KR102673349B1 - 저마찰형 프로브 헤드 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체 소자 테스트용 프로브 헤드에 관한 것으로서, 반도체 소자 테스트용 프로브 헤드에 있어서, 프로브와, 상기 프로브가 수용되는 수용공이 형성된 블럭 및 상기 블럭 상에 형성되고, 상기 수용공에 대응되게 가이드공이 형성되어 상기 프로브를 수용하는 가이드 필름을 포함하며, 상기 가이드공의 일측에는 상기 프로브를 탄성 지지하는 유연 가이드부가 형성된 것을 특징으로 하는 저마찰형 프로브 헤드를 기술적 요지로 한다.

Description

저마찰형 프로브 헤드{Lower Friction Probe Head}
본 발명은 반도체 소자 테스트용 프로브 헤드에 관한 것으로서, 블럭 상에 유연 가이드부가 형성된 가이드 필름을 도입하여 프로브와의 마찰을 최소화하면서 프로브를 안정적으로 지지하고 프로브가 유연하게 움직이도록 하는 저마찰형 프로브 헤드에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 장치의 제조 공정은 반도체 소자를 제조하는 패터닝 공정과, 이들을 전기적으로 테스트하여 불량 여부를 판별하는 EDS(Electrical Die Sorting) 공정 그리고 웨이퍼 상에 각 반도체 소자를 집적하는 조립 공정 등을 포함하고 있다.
상기 EDS 공정은 각 반도체 소자들에 검사 전류를 공급하여 이로부터 출력되는 전기적 신호를 검사하여 불량 여부를 판별하는 공정으로, 각 반도체 소자에 프로브(probe)를 전기적으로 접촉시켜 그 성능을 검사하는 프로브 장치가 널리 사용되고 있다.
이러한 프로브 장치는 검사 전류를 공급하고, 그에 따른 신호를 검사하고 분석하는 테스터(tester)와, 검사대상물(반도체 소자)과 테스터를 전기적으로 연결하는 프로브 카드(probe card) 그리고, 검사대상물과 프로브 카드의 인쇄회로기판과 직접적으로 접촉되는 프로브(probe)로 구성된다.
상기 프로브는 일반적으로 검사대상물과 프로브 카드와의 적절한 접촉 압력을 유지하면서 안정적인 접촉을 도모하고, 복수 회 테스트에도 내구성이 보장되도록 복수 개의 프로브가 수용 조립된 프로브 헤드 구조로 제공되고 있다.
일반적으로 상기 프로브 헤드는 프로브와, 상기 프로브가 수용 조립된 블럭으로 구성되며, 상기 프로브의 제1단부와 제2단부는 상기 블럭의 제1면과 제2면 외측으로 돌출되도록 수용되어 상기 인쇄회로기판과 반도체 소자의 접촉단자와 적절한 압력으로 각각 전기적으로 접촉되게 된다.
상기 블럭에는 테스트하고자 하는 반도체 소자의 접촉단자에 대응되는 피치 간격으로 수용공이 형성되어, 프로브가 수용공에 수용 조립되며, 테스트 시에는 소정의 압력에 의해 프로브가 상기 수용공 내부에서 슬라이딩하는 구조로 형성된다.
또한 이러한 블럭은 상기 프로브 상측을 지지하는 상부 플레이트와 상기 프로브 하측을 지지하는 하부 플레이트를 포함하면서, 상기 상부 플레이트와 하부 플레이트는 상기 프로브의 안정적인 지지를 위해 일정 거리 이격된 구조로 형성된다.
일반적으로 EDS 공정은 테스트하고자 하는 반도체 소자가 이송되면서 상기 프로브 헤드의 프로브와 반복적으로 반도체 소자와 접촉되게 되는데, 이 과정에서 상기 프로브와 블럭 또는 프로브와 상부 플레이트와 하부 플레이트 더 정확하게는 상기 프로브와 수용공 간에 마찰로 인해 수용공과 그 주변 구조의 마모로 파편의 발생과 내구성의 저하를 초래하며, 이로 인한 정확한 테스트에 방해가 되고 있다.
도 1에 제시된 종래 기술(한국공개특허 10-2018-0004753)은 이러한 문제점을 해결하기 위한 프로브 헤드 구조를 나타낸 것으로, 상부 플레이트(23)와 이에 일정 거리(29) 이격되게 형성된 하부 플레이트(22) 그리고 프로브(21)를 수용하기 위한 수용공(23A),(22A)이 각각 형성되고, 상기 수용공(23A),(22A)에 프로브(21)가 결합된 상태를 나타낸 것이다. 상기 프로브(21)의 제1단부(상단부)(21B)는 인쇄회로기판(25)의 접촉단자(25A)와 접촉되며, 상기 프로브(21)의 제2단부(하단부)(21A)는 테스트하고자 하는 반도체 소자(24)의 접촉단자(24A)와 접촉되게 된다.
상기 종래 기술은 하부 플레이트의 수용공으로부터 상부 플레이트의 수용공이 일정 방향으로 이동(Shift)되어 프로브의 몸체가 구부려지도록 하고, 이에 의해 프로브와 수용공의 내부벽면과의 마찰로 인해 프로브의 형태를 유지하게 된다.
즉, 상부 플레이트와 하부 플레이트에서의 대응하는 수용공 사이의 오프셋(Offset) 값에 따라 프로브를 강제적으로 구부리고, 구부려지는 정도와 형태를 유지하게 된다.
이러한 강제 오프셋을 유지한 상태에서 프로브가 상하로 슬라이딩되는 경우, 상기 프로브와 수용공 간의 과도한 마찰로 인해 프로브의 슬라이딩을 방해하거나, 수용공과 그 주변 구조의 마모로 인해 파편 발생과 내구성의 저하를 초래하며, 이로 인한 정확한 테스트에 방해가 되고 있다.
종래 기술은 상부 플레이트 또는 하부 플레이트에 단차부 또는 함몰부(26A)를 두어 프로브(21)와 블럭(수용공(22A)) 간의 접촉되는 면적을 최소화하여 마찰력을 줄이도록 한 것이다.
