TWI401437B - Probe card - Google Patents

Description

探針卡

本發明係與探針卡之探針固定有關，特別是關於一種可簡易地安裝及拆卸探針之探針卡。

習知技術中的探針卡，係直接將探針以焊接方式固定於陶瓷基板上，再將陶瓷基板透過連接元固定於電路板，並與電路板電性連接。例如美國專利US2006257631號公開案，其係於陶瓷基板表面成形多個微孔陣列，用以供探針之連接端插設於其中。接著探針係被以焊接方式固定於微孔中，而與陶瓷基板之內部線路固定連接。完成探針固定的陶瓷基板，係進一步與連接元固定於電路板上，結合成一陶瓷基板探針卡。另，美國專利US20070007977號公開案、美國專利6520778號專利案、及中華民國專利293938號發明專利案也是直接將探針焊接於陶瓷基板。美國專利US5852871號及中華民國專利I284379號則是先在提供陶瓷基板，再於陶瓷基板上形成探針，其本質上仍然是將探針難以分離地結合於陶瓷基板。

又如美國專利3806801號專利案的探針卡，其探針彈性地接觸於陶瓷基板，但因為其探針卡上並不具備調整裝置，在更換時無法順利的調整探針的水平度與平行度，也因此使用者無法自行進行探針的更換。

以探針卡測試晶片時，係以探針接觸晶片上裸露的接點或是金屬線路，藉以測試晶片是否正常運作。探針係受 壓變形而彈性地接觸晶片，藉以確保各探針的探測端都可以確實與晶片電性導通。然而，持續變形的探針會逐漸材料疲乏，而導致損壞，以致於在以探針卡測試晶片時，會出現部份探針無法確實與晶片上對應的接觸點進行電性導通。探針的更換必須針對焊接探針的方式，以特殊解焊設備將探針移除，接著再以特殊焊接設備將新的探針焊接於探針基板。因此，探針卡必須整個送到製造商處，進行探針的更換，使用者並無法進行探針的更換。為了避免中斷晶片測試工作，使用者必須預備多個探針卡，以在探針卡送修時進行替換。

探針卡價格高昂，因此探針卡的庫存準備會造成使用者的設備成本提升。因此，習知技術中更進一步將陶瓷基板製作成可分離的形式，使用者只需要預備多個包含探針的陶瓷基板，在需要更換探針時，將陶瓷基板由探針卡卸除，再裝上新的陶瓷基板即可。換下的探針基板仍可送到製造商處更換探針。

雖然以可拆卸的陶瓷基板相對於整組探針卡而言降低了部份的成本，但是包含探針的陶瓷基板製造成本依舊非常昂貴，仍然會造成使用者設備成本提升。

習知技術的探針卡中，探針更換作業必須使用特殊的焊接及解焊設備，使用者無法自行更換探針，必須將探針卡送至製造商處進行探針的更換。因此，使用者必須維持探針卡或是具備探針之陶瓷基板的儲備，以維持晶片測試工作的持續進行。鑑於上述問題，本發明之目的在於提出一種探針卡，係可快速地更換探針，降低探針卡的使用成本。

為了達成上述目的，本發明提供一種探針卡，包含一電路板、一順應性之連接元、一基板、一探針組、及一調整裝置。連接元係設置於電路板之上側面，且基板設置於連接元上，透過連接元電性連接於電路板，其中連接元係順應基板相對於電路板之移動或是變形而隨之變形。此外，基板之頂面形成複數個接觸墊，透過基板內部的導電線路及連接元，電性連接於電路板。探針組具備一探針台及複數個探針，其中探針係穿過探針台之二側面，且探針台係可拆卸地固定於基板之頂面，使各探針之一端分別接觸各接觸墊。調整裝置用以改變基板之形狀或方位而調整探針，使探針的尖端共同位於一基準平面。

