JP5232382B2 - プローブチップ及びプローブカード - Google Patents
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Description
[発明の実施の形態2]
12 LSI(電気部品)
12a 端子
12b パッケージ本体
13 ガイドフレーム
13a 基準凸部
13b 基台部
15 押え冶具
15a 鍔部
15d 導電経路
15f 板材
15g 押圧凸部
16 ボルト
17 プローブチップ
17a カンチレバー
17b 導電性凸部
17c 導電性凸部
17d 台座
17e アライメント用孔
17f 第一腕部
17g 第二腕部
17h 絶縁層
17j 接触部
17k 金属配線部
18 回路基板
18a 回路部
19 操作部材
20 ねじ
21 接続ピン
23 ソケット
24 ラッチ
25 接触モジュール
26 導電ピン
Claims (18)
- 台座と、この台座上に形成された絶縁層と、この絶縁層上に前記台座から互いに反対方向に概ね水平方向に延伸した第一腕部と第二腕部を有する複数のシリコン製のカンチレバーを備えたプローブチップであって、
前記カンチレバーの各々の表面上には、前記第一腕部から前記第二腕部まで延びた金属配線層が形成され、前記第一腕部の先端近傍には前記金属配線層と電気的に接続された導電性凸部を有することを特徴とするプローブチップ。 - 台座と、この台座上に形成された絶縁層と、この絶縁層上に前記台座から互いに反対方向に概ね水平方向に延伸した第一腕部と第二腕部を有する複数のシリコン製のカンチレバーを備えたプローブチップであって、
前記カンチレバーの表面には絶縁層を有し、かつ、各々のカンチレバーの前記絶縁層上には前記第一腕部から前記第二腕部まで延びた金属配線層が形成され、前記第一腕部の先端近傍には前記金属配線層と電気的に接続された導電性凸部を有することを特徴とするプローブチップ。 - 台座と、この台座上に形成された絶縁層と、この絶縁層上に前記台座から互いに反対方向に概ね水平方向に延伸した第一腕部と第二腕部を有する複数のシリコン製のカンチレバーを備えたプローブチップであって、
前記カンチレバーの各々の表面上には前記第一腕部から前記第二腕部まで延びた金属配線層が形成され、前記第一腕部の先端近傍には前記金属配線層と電気的に接続された導電性凸部を有し、かつ、前記第二腕部にも前記金属配線層と電気的に接続された導電性凸部を有することを特徴とするプローブチップ。 - 台座と、この台座上に形成された絶縁層と、この絶縁層上に前記台座から互いに反対方向に概ね水平方向に延伸した第一腕部と第二腕部を有する複数のシリコン製のカンチレバーを備えたプローブチップであって、
前記カンチレバーの表面には絶縁層を有し、かつ、各々のカンチレバーの前記絶縁層上には前記第一腕部から前記第二腕部まで延びた金属配線層が形成され、前記第一腕部の先端近傍には前記金属配線層と電気的に接続された導電性凸部を有し、かつ、前記第二腕部にも前記金属配線層と電気的に接続された導電性凸部を有することを特徴とするプローブチップ。 - 台座と、この台座上に形成された絶縁層と、この絶縁層上に前記台座から互いに反対方向に概ね水平方向に延伸した第一腕部と第二腕部を有する複数のシリコン製のカンチレバーを備えたプローブチップの前記カンチレバーの各々の表面上には前記第一腕部から前記第二腕部まで延びた金属配線層が形成され、前記第一腕部の先端近傍には前記金属配線層と電気的に接続された導電性凸部を有するプローブチップと、ガイドフレームと、配線基板と、押え治具とからなるプローブカードであって、
前記プローブチップは前記押え治具を用いて前記ガイドフレームに着脱可能に取り付け可能であり、かつ、前記プローブチップの前記カンチレバーの第二腕部と前記配線基板とを電気的に接続するための導電経路を有する前記押え治具も前記ガイドフレームに着脱可能に取り付け可能であり、前記押え治具を用いて前記プローブチップの前記カンチレバーの前記第二腕部を前記ガイドフレーム側に弾性的に湾曲させることにより、前記カンチレバーの反発力を利用して前記カンチレバーの第二腕部と前記押え治具の導電経路の一端とを電気的に接続させ、前記押え治具の上面が、前記カンチレバーの第一腕部の前記導電性凸部より低くなることを特徴とするプローブカード。 - 台座と、この台座上に形成された絶縁層と、この絶縁層上に前記台座から互いに反対方向に概ね水平方向に延伸した第一腕部と第二腕部を有する複数のシリコン製のカンチレバーを備えたプローブチップの前記カンチレバーの表面には絶縁層を有し、かつ、各々のカンチレバーの前記絶縁層上には前記第一腕部から前記第二腕部まで延びた金属配線層が形成され、前記第一腕部の先端近傍には前記金属配線層と電気的に接続された導電性凸部を有するプローブチップと、ガイドフレームと、配線基板と、押え治具とからなるプローブカードであって、
前記プローブチップは前記押え治具を用いて前記ガイドフレームに着脱可能に取り付け可能であり、かつ、前記プローブチップの前記カンチレバーの他端と前記配線基板とを電気的に接続するための導電経路を有する前記押え治具も前記ガイドフレームに着脱可能に取り付け可能であり、前記押え治具を用いて前記プローブチップの前記カンチレバーの前記第二腕部を前記ガイドフレーム側に弾性的に湾曲させることにより、前記カンチレバーの反発力を利用して前記カンチレバーの第二腕部と前記押え治具の導電経路の一端とを電気的に接続させ、前記押え治具の上面が、前記カンチレバーの第一腕部の前記導電性凸部より低くなることを特徴とするプローブカード。 - 台座と、この台座上に形成された絶縁層と、この絶縁層上に前記台座から互いに反対方向に概ね水平方向に延伸した第一腕部と第二腕部を有する複数のシリコン製のカンチレバーを備えたプローブチップの前記カンチレバーの各々の表面上には前記第一腕部から前記第二腕部まで延びた金属配線が形成され、前記第一腕部の先端近傍には前記金属配線層と電気的に接続された導電性凸部を有し、かつ、前記第二腕部にも前記金属配線層と電気的に接続された導電性凸部を有するプローブチップと、ガイドフレームと、配線基板と、押え治具とからなるプローブカードであって、