그러나 종래 기술은 박판의 플레이트 자체를 미세 가공하여야 하므로 공정이 매우 번거롭고, 프로브의 안정적인 지지를 위해 기계적인 견고성 또한 필요하므로 블럭과의 접촉 면적을 줄이는데 한계가 있으며, 테스트가 진행되는 동안 프로브는 자유롭게 변형되게 되는데 이 과정에서 블럭과 접촉될 수 밖에 없어, 여전히 상기의 문제를 해결하기에는 미흡하다.
본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 블럭 상에 유연 가이드부가 형성된 가이드 필름을 도입하여 프로브와의 마찰을 최소화한 저마찰형 프로브 헤드의 제공을 그 목적으로 한다.
상기 목적으로 달성하기 위한 본 발명은, 반도체 소자 테스트용 프로브 헤드에 있어서, 프로브와, 상기 프로브가 수용되는 수용공이 형성된 블럭 및 상기 블럭 상에 형성되고, 상기 수용공에 대응되게 가이드공이 형성되어 상기 프로브를 수용하는 가이드 필름을 포함하며, 상기 가이드공의 일측에는 상기 프로브를 탄성 지지하는 유연 가이드부가 형성된 것을 특징으로 하는 저마찰형 프로브 헤드를 기술적 요지로 한다.
또한, 상기 가이드 필름은, 단일층 또는 복수층으로 형성된 것이 바람직하다.
또한, 상기 가이드 필름이 단일층으로 형성된 경우, 상기 유연 가이드부는, 상기 프로브 외주면의 형상에 대응되어 형성된 것이 바람직하며, 상기 프로브 외주면을 전체적으로 에워싸는 구조, 상기 프로브 외주면 일부분을 에워싸는 구조로 형성될 수 있다.
또한, 상기 프로브 외주면 일부분을 에워싸는 구조의 유연 가이드부는, 상기 프로브를 중심으로 대칭되게 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 유연 가이드부는, 상기 가이드공 내주면 단부에 수직 방향으로 복수개가 형성되어 상기 프로브의 길이 방향으로 복수개의 위치에서 탄성 지지하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 가이드 필름이 복수층으로 형성된 경우, 상기 블럭 상에 형성되고, 제1유연 가이드부가 형성된 제1가이드 필름과, 상기 제1가이드 필름 상부에 형성되고, 제2유연 가이드부가 형성된 제2가이드 필름으로 구비되며, 상기 제1유연 가이드부와 상기 제2유연 가이드부는 상기 프로브에 대해 서로 대향되는 위치에 형성되는 것이 바람직하다. 또한, 상기 제1가이드 필름과, 상기 제2가이드 필름의 조합이 복수개로 형성될 수 있다.
또한, 상기 가이드 필름은, 상기 블럭의 일면 또는 양면에 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 유연 가이드부는, 상기 수용공의 내주면보다 상기 프로브의 외주면에 더 근접되게 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 가이드 필름은, 고분자 기판 또는 고분자 물질의 코팅층으로 형성된 것이 바람직하다.
또한, 상기 고분자 기판은, 폴리이미드(polyimide), 폴리카보네이트(polycarbonate, PC), 폴리에틸렌나프탈레이트(Polyethylenenaphthalate, PEN), 폴리아크릴레이트(polyacrylate), 폴리비닐알콜(Polyvinylalcohol), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(polyethylene terephthalate, PET), 폴리에테르설폰(Polyethersulfone, PES) 중 어느 하나 또는 둘 이상을 조합하여 사용하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 가이드 필름으로 고분자 기판이 사용되는 경우에는 레이저 가공에 의해 상기 가이드공 및 상기 유연 가이드부를 형성하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 가이드공 및 상기 유연 가이드부의 형성은, 상기 가이드 필름을 블럭 상부에 선적층시킨 후 레이저 가공에 의해 상기 수용공의 형성 공정과 동시에 이루어지거나, 레이저 가공에 의해 상기 가이드공 및 상기 유연 가이드부를 형성한 후, 상기 블럭 상부에 가이드 필름을 후적층하여 이루어지는 것이 바람직하다.
또한, 상기 가이드 필름으로 고분자 기판이 사용되는 경우에는, 상기 고분자 기판은 고정부재에 의해 상기 블럭 상부에 결합되거나, 상기 고분자 기판은 상기 블럭 상부 및 고분자 기판 간에 점착될 수 있도록 결합면에 점착층이 형성된 것이 바람직하다.
또한, 상기 고분자 물질은 포토레지스트(photo resist, PR)일 수 있으며, 상기 가이드공 및 상기 유연 가이드부는, 상기 블럭 상부에 포토레지스트를 코팅한 후 광패터닝 공정에 의해 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 가이드공의 형상은, 상기 프로브의 수평단면 형상에 대응되게 형성되는 것이 바람직하며, 원형, 타원형 및 다각형 형상 중 어느 하나의 형상으로 형성된 것이 바람직하다.
또한, 상기 블럭은, 제1수용공이 형성된 상부 플레이트와, 상기 상부 플레이트와 이격되어 형성되고, 제2수용공이 형성된 하부 플레이트를 포함하는 구조체로 형성되거나, 상기 상부 플레이트 및 상기 하부 플레이트가 선택적으로 복수개로 형성된 구조체로 형성되는 것이 바람직하다.
여기에서, 상기 가이드 필름은, 상기 상부 플레이트 및 상기 하부 플레이트 중 어느 하나 또는 둘 다의 일면 또는 양면에 형성되는 것이 바람직하다.
본 발명은 반도체 소자 테스트용 프로브 헤드에 관한 것으로서, 블럭 상에 유연 가이드부가 형성된 가이드 필름을 도입하여 상기 프로브가 탄성 지지되도록 하여 상기 프로브를 안정적으로 지지하면서 프로브의 움직임이 유연하도록 하여, 블럭이 받는 스트레스가 최소화되도록 하여 제품의 내구성을 개선시키는 효과가 있다.
또한, 상기 가이드 필름에 의해 프로브가 탄성 지지되도록 하여 최소한의 마찰로 프로브의 결합과 움직임을 지지할 수 있어 프로브의 슬라이딩에 따른 블럭과의 마찰에 의한 파편의 발생을 최소화하여, 프로브 및 블럭의 내구성을 증가시켜 제품의 수명을 연장시키고, 위치 정밀도를 유지시킬 수 있어 보다 정밀한 테스트를 수행할 수 있게 된다.