本發明之功效在於，複數個探針係固定於探針台上，而構成一探針組，再以可拆卸的方式固定於基板，使探針以接觸方式與基板電性導通。因此，由基板移除探針、或是固定探針於基板上時，都不需要對探針進行焊接或是解焊，而是透過相對簡易的固定手段固定探針台即可，因此不論是探針卡本體，或是基板都不需要進行更換，也就是不需要庫存備卡。對於使用者而言，僅需要庫存成本相對低廉的探針組，且可自行施工以更換探針或探針組。同時，探針尖端也可以透過調整裝置的調整，而維持於一基準平 面上，以使探針以平均的壓力接觸待測晶片。

為了詳細說明本發明之構造及特點所在，茲舉以下之較佳實施例並配合圖式說明如後。

請參閱「第一圖A」、「第一圖B」、及「第一圖C」所示，為本發明第一實施例所揭露之一種探針卡100，包含一電路板110、一連接元120、一基板130、一探針組140、一固定元件150、及一調整裝置160。

電路板110提供與測試機的連結。連接元120設置於電路板110之上側面，其中連接元120係為順應性，其包含複數個彈簧針，一端連接於電路板110之訊號點。

基板130為陶瓷基板等高硬度絕緣材料製作之板，設置於連接元120上，基板130內部形成訊號線路，且連接元120係連接於基板130及電路板110。如前所述，連接元120係為順應性，因此連接元120順應基板相對於電路板110移動或變形而隨之彈性變形，維持基板130及電路板110之間的電性導通。此外，基板130之頂面形成複數個接觸墊131，透過連接元120與電路板110電性導通。

請結合參照「第二圖A」所示，探針組140具有一探針台141及複數個探針142，探針台141包含互相層疊之一上導板143及一下導板144，且上導板143及下導板144之間形成一腔室145。各探針142分別具有一探測端146、一連接端147、及一中繼部148，中繼部148係介於探測端 146及連接端147之間。中繼部148為可彈性變形，且位於腔室145中。而探測端146係穿透上導板143，且連接端147係穿透下導板144，使探針142通過腔室145，而貫穿探針台141的二側面。可彈性變形之中繼部148，可在探測端146及連接端147受到擠壓時壓縮，改變探針142長度。此外，中繼部148又可被侷限於腔室145中，例如使中繼部148的直徑大於上導板143及下導板144的穿透孔的孔徑，藉以將探針142固定於探針台141。

請參照「第二圖B」所示，係為另一種形式之探針142，其中探針142的中繼部148係呈彎曲桿型態，且探測端146及連接端147係錯開而不位於同一直線上，藉以侷限中繼部148於腔室145中，將探針142固定於探針台141。

再參閱「第一圖A」、「第一圖B」、及「第一圖C」所示，探針台141係置於基板130上，且下導板144朝向基板130。該等探針142之連接端147的配置，係對應於基板130之接觸墊131的配置，當探針台141被放置於基板130，且經過一對位程序後，各探針142之連接端147會分別彈性接觸其所對應之接觸墊131，使探針142透過基板130及連接元120，而與電路板110電性導通。

固定元件150係用以連接探針台141及基板130，而固定探針組140於基板130。於本實施例中，固定元件150為一螺栓，穿過探針台141之穿孔，而鎖入基板130頂面之螺孔中，藉以連接探針組140及基板130，並迫使探針組140的底面接觸基板130之頂面。此外，透過固定元件150 對探針組140進行定位，探針142之連接端147也會對準其所對應的接觸墊131，進行電性導通。

固定元件150將探針台141固定於基板130，且使探針組140緊密地靠合於基板130，因此基板130的方位改變時，也會使探針組140方位隨之改變，進而使探針142尖端的平行度改變。而基板130的形狀改變時，基板130上的接觸墊131的位置也會隨之改變，使得探針142末端在接觸接觸墊131的位置也會隨之改變，進而使探針142尖端的平面度改變。理想狀態下，探針142尖端應該共同位於一基準平面，以對待測晶片產生平均的接觸壓力。調整裝置160係設置於基板130之另一側，藉以改變基板130的形狀或方位，而改變調整探針142尖端的位置，即可使探針142尖端共同位於基準平面。

