WO2023074947A1 - 멀티 프로버용 카트리지 락킹장치 - Google Patents

멀티 프로버용 카트리지 락킹장치 Download PDF

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WO2023074947A1
WO2023074947A1 PCT/KR2021/015322 KR2021015322W WO2023074947A1 WO 2023074947 A1 WO2023074947 A1 WO 2023074947A1 KR 2021015322 W KR2021015322 W KR 2021015322W WO 2023074947 A1 WO2023074947 A1 WO 2023074947A1
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head
assembly
chuck assembly
wafer
locking
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PCT/KR2021/015322
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English (en)
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Inventor
남경태
모승기
추성원
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한국생산기술연구원
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Definitions

  • the present invention relates to a device for locking a cartridge in a multi-prover, and more particularly, to a probe card assembly and a chuck assembly having an elastic member for securing a necessary distance for stable contact between a probe of a probe card assembly and a wafer of a chuck assembly. It relates to a cartridge locking device for a multi-prover that mutually locks.
  • a single prober method and a multi-prover method are known as a system for inspecting a semiconductor wafer (hereinafter referred to as a wafer).
  • the single prober method electrically tests one wafer at a time. After fixing one probe card on the stage, a plurality of wafers are put into the stage one by one to perform the test process.
  • the multi-prover method is different from the single prober method in which wafers are tested one by one with the probe card of the probe card, and a plurality of cartridges are individually loaded into the multi-stage channel provided in the inspection unit through a method of converting the probe card and the wafer into cartridges. Then, several wafers are tested at the same time.
  • the wafer is placed in a cassette and placed on a Front Opening Unified Pod (FOUP).
  • the wafer is transferred from the cassette to the side of the wafer chuck mounted on the stage.
  • the wafer is aligned by moving the stage to bring the wafer into contact with the probe card.
  • the probe card is brought into contact with the wafer placed on the wafer chuck, and the wafer is inspected using tester equipment.
  • the probe which is a core part, is deformed or damaged. may cause the inspection process to be stopped, and contact between the probe and the wafer is not made, resulting in inspection defects that prevent the inspection process from being performed.
  • the locking part when the card assembly and the chuck assembly are coupled up and down and locked, the locking part generates a locking force by the weight of the chuck, which is a heavy object. A fatal problem occurred in which the locking was released and the inspection process was stopped.
  • Patent Document 1 KR 10-2223295 B1
  • the present invention is to solve the above-mentioned problems, and its object is to secure the required distance between the probe of the probe card and the wafer when mutual contact between a card assembly including a probe card and a chuck assembly on which a wafer is mounted is performed. It is intended to provide a cartridge locking device for a multi-prover capable of ensuring stable and uniform contact between a probe and a wafer when the assembly and the chuck assembly are completely coupled.
  • Another object of the present invention is to increase the locking force generated at the locking portion when the card assembly and the chuck assembly are coupled to each other, thereby fundamentally preventing the locking portion from being released due to acceleration during high-speed transportation of the cartridge.
  • a preferred embodiment of the present invention in a cartridge including a card assembly including a probe card having a plurality of probes, and a chuck assembly on which a wafer is placed and placed, the card assembly and An apparatus for locking a chuck assembly, comprising: a locking unit configured to interlock a lower end of the card assembly and an upper end of the chuck assembly to generate a locking force to integrate the card assembly, the wafer, and the chuck assembly;
  • Contact with the card assembly is provided with at least one elastic body disposed between a fixing member fixed to the chuck assembly and a movable member movably restrained by the fixing member and elastically supporting the movable member toward the card assembly. It provides a cartridge locking device for a multi-prover, including an elastic stopper for generating an elastic force so that the probe elastically contacts the wafer while maintaining a distance between the probe and the wafer.
  • the locking part protrudes downward from the lower end of the card assembly and has an upper latch having a first head extending in the transverse direction, and a second head that protrudes upward from the upper end of the chuck assembly and extends toward the first head Including a lower clasp having a, and the lower surface of the first head and the upper surface of the second head surface contact by the vertical overlap between the second head of the lower clasp rotated in one direction and the first head of the upper clasp fixed in position It can be.
  • the locking unit may include a close contact fixing surface generating a fixing force on the lower surface of the second head that is in contact with the upper surface of the first head.
  • the contact fixing surface includes a plurality of vacuum suction holes formed to expose the suction end on the lower surface of the second head, or includes a magnet member provided on the lower surface of the second head, or on the lower surface of the second head. It may include a plurality of positioning pins provided or may include a rubber member provided on the lower surface of the second head.
  • the locking unit includes an upper latch protruding downward from the lower end of the card assembly and having a first head extending in a transverse direction, a shaft support fixed to the chuck assembly adjacent to the upper latch, and the shaft
  • the first drive rotation member provided on the vertical axis rotates in one direction along with the external rotation body provided in the chuck assembly by being inscribed with the first driven member provided on the vertical axis of the support body and the upper surface of the first head of the upper clasp when rotated in one direction by being provided on the vertical axis It may include a rotating block that faces and faces.
  • the locking part protrudes downward from the lower end of the card assembly and has an upper latch having a first head extending in the transverse direction, and a second head that protrudes upward from the upper end of the chuck assembly and extends toward the first head
  • It includes a lower latch having a lower latch and a rotation support shaft whose upper and lower ends are rotatably supported by the upper end of the chuck assembly and the second head, and is rotated in one direction by being in contact with a second driven member provided at the lower end of the rotation support shaft.
  • It may include a second driving rotation member, and a moving block that is screwed to the rotation support shaft and vertically moves when the rotation support shaft rotates in one direction to generate a locking force by interviewing the upper or lower surface of the first head.
  • the first head may include a cutout in which the rotation support shaft is disposed without interference
  • the moving block may include a protruding guide jaw so as to move up and down along a guide groove formed in the lower clasp.
  • it may include a stopper disposed in correspondence with the lower surface of the first head of the upper clasp.
  • the movable member is constrained to move vertically by a connecting screw assembled to a vertical connecting hole formed through the fixing member, and an end of the connecting screw is provided with an engaging member engaged with the connecting hole formed through the movable member.
  • a connecting screw assembled to a vertical connecting hole formed through the fixing member, and an end of the connecting screw is provided with an engaging member engaged with the connecting hole formed through the movable member.
  • an elastic stopper provided in the chuck assembly and elastically contacting the card assembly is provided, so that the probe of the probe card and the pad of the wafer are stably and uniformly Since the probe can be in contact with each other, deformation or damage to the probe can be prevented, and the wafer inspection process in the inspection chamber can be efficiently performed without contact failure.
  • the locking force between the card assembly constituting the cartridge and the chuck assembly is provided by the adsorption fixing surface provided in the locking part that provides locking force while the card assembly having the probe card and the chuck assembly on which the wafer is placed are coupled, and the rotation block and the moving block. Since the multi-prover system can increase the transfer efficiency of the cartridge by fundamentally preventing mechanical defects in which the locking part is loosened or separated by the acceleration of the cartridge that is transferred at high speed in the multi-prover system, the reliability and reliability of the wafer inspection process precision can be increased.
  • FIG. 1a and 1b are external perspective views showing a multi-prover cartridge to which a locking device according to an embodiment of the present invention is applied.
  • FIGS. 2A and 2B are external perspective views illustrating a state in which a card assembly and a chuck assembly of a multi-prover cartridge to which a locking device according to an embodiment of the present invention is applied are separated.
  • FIG. 3 is an external perspective view showing a state in which a card assembly and a chuck assembly of a multi-prover cartridge to which a locking device according to an embodiment of the present invention is applied are combined.
  • FIG. 4 is a longitudinal sectional view showing a multi-prover cartridge to which a locking device according to an embodiment of the present invention is applied.
  • FIG. 5 is an external perspective view showing a state in which an elastic stopper applied to a multi-prover cartridge locking device according to an embodiment of the present invention is applied to a chuck assembly.
  • FIG. 6 is an exploded perspective view and a cross-sectional perspective view showing an elastic stopper applied to a multi-prover cartridge locking device according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 7 is a detailed view showing a state in which a close fixing surface is applied to the first head of the lower latch applied to the multi-prover cartridge locking device according to an embodiment of the present invention
  • (b) is the contact state after locking.
  • FIG. 8 is an operating state diagram showing another locking unit applied to a multi-prover cartridge locking device according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 9 is an enlarged external view showing another locking unit applied to a multi-prover cartridge locking device according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 10 is an external perspective view showing another locking unit applied to a multi-prover cartridge locking device according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 11 is an enlarged view showing another locking unit applied to a multi-prover cartridge locking device according to an embodiment of the present invention.
  • FIG 12 is an operating state diagram showing the lower locking fastening of another locking unit applied to the multi-prover cartridge locking device according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 13 is an operating state diagram showing an upper locking fastening of another locking unit applied to a multi-prover cartridge locking device according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 14 is a schematic diagram of a wafer inspection state to which a cartridge locking device for a multi-prover according to an embodiment of the present invention is applied.
  • 15 is a schematic diagram showing an operating state of an elastic stopper applied to a multi-prover cartridge locking device according to an embodiment of the present invention.
  • the cartridge locking device 100 for a multi-probe includes a probe card having a plurality of probes.
  • the card assembly 10 and the chuck assembly 20 on which the wafer is loaded and placed in the cartridge C include a card assembly 10 for carrying out the process, and a locking unit 30 so that the card assembly 10 and the chuck assembly 20 can be united and connected by locking. ) and an elastic stopper 40.