또한, 기존의 플레이트를 가공하거나 복수개의 플레이트를 도입하여 마찰을 저감시키는 번거로운 방법이 아닌, 블럭 또는 플레이트 상에 가이드 필름을 형성하는 것으로 프로브와의 마찰을 최소화할 수 있어, 프로브 헤드의 제조가 용이하고, 원가를 절감시키는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 가이드 필름을 도입함으로써, 블럭의 높이를 높이는 효과를 발현시켜, 프로브 팁의 길이를 증가시킬 수 있어 프로브 헤드의 전체적인 수명을 연장시키는 효과가 있다.
도 1 - 종래의 프로브 헤드에 대한 모식도.
도 2 내지 도 8 - 본 발명의 일실시예에 따른 프로브 헤드에 대한 모식도.
도 9 내지 도 12 - 본 발명에 따른 가이드 필름을 이용한 적층하는 방법을 나타낸 모식도.
본 발명은 반도체 소자 테스트용 프로브 헤드에 관한 것으로서, 블럭 상에 유연 가이드부가 형성된 가이드 필름을 도입하여 상기 프로브가 탄성 지지되도록 하여 프로브를 안정적으로 지지하면서 유연하게 움직이도록 하여 정밀한 테스트가 가능하도록 하는 것이다.
특히 본 발명은 가이드 필름의 유연 가이드부에 의해 프로브가 탄성 지지되어 최소한의 마찰로 프로브의 결합과 움직임이 지지될 수 있도록 하여, 프로브와 블럭과의 마찰에 의한 파편의 발생을 최소화함으로써 제품의 수명을 연장시키고, 위치 정밀도를 유지시킬 수 있어 보다 정밀한 테스트가 가능하도록 하는 것이다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대해 상세히 설명하고자 한다. 도 1은 종래의 프로브 헤드에 대한 모식도이고, 도 2 내지 도 8은 본 발명의 다양한 실시예에 따른 프로브 헤드에 대한 모식도이며, 도 9 내지 도 12는 본 발명의 다양한 실시예에 따른 가이드 필름을 블럭 상에 적층하는 방법을 나타낸 모식도이다.
도시된 바와 같이 본 발명에 따른 프로브 헤드는, 반도체 소자 테스트용 프로브 헤드에 있어서, 프로브(100)와, 상기 프로브(100)가 수용되는 수용공(210)이 형성된 블럭(200) 및 상기 블럭(200) 상에 형성되고, 상기 수용공(210)에 대응되게 가이드공(310)이 형성되어 상기 프로브(100)를 수용하는 가이드 필름(300)을 포함하며, 상기 가이드공(310)의 일측에는 상기 프로브(100)를 탄성 지지하는 유연 가이드부(311)가 형성된 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 프로브 헤드는, 프로브(100)와 블럭(200), 그리고 가이드 필름(300)으로 크게 구성된다. 상기 가이드 필름(300)에는 상기 블럭(200)의 수용공(210)에 대응되고, 상기 수용공(210)과 연통하는 가이드공(310)이 형성되며, 상기 가이드공(310)의 적어도 일부에는 유연 가이드부(311)가 형성되어 상기 프로브(100)를 탄성 지지할 수 있도록 한다.
즉, 상기 프로브(100)가 가이드공(310)과 수용공(210)에 동시에 수용 결합되며, 상기 가이드공(310)의 내주면에는 유연 가이드부(311)가 형성되어 상기 프로브(100)를 탄성 지지하도록 하는 것이다.
상기 프로브(100)는 기존의 반도체 소자의 테스트를 위한 어떠한 형태, 기능 및 소재를 갖는 프로브(100)도 무방하며, 상기 블럭(200) 또한 상기 프로브(100)를 안정적으로 수용하고 프로브(100)의 슬라이딩 및 유동 공간을 가이드할 수 있는 것이라면 어떠한 형상이라도 무방하다. 예컨대 단일체 구조의 블럭(200)일 수도 있으며, 상부 플레이트(220) 및 하부 플레이트(230)가 이격되게 형성된 프레임 구조의 블럭(200)일 수도 있다.
일반적으로 블럭(200)에는 프로브(100)의 결합을 위한 수용공(210)이 형성되어 있고, 프로브(100)는 수천 ~ 수만개가 하나의 블럭(200)에 결합되므로 상기 수용공(210) 또한 이에 대응되어 형성된다. 이러한 프로브(100)는 상기 수용공(210) 내부에서 상하로 슬라이딩을 반복하면서 테스트가 수행되게 된다. 본 발명에서는 편의상 하나의 프로브(100)가 블럭(200)에 결합된 상태를 중심으로 설명하고자 한다.
본 발명에 따른 가이드 필름(300)은 상기 블럭(200) 상에 형성되는 것으로, 상기 수용공(210)에 대응되게 가이드공(310)이 형성되어 상기 수용공(210)과 가이드공(310)에 동시에 프로브(100)가 수용되게 된다. 즉, 상기 수용공(210)과 가이드공(310)은 상하로 서로 연통되게 형성되며, 이에 프로브(100)가 수용 결합되게 된다.
상기 수용공(210) 및 가이드공(310)은 반도체 소자의 테스트를 진행하는 동안 상기 프로브(100)를 지지하게 된다. 특히 상기 가이드공(310)의 내주면에는 상기 프로브(100)를 탄성 지지할 수 있도록 유연 가이드부(311)가 형성되며, 테스트를 진행하는 동안 프로브(100)를 탄성 지지하는 것으로, 프로브(100)의 유동에 따라 접촉시에 충격을 어느 정도 흡수할 수 있는 유연 소재로 형성된다.
이러한 가이드 필름(300)은 프로브(100)의 길이 및 형상, 구부려지는 정도, 구부려질 때 주변 구조물에 미치는 힘, 블럭(200)의 형상 등에 따라 상기 블럭(200) 상에 단일층 또는 복수개의 층으로 형성될 수 있으며, 필요에 따라 상기 블럭(200)의 일면 또는 양면 등에 형성될 수 있다.
상기 유연 가이드부(311)는 상기 프로브(100)가 유동되는 동안 상기 프로브(100)를 탄성 지지할 수 있을 정도의 위치에 형성되는 것으로, 상기 프로브(100)의 외주면까지의 거리가 상기 수용공(210)의 내주면보다 상기 유연 가이드부(311)에서 더 가깝도록 형성되어, 수용공(210)이 아닌 상기 가이드공(310)의 유연 가이드부(311)에서 상기 프로브(100)를 탄성 지지할 수 있도록 한다.