調整裝置160包含一剛性支撐件161及複數個等長之連接件162。連接件162係穿過剛性支撐件161，且一端固定於剛性支撐件161。連接件162之另一端係以焊接或鎖固等方式連接於基板130，藉由研磨該剛性支撐件161與連接件162接觸之接觸面，達到調整基板130的平坦度與方位之功效，使探針142末端接觸基板130的位置改變，進而影響針尖的位置。同樣地，在該剛性支撐件161與連接件162接觸之界面間，放置厚度不同的墊片，亦可達到相同之效果。

探針142之探測端146的排列方式，係對應於待測晶片之訊號饋入點、饋出點之接觸點(例如裸露的金屬導線 或接觸墊)。當探針台141完成定位，並以探針台141之上導板143朝向晶片靠合之後，探針142之探測端146可接觸晶片的訊號饋入點、饋出點，並迫使中繼部148變形產生彈性力，而使探測端146以適當的壓力接觸晶片。經由電路板110將測試訊號透過連接元120、基板130及探針142的探測端146傳送至晶片，再由晶片產生回饋訊號，由探測端146通過基板130及連接元120傳送至電路板110，最後到測試機，來判斷晶片是否可正常運作。無法正常運作的晶片將被標記為失效，並在後續電子元件製程中作廢。

當探針142損毀時，並不需要更換整個探針卡，僅需要卸下固定元件150，將探針組140移除，更換新的探針組140，或是進行探針組140中個別探針142的更換，再裝回探針組，即可完成探針卡的維護更新。也就是說，對於使用者而言，其僅需儲備探針組140或探針142的備品以進行更換，就可以進行探針卡的維護。同時，探針組140的更換並不涉及解焊或是焊接程序，僅是單純的固定元件150拆卸作業，也沒有涉及基板130或探針卡等高價元件的儲備或變更。探針卡之探針142的維護更新可完全由使用者自行以簡易工具實施，不需要再後送至製造者處等待維修，有效地降低維護探針卡的成本。

參閱「第三圖A」及「第三圖B」所示，為本發明第二實施例所揭露之一種探針卡200，包含一電路板210、一連接元220、一基板230、一探針組240、至少一固定元件250、及一調整裝置260。

電路板210提供與測試機的連結，連接元220設置於電路板210之上側面，其中連接元220係為順應性，包含調整基體221及設置於調整基體221二側面之彈性接觸件222。

基板230為陶瓷基板等高硬度絕緣材料製作之板，設置於連接元220。基板230朝向電路板210之一側面形成複數個訊號點，且電路板210也具備對應之訊號點。調整基體221二側面之彈性接觸件222分別彈性接觸電路板210及基板230之訊號點，使基板230透過連接元220電性連接於電路板210。此外，基板230的邊緣形成懸空且不接觸連接元220之彈性接觸件222的第一連接部232，且第一連接部232與電路板210之間形成一間隙。

探針組240具有一探針台241及複數個探針242，探針台241包含互相層疊之一上導板243及下導板244，各探針242係貫穿探針台241的二側面，使其探測端及連接端分別穿透上導板243及下導板244。探針台241之至少一側邊形成向外延伸的第二連接部249，當探針台241之下導板244被放置於基板230上時，第二連接部249係疊合於第一連接部232。

固定元件250為一扣持片，該扣持片具有二扣持端251，並於二扣持端251之間形成一側向開口252，固定元件250係由探針台241及基板230之側向邊緣，以該側向開口252夾持第一連接部232及第二連接部249。二扣持端251分別扣持於第一連接部232之下側面及第二連接部249 之上側面，將第一連接部232及第二連接部249扣持在一起，而連接第一連接部232及第二連接部249，藉以將探針台241固定於基板230，令探針242接觸對應之接觸墊231。固定元件250可以採用簡易的工具，例如夾鉗移除，甚至利用手移除，固定元件250被移除後，探針台241就可以從基板230取下，以更換新的探針台241或探針242。

調整裝置260係設置於基板230之另一側，藉以改變基板230的方位，也會使探針組240方位隨之改變，進行使探針242尖端的平行度改變。而基板230的形狀改變時，基板230上的接觸墊231的位置也會隨之改變，使得探針242末端在接觸接觸墊231的位置也會隨之改變，進而使探針242尖端的平面度改變。

