JPH08313557A - プローブ装置 - Google Patents
プローブ装置Info
- Publication number
- JPH08313557A JPH08313557A JP14426395A JP14426395A JPH08313557A JP H08313557 A JPH08313557 A JP H08313557A JP 14426395 A JP14426395 A JP 14426395A JP 14426395 A JP14426395 A JP 14426395A JP H08313557 A JPH08313557 A JP H08313557A
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- needle
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 プローブブロックを着脱可能に基台に取り付
けて、このプローブブロクに固着したプローブ針の基端
を多極端子板に弾性的に接触させることにより、プロー
ブ針の基端を半田付けすることなくプローブ針を基台に
固定する。 【構成】 プローブ装置１０の基台１２にはプローブブ
ロック１４が着脱可能にネジ止めされている。このプロ
ーブブロック１４には、クランク形のプローブ針１６が
所定ピッチで多数本配列されている。プローブ針１６の
一端は、自由端となっており、液晶表示パネル１８の電
極に接触するようになっている。プローブ針１６の他端
は、ＴＡＢ（Tape Automated Bonding）テープ２０の出
力電極に弾性的に接触している。ＴＡＢテープ２０に
は、液晶表示パネル１８を駆動するためのドライバＩＣ
２４がボンディングされている。
けて、このプローブブロクに固着したプローブ針の基端
を多極端子板に弾性的に接触させることにより、プロー
ブ針の基端を半田付けすることなくプローブ針を基台に
固定する。 【構成】 プローブ装置１０の基台１２にはプローブブ
ロック１４が着脱可能にネジ止めされている。このプロ
ーブブロック１４には、クランク形のプローブ針１６が
所定ピッチで多数本配列されている。プローブ針１６の
一端は、自由端となっており、液晶表示パネル１８の電
極に接触するようになっている。プローブ針１６の他端
は、ＴＡＢ（Tape Automated Bonding）テープ２０の出
力電極に弾性的に接触している。ＴＡＢテープ２０に
は、液晶表示パネル１８を駆動するためのドライバＩＣ
２４がボンディングされている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、被測定基板上に高密
度に多数配置された電極に多数のプローブ針を接触させ
るようにしたプローブ装置に関する。
度に多数配置された電極に多数のプローブ針を接触させ
るようにしたプローブ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示パネルの多数の電極に多数のプ
ローブ針を接触させるためのプローブ装置では、プロー
ブ針の針先は、電極に接触するための自由端になってお
り、プローブ針の基端は、一般に、プローブ装置の基台
上のプリント板の電極に半田付けされている。例えば、
プローブ針の基端は、基台上に固定されたフレキシブル
印刷配線板の一端の電極に半田付けされ、このフレキシ
ブル印刷配線板の他端が、外部の検査装置に接続されて
いる。
ローブ針を接触させるためのプローブ装置では、プロー
ブ針の針先は、電極に接触するための自由端になってお
り、プローブ針の基端は、一般に、プローブ装置の基台
上のプリント板の電極に半田付けされている。例えば、
プローブ針の基端は、基台上に固定されたフレキシブル
印刷配線板の一端の電極に半田付けされ、このフレキシ
ブル印刷配線板の他端が、外部の検査装置に接続されて
いる。
【０００３】液晶表示パネルはドライバＩＣによって駆
動されるが、液晶表示パネルの完成状態では、このドラ
イバＩＣがＴＡＢテープにボンディングされた状態で、
液晶表示パネルの電極部分に接着されることになる。し