즉, 상기 블럭(200)의 수용공(210)은 프로브(100)가 이탈하지 않도록 단순히 수용하는 역할을 하고, 본 발명에 따른 가이드공(310)의 유연 가이드부(311)에서 프로브(100)를 수용하면서 탄성 지지할 수 있도록 하는 것이다.
상기 유연 가이드부(311)는 상기 프로브(100)가 유동되는 동안 탄성 지지할 수 있을 정도의 위치에 형성되어야 하므로, 상기 가이드공(310)의 내주면 일부 또는 내주면에서 전체적으로 연장되어 형성되거나(상기 수용공(210)보다 상기 가이드공(310)의 크기가 작게 형성된 경우), 상기 가이드공(310)의 내주면의 상단 또는 하단에서 연장하되어 형성되거나, 내주면의 상단 및 하단에서 연장되어 형성되거나, 상기 가이드공(310) 내주면을 단차 가공하여 형성되거나, 상기 프로브(100)의 외주면에 보다 근접하도록 가이드 필름(300)을 적층하는 등 다양한 방법으로 형성할 수 있다.
즉, 상기 프로브(100)가 유동하는 동안 프로브(100)에 의한 충격을 흡수하고, 프로브(100)의 위치를 지지할 수 있도록 하면서, 프로브(100)와의 접촉 면적을 최소화하도록 상기 유연 가이드부(311)의 크기 및 형상, 구조를 조절하여 형성한다. 예컨대 상기 유연 가이드부(311)의 수직 단면은 일자형, 스텝형, 'ㄱ'자형, 'ㄴ'자형, 'ㄷ'자형, 'ㄹ'자 형, 곡선형 또는 이들의 반복된 형태 등, 상기 가이드공(310)의 단부에 수직 방향으로 복수개가 형성되어 상기 프로브(100)의 길이 방향으로 복수개의 위치에서 상기 프로브(100)를 탄성 지지하여, 프로브(100)의 결합과 움직임을 안정적으로 지지하도록 하면서, 프로브(100)와의 접촉 면적은 최소화하도록 한다.
이와 같이 본 발명은 가이드 필름(300)에 의한 유연 가이드부(311)를 구현하여 상기 프로브(100)가 블럭(200)의 수용공(210)이 아닌 상기 가이드 필름(300)의 유연 가이드부(311)에 의해 지지될 수 있도록 하고, 프로브(100)와의 접촉 면적을 최소화시키도록 한 것이다.
여기에서, 상기 가이드 필름(300)이 단일층으로 형성된 경우에는, 상기 유연 가이드부(311)는, 상기 프로브(100) 외주면의 형상에 대응되어 형성될 수 있다. 즉, 상기 프로브(100)가 사각의 단면적을 갖는 경우, 상기 유연 가이드부(311)는 상기 프로브(100) 외주면을 전체적으로 에워싸는 사각형 구조로 형성될 수 있다.
또한 상기 프로브(100)를 중심으로 상기 유연 가이드부(311)가 대칭되게 형성되어 프로브(100)의 외주면 일부분을 에워싸는 구조로도 형성될 수 있다.
즉, 상기 유연 가이드부(311)가 상기 가이드공(310)의 내주면 둘레를 따라 연장되어 형성된 경우에는 상기 프로브(100)의 외주면을 전체적으로 에워싸게 되면서 상기 프로브(100)를 탄성 지지하게 되며, 상기 유연 가이드부(311)가 상기 가이드공(310)의 내주면의 일부 영역에 형성된 경우에는 상기 유연 가이드부(311)가 대칭적으로 형성되어 상기 프로브(100)를 안정적으로 지지하게 된다.
한편, 상기 가이드 필름(300)이 복수층으로 형성된 경우, 상기 블럭(200) 상에 형성되고, 제1유연 가이드부(321)가 형성된 제1가이드 필름(320)과, 상기 제1가이드 필름(320) 상부에 형성되고, 제2유연 가이드부(331)가 형성된 제2가이드 필름(330)으로 구비되며, 상기 제1유연 가이드부(321)와 상기 제2유연 가이드부(331)는 상기 프로브(100)에 대해 서로 대향되는 위치에 형성되는 것이 바람직하다.
즉, 상기 제1유연 가이드부(321)가 형성된 제1가이드 필름(320)을 상기 수용공(210)과 가이드공(310)을 맞춰 먼저 상기 블럭(200) 상에 적층하고, 상기 제2유연 가이드부(331)가 형성된 제2가이드 필름(330)을 상기 수용공(210)과 가이드공(310)을 맞춰 상기 제1가이드 필름(320) 상에 적층하게 된다. 이때, 상기 제1유연 가이드부(321)와 상기 제2유연 가이드부(331)는 상기 프로브(100)에 대해 서로 대향되도록 형성되어, 상기 수용공(210)이 아닌 제1유연 가이드부(321) 및 제2유연 가이드부(331)에서 상기 프로브(100)의 결합과 움직임을 안정적으로 지지하도록 하면서, 프로브(100)와의 접촉 면적은 최소화하도록 한다.
예컨대, 상기 제1유연 가이드부(321)가 'ㄴ'자 형상으로 형성되고, 상기 제2유연 가이드부(331)가 'ㄱ'자 형상으로 형성되어 상기 제1가이드 필름(320) 상에 상기 제2가이드 필름(330)을 적층하게 되면, 전체적으로 사각 형상의 유연 가이드부(311)가 형성되어 프로브(100)의 외주면을 에워싸게 되는 것이다.
이 경우, 제1유연 가이드부(321)와 제2유연 가이드부(331)는 각각 제1가이드 필름(320)과 제2가이드 필름(330)에 형성되므로, 상기 프로브(100)의 길이 방향으로 다른 지점에서 상기 프로브(100)를 탄성 지지하게 된다. 이에 따라 프로브(100)와의 접촉 면적은 최소화하면서 프로브(100)를 안정적으로 탄성 지지할 수 있도록 한 것이다.