  • the card assembly 10 is an upper structure constituting a cartridge by being vertically coupled with the chuck assembly 20, which is a lower structure.
  • the card assembly 10 includes a probe card 13 made of a printed circuit board, upper and lower reinforcing parts 12 and 14 contacting and reinforcing the upper and lower surfaces of the probe guard, and an upper reinforcing part made of a rectangular plate shape. It may include a ring-shaped cover plate 11 provided on the upper surface of (12).
  • a plurality of probes are formed on the lower surface of the probe card 13 to protrude a predetermined length in a direction toward the wafer placed on the chuck assembly 20, and various devices inside the wafer can be tested using the plurality of probes. .
  • the lower reinforcing part 14 is electrically insulated from and coupled to the lower surface of the probe card 13, and has a predetermined size to expose the lower surface of the probe card 13 having a plurality of probes corresponding to the wafer to the outside. It may be made of a ring shape having an opening of.
  • the chuck assembly 20 is a lower structure that is vertically coupled with the card assembly 10 to form a cartridge.
  • the chuck assembly 20 is rotatably assembled through a wafer chuck 21 on which a wafer, which is an inspection object, is placed and placed, an internal fixture 22 which is an inner ring through which the center of the body is formed, and a bearing member 23a It may include an outer rotating body 24, which is an outer ring.
  • the outer rotating body 24 is shown and described as being detachably provided with a rotating ring 24a provided with a lower clasp 32 corresponding to the lower reinforcement part 14 provided with an upper clasp 31 to be described later.
  • the rotating ring 24a is provided in a ring shape extending to a certain height on the upper surface of the external rotating body 24 and may be integrally provided with the external rotating body according to design conditions.
  • the upper and lower surfaces of the assembly composed of the internal fixture 22 and the external rotary body 24 include upper and lower support plates 25 and 26 coupled to the internal fixture to support rotation of the external rotary body. can do.
  • the outer rotating body 24 and the rotating ring 24a provided therein correspond to the lower reinforcement part fixedly installed in the form of a fixed ring at the lower end of the card assembly, and are relative to each other in one direction during locking between the card assembly and the chuck assembly. It is a rotating structure provided at the upper end of the chuck assembly to be rotated.
  • the chuck assembly 20 includes an insulating member below the wafer chuck to insulate the wafer chuck 21 from the outside, and at least one insulating member below the insulating member heats the wafer chuck by generating heat when power is applied to the lower part of the insulating member.
  • a heater may be provided, and a heat insulating member may be provided at a lower portion of the heater so that heat may be transferred only in a direction of the wafer chuck.
  • a temperature sensor for measuring temperature while not in contact with the wafer chuck is provided inside the chuck assembly 20, and power is supplied to the heater or rotation drive source on the lower surface of the chuck assembly 20, and the temperature sensor measures the temperature. It may include a plurality of connectors 29 for external connection so as to transfer the data to the outside.
  • the locking portion 30 protrudes downward by a predetermined length from the lower surface of the lower reinforcing portion 14 constituting the lower end of the card assembly 10, and It includes an upper clasp 31 having a first head 31a extending a predetermined length, and protrudes upward by a predetermined length from the upper surface of the rotary ring of the external rotary body 24 constituting the upper end of the chuck assembly 20. And, it may include a lower clasp 32 having a second head (32a) extending a predetermined length toward the first head (31a) side.
  • a plurality of upper clasps 31 may be provided at regular intervals in the circumferential direction on the lower surface of the lower reinforcing part 14, and the lower clasp 32 may be provided on the upper surface of the rotary ring 24a in the circumferential direction. A plurality of them may be provided at regular intervals.
  • the upper clasp 31 is provided as a member detachably assembled to the lower surface of the lower reinforcement part 14, and the lower clasp 32 is detachably attached to the upper surface of the rotary ring 23.
  • the upper clasp 31 is integrally provided with the lower reinforcing part, and the lower clasp may be integrally provided with the rotating ring.
  • the second head 32a is connected to the first head 31a and the lower reinforcement part 14
  • the first head 31a is correspondingly inserted into the lower locking groove formed between the second head 32a and the rotation ring 24a, and the first head 31a is inserted into the first head and the second head 31a. Since the two heads are vertically overlapped, the upper surface of the first head and the lower surface of the second head are in surface contact with each other, generating a locking force to integrate the card assembly and chuck assembly into a cartridge, thereby performing a locking process.
  • the locking state between the upper clasp 31 and the lower clasp 32 may be maintained by the weight of the chuck assembly.
  • the elastic stopper 40 is the chuck assembly ( 20) is raised together with the card assembly to make line contact with the chuck assembly, which is moved upward, by limiting the rise of the probe card provided in the card assembly 10 and the wafer provided in the chuck assembly 20. It is to generate an elastic force so that the ends of the plurality of probes elastically come into contact with the pad of the wafer while securing and maintaining a certain distance of the probe.
  • the elastic stopper 40 includes a fixing member 41 fixedly installed on the outer surface of the wafer chuck 21 constituting the chuck assembly 20, and a movable member movably restrained by the fixing member ( 42), which is disposed between the fixing member 41 and the movable member 42 and elastically supports the movable member facing the lower end of the card assembly 10 toward the lower reinforcing part 14 of the card assembly. It may include at least one elastic body 45 providing an elastic force to do.
  • the fixing member 41 is detachably fixed to the wafer chuck by a plurality of fastening members 49 screwed to the outer surface of the wafer chuck 21 through a horizontal fixing hole 41b formed through the body. It is a fixed body to be installed, and the movable member 42 is a movable body that is movably restrained to the fixing member by a connecting screw 44 assembled to a vertical connection hole 41a penetrating the body of the fixing member. am.
  • the elastic body 45 is shown and described as being provided with a coil spring in which the lower end is in contact with the upper surface of the fixing member or the groove formed therein and the upper end is in contact with the lower surface of the movable member or the groove formed therein.
  • the lower surface is in contact with the upper surface of the fixing member and the upper surface is in contact with the lower surface of the movable member, and is provided with an elastic plate body made of rubber material forming a through hole through which the connecting screw passes without interference.
  • the gap (H) formed between the fixing member 41 and the movable member 42 can be properly adjusted by the fastening position of the engaging member screwed to the end of the connecting screw 44.
  • the elastic stopper 40 has been shown and described as being installed in about five wafer chucks in terms of elastic strength distribution, but is not limited thereto, and the number of the elastic stoppers 40 may be increased or decreased according to the elastic strength and tension stroke of the elastic body.
  • the movable member of the elastic stopper that rises together with the chuck assembly is in elastic contact with the card assembly to control the lifting distance of the chuck assembly.
  • the ends of the plurality of probes P provided on the probe card are placed on the chuck assembly by the total length L of the elastic stopper 40 (W). ) can stably secure a certain distance to uniformly and consistently contact the pad.
  • the acting force F3 which is the elastic force transmitted from the elastic stopper to the top
  • the acting force F1 transmitted from the card assembly to the bottom when the acting force F3, which is the elastic force transmitted from the elastic stopper to the top, is set to be greater than the acting force F1 transmitted from the card assembly to the bottom, a locking over error in which the probe in contact with the wafer is deformed or the probe in the wafer A non-contact locking under-over can be prevented, and a wafer inspection operation can be performed smoothly while absorbing the action force F1 transmitted through the card assembly by the elastic body 45 provided in the elastic stopper.
  • the chuck assembly 20 does not move upwards more than necessary and is stopped to maintain a constant probing distance at which the probe and the wafer are stably contacted at a preset position.
  • the elastic stopper 40 has a function of limiting the upward movement of the chuck assembly to maintain the probing distance at which the probe stably contacts the wafer, and the height of the locking surface and the ballistic error during locking between the upper and lower latches. It is possible to simultaneously perform a function of absorbing overfeeding of the chuck assembly caused by the chuck assembly.
  • the locking portion 30 is connected to the upper surface of the first head (31a) and to prevent the mutually locking upper clasp 31 and the lower clasp 32 from being separated and separated in the horizontal direction during high-speed transport of the cartridge. It may include a contact fixing surface 33 that generates a fixing force on the lower surface of the second head that is in contact therewith.
  • the close contact surface 33 is formed such that a suction end is exposed on the lower surface of the second head 32a, and a plurality of vacuums connected in communication with a vacuum suction line, not shown. It includes a magnet member provided on the lower surface of the second head so that the upper surface of the first head including the suction hole 33a or made of a metal material is tightly fixed by magnetic force, or the end portion is tightly fixed to the upper surface of the first head. It may include a plurality of positioning pins provided on the lower surface of the second head or a friction generating member such as a rubber material provided on the lower surface of the second head to generate surface friction by contacting the upper surface of the first head. can
  • the magnet member may be provided as a permanent magnet or an electromagnet
  • the close contact surface provided with any one of the vacuum suction hole, magnet member, positioning pin, and friction generating member is any one of the first and second heads. It may be provided only on or equally provided on both sides of the first and second heads.
  • the upper clasp 31 of the card assembly is locked and connected by the close contact surface 33 provided between the lower surface of the first head and the upper surface of the second head. Since the locking force between the lower clasps 32 of the chuck assembly can be increased, the locking force for locking the upper and lower clasps together with the self-weight of the chuck assembly is increased to increase the high speed of the cartridge between the aligner and the inspection chamber. It is possible to prevent in advance that the upper clasp and the lower clasp are separated from each other by the acceleration during transport.