かし、検査段階では、液晶表示パネルにはドライバＩＣ
が接着されていない。したがって、液晶が封入された状
態の液晶表示パネルを検査するためのプローブ装置にお
いては、ドライバＩＣをＴＡＢテープの形で搭載してい
て、このドライバＩＣを経由して検査装置と液晶表示パ
ネルとを電気的に接続する機能を備えているものがあ
る。この場合、ＴＡＢテープの出力電極は、液晶表示パ
ネルの電極と同一の配列ピッチとなっているので非常に
間隔が狭く、この出力電極に直接プローブ針を半田付け
するのは困難である。このような場合に、ＴＡＢテープ
の出力電極にはフレキシブル印刷配線板の一端（電極配
列ピッチが狭くなっている）を熱圧着し、このフレキシ
ブル印刷配線板の他端（電極配列ピッチが広くなってい
る）にプローブ針の基端を半田付けしている。
動されるが、液晶表示パネルの完成状態では、このドラ
イバＩＣがＴＡＢテープにボンディングされた状態で、
液晶表示パネルの電極部分に接着されることになる。し
かし、検査段階では、液晶表示パネルにはドライバＩＣ
が接着されていない。したがって、液晶が封入された状
態の液晶表示パネルを検査するためのプローブ装置にお
いては、ドライバＩＣをＴＡＢテープの形で搭載してい
て、このドライバＩＣを経由して検査装置と液晶表示パ
ネルとを電気的に接続する機能を備えているものがあ
る。この場合、ＴＡＢテープの出力電極は、液晶表示パ
ネルの電極と同一の配列ピッチとなっているので非常に
間隔が狭く、この出力電極に直接プローブ針を半田付け
するのは困難である。このような場合に、ＴＡＢテープ
の出力電極にはフレキシブル印刷配線板の一端（電極配
列ピッチが狭くなっている）を熱圧着し、このフレキシ
ブル印刷配線板の他端（電極配列ピッチが広くなってい
る）にプローブ針の基端を半田付けしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】プローブ針が高密度に
配列されるようになると、プローブ針の基端をフレキシ
ブル印刷配線板の電極に半田付けするのがだんだん困難
になってくる。また、ＴＡＢテープを搭載したプローブ
装置の場合には、ＴＡＢテープとフレキシブル印刷配線
板とプローブ針とが互いに半田付けされているので、Ｔ
ＡＢテープ上のドライバＩＣが検査途中で故障したりす
ると、プローブ装置全体を交換するしかなく、不経済で
ある。
配列されるようになると、プローブ針の基端をフレキシ
ブル印刷配線板の電極に半田付けするのがだんだん困難
になってくる。また、ＴＡＢテープを搭載したプローブ
装置の場合には、ＴＡＢテープとフレキシブル印刷配線
板とプローブ針とが互いに半田付けされているので、Ｔ
ＡＢテープ上のドライバＩＣが検査途中で故障したりす
ると、プローブ装置全体を交換するしかなく、不経済で
ある。
【０００５】この発明は上述の問題点を解決するために
なされたものであり、その目的は、プローブ針の基端を
半田付けすることなくプローブ針を基台に固定できるプ
ローブ装置を提供することにある。
なされたものであり、その目的は、プローブ針の基端を
半田付けすることなくプローブ針を基台に固定できるプ
ローブ装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は、基台と、こ
の基台に着脱可能に取り付けられたプローブブロック
と、このプローブブロックに固定されたクランク形の多
数のプローブ針とを備えるものであり、前記プローブ針
の一端は、被測定基板の電極に接触するための自由端と
なっており、前記プローブ針の他端は、基台に固定され
た多極端子板の電極に弾性的に接触している。ここで、
多極端子板とは、多数の電極が露出していて、これにプ
ローブ針が接触可能な状態になっているものを指し、典
型的には、印刷配線板である。多極端子板の例として
は、フレキシブル印刷配線板やＴＡＢテープがある。
の基台に着脱可能に取り付けられたプローブブロック
と、このプローブブロックに固定されたクランク形の多
数のプローブ針とを備えるものであり、前記プローブ針
の一端は、被測定基板の電極に接触するための自由端と
なっており、前記プローブ針の他端は、基台に固定され
