각 유지될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 프로브 헤드(200)는 제1 및 제2 플레이트(210, 220)의 상기 소정 간격을 정밀하게 조정할 수 있다. 이와 관련하여, 프로브 헤드(200)는, 제1 볼트 부재(240)를 통해 너트 부재(230)에 나사결합되는 제2 볼트 부재(260)를 포함할 수 있다. 너트 부재(230)에 나사결합된 제2 볼트 부재(260)는 너트 부재(230)에 대해 정방향 또는 역방향으로 회전될 수 있다. 이러한 제2 볼트 부재(260)의 회전이 너트 부재(230)를 통해 제2 플레이트(220)를 제1 플레이트(210)에 대해 상방 또는 하방으로 미세하게 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 제1 및 제2 플레이트(210, 220)의 간격이 정밀하게 조정될 수 있고, 제2 플레이트(220)가 프로브(102)를 유지하는 위치가 변경될 수 있다. 제2 볼트 부재(260)는 제1 볼트 부재(240)의 상기 제2 위치에서 너트 부재(230)에 나사결합될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 제1 볼트 부재(240)는 제2 볼트 부재(260)가 제1 볼트 부재(240)를 수직 방향으로 관통하도록 형성될 수 있다. 도 3을 참조하면, 제1 볼트 부재(240)의 볼트 헤드(241)는 육각형으로 오목한 볼트 헤드 시트(244)를 가지며, 볼트 헤드 시트(244)의 바닥면으로부터 수직 방향으로 관통공(245)이 볼트 바디(242)에 뚫려 있다. 제2 볼트 부재(260)는 육각형의 렌치홀이 형성된 볼트 헤드(261)와 볼트 헤드(261)로부터 연장하는 원주 형상의 볼트 바디(262)를 갖는다. 볼트 바디(262)가 관통공(245)을 통해 제1 볼트 부재(240)의 내부로 삽입될 수 있다. 볼트 헤드(261)의 하면이 볼트 헤드 시트(244)의 바닥면과 접촉되어, 제2 볼트 부재(260)가 제1 볼트 부재(240)에 접촉될 수 있다. 따라서, 제1 볼트 부재(240)의 볼트 헤드(241)가 제2 볼트 부재(260)를 지지할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 너트 부재(230)는 제1 볼트 부재(240)와 나사 결합되는 제1 나사(233)와 제2 볼트 부재(260)와 나사결합되고 제1 나사(233)보다 작은 직경을 갖는 제2 나사(234)를 가질 수 있다. 일 예로, 제1 나사(233)와 제2 나사(234)는, 슬리브 형상의 너트 바디(232)의 외주면과 내주면에 각각 형성되는 방식으로 너트 부재(230)에 제공될 수 있다. 또 하나의 예로, 제1 나사(233)와 제2 나사(234)는 원주 형상의 너트 바디의 외주면에 형성될 수 있다. 또 다른 예로서, 제1 나사(233)와 제2 나사(234)는 슬리브 형상의 너트 바디의 내주면에 형성될 수 있다.
도 6은 제1 볼트 부재가 너트 부재에 나사결합되고, 제2 볼트 부재가 너트 부재에 나사결합된 것을 도시하는 단면도이다. 일 실시예에 있어서, 도 6을 참조하면, 너트 부재(230)의 너트 바디(232)의 외주면에는, 제1 볼트 부재(240)의 암나사(243)와 나사결합되는 수나사의 제1 나사(233)가 형성되고, 너트 바디(232)의 내주면에는, 제2 볼트 부재(260)의 수나사(263)와 나사결합되는 암나사의 제2 나사(234)가 형성된다.