  • FIG. 8 another locking part 30a providing a locking force mutually coupling the card assembly 10 having the probe card and the chuck assembly 20 on which the wafer is placed into the cartridge C is shown in FIG. 8.
  • a first head 31a protrudes downward by a predetermined length from the lower surface of the lower reinforcement part 14 constituting the lower end of the card assembly 10 and extends by a predetermined length in the transverse direction. It may include an upper clasp 31 to do.
  • the locking part 30a includes a shaft support 35 fixed to the chuck assembly 20 adjacent to the upper clasp 341, and is provided on the vertical axis 35b of the shaft support 35. It includes a first drive rotation member (B) that rotates in one direction together with the external rotation body 24 of the chuck assembly by inscribed with the first driven member 35a, and is provided at the upper end of the vertical shaft 35b to rotate in one direction.
  • the upper and lower surfaces of the first head of the upper clasp may include a rotating block 34 for generating a locking force by interviewing.
  • the first driven member (35a) has been shown and described as being provided as a pulley member that rotates in one direction in circumscribed contact with the inner surface of the first driving rotating member (B), such as a timing belt, but is not limited thereto, and is not limited thereto, and It may be provided as a sprocket member that engages with the same first driving rotation member and rotates in one direction.
  • a process of locking the cartridge in which the card assembly and the chuck assembly are combined by the upper clasp provided in the card assembly and the rotation block provided in the chuck assembly is as follows.
  • the chuck assembly is raised directly above the card assembly so that the first head 31 and the rotary block 34 do not overlap in the vertical direction and have different heights. Place the upper latch and the rotating block adjacent to each other in a separate unlocked state and wait.
  • the first driving member B made of a timing belt rotates in one direction to the left in the drawing and the shaft support
  • the rotation block 34 is moved to an upper locking groove formed between the first head 31 and the lower reinforcement part 14. Since the first head and the rotary block are vertically overlapped while being inserted, the upper surface of the first head and the lower surface of the rotary block are in surface contact with each other while generating a locking force to integrate the card assembly and chuck assembly into a cartridge, thereby generating a locking process. This will be done
  • FIG. 10 another locking part 30b providing a locking force mutually coupling the card assembly 10 having the probe card and the chuck assembly 20 on which the wafer is placed into the cartridge C is integrated, as shown in FIG. 10 .
  • FIGS. 11, 12 and 13 a first protruding downward by a predetermined length from the lower surface of the lower reinforcing portion 14 constituting the lower end of the card assembly 10 and extending by a predetermined length in the transverse direction.
  • the lower end may include a rotational support shaft 36 of a certain length supported rotatably.
  • the first head 31a includes a cutout 31b opened to the outside so that the rotation support shaft is disposed without interference when locking between the upper clasp and the lower clasp, and the moving block 37 is the lower clasp ( 32) may include a guide jaw 37a protruding so as to move up and down along the guide groove 32b formed therein.
  • the movable block has been shown and described as protruding a guide jaw that is moved up and down along the guide groove, but is not limited thereto, and the end of the movable block may be guided up and down in contact with the inner surface of the lower clasp. there is.
  • the second driven member (36a) has been shown and described as being provided with a sprocket member engaged with the second drive rotation member (CH) such as a chain and rotated in one direction, but is not limited thereto, and is not limited to a second drive rotation member such as a timing belt. It may be provided with a pulley member that is circumscribed with the inner surface of and rotates in one direction.
  • the chuck assembly is raised to the upper portion so that the first head 31a and the second head 32a do not overlap in the vertical direction and have different heights, so that the upper and lower clasps are adjacent to each other and separated. It is placed in an unlocked state and waits, and the space opened between the second head 32a and the moving block 37 corresponds to the first head.
  • the second head is correspondingly inserted into the upper locking groove formed between the first head and the lower reinforcing part. And, as the first head is inserted into the lower locking groove formed between the second head and the rotating ring, the first head and the second head are vertically overlapped, so that the top surface of the first head and the second head are overlapped.
  • a first locking process is performed to integrate the card assembly and the chuck assembly while the lower surfaces are in surface contact with each other.
  • the rotation support shaft 36 is disposed without interference in the cutout 31b formed in the first head, and the lower and upper surfaces of the moving block 37 face or come into contact with each other.
  • the rotation block 37 disposed to be in contact with the second head of the lower clasp is located in the gap formed between the first head of the upper clasp and the second head of the lower clasp, as shown in FIG.
  • the first head 31a and the rotation block 37 do not overlap in the vertical direction and have different heights, so that the upper latch and the rotation block are mutually connected to each other. It is placed adjacently and separated in an unlocked state and waits, and the space between the moving block 37 and the rotating ring corresponds to the first head.
  • the rotation support shaft 36 is disposed without interference in the cutout 31b formed in the first head, and the moving block 37 is interposed between the upper surface of the first head and the lower surface of the second head meet or come into contact with each other.
  • the rotation ring 24a or the external rotation body 24 rotatably supporting the lower end of the rotation support shaft 36 is disposed corresponding to the lower surface of the first head 31a of the upper clasp 31
  • a stopper 38 may be included.
  • the stopper is disposed on the lower surface of the first head while being rotated and moved together with the second head without interference with the first head, thereby preventing deformation of the second head coming into contact with the moving block that is lowered due to the rotation of the rotation support shaft can do.
  • a process of performing an inspection operation on a wafer after vertically integrating the card assembly and the chuck assembly using the multi-prover cartridge locking device having the above configuration is as follows.
  • the card assembly and the chuck assembly stand by a certain distance, which is a preset probing distance, before vertical coupling inside the equipment such as an aligner, and this separation distance is a mechanical measuring device such as LVDT (2) or an optical measuring device such as a vision camera ( 3) to calculate the moving distance for contact between the probe of the probe card and the wafer.
  • a mechanical measuring device such as LVDT (2) or an optical measuring device such as a vision camera ( 3) to calculate the moving distance for contact between the probe of the probe card and the wafer.
  • the chuck assembly is moved toward the card assembly based on the calculated movement distance, and the upward movement of the chuck assembly is stopped by contact between the elastic stopper provided in the wafer chuck of the chuck assembly and the card assembly, thereby stopping the chuck assembly. Since it is possible to prevent excessively elevated transfer, damage and deformation of the probe can be prevented.
  • a contact area between the probe and the wafer may be generated in the cartridge by internal and external factors such as mechanical, thermal, and electrical deformation. It may perform a function of tilting the chuck assembly so that an end of the chuck assembly uniformly contacts the pad of the wafer as a whole.
  • This tilting function may be performed by tilting actuators (not shown) disposed at intervals of approximately 120° in the circumferential direction with respect to the central axis of the lower surface of the chuck assembly to provide external force to the upper portion.

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Abstract

멀티 프로버용 카트리지 락킹장치를 제공한다. 본 발명은 복수의 탐침을 갖는 프로브 카드를 포함하는 카드조립체와, 웨이퍼가 올려져 배치되는 척조립체를 포함하는 카트리지에서 상기 카드조립체와 척조립체를 락킹하는 장치에 있어서, 상기 카드조립체의 하부단과 상기 척조립체의 상부단을 상호 걸림연결하여 상기 카드조립체, 웨이퍼 및 척조립체를 일체화시키는 잠금력을 발생시키는 락킹부; 상기 척조립체에 고정설치되는 고정부재와 상기 고정부재에 상하이동가능하게 구속되는 가동부재와의 사이에 배치되어 상기 가동부재를 카드조립체 측으로 탄력지지하는 적어도 하나의 탄성체를 갖추어 상기 카드조립체와의 접촉시 상기 탐침과 웨이퍼사이의 거리를 유지하면서 상기 탐침이 웨이퍼에 탄력적으로 접하도록 탄성력을 발생시키는 탄성스토퍼를 포함한다.

Description

멀티 프로버용 카트리지 락킹장치
본 발명은 멀티 프로버에서 카트리지를 락킹하는 장치에 관한 것으로, 더욱 상세히는 프로브카드 조립체의 탐침과 척조립체의 웨이퍼와의 안정적인 접촉을 위해서 필요거리를 확보해주는 탄성부재를 갖추어 프로브카드 조립체와 척조립체를 상호 락킹하는 멀티 프로버용 카트리지 락킹장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 웨이퍼(이하 웨이퍼이라함.)를 검사하는 시스템에는 싱글 프로버 방식과 멀티 프로버 방식이 알려져 있다.
싱글 프로버 방식은 한번에 1장의 웨이퍼를 전기시험하는 방식으로, 하나의 프로브 카드를 스테이지 위에 고정시킨 다음, 다수의 웨이퍼를 1장씩 스테이지로 투입하여 테스트공정을 수행하는 것이다.
그리고, 멀티 프로버 방식은 프로브 카드의 탐침을 가지고 웨이퍼를 한장씩 테스트하는 싱글 프로버 방식과 다르게 프로브 카드와 웨이퍼를 카트리지화하는 방식을 통해 복수의 카트리지를 검사 유닛에 구비되는 다단 채널에 개별적으로 장입한 다음 한번에 여러 장의 웨이퍼를 동시에 테스트하는 방식이다.
통상적으로, 웨이퍼를 검사하는 공정은 먼저 웨이퍼를 카세트에 담아 펍(Front Opening Unified Pod, FOUP)에 올려놓는다. 웨이퍼는 카세트로부터 스테이지에 탑재된 웨이퍼척 측으로 이송된다. 이후, 웨이퍼를 프로브 카드와 접촉시키기 위해 스테이지를 이동시켜 웨이퍼를 정렬시킨다. 웨이퍼척 상에 놓인 웨이퍼에 프로브 카드를 접촉시켜 테스터장비를 이용해 웨이퍼를 검사한다.