た多極端子板の電極に弾性的に接触している。ここで、
多極端子板とは、多数の電極が露出していて、これにプ
ローブ針が接触可能な状態になっているものを指し、典
型的には、印刷配線板である。多極端子板の例として
は、フレキシブル印刷配線板やＴＡＢテープがある。
【０００７】
【作用】本発明は、プローブ針の基端を多極端子板に弾
性的に接触させているので、プローブ針を固着したプロ
ーブブロックを、プローブ装置の基台に対して着脱可能
に取り付けることができる。これにより、プローブ針の
基端と多極端子板の電極との電気的接続に関して、半田
付けのような特別な接着作業が不要になる。また、多極
端子板側に何等かの故障があった場合でも、プローブ針
と多極端子板が半田付けされていないので、多極端子板
だけを交換すればよい。プローブ針を高密度に配列固定
したプローブブロックは高価であるので、これを交換し
なくてすむのは経済的であ。
性的に接触させているので、プローブ針を固着したプロ
ーブブロックを、プローブ装置の基台に対して着脱可能
に取り付けることができる。これにより、プローブ針の
基端と多極端子板の電極との電気的接続に関して、半田
付けのような特別な接着作業が不要になる。また、多極
端子板側に何等かの故障があった場合でも、プローブ針
と多極端子板が半田付けされていないので、多極端子板
だけを交換すればよい。プローブ針を高密度に配列固定
したプローブブロックは高価であるので、これを交換し
なくてすむのは経済的であ。
【０００８】
【実施例】図１の（Ａ）はこの発明のプローブ装置の一
実施例の側面図である。このプローブ装置は、液晶表示
パネルを検査するものであり、ドライバＩＣがボンディ
ングされたＴＡＢテープを備えている。液晶表示パネル
が大型であって電極が多数ある場合は、このようなプロ
ーブ装置を複数個並べて液晶表示パネルを検査すること
になる。
実施例の側面図である。このプローブ装置は、液晶表示
パネルを検査するものであり、ドライバＩＣがボンディ
ングされたＴＡＢテープを備えている。液晶表示パネル
が大型であって電極が多数ある場合は、このようなプロ
ーブ装置を複数個並べて液晶表示パネルを検査すること
になる。
【０００９】図１の（Ａ）において、プローブ装置１０
の基台１２にはプローブブロック１４が着脱可能にネジ
止めされている。このプローブブロック１４には、クラ
ンク形のプローブ針１６が所定ピッチで多数本配列され
ている。ここでいうクランク形のプローブ針とは、両端
が互いに逆方向に折れ曲がっていて、この両端がそれぞ
れ接触部となっているような形状のプローブ針を指す。
プローブ針１６の一端は、自由端となっており、液晶表
示パネル１８の電極に接触するようになっている。この
プローブ針１６の配列ピッチは、液晶表示パネル１８の
電極の配列ピッチに等しくなっている。プローブ針１６
の他端は、ＴＡＢ（Tape Automated Bonding）テープ２
０の出力電極に弾性的に接触している。さらに、ＴＡＢ
テープ２０の入力電極はフレキシブル印刷配線板２２を
介して外部の検査装置に接続される。このＴＡＢテープ
２０は、プローブ装置の基台１２に搭載されている。Ｔ
ＡＢテープ２０には、液晶表示パネル１８を駆動するた
めのドライバＩＣ２４がボンディングされている。
の基台１２にはプローブブロック１４が着脱可能にネジ
止めされている。このプローブブロック１４には、クラ
ンク形のプローブ針１６が所定ピッチで多数本配列され
ている。ここでいうクランク形のプローブ針とは、両端
が互いに逆方向に折れ曲がっていて、この両端がそれぞ
れ接触部となっているような形状のプローブ針を指す。
プローブ針１６の一端は、自由端となっており、液晶表
示パネル１８の電極に接触するようになっている。この
プローブ針１６の配列ピッチは、液晶表示パネル１８の
電極の配列ピッチに等しくなっている。プローブ針１６
の他端は、ＴＡＢ（Tape Automated Bonding）テープ２
０の出力電極に弾性的に接触している。さらに、ＴＡＢ
テープ２０の入力電極はフレキシブル印刷配線板２２を
介して外部の検査装置に接続される。このＴＡＢテープ
２０は、プローブ装置の基台１２に搭載されている。Ｔ
