JP3575501B2 - プローブ装置 - Google Patents

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Description

【0001】
【産業上の利用分野】
この発明は、高密度に多数配置された導体群に多数の接触針を接触させるようにした多極端子板備えたプローブ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
図5は、多数の接触針を多数の導体に一度に接触させるようにした多極端子板の従来例である。絶縁基板10上に多数の導体12が等間隔で並んでおり、これに多数の接触針14が一度に接触する。接触針14の配列ピッチPを狭くする場合には、それに対応して、導体12の配列ピッチPも狭くする必要がある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
図5の従来例において、接触針14の配列ピッチPを非常に狭くすると、次のような問題が生じる。例えば、配列ピッチPを70μmにする場合、導体12の幅Wは例えば40μmに、導体と導体の間隔は30μmになる。導体12の幅をこのように狭くすると、接触針14と導体12の位置決め精度を非常に高精度にする必要がある。もし位置決め精度が悪いと、接触針14は導体12から外れてしまう。また、導体と導体の間隔が狭くなると、ここに微小なゴミが落ちただけでも、導体間のショートが起こりやすくなる。
【0004】
この発明は上述の問題点を解決するためになされたものであり、その目的は、接触針との位置決め精度を厳密にしなくても確実に接触針と導体との接触が可能になるとともに、高密度に導体を配置してもショートが起こりにくい多極端子板、を備えたプローブ装置を提供することにある。また、この発明の別の目的は、液晶表示パネルを検査するためのTABテープを備えたプローブ装置を提供することにある。
【0005】
この発明のプローブ装置は、液晶表示パネル検査用のプローブ装置であって、以下の(イ)〜(ハ)の特徴を備える多極端子板と、前記プローブ装置に着脱可能に取り付けられたプローブブロックと,以下の(ニ)〜(ヘ)の特徴を備える多数のプローブ針とを備えるものである。(イ)絶縁基板上に、多数の帯状の導体を、その長手方向に垂直な方向に互いに平行に配置して、導体パターン層を構成する。(ロ)前記導体パターン層の表面に絶縁フィルムを貼り付けて、多極端子板を構成する。(ハ)前記多数の導体のそれぞれにおいてその導体の一部が露出するように、前記絶縁フィルムに貫通孔が形成されている。(ニ)前記プローブ針は前記プローブブロックに配列されている。(ホ)各前記プローブ針の一端は前記多極端子板の導体の前記貫通孔から露出した部分に接触している。(ヘ)各前記プローブ針の他端は液晶表示パネルの電極に接触することになる部分である。
【0006】
【作用】
このプローブ装置で使用している多極端子板は次のような作用がある。絶縁基板上に高密度に配置された多数の帯状の導体は、絶縁フィルムに覆われていて、貫通孔の部分だけが露出している。この露出部分に接触針を接触させることができる。接触針の先端付近は、通常は、傾斜しているので、接触針と導体との相対位置が若干ずれていても、接触針の先端付近の傾斜面が絶縁フィルムの貫通孔の縁にガイドされて、接触針は確実に導体パターンに接触できる。また、貫通孔以外の部分では、導体は絶縁フィルムに覆われているので、導体間にゴミが落ちることがなくなり、導体間隔が狭くてもゴミによるショートが避けられる。そして、このような多極端子板をプローブ装置に設けて、各プローブ針の一端を多極端子板の導体の貫通孔から露出した部分に接触させるとともに、各プローブ針の他端を液晶表示パネルの電極に接触させるようにしたことで、プローブ針を有するプローブブロックをプローブ装置に着脱可能に取り付けることが可能になる。
【0007】
【実施例】