또한, 상기 제1가이드 필름(320)과, 상기 제2가이드 필름(330)의 조합이 복수개로 형성될 수도 있으며, 이 경우에는 상기 유연 가이드부(311)가 서로 대향되도록 형성되어 접촉 면적은 최소화하면서 프로브(100)는 안정적으로 지지할 수 있도록 한다.
한편, 본 발명에 따른 가이드 필름(300)은 프로브(100)의 움직임 또는 강제 오프셋 동작에서도 파손되지 않으면서, 충격력을 어느 정도 흡수할 수 있는 유연 소재로 형성되며, 구체적으로는 고분자 기판이나 고분자 물질의 코팅층으로 구현될 수 있다.
상기 고분자 기판은, 전기, 화학적으로 안정적이고 유연하면서, 가공성이 우수한 소재이면 어떠한 것을 사용하여도 무방하며, 본 발명의 일실시예로 폴리이미드(polyimide), 폴리카보네이트(polycarbonate, PC), 폴리에틸렌나프탈레이트(Polyethylenenaphthalate, PEN), 폴리아크릴레이트(polyacrylate), 폴리비닐알콜(Polyvinylalcohol), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(polyethylene terephthalate, PET), 폴리에테르설폰(Polyethersulfone, PES) 중 어느 하나 또는 둘 이상을 조합하여 사용하는 것이 바람직하다.
상기 가이드 필름(300)으로 고분자 기판이 사용되는 경우에는 레이저 가공에 의해 상기 가이드공(310) 및 유연 가이드부(311)를 형성할 수 있다.
상기 가이드공(310) 및 유연 가이드부(311)의 형성은 상기 가이드 필름(300)을 블럭(200) 상부에 선적층시킨 후 레이저 가공에 의해 상기 수용공(210)의 형성 공정과 동시에 수행될 수 있다. 또한, 레이저 가공에 의해 상기 가이드공(310) 및 유연 가이드부를 형성한 후, 상기 블럭(200) 상부에 가이드 필름(300)을 후적층할 수도 있다.
상기 가이드 필름(300)의 가이드공(310)의 형성은 블럭(200) 즉, 상기 상부 플레이트(220) 상부에 가이드 필름(300)을 적층시킨 후 레이저를 이용하여 상기 수용공(210) 가공과 동시에 수행할 수 있다. 이 경우, 제1가이드 필름(320)을 먼저 블럭(200) 상부에 적층하고, 레이저를 이용하여 수용공(210)의 가공을 하면서 제1가이드공 및 제1유연 가이드부(321)를 형성하고, 그 후 제2가이드 필름(330)을 적층한 후 레이저를 이용하여 제2가이드공 및 제2유연 가이드부(331)를 형성할 수 있다. 필요에 따라 제2가이드 필름(330)의 제2가이드공 및 제2유연 가이드부(331)의 형성은 별개로 진행한 후 상기 제1가이드 필름(320) 상에 적층할 수도 있다.
또한, 레이저 가공에 의해 상기 제1가이드 필름(320)의 제1가이드공 및 제1유연 가이드부(321)를 형성하고, 상기 제2가이드 필름(330)의 제2가이드공 및 제2유연 가이드부(331)를 각각 형성한 후, 이를 순차적으로 상기 블럭(200) 상부에 적층하거나, 또는 제1가이드 필름(320)과 제2가이드 필름(330)을 적층한 후, 동시에 패터닝 공정과 함께 제1가이드공과 제2가이드공을 형성한 후 이를 상기 블럭(200) 상부에 적층할 수도 있다.
또한, 상기 가이드 필름(300)의 가이드공(310)의 형성은 공지된 다양한 패터닝 공정(습식 또는 건식)에 의해 형성될 수 있으며, 이는 가이드 필름(300)의 물성이나 가이드공(310)의 형상 등에 따라 선적층 후 가이드공(310)의 형성 또는 가이드공(310)의 형성 후 후적층 등의 방법을 선택하여 수행할 수 있다.
이러한 가이드 필름(300)으로 고분자 기판이 사용되는 경우에는 상기 고분자 기판은 고정부재에 의해 상기 블럭(200) 상부에 결합되거나, 상기 고분자 기판은 상기 블럭(200) 상부 및 고분자 기판 간에 점착될 수 있도록 결합면에 점착층이 형성될 수도 있다.
즉, 필요에 따라 가이드 필름(300)의 적층, 결합, 제거 및 교체가 용이하도록 고정부재에 의해 상기 블럭(200)과 결합되거나, 점착층을 이용하여 점착 고정되도록 한다. 상기 고정부재는 나사(screw), 지그(jig), 클러치(clutch) 등 다양하게 채용될 수 있다.
반도체 소자 테스트용 프로브 헤드에 본 발명에 따른 가이드 필름(300)을 도입함으로써, 상기 블럭(200)의 높이를 높이는 효과가 발현되고, 이에 의해 프로브 팁의 길이를 증가시켜 프로브 헤드의 전체적인 수명을 연장시킬 수 있게 된다. 즉, 프로브 팁이 마모되는 경우, 상기 가이드 필름(300)을 제거하여 프로브 팁이 연장되는 효과를 발현시킬 수 있다. 이 경우 필요에 따라 가이드 필름(300)을 2층 이상으로 형성할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 가이드 필름(300)은 고분자 물질의 코팅층으로 형성될 수 있으며, 이는 포토레지스트(photo resist, PR)을 사용하여, 상기 블럭(200) 상부에 포토레지스트를 코팅한 후 광패터닝 공정을 수행함으로써, 소정의 가이드공(310)을 형성하는 것이다.
이 경우, 상기 제1가이드 필름(320)과 제2가이드 필름(330)은 서로 다른 포토레지스트를 사용하거나, 열 또는 자외선 경화시 경화 시간 또는 에너지 등을 조절하여 경화정도를 조절함으로써, 서로 다른 경도를 갖는 가이드 필름(300)을 형성할 수도 있다.
필요에 따라 상술한 레이저 가공 공정, 습식 또는 건식 식각 공정 등과 조합하여 상기 블럭(200) 상부에 가이드 필름(300)의 선적층, 또는 후적층의 방법으로 가이드공(310)을 형성할 수 있다.
이하에서는 도면 순서대로 본 발명의 다양한 실시예를 다시 한 번 정리해보고자 한다.
도 2는 단일체 구조의 블럭(200) 상에 유연 가이드부(311)가 형성된 가이드 필름(300)이 적층된 것을 나타낸 것이다.