ＡＢテープ２０には、液晶表示パネル１８を駆動するた
めのドライバＩＣ２４がボンディングされている。
【００１０】プローブブロック１４を基台１２に取り付
けるときには、プローブブロック１４側に形成された凹
部を、基台１２側に形成された凸部に噛み合わせること
により、プローブブロック１４を基台１２に対して厳密
に位置決めできる。これにより、プローブ針１６とＴＡ
Ｂテープ２０の電極との位置合わせが達成される。
けるときには、プローブブロック１４側に形成された凹
部を、基台１２側に形成された凸部に噛み合わせること
により、プローブブロック１４を基台１２に対して厳密
に位置決めできる。これにより、プローブ針１６とＴＡ
Ｂテープ２０の電極との位置合わせが達成される。
【００１１】図１の（Ｂ）は、プローブブロック１４と
ＴＡＢテープ２０を下から見たときの分解斜視図であ
る。ＴＡＢテープ２０には、液晶表示パネルのためのド
ライバＩＣ２４がボンディングされており、ＴＡＢテー
プ２０上の入力電極２６と出力電極２８は、ドライバＩ
Ｃ２４につながっている。ＴＡＢテープ２０の入力電極
２６は比較的本数が少なく、その電極幅も比較的広い。
したがって、この入力電極２６にフレキシブル印刷配線
板２２を容易に接続できる。これに対して、ＴＡＢテー
プ２０の出力電極２８は液晶表示パネルの電極に対応し
ているので、多数の電極が高密度に配列されている。プ
ローブブロック１４のプローブ針１６は、ＴＡＢテープ
２０の出力電極２８と液晶表示パネルの電極とを１対１
に対応させて電気的に接続する役割を果たしている。
ＴＡＢテープ２０を下から見たときの分解斜視図であ
る。ＴＡＢテープ２０には、液晶表示パネルのためのド
ライバＩＣ２４がボンディングされており、ＴＡＢテー
プ２０上の入力電極２６と出力電極２８は、ドライバＩ
Ｃ２４につながっている。ＴＡＢテープ２０の入力電極
２６は比較的本数が少なく、その電極幅も比較的広い。
したがって、この入力電極２６にフレキシブル印刷配線
板２２を容易に接続できる。これに対して、ＴＡＢテー
プ２０の出力電極２８は液晶表示パネルの電極に対応し
ているので、多数の電極が高密度に配列されている。プ
ローブブロック１４のプローブ針１６は、ＴＡＢテープ
２０の出力電極２８と液晶表示パネルの電極とを１対１
に対応させて電気的に接続する役割を果たしている。
【００１２】図２の（Ａ）は、プローブ針１６を拡大し
て示した側面図である。このプローブ針１６は、細長い
中央部３０と、その両端の折れ曲がった針先部３２、３
４とからなる。二つの針先部３２、３４は、互いに逆方
向に折れ曲がっている。すなわち、図面において、自由
端となる側の針先部３２は、中央部３０に対してほぼ直
角に下方に折れ曲がっているのに対して、基端側の針先
部３４は、中央部３０に対してほぼ直角に上方に折れ曲
がっている。中央部３０はプローブブロック１４に樹脂
で固着されており、中央部３０の両端付近はプローブブ
ロック１４から突き出している。針先部３２の先端は自
由端であり、液晶表示パネル１８の電極に接触できる。
て示した側面図である。このプローブ針１６は、細長い
中央部３０と、その両端の折れ曲がった針先部３２、３
４とからなる。二つの針先部３２、３４は、互いに逆方
向に折れ曲がっている。すなわち、図面において、自由
端となる側の針先部３２は、中央部３０に対してほぼ直
角に下方に折れ曲がっているのに対して、基端側の針先
部３４は、中央部３０に対してほぼ直角に上方に折れ曲
がっている。中央部３０はプローブブロック１４に樹脂
で固着されており、中央部３０の両端付近はプローブブ
ロック１４から突き出している。針先部３２の先端は自
由端であり、液晶表示パネル１８の電極に接触できる。
【００１３】プローブブロック１４を基台に取り付ける
と、プローブ針１６の基端側の針先部３４の先端は、Ｔ
ＡＢテープ２０の出力電極に弾性的に接触する。すなわ
ち、図２の（Ｂ）に示すように、プローブ針１６が自由
状態にある場合には、基端側の針先部３４は一点鎖線で
示す位置にあるが、ＴＡＢテープ２０の出力電極に接触
した状態では、実線で示す位置まで弾性的にたわんだ状