図1の(A)は、この発明のプローブ装置で使用している多極端子板の一実施例を部分的に示す正面断面図であり、図1の(B)はその平面図である。そして(A)は(B)の1A−1A断面図となっている。図1の(A)において、この多極端子板は、絶縁基板20上に多数の導体22を形成して導体パターン層24を構成し、この導体パターン層24の上に絶縁フィルム26を貼り付けている。絶縁フィルム26には貫通孔28が形成されていて、ここから導体22の一部が露出している。1本の導体22に対しては1個の貫通孔28が対応しているので、それぞれの導体22において貫通孔28のところだけが外部に露出している。接触針30は、貫通孔28を通って導体22に接触する。導体22の配列ピッチは、接触針30の配列ピッチに等しくなっている。
【0008】
貫通孔28の側壁32は、次のように傾斜している。すなわち、絶縁フィルム26の表面から導体22に向かって貫通孔28の断面寸法が小さくなっていくように、導体22の表面に垂直な方向に対して、側壁32が傾斜している。貫通孔28は、ポリイミド製の絶縁フィルムにエキシマレーザを照射して形成しているが、レーザビームの断面寸法はその焦点に向かって減少して行くので、焦点位置を適当に設定すると、自然に、側壁の傾斜した貫通孔が形成される。
【0009】
図1の(B)において、帯状の導体22は、その長手方向に垂直な方向に互いに平行に等間隔で配列されている。貫通孔28は、導体22の長手方向に細長い長孔となっている。
【0010】
図2は図1の(B)の2−2断面図である。接触針30は、導体22の長手方向に突き出していてその先端が下方に曲がっており、いわゆる片持ち式の接触針である。
【0011】
この実施例の具体的な寸法例を述べると、銅箔製の導体22の配列ピッチは70μmであり、導体22の幅が40μm、導体間隔が30μmである。ポリイミド製の絶縁フィルム26の厚さは50μmである。貫通孔28の表面側における幅は40μm、導体22側における幅は約35μm、長手方向の長さは約200μmである。
【0012】
次に、この多極端子板の機能を説明する。図1の(A)において、接触針30の先端は、貫通孔28を通過してから導体22の表面に接触する。もし、接触針30と導体22との相対位置が若干ずれていると、接触針30の先端付近の傾斜面34が貫通孔28の縁に接触する。その後、接触針30を下げて行くと接触針30は、その傾斜面34に案内されて、貫通孔28の内部に入っていき、導体22の表面に接触する。接触針30の先端付近に傾斜面34がないような場合には、接触針30の先端が貫通孔28の側壁32に接触し、この傾斜面34に案内されて、導体22に接触できる。したがって、接触針30と導体22との相対位置が若干ずれていても、接触針30の先端は確実に導体22に接触できる。ただし、接触針30が貫通孔28から完全に外れるほど位置決め精度が劣っている場合には、接触針30は絶縁フィルム26の表面にぶつかるだけで、導体22との接触は得られない。したがって、貫通孔28のガイド機能は、接触針30と導体22との相対位置のずれがわずかなときだけ機能するものである。
【0013】
ところで、この多極端子板では、貫通孔28が導体の長手方向に細長くなっているので、接触針と導体とを位置決めする場合、導体の長手方向には位置決め精度は粗くてもよく、導体の長手方向に垂直な方向にだけ所定の位置決め精度を持たせればよい。
【0014】
この多極端子板では、貫通孔28のところだけで導体22が外部に露出していて、その他の部分は絶縁フィルム26で覆われているので、導体と導体の間にゴミが入って両者がショートする危険がなくなる。導体の配列ピッチが例えば70μmのように非常に狭くなると、導体の幅が40μmの場合には導体間距離が30μm程度になり、微小なゴミでもショートの原因になるが、このようなショートは避けられる。
【0015】
図3は多極端子板の別の実施例の平面図である。この実施例では、導体22aの長手方向において、貫通孔28aの配置位置が4種類あり、このような配列が導体の4本ごとに繰り返されている。これに対応して、接触針30aの突き出し長さも4種類に設定されている。このような多極端子板の構成は、接触針30aの配列ピッチが接触針の太さと同程度かそれ以下の高密度配置の場合に、特に有効である。このような場合は、接触針30aの配列高さを4種類にして、接触針同士の接触を避けることができる。
【0016】
上述の実施例では貫通孔は長孔となっていたが、貫通孔の形状はこれに限定されるものではなく、円形などの別の形状としてもよい。
【0017】