調整裝置260包含一剛性支撐件261及複數個等長之連接件262。連接件262係穿過剛性支撐件261，且一端固定於剛性支撐件261。連接件262之另一端係連接於基板230，用以調整基板230的形狀，使探針242末端接觸基板230的位置改變，進而影響針尖的位置。參閱「第三圖A」及「第三圖B」所示，作為固定元件250之扣持片的數目可為一或複數個，扣持於探針台241之一側邊或是多個側邊。或是，扣持片也可以為一環狀構件，環繞地扣持探針台241的整個邊緣。

參閱「第四圖」所示，為本發明第三實施例所揭露之一種探針卡300，包含一電路板310、一連接元320、一基板330、一探針組340、至少一固定元件350、及一調整裝 置360。

電路板310提供與測試機的連結，連接元320係設置於電路板310之上側面，其中連接元320係為順應性。基板330為陶瓷基板等高硬度絕緣材料製作之板，設置於連接元320上。基板330朝向電路板310之一側形成複數個訊號點，且電路板310也具備對應之訊號點。連接元320用以彈性接觸電路板310及基板330之訊號點，使基板330透過連接元320電性連接於電路板310。

探針組340具有一探針台341及複數個探針342，探針台341包含互相層疊之一上導板343及一下導板344，探針342穿過上導板343及下導板344，使探針342貫穿探針台341的二側面。

探針組340係可拆卸地置於基板330上，且探針組340底面係緊密地靠合於基板330，探針台341經過定位程序後，各探針342之連接端可分別接觸其所對應之接觸墊，而使探針342透過基板330及連接元320電性連接於電路板310。此外，探針台341之面積係大於基板330之面積，形成突出於基板330邊緣之連接部332。

固定元件350包含一螺栓351及一鎖固塊352，其中，鎖固塊352係固定於電路板310上側面，且位於連接部332之下方。螺栓351係穿過探針台341，而鎖合於鎖固塊352上，藉以連接探針台341及電路板310，而固定探針組340於基板330之頂面。此外，透過螺栓351及鎖固塊352的結合，也可以對探針組340進行定位，使各探針342之連 接端對準並接觸其所對應之接觸墊。

調整裝置360係設置於基板330之另一側，用以調整基板330的形狀，使探針342末端接觸基板330的位置改變，進而影響針尖的位置，即可使探針342尖端共平面。

參閱「第五圖A」及「第五圖B」所示，為本發明第四實施例所揭露之一種探針卡400，包含一電路板410、一連接元420、一基板430、一探針組440、至少一固定元件450、及一調整裝置460。

電路板410提供與測試機的連結，連接元420係設置於電路板410之上側面，其中連接元420係為順應性，包含複數個彈簧針，一端連接於電路板410之訊號點。

基板430為陶瓷基板等高硬度絕緣材料製作之板，設置於連接元420上，連接元420係連接於基板430及電路板410之訊號點，使基板430透過連接元420電性連接於電路板410。

探針組440具有一探針台441及複數個探針442，探針台441包括互相層疊之一上導板443及一下導板444，探針442穿過上導板443及下導板444而貫穿探針台441之二側面。

探針台441係置於基板430之頂面，且下導板444係靠合於基板430，探針台441經過定位程序之後，各探針442之連接端447可分別接觸其所對應之接觸墊431，而使探針442透過基板430及連接元420電性連接於電路板410。此外，探針台441之邊緣形成一延伸之連接部449。

固定元件450包含一固定部451及一延伸於固定部451之壓制部452，固定部451係以焊接、黏貼、或是螺鎖等方式連接於電路板410，而直立於電路板410上。而壓制部452底面之高度係等於或是略小於探針台441之連接部449的頂面的高度，以壓制部452牢固地壓制於探針台441，而固定該探針台441於基板430上。