일 실시예에 있어서, 제2 나사(234)의 나사 피치(TP2)는 제1 나사(233)의 나사 피치(TP1)보다 작다. 제2 나사의 나시 피치(TP2)가 제1 나사의 나시 피치(TP1)보다 작은 상황에서, 제1 나사(233)의 나사 피치(TP1)와 제2 나사(234)의 나사 피치(TP2) 간의 비율은, 제1 플레이트(210)와 제2 플레이트(220) 간의 간극을 미세하게 조정할 수 있도록 정해질 수 있다. 또한, 제2 볼트 부재(260)의 수나사(263)의 나사 피치가 제1 볼트 부재(240)의 암나사(243)의 나사 피치보다 작다. 도 3, 도 5 및 도 6을 참조하면, 제2 볼트 부재(260)의 볼트 헤드(261)가 볼트 헤드 시트(244)에 접촉되어 제2 볼트 부재(260)의 수직 방향(VD)의 이동이 제한되고, 너트 부재(230)가 제2 플레이트(220)에 고정되어 있다. 이에 따라, 제2 볼트 부재(260)가 너트 부재(230)에 대하여 정방향 또는 역방향으로 회전함에 따라, 이러한 회전에 수반되는 나사운동에 의해 너트 부재(230)가 상방 또는 하방으로 미세하게 이동될 수 있고, 제1 플레이트(210)와 제2 플레이트(220) 간의 간극이 조정될 수 있다.
도 7 내지 도 11을 참조하여, 일 실시예에 따른 프로브 헤드가 프로브 카드에 조립되는 예를 설명한다.
도 7을 참조하면, 제2 회로 기판 조립체(120)가 제1 회로 기판 조립체(110)에 부착된다. 도 8을 참조하면, 제1 회로 기판 조립체(110)에 제2 회로 기판 조립체(120)가 조립된 상태에서, 프로브 헤드(200)가 제2 회로 기판 조립체(120)에 안착된다. 상세하게는, 프로브 헤드(200)의 제1 플레이트(210)가 다층 유기 회로 기판(121)의 하면에 대면하도록, 회로 기판 커버(124)의 프로브 헤드 수용부(127)를 통해 프로브 헤드(200)가 다층 유기 회로 기판(121)의 하면에 안착된다. 도 8에 도시된 예에서, 제1 및 제2 플레이트(210, 220)는 상호 밀착되어 있다. 도 9에 도시된 바와 같이, 제1 및 제2 플레이트(210, 220)가 밀착된 상태에서, 프로브(102)가 제1 및 제2 플레이트(210, 220)에 최초 삽입될 수 있다. 일 예로서, 프로브(102)의 최초 삽입 상태에서, 프로브(102)의 상단부는 걸림결합에 의해 제1 프로브 홀(211)에 결합될 수 있고, 프로브(102)의 상단부는 제2 프로브 홀(221)을 통과할 수 있다.
도 10 및 도 11을 참조하면, 프로브(102)가 삽입되어 있고 상호 밀착된 제1 및 제2 플레이트(210, 220)가 제2 회로 기판 조립체(120)에 안착된다. 제1 플레이트(210)는, 제1 회로 기판 조립체(110)와 제2 회로 기판 조립체(120)를 관통해 제1 플레이트(210)에 나사결합되는 나사에 의해, 제2 회로 기판 조립체(120)에 고정될 수 있다. 제1 플레이트(210)가 제2 회로 기판 조립체(120)에 고정된 후, 제1 볼트 부재(240)가 너트 부재(230)에 나사결합될 수 있고, 제2 볼트 부재(260)가 너트 부재(230)에 나사결합될 수 있다. 제2 볼트 부재(260)가 너트 부재(230)에 나사결합된 후, 스토퍼(250)가 제1 회로 기판 조립체(110)에 클램핑 볼트(252)에 의해 결합될 수 있다.
도 11에 도시된 바와 같이, 밀착된 제1 및 제2 플레이트(210, 220)를 제2 회로 기판 조립체의 다층 유기 회로 기판(121)에 안착하면, 너트 부재(230)는 정렬공(129)과 정렬공(128)을 관통한다. 제1 볼트 부재(240)는 정렬공(116)과 정렬공(118)을 관통해 너트 부재(230)에 나사결합된다. 볼트 헤드(241)의 하면이 볼트 헤드 시트(117)에 접촉할 때까지, 제1 볼트 부재(240)가 너트 부재(230)와 나사결합되어, 전술한 제1 위치에 유지된다. 따라서, 상기 제1 위치에서 제1 볼트 부재(240)가 너트 부재(230)에 나사 결합되고, 제1 및 제2 플레이트(210, 220)는 수직 방향(VD)으로 밀착되어 있다.