態となる。これにより、プローブ針１６とＴＡＢテープ
２０との電気的接触が確実になる。この弾性的なたわみ
は、プローブ針１６の中央部３０がプローブブロック１
４から突き出した部分で生じる。なお、図２の（Ｂ）で
は、プローブ針１６のたわみは誇張して描いてある。
と、プローブ針１６の基端側の針先部３４の先端は、Ｔ
ＡＢテープ２０の出力電極に弾性的に接触する。すなわ
ち、図２の（Ｂ）に示すように、プローブ針１６が自由
状態にある場合には、基端側の針先部３４は一点鎖線で
示す位置にあるが、ＴＡＢテープ２０の出力電極に接触
した状態では、実線で示す位置まで弾性的にたわんだ状
態となる。これにより、プローブ針１６とＴＡＢテープ
２０との電気的接触が確実になる。この弾性的なたわみ
は、プローブ針１６の中央部３０がプローブブロック１
４から突き出した部分で生じる。なお、図２の（Ｂ）で
は、プローブ針１６のたわみは誇張して描いてある。
【００１４】図３の（Ａ）は、本発明の別の実施例の側
面図である。この実施例では、プローブ装置の基台１２
にはフレキシブル印刷配線板３６の一端が固定されてい
て、プローブ針１６の基端側の針先部は、このフレキシ
ブル印刷配線板３６の電極４０に弾性的に接触してい
る。この実施例でも、着脱可能なプローブブロック１４
に多数のクランク形のプローブ針１６が固着されてい
る。このプローブ装置は、液晶を封入する前の状態の液
晶表示パネルのガラス基板３８を検査するためのもので
あり、ドライバＩＣはこの検査には使わないので、プロ
ーブ装置にはＴＡＢテープを搭載していない。このプロ
ーブ装置は、ガラス基板上に形成された配線パターンの
オープン・ショートを検査したり、ＴＦＴ液晶パネルの
場合にはガラス基板上の薄膜トランジスタの特性を検査
したりするのに用いられる。液晶表示パネルが大型であ
ってプローブ針が接触すべき電極が多数ある場合には、
このようなプローブ装置を複数個並べて１枚のガラス基
板を検査することになる。図３の（Ｂ）は、プローブブ
ロック１４とフレキシブル印刷配線板３６を下から見た
ときの分解斜視図である。
面図である。この実施例では、プローブ装置の基台１２
にはフレキシブル印刷配線板３６の一端が固定されてい
て、プローブ針１６の基端側の針先部は、このフレキシ
ブル印刷配線板３６の電極４０に弾性的に接触してい
る。この実施例でも、着脱可能なプローブブロック１４
に多数のクランク形のプローブ針１６が固着されてい
る。このプローブ装置は、液晶を封入する前の状態の液
晶表示パネルのガラス基板３８を検査するためのもので
あり、ドライバＩＣはこの検査には使わないので、プロ
ーブ装置にはＴＡＢテープを搭載していない。このプロ
ーブ装置は、ガラス基板上に形成された配線パターンの
オープン・ショートを検査したり、ＴＦＴ液晶パネルの
場合にはガラス基板上の薄膜トランジスタの特性を検査
したりするのに用いられる。液晶表示パネルが大型であ
ってプローブ針が接触すべき電極が多数ある場合には、
このようなプローブ装置を複数個並べて１枚のガラス基
板を検査することになる。図３の（Ｂ）は、プローブブ
ロック１４とフレキシブル印刷配線板３６を下から見た
ときの分解斜視図である。
【００１５】上述の実施例では、液晶表示パネルを検査
するためのプローブ装置を例にとって説明したが、本発
明のプローブ装置は、ウェーハなどのその他の被測定基
板にも適用できる。
するためのプローブ装置を例にとって説明したが、本発
明のプローブ装置は、ウェーハなどのその他の被測定基
板にも適用できる。
【００１６】
【発明の効果】本発明は、プローブブロックを着脱可能
に基台に取り付けて、このプローブブロクに固着したプ
ローブ針の基端を多極端子板に弾性的に接触させている
ので、プローブ針を多極端子板に接続するのに半田付け
のような特別な接着作業が不要になる。また、多極端子
板側に何等かの故障があった場合でも、プローブ針と多
極端子板が半田付けされていないので、多極端子板だけ
を交換すればよい。
に基台に取り付けて、このプローブブロクに固着したプ
ローブ針の基端を多極端子板に弾性的に接触させている
ので、プローブ針を多極端子板に接続するのに半田付け