상기 가이드 필름(300)은 프로브(100)의 길이 및 형상, 구부려지는 정도, 블럭(200)의 형상 등에 따라 상기 블럭(200)의 일면(상면 또는 하면)에 형성되거나, 필요에 따라 상기 블럭(200)의 양면(상면 및 하면)에 형성될 수 있다.
도 2의 실시예에서는 상기 가이드 필름(300)이 블럭(200)의 양면, 즉, 상면 및 하면에 단일층으로 형성된 것이다.
상기 가이드 필름(300)은 상기 수용공(210)의 위치에 대응되어, 상기 수용공(210)이 노출되도록 가이드공(310)이 형성되며, 상기 가이드공(310)에는 상기 프로브(100)를 탄성 지지하는 유연 가이드부(311)가 형성된다.
본 실시예에서의 유연 가이드부(311)는 상기 프로브(100)와 탄성 지지될 수 있는 어떠한 소재 및 형상도 무방하며, 특히 유연한 소재의 가이드 필름(300)에 가이드공(310)을 형성하고, 상기 가이드공(310)의 내주면을 따라 상기 프로브(100)와 탄성 지지될 수 있도록 가이드 필름(300)이 더 연장된 형상으로 형성되게 된다.
즉, 상기 유연 가이드부(311)는 상기 수용공(210)의 내주면에서 연장되게 형성되어 상기 프로브(100)의 외주면에 상기 수용공(210)의 내주면보다 더 가깝게 근접되도록 하여, 상기 프로브(100)를 수용공(210)이 아닌 가이드공(310)의 유연 가이드부(311)에 의해 탄성 지지되도록 하는 것이다.
이에 의해 본 발명은 가이드 필름(300)에 의한 유연 가이드부(311)를 도입하여, 프로브(100)와 블럭(200) 간의 접촉면적을 줄임으로써 프로브(100)와 블럭(200) 간의 마찰을 최소화할 수 있어, 기존의 수용공(210)에 프로브(100)가 결합되거나, 상부 및 하부 수용공(210)이 강제 오프셋된 상태에서 프로브(100)가 결합된 경우의 프로브(100)와 블럭(200) 간의 마찰력 증가에 따른 문제를 해소할 수 있게 된다.
본 발명의 다른 실시예로 도 3은 도 2의 블럭(200)의 형상과는 달리, 상기 블럭(200)이 상부 플레이트(220)와 하부 플레이트(230)로 포함하는 것을 도시한 것이다.
도 3의 실시예에 따르면, 상기 블럭(200)은, 제1수용공(221)이 형성된 상부 플레이트(220)와, 상기 상부 플레이트(220)와 이격되어 형성되고, 제2수용공(231)이 형성된 하부 플레이트(230)를 포함하는 구조체로 형성된 것이다. 필요에 따라 블럭(200)은 상기 상부 플레이트(220) 및 상기 하부 플레이트(230)가 선택적으로 복수개로 형성된 구조체로 형성될 수도 있다.
여기에서, 상기 가이드 필름(300)은, 상기 상부 플레이트(220) 및 상기 하부 플레이트(230) 중 어느 하나 또는 둘 다의 일면 또는 양면에 형성될 수 있다.
도 3에 도시한 블럭(200)은 상부 플레이트(220) 한 개, 프로브(100)의 유동에 필요한 공간만큼 이격되게 형성된 하부 플레이트(230) 한 개로 형성된 블럭(200)을 도시하였으며, 상기 하부 플레이트(230)의 일면 즉, 상면에 유연 가이드부(311)가 구현된 가이드 필름(300)을 형성한 것이다.
상술한 바와 같이, 상기 프로브(100)와 플레이트(수용공(210))에 의한 지지가 아닌, 가이드 필름(300)의 유연 가이드부(311)에 의한 프로브(100)를 안정적으로 탄성 지지하면서 최소한의 마찰로 프로브(100)의 결합과 움직임을 지지할 수 있도록 한 것이다.
도 4의 실시예에 따르면, 도 3의 실시예에서 유연 가이드부(311)가 단차 형태로 가공되어, 상기 프로브(100)와의 마찰을 최소화시키도록 한 것이다.
즉, 상기 유연 가이드부(311)의 스텝 형상으로 단차 가공된 것으로서, 'ㄴ'자, 'ㄱ'자의 조합으로 단차 가공되어, 상기 프로브(100)와의 접촉 면적은 최소화하면서, 프로브(100)를 안정적으로 탄성 지지할 수 있도록 하는 것이다.
도 5의 실시예에 따르면, 가이드 필름(300)이 복수개의 층으로 이루어진 경우를 도시한 것으로, 상기 하부 플레이트(230)의 일면 상에 형성되고, 제1유연 가이드부(321)가 형성된 제1가이드 필름(320)과, 상기 제1가이드 필름(320) 상부에 형성되고, 제2유연 가이드부(331)가 형성된 제2가이드 필름(330)으로 구비되며, 상기 제1유연 가이드부(321)와 상기 제2유연 가이드부(331)는 상기 프로브(100)에 대해 서로 대향되는 위치에 형성된 것이다.
즉, 2개의 가이드 필름이(320),(330) 적층되어, 유연 가이드부(321),(331)의 수직 단면 형상이 'ㄴ'자, 'ㄱ'자의 형상으로 구현되어, 상기 프로브(100)와의 접촉 면적은 최소화하면서, 프로브(100)를 안정적으로 탄성 지지할 수 있도록 하는 것이다.
도 6의 실시예에 따르면 도 5의 실시예에서 가이드 필름(320),(330)이 2개층으로 형성되면서, 하부 플레이트(230)의 양면, 즉, 상면 및 하면에 가이드 필름(320),(330)이 2개층으로 형성된 경우를 도시한 것이다.
도 7의 실시예에 따르면 도 5의 실시예에서 상기 가이드 필름(320),(330)이 2개층으로 형성된 경우, 상부 플레이트(220) 및 하부 플레이트(230)의 상면에 형성된 경우를 도시한 것이다.
도 8의 실시예에 따르면 상부 플레이트(220) 및 하부 플레이트(230)가 강제로 오프셋 된 경우의 상부 플레이트(220) 및 하부 플레이트(230) 각각에 2개층의 가이드 필름(320),(330)이 형성된 경우를 도시한 것이다.