도 9에 도시된 바와 같이, 밀착된 제1 및 제2 플레이트(210, 220)에서 각자의 프로브 홀(211, 221)은 수직 방향(VD)으로 정렬되어 있고, 프로브(102)는 제1 플레이트(210)와 제2 플레이트(220)에 순차적으로 삽입된다. 따라서, 프로브(102)를 프로브 헤드(200)에 최초로 삽입할 때, 밀착된 제1 및 제2 플레이트(210, 220)로 인해, 프로브(102)의 용이한 삽입이 달성될 수 있다. 프로브(102)가 하방 방향(LD)으로 제1 플레이트(210)에 먼저 삽입되고, 그 상단부가 전술한 걸림결합에 의해 제1 플레이트(210)에 고정된다. 따라서, 삽입된 프로브(102)들의 상단부들 동일한 레벨로 위치할 수 있고, 프로브(102)와 회로 기판 조립체 간의 안정적이 접촉이 보증될 수 있다.
도 12 내지 도 16은, 일 실시예에 따른 프로브 헤드에 의해 프로브가 프로브 카드에 유지되는 예들을 도시한다. 도 12 내지 도 16은, 프로브가 제1 및 제2 플레이트에 의해 유지되는 예와, 너트 부재와 제1 볼트 부재 간의 상대적 위치의 예를 나란히 도시한다.
도 12는 프로브가 프로브 헤드에 최초로 삽입되어 프로브 헤드에 의해 유지되는 것을 도시한다. 또한, 도 12는 도 11에 도시된 상태의 다음의 상태를 도시한다. 도 12에 도시된 바와 같이, 제1 볼트 부재(240)는 제1 위치(P1)에서 너트 부재(230)에 나사 결합되어 있다. 제1 볼트 부재(240)의 제1 위치(P1)에서, 제1 및 제2 플레이트(210, 220)는 수직 방향(VD)으로 밀착되어 있고, 프로브(102)는 밀착된 제1 및 제2 플레이트(210, 220)에 의해 유지된다. 제1 볼트 부재(240)의 제1 위치(P1)에서, 프로브(102)는 그 상측 부분에서 제1 및 제2 플레이트(210, 220)에 의해 유지되며, 프로브(102)는 제2 플레이트(220)로부터 돌출된 제1 돌출 길이(L1)를 갖는다.
도 13은 도 12와 유사한 도면으로서, 제1 볼트 부재가 너트 부재로부터 풀려 제2 위치에서 너트 부재에 결합된 것을 도시한다. 도 13을 참조하면, 제1 볼트 부재(240)는 제1 위치(P1)로부터 상방 방향(UD)으로 이격된 제2 위치(P2)에서 너트 부재(230)와 나사결합되어 있다. 제1 위치(P1)와 제2 위치(P2)의 높이차는, 프로브(102)의 길이에 따라 적절히 선택될 수 있다. 너트 부재(230)로부터 제1 볼트 부재(240)가 풀리므로, 볼트 헤드(241)의 하면과 볼트 헤드 시트(117)의 사이에는 간격이 형성된다. 이에 따라, 제1 볼트 부재(240)는, 볼트 헤드(241)의 하면이 볼트 헤드 시트(117)에 접촉될 때까지 너트 부재(230)와 함께 하방으로 이동될 수 있다. 또한, 제1 볼트 부재(240)의 하방 이동에 수반하여, 제2 플레이트(220)가 제1 플레이트(210)로부터 이격될 수 있다.
도 14는 프로브 헤드에 의해 프로브가 유지되는 또 하나의 예를 도시하며, 제2 플레이트가 제1 플레이트로부터 이격된 것을 도시한다. 도 13 및 도 14를 참조하면, 제1 볼트 부재(240)는 제2 위치(P2)에서 너트 부재(230)에 나사결합되어 있다. 제1 볼트 부재(240)의 하방 방향(LD)의 이동에 수반해, 제2 플레이트(220)가 제1 플레이트(210)로부터 하방 방향(LD)으로 이격된다. 제2 플레이트(220)가 하방으로 이동됨에 따라, 프로브(102)의 상측 부분은 제1 플레이트(210)에 의해 유지되고, 프로브(102)의 하측 부분은 제2 플레이트(220)에 의해 유지된다. 따라서, 프로브(102)는 제1 볼트 부재(240)의 제2 위치(P2)에서, 이격된 제1 및 제2 플레이트(210, 220)에 의해 유지된다. 또한, 도 14에 도시된 제1 볼트 부재(240)의 제2 위치(P2)에서, 프로브(102)는 제2 플레이트(220)로부터 돌출된 제2 돌출 길이(L2)를 갖는다. 제2 돌출 길이(L2)는 제1 돌출 길이(L1)보다 짧다.