のような特別な接着作業が不要になる。また、多極端子
板側に何等かの故障があった場合でも、プローブ針と多
極端子板が半田付けされていないので、多極端子板だけ
を交換すればよい。
【図１】この発明のプローブ装置の一実施例の側面図と
その一部の分解斜視図である。
その一部の分解斜視図である。
【図２】プローブ針の拡大側面図である。
【図３】この発明のプローブ装置の別の実施例の側面図
とその一部の分解斜視図である。
とその一部の分解斜視図である。
１０ プローブ装置 １２ 基台 １４ プローブブロック １６ プローブ針 １８ 液晶表示パネル ２０ ＴＡＢテープ ２２ フレキシブル印刷配線板 ２４ ドライバＩＣ ２６ 入力電極 ２８ 出力電極 ３０ 中央部 ３２、３４ 針先部
Claims (4)
- 【請求項１】 基台と、この基台に着脱可能に取り付け
られたプローブブロックと、このプローブブロックに固
定されたクランク形の多数のプローブ針とを備え、前記
プローブ針の一端は、被測定基板の電極に接触するため
の自由端となっており、前記プローブ針の他端は、基台
に固定された多極端子板の電極に弾性的に接触している
ことを特徴とするプローブ装置。 - 【請求項２】 前記プローブ針の他端は、プローブ針自
体の弾性の作用によって多極端子板の電極に弾性的に接
触していることを特徴とする請求項１記載のプローブ装
置。 - 【請求項３】 前記多極端子板はフレキシブル印刷配線
板であることを特徴とする請求項２記載のプローブ装
置。 - 【請求項４】 前記多極端子板は、液晶表示パネルを駆
動するドライバＩＣをボンディングしたＴＡＢテープで
あることを特徴とする請求項２記載のプローブ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14426395A JPH08313557A (ja) | 1995-05-19 | 1995-05-19 | プローブ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14426395A JPH08313557A (ja) | 1995-05-19 | 1995-05-19 | プローブ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08313557A true JPH08313557A (ja) | 1996-11-29 |
Family
ID=15358034
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14426395A Pending JPH08313557A (ja) | 1995-05-19 | 1995-05-19 | プローブ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08313557A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100872966B1 (ko) * | 2008-04-15 | 2008-12-08 | 유명자 | 디스플레이 패널 검사용 프로브 유니트 |
| US7545160B2 (en) | 2005-12-06 | 2009-06-09 | Enplas Corporation | Probe chip and probe card |
-
1995
- 1995-05-19 JP JP14426395A patent/JPH08313557A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7545160B2 (en) | 2005-12-06 | 2009-06-09 | Enplas Corporation | Probe chip and probe card |
| KR100872966B1 (ko) * | 2008-04-15 | 2008-12-08 | 유명자 | 디스플레이 패널 검사용 프로브 유니트 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20051226 |