調整裝置460係設置於基板430之另一側，用以調整基板430的形狀，使探針442末端接觸基板430的位置改變，進而影響針尖的位置，即可使探針442尖端共平面。

調整裝置460包含一剛性支撐件461及複數個等長之連接件462。剛性支撐件461具備一經研磨加工而形成之設置平面P，連接件462係穿過剛性支撐件461，且一端固定於剛性支撐件461之設置平面P。前述各實施例中，基板之二側面都可被研磨成平面，因此當等長之連接件連接於基板時，可迫使基板平行於設置平面。而於此實施例中，基板430朝向調整裝置460之一側面並不需要整個研磨成平面，而是形成複數個對應於連接件462之基板固定部432，各基板固定部432之前端係被共同加工研磨，而位於同一平面上。

探針組除了透過固定元件連接於電路板，而固定於基板上之外，也可以直接連接於電路板，而固定於基板上。

參閱「第六圖」所示，為本發明第五實施例所揭露之一種探針卡500，包含一電路板510、一連接元520、一基板530、一探針組540、及一調整裝置560。

連接元520係為順應性，其係由彈性導電膠，如異方性導電膠(Anisotropic Conductive Film,ACF)所形成，連接於電路板510之訊號點。

基板530為陶瓷基板等高硬度絕緣材料製作之板，設置於連接元520上，基板530內部形成訊號線路，且連接元520係連接於基板530及電路板510。如前所述，連接元520係為順應性，因此連接元520順應基板相對於電路板510移動或變形而隨之彈性變形，維持基板530及電路板510之間的電性導通。

探針組540具有一探針台541及複數個探針542，探針台541包含互相層疊之一上導板543及一下導板544，該等探針542係穿過上導板543及下導板544，而貫穿過探針台541之二側面。

探針台541之上導板543一側面形成至少一固定部549，並抵靠於下導板544之側邊。固定部549之前端以黏貼、焊接或是鎖合等方式連接於電路板510，而固定探針台541於基板530之頂面，使探針542接觸基板530之接觸墊。

固定部549之內側抵靠於基板530之邊緣，滑動而導引探針台541朝向基板530靠合。透過固定部549的導引，也可以對探針台541進行定位，使各探針542對準並接觸其所對應之基板530的接觸墊。

調整裝置560係設置於基板530之另一側，用以調整基板530的形狀，使探針542末端接觸基板530的位置改變，進而影響針尖的位置，即可使探針542尖端共平面。

參閱「第七圖」所示，為本發明第六實施例所揭露之一種探針卡600，包含一電路板610、一連接元620、一基板630、一固定元件650、一探針組640、及一調整裝置660。

其與第一較佳實施例不同的是，除了包含一剛性支撐件661及複數個連接件662外，更包含有複數個墊片670，其中該各墊片670夾置於電路板610與剛性支撐件661間，主要用於可加工調整該墊片670之高度，進而微調基板630的形狀，使探針642末端接觸基板630的位置改變，進而影響針尖的位置，即可使探針642尖端共平面。

本發明之發明精神在於，探針係設置於探針台，並以彈性接觸的方式與基板電性連接，而不是直接焊接於基板，因此探針的安裝及移除都不需要使用到特殊的焊接或是解焊設備。探針的安裝或是移除，是透過固定探針台於基板或電路板所達成，因此降低了探針卡備品的儲備成本。