도 14에 도시된 바와 같이, 제2 플레이트(220)가 제1 플레이트(210)로부터 이격되면서 프로브(102)가 그 상측 부분과 그 하측 부분에서 제1 및 제2 플레이트(210, 220)에 의해 유지된다. 따라서, 제2 플레이트(220)의 제1 플레이트(210)로부터의 이격에 의해, 프로브(102)는 용이하게 프로브 헤드(200)에 조립될 수 있다. 또한, 제1 볼트 부재(240)의 조정으로 제2 플레이트(220)를 이동시킬 수 있으므로, 실시예의 프로브 헤드는 다양한 길이의 프로브를, 별도의 장치 없이 제1 및 제2 플레이트(210, 220) 간의 간극(C)의 조정을 통해 유지할 수 있다.
실시예에 따라서는, 도 14에 도시된 제1 및 제2 플레이트(210, 220)의 위치 및 프로브(102)의 삽입 상태에서, 프로브 헤드(200)와 프로브(102)의 설치가 완료될 수도 있다. 이러한 실시예에서는, 스토퍼(250)(도 3 및 도 4 참조)가 볼트 헤드(241)에 접촉되어 제1 스티프너(112)에 결합됨으로써, 제1 볼트 부재(240)를 제2 위치(P2)에 고정할 수 있다. 스토퍼가 제1 볼트 부재(240)의 상방 이동을 구속하여, 제2 플레이트(220)가 제1 플레이트(210)로부터 이격되고 프로브(102)가 완전히 삽입된 상태로, 제2 플레이트(220)의 이동이 구속될 수 있다.
도 15는 제2 볼트 부재가 제1 볼트 부재를 통해 너트 부재에 나사결합된 것을 도시한다. 제2 볼트 부재(260)는 제1 볼트 부재(240)의 제2 위치(P2)에서 제1 볼트 부재(240)를 관통해 너트 부재(230)에 나사결합된다. 제2 볼트 부재(260)는 볼트 헤드(261)가 볼트 헤드 시트(244)에 접촉할 때까지 너트 부재(230)에 나사결합될 수 있다. 제2 볼트 부재(260)의 수나사와 너트 부재(230)의 제2 나사가 나사결합되고, 제1 볼트 부재(240)의 암나사와 너트 부재(230)의 제1 나사가 나사결합된다. 전술한 바와 같이, 제2 나사의 나사 피치(TP2)(도 6 참조)는 제1 나사의 나사 피치(TP1)(도 6 참조)보다 작다. 따라서, 제2 볼트 부재(260)를 너트 부재(230)에 대해 정방향 또는 역방향으로 회전시키면, 제2 볼트 부재(260)와 너트 부재(230) 간의 나사운동에 의해, 제2 플레이트(220)가 제1 플레이트(210)로 상방 방향(UD)으로 접근하거나 제1 플레이트(210)로부터 하방 방향(LD)으로 더욱 이격될 수 있다. 이에 따라, 제1 볼트 부재(240)의 제2 위치(P2)에서 확보된 제1 플레이트(210)와 제2 플레이트(220) 간의 간극(C)이 정밀하게 조정될 수 있다. 제2 볼트 부재(260)의 회전 시, 제1 볼트 부재(240)가 제2 볼트 부재(260)의 회전 방향으로 제2 볼트 부재(260)와 함께 회전되어, 너트 부재(230) 및 제2 플레이트(220)를 정밀하게 이동시킬 수 있다.