도 9 내지 도 12는 본 발명에 따른 가이드 필름을 블럭 상부에 적층하는 방법을 나타낸 것으로, 도 9는 단일층의 가이드 필름, 도 10 내지 도 12는 2개층의 가이드 필름을 적층하는 방법을 나타낸 것이다.
도 9는 단일층의 가이드 필름(300)을 사용하고, 가이드공(310)의 내주면이 전체적으로 연장된 형상의 유연 가이드부(311)를 갖는 실시예이다. 사각 형상의 프로브(100)가 수용되는 것으로, 상기 프로브(100)의 외주면 전체를 에워싸는 유연 가이드부(311)가 구현된 것이다.
이에 의해 상기 유연 가이드부(311)에 의해 상기 프로브(100)가 탄성 지지되도록 하여 상기 프로브(100)를 안정적으로 지지하면서 프로브(100)의 움직임이 유연하도록 하고, 최소한의 마찰로 프로브(100)의 결합과 움직임을 지지할 수 있도록 하는 것이다.
도 10은 2개층의 가이드 필름(320),(330)을 사용하면서, 상기 제1유연 가이드부(321)와 상기 제2유연 가이드부(331)는 상기 프로브(100)에 대해 서로 대향되는 위치에 형성된 것을 도시한 것이다.
즉, 상기 제1유연 가이드부(321)가 형성된 제1가이드 필름(320)을 상기 수용공(210)과 가이드공(310)을 맞춰 먼저 상기 블럭(200) 상에 적층하고, 상기 제2유연 가이드부(331)가 형성된 제2가이드 필름(330)을 상기 수용공(210)과 가이드공을 맞춰 상기 제1가이드 필름(320) 상에 적층하게 된다.
이때, 상기 제1유연 가이드부(321)와 상기 제2유연 가이드부(331)는 상기 프로브(100)에 대해 서로 대향되도록 형성되어, 상기 수용공(210)이 아닌 제1유연 가이드부(321) 및 제2유연 가이드부(331)에서 상기 프로브(100) 결합과 움직임을 안정적으로 지지하도록 하면서, 프로브(100)와의 접촉 면적은 최소화하도록 한다.
예컨대, 상기 제1유연 가이드부(321)가 'ㄴ'자 형상으로 형성되고, 상기 제2유연 가이드부(331)가 'ㄱ'자 형상으로 형성되어 상기 제1가이드 필름(320) 상에 상기 제2가이드 필름(330)을 적층하게 되면, 전체적으로 사각 형상의 유연 가이드부(321),(331)가 형성되어 프로브(100) 외주면을 에워싸게 되는 것이다.
이 경우, 제1유연 가이드부(321)와 제2유연 가이드부(331)는 각각 제1가이드 필름(320)과 제2가이드 필름(330)에 형성되므로, 상기 프로브(100)의 길이 방향으로 다른 지점에서 상기 프로브(100)를 탄성 지지하게 된다. 이에 따라 프로브(100)와의 접촉 면적은 최소화하면서 프로브(100)를 안정적으로 탄성 지지할 수 있도록 한 것이다.
도 11은 도 10의 실시예에서와 같이, 2개층의 가이드 필름(320),(330)을 사용하면서, 가이드공(310) 내주면의 일부 영역에 유연 가이드부(321),(331)를 형성한 것으로, 상기 제1유연 가이드부(321)와 상기 제2유연 가이드부(331)는 상기 프로브(100)에 대해 서로 대향되는 위치에 형성된 것을 도시한 것이다.
이에 의해 상기 프로브(100)의 외주면의 일부분을 에워싸는 구조의 유연 가이드부(321),(331)가 형성되는 것으로, 프로브(100)와의 접촉 면적을 최소화하면서 프로브(100)를 안정적으로 탄성 지지할 수 있도록 한 것이다.
도 12는 2개층의 가이드 필름(320),(330)을 사용하는 것으로, 수용공(210) 및 가이드공(310)이 원형을 띤 경우로, 수평 단면이 원형인 원통형 프로브(100)가 수용되게 된다. 도 10의 실시예와 동일한 방식으로 적층되게 된다.
이와 같이 본 발명은 반도체 소자 테스트용 프로브 헤드에 관한 것으로서, 블럭 상에 유연 가이드부가 형성된 가이드 필름을 도입하여 상기 프로브를 탄성 지지하여 상기 프로브를 안정적으로 지지하면서 프로브의 움직임이 유연하도록 하여 블럭이 받는 스트레스가 최소화되도록 하여 제품의 내구성을 개선시키게 된다.
또한, 상기 가이드 필름에 의해 프로브가 탄성 지지되도록 하여 최소한의 마찰로 프로브의 결합과 움직임을 지지할 수 있어 프로브의 슬라이딩에 따른 블럭과의 마찰에 의한 파편의 발생을 최소화하여, 프로브 및 블럭의 내구성을 증가시켜 제품의 수명을 연장시키고, 위치 정밀도를 유지시킬 수 있어 보다 정밀한 테스트를 수행할 수 있게 된다.
또한, 기존의 플레이트를 가공하거나 복수개의 플레이트를 도입하여 마찰을 저감시키는 번거로운 방법이 아닌, 블럭 또는 플레이트 상에 가이드 필름을 형성하는 것으로 프로브와의 마찰을 최소화할 수 있어, 프로브 헤드의 제조가 용이하고, 원가를 절감시키게 된다.
또한, 본 발명은 가이드 필름을 도입함으로써, 상기 블럭의 높이를 높이는 효과를 발현시켜, 프로브 팁의 길이를 증가시켜 프로브 헤드의 전체적인 수명을 연장시키는 효과가 있다.
100 : 프로브
200 : 블럭 210 : 수용공
220 : 상부 플레이트 221 : 제1수용공
230 : 하부 플레이트 231 : 제2수용공
300 : 가이드 필름 310 : 가이드공
311 : 유연 가이드부 320 : 제1가이드 필름
321 : 제1유연 가이드부 330 : 제2가이드 필름
331 : 제2유연 가이드부

Claims (21)

  1. 반도체 소자 테스트용 프로브 헤드에 있어서,
    프로브;
    상기 프로브가 수용되는 수용공이 형성된 블럭; 및
    상기 블럭 상에 형성되고, 상기 수용공에 대응되게 가이드공이 형성되어 상기 프로브를 수용하는 가이드 필름;을 포함하며,
    상기 가이드공의 일측에는 상기 프로브를 탄성 지지하는 유연 가이드부가 형성된 것을 특징으로 하는 저마찰형 프로브 헤드.