100‧‧‧探針卡

110‧‧‧電路板

120‧‧‧連接元

130‧‧‧基板

131‧‧‧接觸墊

140‧‧‧探針組

141‧‧‧探針台

142‧‧‧探針

143‧‧‧上導板

144‧‧‧下導板

145‧‧‧腔室

146‧‧‧探測端

147‧‧‧連接端

148‧‧‧中繼部

150‧‧‧固定元件

160‧‧‧調整裝置

161‧‧‧剛性支撐件

162‧‧‧連接件

200‧‧‧探針卡

210‧‧‧電路板

220‧‧‧連接元

221‧‧‧調整基體

222‧‧‧彈性接觸件

230‧‧‧基板

231‧‧‧接觸墊

232‧‧‧第一連接部

240‧‧‧探針組

241‧‧‧探針台

242‧‧‧探針

243‧‧‧上導板

244‧‧‧下導板

249‧‧‧第二連接部

250‧‧‧固定元件

251‧‧‧扣持端

252‧‧‧開口

260‧‧‧調整裝置

261‧‧‧剛性支撐件

262‧‧‧連接件

300‧‧‧探針卡

310‧‧‧電路板

320‧‧‧連接元

330‧‧‧基板

332‧‧‧連接部

340‧‧‧探針組

341‧‧‧探針台

342‧‧‧探針

343‧‧‧上導板

344‧‧‧下導板

350‧‧‧固定元件

351‧‧‧螺栓

352‧‧‧鎖固塊

360‧‧‧調整裝置

400‧‧‧探針卡

410‧‧‧電路板

420‧‧‧連接元

430‧‧‧基板

431‧‧‧接觸墊

432‧‧‧基板固定部

440‧‧‧探針組

441‧‧‧探針台

442‧‧‧探針

443‧‧‧上導板

444‧‧‧下導板

447‧‧‧連接端

449‧‧‧連接部

450‧‧‧固定元件

451‧‧‧固定部

452‧‧‧壓制部

460‧‧‧調整裝置

461‧‧‧剛性支撐件

462‧‧‧連接件

P‧‧‧設置平面

500‧‧‧探針卡

510‧‧‧電路板

520‧‧‧連接元

530‧‧‧基板

540‧‧‧探針組

541‧‧‧探針台

542‧‧‧探針

543‧‧‧上導板

544‧‧‧下導板

549‧‧‧固定部

560‧‧‧調整裝置

600‧‧‧探針卡

610‧‧‧電路板

620‧‧‧連接元

630‧‧‧基板

640‧‧‧探針組

642‧‧‧探針

650‧‧‧固定元件

660‧‧‧調整裝置

661‧‧‧剛性支撐件

662‧‧‧連接件

670‧‧‧墊片

第一圖A及第一圖B為本發明第一實施例之剖面分解圖。

第一圖C為本發明第一實施例之剖視圖。

第二圖A及第二圖B為應用於本發明之探針組之剖視圖。

第三圖A為本發明第二實施例之剖面分解圖。

第三圖B為本發明第二實施例之剖視圖。

第四圖為本發明第三實施例之剖視圖。

第五圖A為本發明第四實施例之剖面分解圖。

第五圖B為本發明第四實施例之剖視圖。

第六圖為本發明第五實施例之剖視圖。

第七圖為本發明第六實施例之剖視圖。

100‧‧‧探針卡

110‧‧‧電路板

120‧‧‧連接元

130‧‧‧基板

140‧‧‧探針組

141‧‧‧探針台

142‧‧‧探針

143‧‧‧上導板

144‧‧‧下導板

146‧‧‧探測端

150‧‧‧固定元件

160‧‧‧調整裝置

161‧‧‧剛性支撐件

162‧‧‧連接件

Claims (25)