제1 볼트 부재(240)의 제2 위치(P2)에서 설정된 제1 및 제2 플레이트(210, 220)의 간극(C)은, 제2 볼트 부재(260)의 회전에 의해 미세하고 정밀하게 조정될 수 있다. 예컨대, 프로브(102)의 하단이 마모되어 프로브(102)의 길이가 짧아진 경우, 제2 볼트 부재(260)의 회전에 의해 간극(C)이 좁아지도록 제2 플레이트(220)가 이동될 수 있다. 즉, 제1 및 제2 플레이트(210, 220)의 분해 없이, 제2 볼트 부재(260)를 사용해 제1 및 제2 플레이트(210, 220)의 간극(C)이 조정될 수 있다. 이에 따라, 프로브 카드의 수명이 향상될 수 있다.
도 16은 스토퍼에 의해 제1 볼트 부재가 제2 위치에 고정된 것을 도시한다. 제2 볼트 부재(260)가 너트 부재(230)에 나사결합된 후, 스토퍼(250)가 제1 회로 기판 조립체에 고정될 수 있다. 예컨대, 클램핑 볼트(252)를 스토퍼(250)를 통해 제1 스티프너(112)에 체결함으로써, 스토퍼(250)가 제1 볼트 부재(240)에 접촉된 채로 제1 스티프너(112)에 장착될 수 있다. 제1 스티프너(112)에 장착된 스토퍼(250)가 제1 볼트 부재(240)를 구속하여, 제1 및 제2 플레이트(210, 220) 간의 간극(C)이 유지될 수 있다.
너트 부재, 제1 볼트 부재 및 제2 볼트 부재는 첨부된 도면에 도시된 형상 및 배치와는 다른 형상 및 배치를 가질 수 있다. 일 실시예로서, 너트 바디는 제1 나사가 형성되는 제1 부분과, 제1 부분의 직경보다 작은 직경을 갖고 제1 부분으로부터 연장하여 외주면에 제2 나사가 형성된 제2 부분을 가질 수 있다. 이러한 예에서는, 제2 볼트 부재의 볼트 바디는 중공의 원통 형상을 가질 수 있고, 그 내주면에 너트 바디의 수나사의 제2 나사와 결합되는 암나사를 가질 수 있다. 일 실시예로서, 중공의 너트 바디의 내주면은 암나사의 제1 나사와, 제1 나사의 직경보다 작은 암나사의 제2 나사를 가질 수 있고, 제1 볼트 부재의 볼트 바디는 외주면에 제1 나사와 나사 결합하는 수나사를 가질 수 있고, 제2 볼트 부재의 볼트 바디는 외주면에 제2 나사와 나사 결합하는 수나사를 가질 수 있다.
일 실시예로서, 프로브 카드는 전술한 제1 회로 기판 조립체만을 구비할 수도 있다. 이러한 예에서는, 제1 회로 기판 조립체의 인쇄 회로 기판에는 프로브 헤드를 인쇄 회로 기판에 고정할 수 있는 장치가 구비될 수 있다.
전술한 실시예에 있어서, 스토퍼의 형상, 스토퍼가 장착되는 회로 기판 조립체의 위치는 단지 예시적이다. 스토퍼는, 제1 볼트 부재를 제2 위치에 고정할 수 있는 한, 다양한 형상을 가질 수 있고, 다양한 장치에 의해 프로브 카드 또는 프로브 헤드에 장착될 수 있다.
도면에 도시된 프로브의 형상은 단지 예시적이다. 일 실시예에서는, 포고핀 타입 프로브, 니들 타입 프로브가 프로브 카드에 채용될 수 있다. 또 다른 실시예에서는, 상단과 하단이 옵셋된 프로브가 프로브 카드에 채용될 수 있다.
이상 일부 실시예들과 첨부된 도면에 도시하는 예에 의해 본 개시의 기술적 사상이 설명되었지만, 본 개시가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 이해할 수 있는 본 개시의 기술적 사상 및 범위를 벗어나지 않는 범위에서 다양한 치환, 변형 및 변경이 이루어질 수 있다는 점을 알아야 할 것이다. 또한, 그러한 치환, 변형 및 변경은 첨부된 청구범위 내에 속하는 것으로 생각되어야 한다.