  2. 제1항에 있어서, 상기 가이드 필름은,
    단일층 또는 복수층으로 형성된 것을 특징으로 하는 저마찰형 프로브 헤드.
  3. 제2항에 있어서, 상기 가이드 필름이 단일층으로 형성된 경우,
    상기 유연 가이드부는,
    상기 프로브 외주면의 형상에 대응되어 형성된 것을 특징으로 하는 저마찰형 프로브 헤드.
  4. 제3항에 있어서, 상기 유연 가이드부는,
    상기 프로브 외주면을 전체적으로 에워싸는 구조,
    상기 프로브 외주면 일부분을 에워싸는 구조로 형성된 것을 특징으로 하는 저마찰형 프로브 헤드.
  5. 제4항에 있어서, 상기 프로브 외주면 일부분을 에워싸는 구조의 유연 가이드부는,
    상기 프로브를 중심으로 대칭되게 형성된 것을 특징으로 하는 저마찰형 프로브 헤드.
  6. 제4항에 있어서, 상기 유연 가이드부는,
    상기 가이드공 내주면 단부에 수직 방향으로 복수개가 형성되어 상기 프로브의 길이 방향으로 복수개의 위치에서 탄성 지지하는 것을 특징으로 하는 저마찰형 프로브 헤드.
  7. 제2항에 있어서, 상기 가이드 필름이 복수층으로 형성된 경우,
    상기 블럭 상에 형성되고, 제1유연 가이드부가 형성된 제1가이드 필름과,
    상기 제1가이드 필름 상부에 형성되고, 제2유연 가이드부가 형성된 제2가이드 필름으로 구비되며,
    상기 제1유연 가이드부와 상기 제2유연 가이드부는 상기 프로브에 대해 서로 대향되는 위치에 형성되는 것을 특징으로 하는 저마찰형 프로브 헤드.
  8. 제7항에 있어서, 상기 제1가이드 필름과, 상기 제2가이드 필름의 조합이 복수개로 형성된 것을 특징으로 하는 저마찰형 프로브 헤드.
  9. 제2항에 있어서, 상기 가이드 필름은,
    상기 블럭의 일면 또는 양면에 형성되는 것을 특징으로 하는 저마찰형 프로브 헤드.
  10. 제1항에 있어서, 상기 유연 가이드부는,
    상기 수용공의 내주면보다 상기 프로브의 외주면에 더 근접되게 형성된 것을 특징으로 하는 저마찰형 프로브 헤드.
  11. 제 1항에 있어서, 상기 가이드 필름은,
    고분자 기판 또는 고분자 물질의 코팅층으로 형성된 것을 특징으로 하는 저마찰형 프로브 헤드.
  12. 제11항에 있어서, 상기 고분자 기판은,
    폴리이미드(polyimide), 폴리카보네이트(polycarbonate, PC), 폴리에틸렌나프탈레이트(Polyethylenenaphthalate, PEN), 폴리아크릴레이트(polyacrylate), 폴리비닐알콜(Polyvinylalcohol), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(polyethylene terephthalate, PET), 폴리에테르설폰(Polyethersulfone, PES) 중 어느 하나 또는 둘 이상을 조합하여 사용하는 것을 특징으로 하는 저마찰형 프로브 헤드.
  13. 제11항에 있어서, 상기 가이드 필름으로 고분자 기판이 사용되는 경우에는 레이저 가공에 의해 상기 가이드공 및 상기 유연 가이드부를 형성하는 것을 특징으로 하는 저마찰형 프로브 헤드.
  14. 제13항에 있어서, 상기 가이드공 및 상기 유연 가이드부의 형성은,
    상기 가이드 필름을 블럭 상부에 선적층시킨 후 레이저 가공에 의해 상기 수용공의 형성 공정과 동시에 이루어지거나,
    레이저 가공에 의해 상기 가이드공 및 상기 유연 가이드부를 형성한 후, 상기 블럭 상부에 가이드 필름을 후적층하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 저마찰형 프로브 헤드.
  15. 제11항에 있어서, 상기 가이드 필름으로 고분자 기판이 사용되는 경우에는,
    상기 고분자 기판은 고정부재에 의해 상기 블럭 상부에 결합되거나,
    상기 고분자 기판은 상기 블럭 상부 및 고분자 기판 간에 점착될 수 있도록 결합면에 점착층이 형성된 것을 특징으로 하는 저마찰형 프로브 헤드.
  16. 제11항에 있어서, 상기 고분자 물질은,
    포토레지스트(photo resist, PR)인 것을 특징으로 하는 저마찰형 프로브 헤드.
  17. 제16항에 있어서, 상기 가이드공 및 상기 유연 가이드부는,
    상기 블럭 상부에 포토레지스트를 코팅한 후 광패터닝 공정에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 저마찰형 프로브 헤드.
  18. 제1항에 있어서, 상기 가이드공의 형상은,
    상기 프로브의 수평단면 형상에 대응되게 형성되는 것을 특징으로 하는 저마찰형 프로브 헤드.
  19. 제18항에 있어서, 상기 가이드공의 형상은,
    원형, 타원형 및 다각형 형상 중 어느 하나의 형상으로 형성된 것을 특징으로 하는 저마찰형 프로브 헤드.
  20. 제1항에 있어서, 상기 블럭은,
    제1수용공이 형성된 상부 플레이트;
    상기 상부 플레이트와 이격되어 형성되고, 제2수용공이 형성된 하부 플레이트;를 포함하는 구조체로 형성되거나,
    상기 상부 플레이트 및 상기 하부 플레이트가 선택적으로 복수개로 형성된 구조체인 것을 특징으로 하는 저마찰형 프로브 헤드.
  21. 제20항에 있어서, 상기 가이드 필름은,
    상기 상부 플레이트 및 상기 하부 플레이트 중 어느 하나 또는 둘 다의 일면 또는 양면에 형성되는 것을 특징으로 하는 저마찰형 프로브 헤드.
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