그러나, 프로브카드를 갖는 카드조립체와 웨이퍼가 올려지는 척조립체를 상하결합하는 과정에서 프로브카드의 탐침이 웨이퍼에 접촉하게 되는 거리를 균일하고 일정하게 유지하지 못하게 되면, 핵심부품인 탐침의 변형이나 손상을 발생시켜 검사공정이 중단될 수 있으며, 탐침과 웨이퍼의 접촉이 이루어지지 않게 되며 검사공정을 수행하게 못하게 되는 검사불량을 초래하였다.
또한, 카드조립체와 척조립체가 상하결합되어 락킹되면 락킹부위는 중량물인 척의 자중에 의해서 잠금력을 발생시키기 때문에 얼라이너와 검사챔버와의 사이에서 카트리지가 고속으로 왕복이송되는 과정에서 락킹부위가 헐거워지면서 락킹이 해제되어 검사공정을 중단시키는 치명적인 문제점이 발생하였다.
(특허문헌 1) KR 10-2223295 B1
따라서, 본 발명은 전술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 프로브 카드를 포함하는 카드조립체와 웨이퍼가 올려지는 척조립체간의 상호 접촉시 프로브 카드의 탐침과 웨이퍼간의 필요거리를 확보하면서 카드조립체와 척조립체간의 완전 결합시 탐침과 웨이퍼의 안정적이고 균일한 접촉을 보장할 수 있는 멀티 프로버용 카트리지 락킹장치를 제공하고자 한다.
본 발명의 다른 목적은 카드조립체와 척조립체간의 상호 결합시 락킹부위에서 발생하는 잠금력을 보다 증대시켜 카트리지의 고속이송시 가속도에 의하여 락킹부위가 해제되는 것을 근본적으로 방지할 수 있는 멀티 프로버용 카트리지 락킹장치를 제공하고자 한다.
본 발명에서 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급하지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위한 구체적인 수단으로서, 본 발명의 바람직한 실시예는, 복수의 탐침을 갖는 프로브 카드를 포함하는 카드조립체와, 웨이퍼가 올려져 배치되는 척조립체를 포함하는 카트리지에서 상기 카드조립체와 척조립체를 락킹하는 장치에 있어서, 상기 카드조립체의 하부단과 상기 척조립체의 상부단을 상호 걸림연결하여 상기 카드조립체, 웨이퍼 및 척조립체를 일체화시키는 잠금력을 발생시키는 락킹부 ; 상기 척조립체에 고정설치되는 고정부재와 상기 고정부재에 상하이동가능하게 구속되는 가동부재와의 사이에 배치되어 상기 가동부재를 카드조립체 측으로 탄력지지하는 적어도 하나의 탄성체를 갖추어 상기 카드조립체와의 접촉시 상기 탐침과 웨이퍼사이의 거리를 유지하면서 상기 탐침이 웨이퍼에 탄력적으로 접하도록 탄성력을 발생시키는 탄성스토퍼를 포함하는, 멀티 프로버용 카트리지 락킹장치를 제공한다.
이때, 상기 락킹부는 상기 카드조립체의 하단에 하향돌출되고, 횡방향으로 연장되는 제1헤드를 구비하는 상부걸쇠와, 상기 척조립체의 상단에 상향돌출되고, 상기 제1헤드 측으로 연장되는 제2헤드를 구비하는 하부걸쇠를 포함하고, 일방향으로 회전되는 하부걸쇠의 제2헤드와 위치고정된 상부걸쇠의 제1헤드간의 상하중첩에 의해서 상기 제1헤드의 하면과 상기 제2헤드의 상면이 면접촉될 수 있다.
이때, 상기 락킹부는 상기 제1헤드의 상면과 대응하여 접해지는 제2헤드의 하면에 고정력을 발생시키는 밀착고정면을 포함할 수 있다.
이때, 상기 밀착고정면은 상기 제2헤드의 하면에 흡입단이 노출되도록 형성되는 복수개의 진공흡착홀을 포함하거나 상기 제2헤드의 하면에 구비되는 자석부재를 포함하거나 상기 제2헤드의 하면에 구비되는 복수개의 위치결정핀을 포함하거나 상기 제2헤드의 하면에 구비되는 러버부재를 포함할 수 있다.
이때, 상기 락킹부는, 상기 카드조립체의 하단에 하향돌출되고, 횡방향으로 연장되는 제1헤드를 구비하는 상부걸쇠와, 상기 상부걸쇠에 인접하여 상기 척조립체에 고정설치되는 축지지체와, 상기 축지지체의 수직축에 구비되는 제1피동부재와 내접하여 상기 척조립체에 구비되는 외부 회전체와 더불어 일방향 회전되는 제1구동회전부재 및 상기 수직축에 구비되어 일방향 회전시 상기 상부걸쇠의 제1헤드의 상면과 하면이 면접하는 회전블럭을 포함할 수 있다.
이때, 상기 락킹부는 상기 카드조립체의 하단에 하향돌출되고, 횡방향으로 연장되는 제1헤드를 구비하는 상부걸쇠와, 상기 척조립체의 상단에 상향돌출되고, 상기 제1헤드 측으로 연장되는 제2헤드를 구비하는 하부걸쇠 및 상기 척조립체의 상단과 상기 제2헤드에 상,하단이 회전가능하게 지지되는 회전지지축을 포함하고, 상기 회전지지축의 하단에 구비되는 제2피동부재와 내접하여 일방향 회전되는 제2구동회전부재를 포함하고, 상기 회전지지축에 나사결합되어 상기 회전지지축의 일방향 회전시 수직이동되면서 상기 제1헤드의 상면이나 하면과 면접하여 잠금력을 발생시키는 이동블럭을 포함할 수 있다.
이때, 상기 제1헤드에는 상기 회전지지축이 간섭없이 배치되는 절개부를 포함하고, 상기 이동블럭은 상기 하부걸쇠에 형성된 안내홈을 따라 상하 안내이동되도록 돌출형성되는 안내턱을 포함할 수 있다.
이때, 상기 상부걸쇠의 제1헤드 하면과 대응하여 배치되는 스토퍼를 포함할 수 있다.
이때, 상기 가동부재는 상기 고정부재에 관통형성되는 수직연결공에 조립되는 연결나사에 의해서 상하이동가능하게 구속되고, 상기 연결나사의 단부에는 상기 가동부재에 관통형성된 연결공과 걸림연결되는 걸림부재를 포함할 수 있다.
상기한 바와 같은 본 발명의 바람직한 실시 예에 의하면 다음과 같은 효과가 있다.
프로브 카드를 갖는 카드조립체와 웨이퍼가 올려지는 척조립체를 상하결합하도록 락킹하는 과정에서 척조립체에 구비되어 카드조립체에 탄력적으로 접촉하는 탄성스토퍼를 갖춤으로써 프로브 카드의 탐침과 웨이퍼의 패드를 안정적이고 균일하게 접촉할 수 있기 때문에 탐침의 변형이나 손상을 방지하여 검사챔버에서 웨이퍼에 대한 검사공정을 접촉불량없이 효율적으로 수행할 수 있다.
프로브 카드를 갖는 카드조립체와 웨이퍼가 올려지는 척조립체를 상하 결합하면서 잠금력을 제공하는 락킹부에 구비되는 흡착고정면, 회전블럭 및 이동블럭에 의해서 카트리지를 구성하는 카드조립체와 척조립체간의 잠금력을 높일 수 있기 때문에 멀티 프로버 시스템에서 고속이송되는 카트리지의 가속도에 의해서 락킹부위가 헐거워지거나 분리해제되는 기계적 불량을 사전에 근본적으로 예방하여 카트리지의 이송효율을 높이고, 웨이퍼의 검사공정에 대한 신뢰성 및 정밀성을 높일 수 있다.
도 1a 와 도 1b 는 본 발명의 실시예에 따른 락킹장치가 적용된 멀티 프로버용 카트리지를 도시한 외관 사시도이다.
도 2a 와 도 2b 는 본 발명의 실시예에 따른 락킹장치가 적용된 멀티 프로버용 카트리지의 카드조립체와 척조립체가 분리된 상태를 도시한 외관 사시도이다.
도 3 은 본 발명의 실시예에 따른 락킹장치가 적용된 멀티 프로버용 카트리지의 카드조립체와 척조립체가 합체된 상태를 도시한 외관 사시도이다.
도 4 는 본 발명의 실시예에 따른 락킹장치가 적용된 멀티 프로버용 카트리지를 도시한 종단면도이다.
도 5 는 본 발명의 실시예에 따른 멀티 프로버용 카트리지 락킹장치에 적용되는 탄성스토퍼가 척조립체에 적용된 상태를 도시한 외관 사시도이다.
도 6 은 본 발명의 실시예에 따른 멀티 프로버용 카트리지 락킹장치에 적용되는 탄성스토퍼를 도시한 분해 사시도와 단면 사시도이다.
도 7 은 본 발명의 실시예에 따른 멀티 프로버용 카트리지 락킹장치에 적용되는 하부걸쇠의 제1헤드에 밀착고정면을 적용한 상태를 도시한 상세도로서,
(a)는 락킹전 분리상태이며,
(b)는 락킹후 접촉상태이다.