前記プローブチップは前記押え治具を用いて前記ガイドフレームに着脱可能に取り付け可能であり、かつ、前記プローブチップの前記カンチレバーの第二腕部と前記配線基板とを電気的に接続するための導電経路を有する前記押え治具も前記ガイドフレームに着脱可能に取り付け可能であり、前記押え治具を用いて前記プローブチップの前記カンチレバーの前記第二腕部を前記ガイドフレーム側に弾性的に湾曲させることにより、前記カンチレバーの反発力を利用して前記カンチレバーの第二腕部と前記押え治具の導電経路の一端とを電気的に接続させ、前記押え治具の上面が、前記カンチレバーの第一腕部の前記導電性凸部より低くなることを特徴とするプローブカード。 - 台座と、この台座上に形成された絶縁層と、この絶縁層上に前記台座から互いに反対方向に概ね水平方向に延伸した第一腕部と第二腕部を有する複数のシリコン製のカンチレバーを備えたプローブチップの前記カンチレバーの表面には絶縁層を有し、かつ、各々のカンチレバーの前記絶縁層上には前記第一腕部から前記第二腕部まで延びた金属配線層が形成され、前記第一腕部の先端近傍には前記金属配線層と電気的に接続された導電性凸部を有し、かつ、前記第二腕部にも前記金属配線層と電気的に接続された導電性凸部を有する前記プローブチップと、ガイドフレームと、配線基板と、押え治具とからなるプローブカードであって、
前記プローブチップは前記押え治具を用いて前記ガイドフレームに着脱可能に取り付け可能であり、かつ、前記プローブチップの前記カンチレバーの第二腕部と前記配線基板と電気的に接続するための導電経路を有する前記押え治具も前記ガイドフレームに着脱可能に取り付け可能であり、前記押え治具を用いて前記プローブチップの前記カンチレバーの前記第二腕部を前記ガイドフレーム側に弾性的に湾曲させることにより、前記カンチレバーの反発力を利用して前記カンチレバーの第二腕部と前記押え治具の導電経路の一端とを電気的に接続させ、前記押え治具の上面が、前記カンチレバーの第一腕部の前記導電性凸部より低くなることを特徴とするプローブカード。 - 前記導電性凸部が、メッキによる金属ポスト、金属バンプ、超微粒子ジェットプリンティングによる突起のいずれかにより形成されたことを特徴とする請求項1乃至請求項4の何れか1項に記載のプローブチップ。
- 前記シリコン製カンチレバー上の金属配線層及び導電性凸部がメッキ層により被覆されていることを特徴とする請求項1乃至請求項4の何れか1項に記載のプローブチップ。
- 前記台座がシリコンであることを特徴とする請求項1乃至請求項4の何れか1項に記載のプローブチップ。
- 前記導電性凸部の形状がマッシュルーム形状であることを特徴とする請求項1乃至請求項4の何れか1項に記載のプローブチップ。
- 前記導電性凸部が、メッキによる金属ポスト、金属バンプ、超微粒子ジェットプリンティングによる突起のいずれかにより形成されたことを特徴とする請求項5乃至請求項8の何れか1項に記載のプローブカード。
- 前記シリコン製カンチレバー上の金属配線層及び導電性凸部がメッキ層により被覆されていることを特徴とする請求項5乃至請求項8の何れか1項に記載のプローブカード。
- 前記台座がシリコンであることを特徴とするとする請求項5乃至請求項8の何れか1項に記載のプローブカード。
- 前記導電性凸部の形状がマッシュルーム形状であることを特徴とする請求項5乃至請求項8の何れか1項に記載のプローブカード。
- 請求項1乃至4の何れかに記載のプローブチップと、ガイドフレームと、配線基板と、押え治具とからなるプローブカードであって、
前記プローブチップは前記押え治具を用いて前記ガイドフレームに着脱可能に取り付け可能であり、かつ、前記押え治具には、前記プローブチップの前記カンチレバーの第二腕部と前記配線基板とを電気的に接続するための導電経路が形成され、該押え治具を用いて前記プローブチップの前記カンチレバーの前記第二腕部を前記ガイドフレーム側に弾性的に湾曲させることにより、前記カンチレバーの反発力を利用して前記カンチレバーの第二腕部と前記押え治具の導電経路の一端とを電気的に接続させるものであり、
前記カンチレバーは左右に複数平行に設けられ、該左右の前記カンチレバーは互いに前記第二腕部が接近し、所定の間隔を持って対向するように配設されると共に、前記第一腕部が離間するように互いに逆向きに配設され、前記押え治具は、前記左右のカンチレバーの前記第二腕部の間に挿入されるように構成されたことを特徴とするプローブカード。 - 前記押え治具は、平板状の板材を有し、該板材の両面側に前記導電経路が形成され、該板材の両面側の前記導電経路と前記左右のカンチレバーの第二腕部とがそれぞれ電気的に接続される一方、前記配線基板には、左右一対の接続ピンが突設され、該一対の接続ピンの間に前記押え治具が挿入されて前記板材の両面側の前記導電経路に接続されるように構成されたことを特徴とする請求項17に記載のプローブカード。
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