Claims (19)

  1. 검사 장치에 도전 가능하게 연결되는 회로 기판 조립체에 피검사 디바이스와 접촉되는 복수의 프로브를 고정하는 프로브 헤드이며,
    상기 복수의 프로브를 유지하는 제1 플레이트와,
    상기 복수의 프로브를 유지하고 상기 제1 플레이트의 아래에 배치되는 제2 플레이트와,
    상기 제2 플레이트에 결합되는 너트 부재와,
    상기 회로 기판 조립체를 통해 상기 너트 부재에 제1 위치 및 제2 위치에서 나사결합되고, 상기 제1 위치에서 상기 제1 플레이트와 상기 제2 플레이트가 밀착되도록 상기 너트 부재에 나사결합되고, 상기 제2 위치에서 상기 제2 플레이트가 상기 제1 플레이트로부터 이격되도록 상기 너트 부재에 나사결합되는 제1 볼트 부재를 포함하는
    프로브 헤드.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 위치에서 밀착된 상기 제1 플레이트와 상기 제2 플레이트가 상기 복수의 프로브를 유지하고, 상기 제2 위치에서 이격된 상기 제1 플레이트와 상기 제2 플레이트가 상기 복수의 프로브를 유지하는,
    프로브 헤드.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 프로브의 각각은 상기 제1 볼트 부재의 상기 제1 위치에서 상기 제2 플레이트로부터 돌출된 제1 돌출 길이와 상기 제1 돌출 길이보다 짧고 상기 제1 볼트 부재의 상기 제2 위치에서 상기 제2 플레이트로부터 돌출된 제2 돌출 길이를 갖는,
    프로브 헤드.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 너트 부재는 상기 제2 플레이트의 상면에 결합되고 상기 제1 플레이트를 관통하는,
    프로브 헤드.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제1 볼트 부재를 상기 제2 위치에 고정하는 스토퍼를 더 포함하는
    프로브 헤드.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 스토퍼는 상기 제2 위치에서 상기 제1 볼트 부재에 접촉되어 상기 회로 기판 조립체에 고정되는,
    프로브 헤드.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 제1 볼트 부재와 접촉되고 상기 제1 볼트 부재를 통해 상기 너트 부재에 나사결합되는 제2 볼트 부재를 더 포함하고,
    상기 제2 볼트 부재의 회전이 상기 너트 부재를 통해 상기 제2 플레이트를 상기 제1 플레이트에 대해 이동시키는,
    프로브 헤드.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 너트 부재는 상기 제1 볼트 부재와 나사결합되는 제1 나사와 상기 제2 볼트 부재와 나사결합되는 제2 나사를 갖는,
    프로브 헤드.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 제2 나사의 나사 피치가 상기 제1 나사의 나사 피치보다 작은,
    프로브 헤드.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 너트 부재는 상기 제1 나사가 외주면에 형성되고 상기 제2 나사가 내주면에 형성된 중공의 너트 바디를 포함하고,
    상기 제1 볼트 부재는 상기 제2 볼트 부재를 지지하는 중공의 볼트 헤드와, 상기 너트 부재의 제1 나사와 나사결합되는 암나사를 내주면에 갖는 중공의 볼트 바디를 포함하는,
    프로브 헤드.
  11. 제7항에 있어서,
    상기 제2 볼트 부재는 상기 제1 볼트 부재의 상기 제2 위치에서 상기 너트 부재에 나사결합되는,
    프로브 헤드.
  12. 검사 장치에 도전 가능하게 연결되는 회로 기판 조립체와,
    피검사 디바이스와 접촉되는 복수의 프로브와,
    상기 회로 기판 조립체에 결합되고 상기 복수의 프로브를 고정하는 프로브 헤드를 포함하는 프로브 카드이며,
    상기 프로브 헤드는,
    상기 복수의 프로브를 유지하는 제1 플레이트와,
    상기 복수의 프로브를 유지하고 상기 제1 플레이트의 아래에 배치되는 제2 플레이트와,
    상기 제2 플레이트에 결합되는 너트 부재와,
    상기 회로 기판 조립체를 통해 상기 너트 부재에 제1 위치 및 제2 위치에서 나사결합되고, 상기 제1 위치에서 상기 제1 플레이트와 상기 제2 플레이트가 밀착되도록 상기 너트 부재에 나사결합되고, 상기 제2 위치에서 상기 제2 플레이트가 상기 제1 플레이트로부터 이격되도록 상기 너트 부재에 나사결합되는 제1 볼트 부재를 포함하는,
    프로브 카드.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 제1 위치에서 밀착된 상기 제1 플레이트와 상기 제2 플레이트가 상기 복수의 프로브를 유지하고, 상기 제2 위치에서 이격된 상기 제1 플레이트와 상기 제2 플레이트가 상기 복수의 프로브를 유지하는,
    프로브 카드.