도 8 은 본 발명의 실시예에 따른 멀티 프로버용 카트리지 락킹장치에 적용되는 다른 락킹부를 도시한 작동 상태도이다.
도 9 는 본 발명의 실시예에 따른 멀티 프로버용 카트리지 락킹장치에 적용되는 다른 락킹부를 도시한 외관 확대도이다.
도 10 은 본 발명의 실시예에 따른 멀티 프로버용 카트리지 락킹장치에 적용되는 또다른 락킹부를 도시한 외관 사시도이다.
도 11 은 본 발명의 실시예에 따른 멀티 프로버용 카트리지 락킹장치에 적용되는 또다른 락킹부를 도시한 확관 확대도이다.
도 12 는 본 발명의 실시예에 따른 멀티 프로버용 카트리지 락킹장치에 적용되는 또다른 락킹부의 하부 락킹체결을 도시한 작동 상태도이다.
도 13 은 본 발명의 실시예에 따른 멀티 프로버용 카트리지 락킹장치에 적용되는 또다른 락킹부의 상부 락킹체결을 도시한 작동 상태도이다.
도 14 는 본 발명의 실시예에 따른 멀티 프로버용 카트리지 락킹장치를 적용한 웨이퍼 검사상태를 개략도이다.
도 15 는 본 발명의 실시예에 따른 멀티 프로버용 카트리지 락킹장치에 적용되는 탄성스토퍼의 작동 상태를 도시한 개략도이다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있는 바람직한 실시 예를 상세히 설명한다. 다만, 본 발명의 바람직한 실시 예에 대한 구조 원리를 상세하게 설명함에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다.
또한, 도면 전체에 걸쳐 유사한 기능 및 작용을 하는 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 사용한다.
덧붙여, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 '연결'되어 있다고 할때, 이는 '직접적으로 연결'되어 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 '간접적으로 연결'되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 구성 요소를 '포함'한다는 것은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라, 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 멀티 프로버용 카트리지 락킹장치(100)는 도 1a, 도 1b, 도 2a, 도 2b, 도 3 및 도 4 에 도시한 바와 같이, 복수의 탐침을 갖는 프로브 카드를 포함하는 카드조립체(10)와, 웨이퍼가 올려져 배치되는 척조립체(20)를 포함하는 카트리지(C)에서 상기 카드조립체(10)와 척조립체(20)를 합체하여 잠금연결할 수 있도록 락킹부(30) 및 탄성스토퍼(40)를 포함할 수 있다.
상기 카드조립체(10)는 하부구조물인 척조립체(20)와 상하결합되어 카트리지를 구성하는 상부구조물이다.
이러한 카드조립체(10)는 인쇄회로기판으로 이루어지는 프로브 카드(13)와, 상기 프로로브 가드의 상,하면과 접하여 보강하는 상,하부 보강부(12,14) 및 대락 사각판상으로 이루어지는 상부 보강부(12)의 상면에 구비되는 링형 덮개판(11)을 포함할 수 있다.
상기 프로브 카드(13)는 하부면에 복수의 탐침이 상기 척조립체(20)에 올려지는 웨이퍼를 향하는 방향으로 일정길이 돌출 형성되며, 복수의 탐침을 이용하여 웨이퍼 내부의 각종 소자들을 테스트할 수 있다.
상기 하부 보강부(14)는 상기 프로브 카드(13)의 하부면과 전기적으로 절연되어 결합되며, 상기 웨이퍼와 대응하여 복수의 탐침을 갖는 프로브 카드(13)의 하면을 외부노출시킬 수 있도록 일정크기의 개구부를 갖는 링형상으로 이루어질 수 있다.
상기 척조립체(20)는 상기 카드조립체(10)와 상하 결합되어 카트리지를 구성하는 하부구조물이다.
이러한 척조립체(20)는 검사대상물인 웨이퍼가 올려져 배치되는 웨이퍼척(21)과, 몸체중앙이 관통형성된 내륜인 내부 고정체(22)와 베어링부재(23a)를 매개로 하여 회전가능하게 조립되는 외륜인 외부 회전체(24)를 포함할 수 있다.
상기 외부 회전체(24)에는 후술하는 상부걸쇠(31)가 구비되는 하부보강부(14)와 대응하여 하부걸쇠(32)가 구비되는 회전링(24a)을 착탈가능하게 구비되는 것으로 도시하고 설명하였지만 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 회전링(24a)은 외부 회전체(24)의 상부면에 일정높이 연장되는 링형상으로 구비되어 설계조건에 따라 외부 회전체에 일체로 구비될 수 있다.
상기 내부 고정체(22)와 외부 회전체(24)로 이루어지는 조립체의 상,하부면에는 상기 내부 고정체와 결합되어 상기 외부 회전체의 회전을 지지하는 상,하부지지판(25,26)을 포함할 수 있다.
여기서, 상기 외부 회전체(24)와 이에 구비되는 회전링(24a)은 상기 카드조립체의 하단에 고정링형태로 고정설치되는 하부보강부와 대응하여 카드조립체와 척조립체간의 락킹결합시 일방향으로 상대 회전되도록 상기 척조립체의 상단에 구비되는 회전구조물이다.
상기 척조립체(20)는 상기 웨이퍼척(21)을 외부로부터 절연시키기 위하여 절연부재를 웨이퍼척의 하부에 구비하고, 상기 절연부재의 하부에는 전원인가시 열을 발생시켜 상기 웨이퍼척을 가열시키는 적어도 하나의 히터를 구비하며, 상기 히터의 하부에는 열이 웨이퍼척 방향으로만 전달될 수 있도록 단열부재를 구비할 수 있다.
상기 척조립체(20)의 내부에는 상기 웨이퍼척과 접촉되지 않으면서 온도를 측정하는 온도센서와, 상기 척조립체(20)의 하부면에는 상기 히터 또는 회전구동원에 전원을 공급하고, 상기 온도센서에 측정된 데이터를 외부로 전달할 수 있도록 복수개의 외부연결용 커넥터(29)를 포함할 수 있다.
상기 락킹부(30)는 도 2a, 도 2b 및 도 3 에 도시한 바와 같이, 상기 카드조립체(10)의 하단을 구성하는 하부 보강부(14)의 하부면으로부터 일정길이 하향돌출되고, 횡방향으로 일정길이 연장되는 제1헤드(31a)를 구비하는 상부걸쇠(31)를 포함하고, 상기 척조립체(20)의 상단을 구성하는 외부 회전체(24)의 회전링 상부면으로부터 일정길이 상향돌출되고, 상기 제1헤드(31a) 측으로 일정길이 연장되는 제2헤드(32a)를 구비하는 하부걸쇠(32)를 포함할 수 있다.
상기 상부걸쇠(31)는 상기 하부 보강부(14)의 하부면에 원주방향으로 일정간격을 두고 복수개 구비될 수 있으며, 상기 하부걸쇠(32)는 상기 회전링(24a)의 상부면에 원주방향으로 일정간격을 두고 복수개 구비될 수 있다.
이때, 상기 상부걸쇠(31)는 상기 하부 보강부(14)의 하부면에 착탈가능하게 조립되는 부재로 구비되고, 상기 하부걸쇠(32)는 상기 회전링(23)의 상부면에 착탈가능하게 조립되는 부재로 구비되는 것으로 도시하고 설명하였지만 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 상부걸쇠(31)는 상기 하부 보강부에 일체로 구비되고, 상기 하부걸쇠는 상기 회전링에 일체로 구비될 수 있다.
상기 카드조립체에 구비되는 상부걸쇠와 상기 척조립체에 구비되는 하부걸쇠간의 상호결합에 의해서 카드조립체와 척조립체가 합체된 카트리지를 락킹하는 공정은 다음과 같다.
즉, 도 3 에 도시한 바와 같이, 상기 카드조립체(10)에 대하여 척조립체(20)를 직상부로 상승시켜 상기 제1헤드(31a)와 제2헤드(32a)가 상하방향으로 겹쳐지지 않으면서 서로 다른 높이를 갖도록 상기 상부걸쇠와 하부걸쇠를 서로 인접하여 분리된 언락킹상태로 배치하여 대기한다.
이러한 상태에서, 상기 척조립체에 구비되는 회전링을 미도시된 외부동력에 의해서 일방향 도면상 좌측으로 회전시키면, 상기 제2헤드(32a)는 상기 제1헤드(31a)와 하부 보강부(14)사이에 형성되는 상부락킹홈으로 대응삽입되고, 상기 제1헤드(31a)는 상기 제2헤드(32a)와 회전링(24a)사이에 형성되는 하부락킹홈으로 대응삽입되면서 상기 제1헤드와 제2헤드가 상하중첩되기 때문에 상기 제1헤드의 상면과 상기 제2헤드의 하면이 서로 면접촉하면서 상기 카드조립체와 척조립체를 카트리지로 일체화하는 잠금력을 발생시켜 락킹공정이 이루어지게 된다.
이때, 상기 상부걸쇠(31)와 하부걸쇠(32)간의 락킹상태는 상기 척조립체의 자중에 의해서 유지될 수 있다.
상기 탄성스토퍼(40)는 도 2a, 도 2b, 도 3, 도 4, 도 5 및 도 6 에 도시한 바와 같이, 상기 카드조립체(10)와 척조립체(20)간의 락킹공정시 상기 척조립체(20)와 더불어 상승되어 상기 카드조립체와 먼저 선접촉되면서 상승이동되는 척조립체의 상승을 제한함으로써, 상기 카드조립체(10)에 구비되는 프로브 카드의 탐침과 상기 척조립체(20)에 구비되는 웨이퍼사이의 일정거리를 확보하여 유지하면서 복수개의 탐침의 단부가 웨이퍼의 패드에 탄력적으로 접하도록 탄성력을 발생시키는 것이다.