1. 一種探針卡，包含：一電路板；一順應性之連接元，設置於該電路板；一基板，透過該連接元電性連接於該電路板，且該基板之頂面形成複數個接觸墊，其中該連接元係順應該基板相對於該電路板之移動及變形而隨之彈性變形；一探針組，具備一探針台及複數個探針，其中該等探針係穿過該探針台之二側面，且該探針台係可拆卸地固定於該基板之頂面，使各該探針之一端分別接觸各該接觸墊；及一調整裝置，用以改變該基板之平坦度及方位而調整該些探針，使該些探針的尖端共同位於一基準平面。
2. 如申請專利範圍第1項所述之探針卡，其中該連接元包含複數個彈簧針，分別連接該基板及該電路板。
3. 如申請專利範圍第1項所述之探針卡，其中該連接元包含一調整基體及設置於該調整基體二側面之彈性接觸件，各彈性接觸件係彈性接觸該基板及該電路板。
4. 如申請專利範圍第1項所述之探針卡，其中該連接元係由彈性導電膠所形成。
5. 如申請專利範圍第4項所述之探針卡，其中該彈性導電膠為異方性導電膠。
6. 如申請專利範圍第1項所述之探針卡，其中該探針台包含互相層疊之一上導板及一下導板，該等探針係穿過該上導板及該下導板。
7. 如申請專利範圍第6項所述之探針卡，其中該上導板及該下導板之間形成一腔室，且該等探針係通過該腔室。
8. 如申請專利範圍第7項所述之探針卡，其中各該探針分別具有一探測端、一連接端、及一中繼部，該中繼部係介於該探測端及該連接端之間，其中該探測端係穿透該上導板、該連接端係穿透該下導板、及該中繼部係位於該腔室中。
9. 如申請專利範圍第8項所述之探針卡，其中該中繼部為可彈性變形。
10. 如申請專利範圍第1項所述之探針卡，其中更包含一固定元件，連接該探針台及該基板，而固定該探針組於該基板之頂面。
11. 如申請專利範圍第10項所述之探針卡，其中該固定元件係穿過該探針台，而以其前端固定於該基板。
12. 如申請專利範圍第11項所述之探針卡，其中該固定元件為一螺栓，穿過該探針台而鎖固於該基板。
13. 如申請專利範圍第10項所述之探針卡，其中該探針台之至少一側邊延伸形成一第一連接部，且該基板之至少一側邊延伸形成一第二連接部，該固定元件係連接該第一連接部及該第二連接部。
14. 如申請專利範圍第13項所述之探針卡，其中該固定元件為一扣持片，具有二扣持端，該二扣持端分別扣持該第一連接部及該第二連接部，使該固定元件連接該第一連接部及該第二連接部。
15. 如申請專利範圍第10項所述之探針卡，其中該固定元件包含一螺栓及一鎖固塊，該鎖固塊係固定於該電路板，該螺栓係穿過該探針台而鎖合於該鎖固塊。
16. 如申請專利範圍第10項所述之探針卡，其中該固定元件包含一固定部及一延伸於該固定部之壓制部，該固定部連接於該電路板，該壓制部壓制於該探針台而固定該探針台於該基板上。
17. 如申請專利範圍第10項所述之探針卡，其中該探針台之一側面延伸形成至少一固定部，連接於該電路板，以固定該探針台於該基板之頂面。
18. 如申請專利範圍第1項所述之探針卡，其中該調整裝置包含一剛性支撐件及複數個等長之連接件，各該連接件之一端固定於該剛性支撐件上，另一端係連接於該基板。
19. 如申請專利範圍第18項所述之探針卡，其中各該連接件為等長之螺絲，透過螺合方式結合於該剛性支撐件。
20. 如申請專利範圍第18項所述之探針卡，其中該基板朝向該調整裝置之一側面形成複數個對應於該等連接件之基板固定部，各該基板固定部之前端係位於同一平面上，各該連接件之另一端係連接於該基板固定部。
21. 如申請專利範圍第18項所述之探針卡，其中該調整裝置更包含有複數個墊片，其中該各墊片夾置於該電路板與該剛性支撐件間。
22. 一種探針卡，包含：一電路板； 一順應性之連接元，設置於該電路板；一基板，透過該連接元電性連接於該電路板，且該基板之頂面形成複數個接觸墊，其中該連接元係順應該基板相對於該電路板之移動及變形而隨之彈性變形；一探針組，具備一探針台及複數個探針，其中該等探針係穿過該探針台之二側面，且該探針台係可拆卸地固定於該基板之頂面，使各該探針之一端分別接觸各該接觸墊；及一調整裝置，包含一剛性支撐件及複數個連接件，各該連接件之一端固定於該剛性支撐件上，另一端係固接於該基板；調整該剛性支撐件與各該連接件接觸之界面，進而改變該基板之平坦度及方位而調整該些探針，使該些探針的尖端共同位於一基準平面。
23. 如申請專利範圍第22項所述之探針卡，其中各該連接件為螺絲，透過螺合方式結合於該剛性支撐件。
24. 如申請專利範圍第22項所述之探針卡，其中該剛性支撐件與各該連接件接觸之界面可供研磨。
25. 如申請專利範圍第22項所述之探針卡，其中該剛性支撐件與各該連接件接觸之界面可設置墊片。