  14. 제12항에 있어서,
    상기 너트 부재는 상기 제2 플레이트의 상면에 결합되고 상기 제1 플레이트를 관통하는,
    프로브 카드.
  15. 제12항에 있어서,
    상기 프로브 헤드는, 상기 제1 볼트 부재에 접촉되어 상기 회로 기판 조립체에 결합되고 상기 제1 볼트 부재를 상기 제2 위치에 고정하는 스토퍼를 더 포함하는,
    프로브 카드.
  16. 제12항에 있어서,
    상기 프로브 헤드는, 상기 제1 볼트 부재와 접촉되고 상기 제1 볼트 부재를 통해 상기 너트 부재에 나사결합되는 제2 볼트 부재를 더 포함하고,
    상기 제2 볼트 부재의 회전이 상기 너트 부재를 통해 상기 제2 플레이트를 상기 제1 플레이트에 대해 이동시키는,
    프로브 카드.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 너트 부재는, 상기 제1 볼트 부재와 나사결합되는 제1 나사가 외주면에 형성되고 상기 제2 볼트 부재와 나사결합되는 제2 나사가 내주면에 형성된 중공의 너트 바디를 포함하고,
    상기 제1 볼트 부재는 상기 제2 볼트 부재를 지지하는 중공의 볼트 헤드와, 상기 너트 부재의 제1 나사와 나사결합되는 암나사를 내주면에 갖는 중공의 볼트 바디를 포함하는,
    프로브 카드.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 제2 나사의 나사 피치가 상기 제1 나사의 나사 피치보다 작은,
    프로브 카드.
  19. 제12항에 있어서,
    상기 회로 기판 조립체는,
    상기 검사 장치에 도전 가능하게 연결되는 제1 회로 기판 조립체와,
    상기 제1 회로 기판 조립체에 도전 가능하게 결합되고 상기 제1 회로 기판 조립체의 단자들 간의 단자 피치를 상기 복수의 프로브 간의 프로브 피치로 조정하는 제2 회로 기판 조립체를 포함하는,
    프로브 카드.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116626345A (zh) * 2023-06-16 2023-08-22 昆山沪光汽车电器股份有限公司 一种用于线束测试线路的导通模块

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102673349B1 (ko) 2022-02-25 2024-06-07 (주)티에스이 저마찰형 프로브 헤드

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2531042Y2 (ja) * 1990-09-28 1997-04-02 アンリツ株式会社 プローブヘッド
KR20100023448A (ko) * 2008-08-22 2010-03-04 (주) 미코티엔 프로브 카드
KR20130009359A (ko) * 2011-07-15 2013-01-23 주식회사 세디콘 탐침 고정용 거치장치 및 프로브 카드의 제작방법
KR20170058138A (ko) * 2015-11-18 2017-05-26 (주)엠투엔 프로브 카드
JP2018128301A (ja) * 2017-02-07 2018-08-16 株式会社日本マイクロニクス 治具

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI401437B (zh) * 2008-05-16 2013-07-11 Probe card
JP6890921B2 (ja) 2015-10-21 2021-06-18 株式会社日本マイクロニクス プローブカード及び接触検査装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2531042Y2 (ja) * 1990-09-28 1997-04-02 アンリツ株式会社 プローブヘッド
KR20100023448A (ko) * 2008-08-22 2010-03-04 (주) 미코티엔 프로브 카드
KR20130009359A (ko) * 2011-07-15 2013-01-23 주식회사 세디콘 탐침 고정용 거치장치 및 프로브 카드의 제작방법
KR20170058138A (ko) * 2015-11-18 2017-05-26 (주)엠투엔 프로브 카드
JP2018128301A (ja) * 2017-02-07 2018-08-16 株式会社日本マイクロニクス 治具

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116626345A (zh) * 2023-06-16 2023-08-22 昆山沪光汽车电器股份有限公司 一种用于线束测试线路的导通模块

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