이러한 탄성스토퍼(40)는 상기 척조립체(20)를 구성하는 웨이퍼척(21)의 외부면에 고정설치되는 고정부재(41)를 포함하고, 상기 고정부재에 상하이동가능하게 구속되는 가동부재(42)를 포함하며, 상기 고정부재(41)와 가동부재(42)사이에 배치되어 상기 카드조립체(10)의 하부단과 마주하는 가동부재를 카드 조립체의 하부 보강부(14) 측으로 향하여 탄력적으로 지지하는 탄성력을 제공하는 적어도 하나의 탄성체(45)를 포함할 수 있다.
상기 고정부재(41)는 몸체에 관통형성되는 수평고정공(41b)을 통하여 상기 웨이퍼척(21)의 외부면에 나사결합되는 복수개의 체결부재(49)에 의해서 상기 웨이퍼척에 착탈가능하게 고정설치되는 고정체이며, 상기 가동부재(42)는 상기 고정부재의 몸체에 관통형성되는 수직연결공(41a)에 조립되는 연결나사(44)에 의해서 상기 고정부재에 상하이동가능하게 구속되는 가동체이다.
상기 연결나사(44)의 단부인 상단에는 상기 가동부재(42)에 관통형성된 연결공(42a)과 걸림연결되는 너트와 같은 걸림부재(45a)를 나사결합하여 구비함으로써 탄력지지되는 가동부재를 고정부재의 직상부에 상하이동가능하게 구속할 수 있다.
상기 탄성체(45)는 상기 고정부재의 상부면이나 이에 함몰형성되는 요홈에 하단이 접해지고, 상기 가동부재의 하부면이나 이에 함몰형성되는 요홈에 상단이 접해지는 코일 스프링으로 구비되는 것으로 도시하고 설명하였지만 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 고정부재의 상부면에 하면이 접하고 상기 가동부재의 하부면에 상면이 접해지며, 상기 연결나사가 간섭없이 관통되는 관통공을 형성하는 고무소재의 탄성판체로 구비될 수 있다.
이때, 상기 고정부재(41)와 가동부재(42)와의 사이에 형성되는 간격(H)은 상기 연결나사(44)의 단부에 나사결합된 걸림부재의 체결위치에 의해서 적절히 조절할 수 있다.
이러한 탄성스토퍼(40)는 탄성강도 분포상 웨이퍼척에 대략 5개로 설치되는 것으로 도시하고 설명하였지만 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 탄성체의 탄성강도와 텐션스트로크에 따라 그 설치갯수를 가감하여 설치할 수 있다.
이에 따라, 상기 상부걸쇠와 하부걸쇠가 분리된 상태인 락킹 대기상태에서 척조립체와 더불어 상승되는 탄성스토퍼의 가동부재가 카드조립체와 탄력적으로 접촉되면서 상기 척조립체의 상승이동거리를 제어하게 된다.
즉, 도 4 와 도 15 에 도시한 바와 같이, 상기 탄성스토퍼(40)의 전체길이(L)에 의해서 프로브 카드에 구비되는 복수개의 탐침(P)의 단부가 상기 척조립체에 올려진 웨이퍼(W)의 패드에 균일하고 일정하게 접촉하기 위한 일정거리를 안정적으로 확보할 수 있다.
그리고, 상기 탄성스토퍼에서 상부로 전달하는 탄성력인 작용력(F3)이 상기 카드조립체에서 하부로 전달하는 작용력(F1)보다 크게 설정되면, 웨이퍼에 접해지는 탐침이 변형되는 락킹 오버 오차나 웨이퍼에 탐침이 접촉하지 않는 락킹 언더 오바를 방지할 수 있으며, 상기 탄성스토퍼에 구비되는 탄성체(45)에 의해서 카드조립체를 통하여 전달되는 작용력(F1)을 흡수하면서 웨이퍼 검사작업을 원활하게 수행할 수 있다.
또한, 상기 상부걸쇠와 하부걸쇠가 서로 결합되어 락킹된 상태에서 상기 탄성스토퍼에서 상부로 전달하는 탄성력인 작용력(F3)이 상기 척조립체를 상부로 상승시키는 작용력(F2)보다 작게 설정되면, 상기 척조립체는 필요이상 과도하게 상승이동되어 웨이퍼와 접해지는 탐침의 변형을 유발할 수 있지만, 상기 탄성스토퍼(40)에서 상부로 전달하는 탄성력인 작용력(F3)이 상기 척조립체를 상부로 상승시키는 작용력(F2)보다 크게 설정되면 상기 척조립체(20)는 필요이상 상승이동되지 않고 사전에 설정된 위치에서 탐침과 웨이퍼가 안정적으로 접촉되는 프로빙 거리를 일정하게 유지하도록 정지된다.
이러한 탄성스토퍼(40)는 탐침이 웨이퍼에 안정적으로 접촉되는 프로빙 거리를 유지하도록 상승되는 척조립체의 상승이동을 제한하는 기능, 상기 상부걸쇠와 하부걸쇠간의 락킹시 락킹면의 높이 및 펑탄도 오차에 기인하는 척조립체의 과이송을 흡수하는 기능을 동시에 수행할 수 있다.
한편, 상기 락킹부(30)는 상호 락킹연결된 상부걸쇠(31)와 하부걸쇠(32)가 카트리지의 고속이송시 수평방향으로 분리이탈되는 것을 방지할 수 있도록 상기 제1헤드(31a)의 상면과 대응하여 접해지는 제2헤드의 하면에 고정력을 발생시키는 밀착고정면(33)을 포함할 수 있다.
이러한 밀착고정면(33)은 도 7a 와 도 7b 에 도시한 바와 같이, 상기 제2헤드(32a)의 하면에 흡입단이 노출되도록 형성되고, 미도시된 진공흡입라인과 연통연결되는 복수개의 진공흡착홀(33a)을 포함하거나 금속소재로 이루어지는 제1헤드의 상면에 자력에 의해서 밀착고정되도록 상기 제2헤드의 하면에 구비되는 자석부재를 포함하거나 상기 제1헤드의 상면에 단부가 밀착고정되도록 상기 제2헤드의 하면에 구비되는 복수개의 위치결정핀을 포함하거나 상기 제1헤드의 상면과 접하여 표면마찰력을 발생시키도록 상기 제2헤드의 하면에 구비되는 고무소재와 같은 마찰발생부재를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 자석부재는 영구자석이나 전자석으로 구비될 수 있으며, 상기 진공흡착홀, 자석부재, 위치결정핀, 마찰발생부재 중 어느 하나로 구비되는 밀착고정면은 상기 제1,2헤드중 어느 일측 헤드에만 구비되거나 상기 제1,2헤드 양측에 동일하게 구비될 수 있다.
이에 따라, 도 7 에 도시한 바와 같이, 상기 제1헤드의 하면과 상기 제2헤드의 상면과의 사이에 구비되는 밀착고정면(33)에 의해서 락킹연결된 상기 카드조립체의 상부걸쇠(31)와 상기 척조립체의 하부걸쇠(32)간의 잠금력을 높일 수 있기 때문에 상기 척조립체의 자중과 더불어 상기 상부걸쇠와 하부걸쇠를 서로 락킹하는 잠금력을 높여 얼라이너와 검사챔버와의 사이에서 이루어지는 카트리지의 고속이송시 가속도에 의해서 상기 상부걸쇠와 하부걸쇠가 서로 분리이탈되는 것을 사전에 예방할 수 있다.
또한, 상기 프로브 카드를 갖는 카드조립체(10)와 상기 웨이퍼가 올려지는 척조립체(20)를 카트리지(C)로 일체화하도록 이들을 상호 결합하는 잠금력을 제공하는 다른 락킹부(30a)는 도 8 과 도 9 에 도시한 바와 같이, 상기 카드조립체(10)의 하단을 구성하는 하부 보강부(14)의 하부면으로부터 일정길이 하향돌출되고, 횡방향으로 일정길이 연장되는 제1헤드(31a)를 구비하는 상부걸쇠(31)를 포함할 수 있다.
이러한 락킹부(30a)는 상기 상부걸쇠(341)에 인접하여 상기 척조립체(20)에 고정설치되는 축지지체(35)를 포함하고, 상기 축지지체(35)의 수직축(35b)에 구비되는 제1피동부재(35a)와 내접하여 상기 척조립체의 외부 회전체(24)와 더불어 일방향 회전되는 제1구동회전부재(B)를 포함하는 한편, 상기 수직축(35b)의 상단에 구비되어 일방향 회전시 상기 상부걸쇠의 제1헤드의 상면과 하면이 면접하여 잠금력을 발생시키는 회전블럭(34)을 포함할 수 있다.
이때, 상기 제1피동부재(35a)는 타이밍벨트와 같은 제1구동회전부재(B)의 내부면과 외접하여 일방향 회전되는 풀리부재로 구비되는 것으로 도시하고 설명하였지만 이에 한정되는 것은 아니며, 체인과 같은 제1구동회전부재와 맞물려 일방향 회전되는 스프로켓부재로 구비될 수 있다.
상기 카드조립체에 구비되는 상부걸쇠와 상기 척조립체에 구비되는 회전블럭에 의해서 카드조립체와 척조립체가 합체된 카트리지를 락킹하는 공정은 다음과 같다.
즉, 도 8 에 도시한 바와 같이, 상기 카드조립체에 대하여 척조립체를 직상부로 상승시켜 상기 제1헤드(31)와 회전블럭(34)이 상하방향으로 겹쳐지지 않으면서 서로 다른 높이를 갖도록 상기 상부걸쇠와 회전블럭을 서로 인접하여 분리된 언락킹상태로 배치하여 대기한다.
이러한 상태에서, 상기 척조립체의 외부 회전체를 미도시된 외부동력에 의해서 일방향 도면상 좌측으로 회전시킴으으써 타이밍벨트로 이루어지는 제1구동부재(B)는 도면상 좌측으로 일방향 회전되면서 상기 축지지체(35)에 구비되어 일방향 회전되는 수직축(35b)과 더불어 회전블럭이 회전되면, 상기 회전블럭(34)이 상기 제1헤드(31)와 하부보강부(14)사이에 형성되는 상부락킹홈으로 대응삽입되면서 상기 제1헤드와 회전블럭이 상하중첩되기 때문에 상기 제1헤드의 상면과 상기 회전블럭의 하면이 서로 면접촉하면서 상기 카드조립체와 척조립체를 카트리지로 일체화하는 잠금력을 발생시켜 락킹공정이 이루어지게 된다.
또한, 상기 프로브 카드를 갖는 카드조립체(10)와 상기 웨이퍼가 올려지는 척조립체(20)를 카트리지(C)로 일체화하도록 이들을 상호 결합하는 잠금력을 제공하는 또다른 락킹부(30b)는 도 10, 도 11, 도 12 및 도 13 에 도시한 바와 같이, 상기 카드조립체(10)의 하단을 구성하는 하부 보강부(14)의 하부면으로부터 일정길이 하향돌출되고, 횡방향으로 일정길이 연장되는 제1헤드(31a)를 구비하는 상부걸쇠(31)를 포함하고, 상기 척조립체(20)의 상단을 구성하는 외부 회전체((24)의 회전링(24a) 상부면으로부터 일정길이 상향돌출되고, 상기 제1헤드 측으로 일정길이 연장되는 제2헤드(32a)를 구비하는 하부걸쇠(32)를 포함하고, 상기 회전링(24a)이나 외부 회전체(24)와 상기 제2헤드(32a)에 상,하단이 회전가능하게 지지되는 일정길이의 회전지지축(36)을 포함할 수 있다.
상기 회전지지축(36)의 하단에 구비되는 제2피동부재(36a)와 내접하여 미도시된 구동원에 의해서 외부 회전체(24)와는 별도로 미도시된 구동원에 의해서 일방향 회전되는 제2구동회전부재(CH)를 포함하며, 상기 회전지지축(36)에 형성된 수나사부와 나사결합되는 암나사부를 갖추어 상기 회전지지축의 일방향 회전시 상기 제1헤드 또는 제2헤드 측으로 수직이동되면서 상기 상부걸쇠의 제1헤드의 하면과 상면이 면접하거나 상기 상부걸쇠의 제1헤드의 상면과 하면이 면접하여 잠금력을 발생시키는 이동블럭(37)을 포함할 수 있다.
상기 제1헤드(31a)에는 상기 상부걸쇠와 하부걸쇠간의 락킹시 상기 회전지지축이 간섭없이 배치되도록 외측으로 개구된 절개부(31b)를 포함하며, 상기 이동블럭(37)은 상기 하부걸쇠(32)에 형성된 안내홈(32b)을 따라 상하 안내이동되도록 돌출형성되는 안내턱(37a)을 포함할 수 있다.
여기서, 상기 이동블럭은 상기 안내홈을 따라 상하 안내이동되는 안내턱을 돌출형성하는 것으로 도시하고 설명하였지만 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 이동블럭의 단부가 하부걸쇠의 내측면에 접하여 상하 안내이동될 수 있다.
이때, 상기 제2피동부재(36a)는 체인와 같은 제2구동회전부재(CH)와 맞물려 일방향 회전되는 스프로켓부재로 구비되는 것으로 도시하고 설명하였지만 이에 한정되는 것은 아니며 타이밍벨트와 같은 제2구동회전부재의 내부면과 외접하여 일방향 회전되는 풀리부재로 구비될 수 있다.
상기 카드조립체에 구비되는 상부걸쇠와, 상기 척조립체에 구비되는 하부걸쇠 및 상기 회전지지축에 나사결합된 이동블럭간의 상호결합에 의해서 카드조립체와 척조립체가 합체된 카트리지를 락킹하는 공정은 다음과 같다.
즉, 상기 척조립체의 회전링에 접하도록 배치되는 회전블럭(37)이 상기 상부걸쇠의 제1헤드와 상기 회전링사이에 형성되는 간격에 위치되는 경우, 도 12 에 도시한 바와 같이, 상기 카드조립체에 대하여 척조립체를 직상부로 상승시켜 상기 제1헤드(31a)와 제2헤드(32a)가 상하방향으로 겹쳐지지 않으면서 서로 다른 높이를 갖도록 상기 상부걸쇠와 하부걸쇠를 서로 인접하여 분리된 언락킹상태로 배치하여 대기하며, 상기 제2헤드(32a)와 이동블럭(37)과의 사이에 벌어진 공간은 상기 제1헤드와 대응하게 된다.
이러한 상태에서, 상기 척조립체에 구비되는 회전링을 미도시된 외부동력에 의해서 일방향 도면상 좌측으로 회전시키면, 상기 제2헤드가 상기 제1헤드와 하부 보강부사이에 형성되는 상부락킹홈으로 대응삽입되고, 상기 제1헤드가 상기 제2헤드와 회전링사이에 형성되는 하부락킹홈으로 대응삽입되면서 상기 제1헤드와 제2헤드가 상하중첩되기 때문에 상기 제1헤드의 상면과 상기 제2헤드의 하면이 서로 면접촉하면서 상기 카드조립체와 척조립체를 일체화하기 위한 1차 락킹공정이 이루어지게 된다.
이때, 상기 회전지지축(36)은 제1헤드에 형성된 절개부(31b)에 간섭없이 배치되고, 상기 이동블럭(37)은 제1헤드의 하면과 상면이 서로 마주하거나 접해지게 된다.
연속하여, 상기 제2구동회전부재(CH)를 미도시된 외부동력에 의해서 일방향 도면상 좌측으로 회전시켜 상기 회전지지축을 일방향 회전시키면 상기 회전지지축에 나사결합된 이동블럭이 상기 제1헤드와 회전링과의 사이에서 직상부로 이동되면서 상기 이동블럭의 상면은 상기 제1헤드의 하면과 면접되기 때문에 상기 제1헤드의 하면과 상기 이동블럭의 상면간의 면접촉시 발생되는 압력에 의해서 상기 카드조립체와 척조립체를 일체화하는 2차 잠금력을 추가적으로 발생시켜 락킹공정을 종료하게 된다.
한편, 상기 하부걸쇠의 제2헤드에 접하도록 배치되는 회전블럭(37)이 상기 상부걸쇠의 제1헤드와 상기 하부걸쇠의 제2헤드사이에 형성되는 간격에 위치되는 경우, 도 13 에 도시한 바와 같이, 상기 카드조립체에 대하여 척조립체를 직상부로 상승시켜 상기 제1헤드(31a)와 회전블럭(37)이 상하방향으로 겹쳐지지 않으면서 서로 다른 높이를 갖도록 상기 상부걸쇠와 회전블럭을 서로 인접하여 분리된 언락킹상태로 배치하여 대기하며, 상기 이동블럭(37)과 회전링과의 사이에 벌어진 공간은 상기 제1헤드와 대응하게 된다.
이러한 상태에서, 상기 척조립체에 구비되는 회전링을 미도시된 외부동력에 의해서 일방향 도면상 좌측으로 회전시키면, 상기 제2헤드와 이동형 락킹블럭은 상기 제1헤드와 하부 보강부사이에 형성되는 상부락킹홈으로 대응삽입되고, 상기 제1헤드는 상기 이동블럭과 회전링사이에 형성되는 하부락킹홈으로 대응삽입되면서 상기 제1헤드와 이동블럭이 상하중첩되기 때문에 상기 제1헤드의 상면과 상기 이동블럭의 하면이 서로 면접촉하면서 상기 카드조립체와 척조립체를 일체화하기 위한 1차 락킹공정이 이루어지게 된다.
이때, 상기 회전지지축(36)은 제1헤드에 형성된 절개부(31b)에 간섭없이 배치되고, 상기 이동블럭(37)은 상기 제1헤드의 상면과 상기 제2헤드의 하면사이에 개재되어 서로 마주하거나 접해지게 된다.
연속하여, 상기 제2구동회전부재(CH_)를 미도시된 외부동력에 의해서 일방향 도면상 좌측으로 회전시켜 상기 회전지지축을 일방향 회전시키면 상기 회전지지축에 나사결합된 이동블럭이 상기 제1헤드와 제2헤드와의 사이에서 직상부로 이동되면서 상기 이동블럭의 상면이 상기 제2헤드의 하면과 면접되기 때문에 상기 이동블럭과 제2헤드간의 면접촉시 발생되는 압력에 의해서 상기 카드조립체와 척조립체를 일체화하는 2차 잠금력을 추가적으로 발생시켜 락킹공정을 종료하게 된다.
이때, 상기 회전지지축(36)의 하단을 회전가능하게 지지하는 회전링(24a)이나 외부 회전체(24)에는 상기 상부걸쇠(31)의 제1헤드(31a)의 하면과 대응하여 배치되는 스토퍼(38)를 포함할 수 있다.
상기 스토퍼는 상기 제2헤드와 더불어 제1헤드와의 간섭없이 회전이동되면서 상기 제1헤드의 하면에 배치됨으로써, 상기 회전지지축의 회전에 기인하여 하강되는 이동블럭와 접하게 되는 제2헤드의 변형을 방지할 수 있다.
한편 상기한 구성을 갖는 멀티프로버용 카트리지 락킹장치를 이용하여 카드조립체와 척조립체를 상하 합체한 다음, 웨이퍼에 대한 검사작업을 수행하는 공정을 다음과 같다.
상기 카드조립체와 척조립체는 얼라이너와 같은 장비의 내부에서 상하결합 전에 사전설정된 프로빙거리인 일정거리만큼 상하이격되어 대기하고, 이러한 이격거리는 LVDT 와 같은 기계식 측정기(2) 또는 비젼카메라와 같은 광학식 측정기(3)에 의해서 측정하여 프로브 카드의 탐침과 웨이퍼간의 접촉을 위한 이동거리를 계산한다.
그리고, 상기 척조립체는 계산된 이동거리를 근거로 하여 상기 카드조립체 측으로 이동되며, 상기 척조립체의 웨이퍼척에 구비되는 탄성스토퍼와 카드조립체간의 접촉에 의해서 상기 척조립체의 상승이동을 중단함으로써 척조립체가 과도하게 상승되는 이송을 방지할 수 있기 때문에 탐침의 손상 및 변형을 방지할 수 있다.
연속하여, 상기 척조립체의 상승이동이 상기 탄성스토퍼와 카드조립체간의 접촉에 의해서 중단된 다음, 상기 탐침의 단부와 상기 웨이퍼의 패드간의 접촉상태를 유지하기 위해서 상기 락킹부에 의해서 상기 카드조립체와 척조립체를 서로 결합하여 락킹하는 공정을 수행하게 된다.
한편, 상기 탐침과 웨이퍼는 카트리지에서 기계적, 열적 및 전기적 변형과 같은 내,외부요인에 의해서 접촉이 이루어지는 영역이 발생될 수 있으며, 이때 상기 척조립체의 직하부에서 직상부로 외력을 전달하여 상기 탐침의 단부가 웨이퍼의 패드에 전체적으로 균일하게 접촉되도록 척조립체를 틸팅하는 기능을 수행할 수 있다.
이러한 틸팅기능은 상기 척조립체의 하면 중심축을 기준으로 하여 원주방향으로 대략 120°간격을 두고 배치되어 직상부로 외력을 제공하는 틸팅 엑추에이터(미도시)에 의해서 수행될 수 있다.
최종적으로 상기 카드조립체와 척조립체가 락킹부에 의해서 상호결합되어 락킹되면 복수개의 탐침과 웨이퍼가 서로 접촉된 상태이므로 상기 탐침에 양극신호를 인가하고, 상기 웨이퍼척에 음극신호를 인가하여 웨이퍼에 시험공정을 수행하게 된다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능함은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명백할 것이다.
[부호의 설명]
C : 카트리지 10 : 카드조립체
12 : 상부 보강부 13 : 프로브 카드
14 : 하부 보강부 20 : 척조립체
21 : 웨이퍼척 22 : 내부 고정체
24 : 외부 회전체 30 : 30, 30a, 30b : 락킹부
31 : 상부걸쇠 31a : 제1헤드
32 : 하부걸쇠 32a : 제2헤드
40 : 탄성스토퍼 33 : 밀착고정면
34 : 회전블럭 35 : 축지지체
36 : 회전지지축 37 : 이동블럭
40 : 탄성스토퍼 41 : 고정부재

Claims (10)

  1. 복수의 탐침을 갖는 프로브 카드를 포함하는 카드조립체와, 웨이퍼가 올려져 배치되는 척조립체를 포함하는 카트리지에서 상기 카드조립체와 척조립체를 락킹하는 장치에 있어서,
    상기 카드조립체의 하부단과 상기 척조립체의 상부단을 상호 걸림연결하여 상기 카드조립체, 웨이퍼 및 척조립체를 일체화시키는 잠금력을 발생시키는 락킹부 ;
    상기 척조립체에 고정설치되는 고정부재와 상기 고정부재에 상하이동가능하게 구속되는 가동부재와의 사이에 배치되어 상기 가동부재를 카드조립체 측으로 탄력지지하는 적어도 하나의 탄성체를 갖추어 상기 카드조립체와의 접촉시 상기 탐침과 웨이퍼사이의 거리를 유지하면서 상기 탐침이 웨이퍼에 탄력적으로 접하도록 탄성력을 발생시키는 탄성스토퍼를 포함하는, 멀티 프로버용 카트리지 락킹장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 락킹부는 상기 카드조립체의 하단에 하향돌출되고, 횡방향으로 연장되는 제1헤드를 구비하는 상부걸쇠와, 상기 척조립체의 상단에 상향돌출되고, 상기 제1헤드 측으로 연장되는 제2헤드를 구비하는 하부걸쇠를 포함하고,
    일방향으로 회전되는 하부걸쇠의 제2헤드와 위치고정된 상부걸쇠의 제1헤드간의 상하중첩에 의해서 상기 제1헤드의 하면과 상기 제2헤드의 상면이 면접촉되는, 멀티 프로버용 카트리지 락킹장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 락킹부는 상기 제1헤드의 상면과 대응하여 접해지는 제2헤드의 하면에 고정력을 발생시키는 밀착고정면을 포함하는, 멀티 프로버용 카트리지 락킹장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 밀착고정면은 상기 제2헤드의 하면에 흡입단이 노출되도록 형성되는 복수개의 진공흡착홀을 포함하거나 상기 제2헤드의 하면에 구비되는 자석부재를 포함하거나 상기 제2헤드의 하면에 구비되는 복수개의 위치결정핀을 포함하거나 상기 제2헤드의 하면에 구비되는 러버부재를 포함하는, 멀티 프로버용 카트리지 락킹장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 락킹부는 상기 카드조립체의 하단에 하향돌출되고, 횡방향으로 연장되는 제1헤드를 구비하는 상부걸쇠와, 상기 상부걸쇠에 인접하여 상기 척조립체에 고정설치되는 축지지체와, 상기 축지지체의 수직축에 구비되는 제1피동부재와 내접하여 상기 척조립체에 구비되는 외부 회전체와 더불어 일방향 회전되는 제1구동회전부재 및 상기 수직축에 구비되어 일방향 회전시 상기 상부걸쇠의 제1헤드의 상면과 하면이 면접하는 회전블럭을 포함하는. 멀티 프로버용 카트리지 락킹장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 락킹부는 상기 카드조립체의 하단에 하향돌출되고, 횡방향으로 연장되는 제1헤드를 구비하는 상부걸쇠와, 상기 척조립체의 상단에 상향돌출되고, 상기 제1헤드 측으로 연장되는 제2헤드를 구비하는 하부걸쇠 및 상기 척조립체의 상단과 상기 제2헤드에 상,하단이 회전가능하게 지지되는 회전지지축을 포함하고,
    상기 회전지지축의 하단에 구비되는 제2피동부재와 내접하여 일방향 회전되는 제2구동회전부재를 포함하고, 상기 회전지지축에 나사결합되어 상기 회전지지축의 일방향 회전시 수직이동되면서 상기 제1헤드의 상면이나 하면과 면접하여 잠금력을 발생시키는 이동블럭을 포함하는, 멀티 프로버용 카트리지 락킹장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제1헤드에는 상기 회전지지축이 간섭없이 배치되는 절개부를 포함하고, 상기 이동블럭은 상기 하부걸쇠에 형성된 안내홈을 따라 상하 안내이동되도록 돌출형성되는 안내턱을 포함하는, 멀티 프로버용 카트리지 락킹장치.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 상부걸쇠의 제1헤드 하면과 대응하여 상기 척조립체에의 상단에 배치되는 스토퍼를 포함하는, 멀티 프로버용 카트리지 락킹장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 가동부재는 상기 고정부재에 관통형성되는 수직연결공에 조립되는 연결나사에 의해서 상하이동가능하게 구속되고, 상기 연결나사의 단부에는 상기 가동부재에 관통형성된 연결공과 걸림연결되는 걸림부재를 포함하는, 멀티 프로버용 카트리지 락킹장치.
  10. 복수의 탐침을 갖는 프로브 카드를 포함하는 카드조립체 ;
    웨이퍼가 올려져 배치되는 척조립체 ;
    상기 카드조립체의 하부단과 상기 척조립체의 상부단을 상호 걸림연결하여 상기 카드조립체, 웨이퍼 및 척조립체를 일체화시키는 잠금력을 발생시키는 락킹부 ; 및
    상기 척조립체에 고정설치되는 고정부재와 상기 고정부재에 상하이동가능하게 구속되는 가동부재와의 사이에 배치되어 상기 가동부재를 카드조립체 측으로 탄력지지하는 적어도 하나의 탄성체를 갖추어 상기 카드조립체와의 접촉시 상기 탐침과 웨이퍼사이의 거리를 유지하면서 상기 탐침이 웨이퍼에 탄력적으로 접하도록 탄성력을 발생시키는 탄성스토퍼를 포함하는, 멀티 프로버용 카트리지.
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