図4はこのような多極端子板をプローブ装置に適用した実施例である。図4の(A)は、液晶表示パネルを検査するプローブ装置の側面図である。液晶表示パネルはドライバICによって駆動されることになり、完成状態では、このドライバICが液晶表示パネルの電極部分に接着されることになる。しかし、検査段階では液晶表示パネルにはドライバICが接着されていない。したがって、この液晶表示パネルを検査するためのプローブ装置は、ドライバICを経由して検査装置と液晶表示パネルとが電気的に接続されるような機能を備えている。液晶表示パネルが大型であって電極が多数ある場合は、このようなプローブ装置を複数個並べて液晶表示パネルが検査される。
【0018】
図4の(A)において、プローブ装置のプローブブロック60には、クランク形のプローブ針62が所定ピッチで多数本配列されている。ここでいうクランク形のプローブ針とは、両端が互いに逆方向に折れ曲がっていて、この両端がそれぞれ接触部となっているような形状のプローブ針を指す。プローブ針62の一端は、液晶表示パネル64の電極に接触する。このプローブ針62の配列ピッチは、液晶表示パネル64の電極の配列ピッチに等しくなっている。プローブ針62の他端は、TAB(Tape Automated Bonding)テープ66の出力電極に接触する。さらに、TABテープ66の入力電極はフレキシブル印刷配線板68を介して検査装置に接続される。このTABテープ66は、プローブ装置に搭載されている。
【0019】
図4の(B)は、プローブブロック60とTABテープ66を下から見たときの分解斜視図である。TABテープ66には、液晶表示パネルのためのドライバIC74がボンディングされており、TABテープ66上の入力電極70と出力電極72は、ドライバIC74につながっている。TABテープ66の入力電極70は比較的本数が少なく、その電極幅も比較的広い。したがって、この入力電極70にフレキシブル印刷配線板68を容易に接続できる。これに対して、TABテープ66の出力電極72は液晶表示パネルの電極に対応しているので、多数の電極が高密度に配列されている。プローブブロック60のプローブ針62は、TABテープ66の出力電極72と液晶表示パネルの電極とを1対1に対応させて接続する役割を果たしている。
【0020】
上述の多極端子板は、このプローブ装置のTABテープ66の出力電極72の部分に適用することができる。すなわち、この出力電極72の部分を、第1図に示したような絶縁フィルム付きの多極端子板で構成する。このようにすると、プローブ針62とTABテープ66の出力電極との位置決め精度が若干ずれても、プローブ針62は出力電極に確実に接触する。したがって、この使用例では、プローブブロック60は、プローブ装置に対して着脱可能に取り付けてある。
【0021】
【発明の効果】
この発明で使用している多極端子板は、接触針と導体との相対位置が若干ずれていても、接触針の先端付近の傾斜面が絶縁フィルムの貫通孔の縁にガイドされて、接触針は確実に導体パターンに接触できる。また、貫通孔以外の部分は導体は絶縁フィルムに覆われているので、導体間にゴミが付着することがなくなり、導体間隔が狭くてもゴミによるショートが避けられる。そして、このような多極端子板をプローブ装置に設けることで、プローブ針を有するプローブブロックをプローブ装置に着脱可能に取り付けることが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明で使用する多極端子板の一実施例の正面断面図と平面図である。
【図2】図1の(B)の2−2断面図である。
【図3】この発明で使用する多極端子板の別の実施例の平面図である。
【図4】この発明のプローブ装置の一実施例を示す側面図と斜視図である。
【図5】従来の多極端子板に接触針を接触させた状態の斜視図である。
【符号の説明】
20 絶縁基板
22 導体
24 導体パターン層
26 絶縁フィルム
28 貫通孔
30 接触針
32 側壁
60 プローブブロック
62 プローブ針
64 液晶表示パネル
66 TABテープ
68 フレキシブル印刷配線板
70 入力電極
72 出力電極
74 ドライバIC

Claims (3)

  1. 次の(a)〜(c)を有する液晶表示パネル検査用のプローブ装置。
    (a)次の(イ)〜(ハ)の特徴を備える多極端子板。
    (イ)絶縁基板上に、多数の帯状の導体を、その長手方向に垂直な方向に互いに平行に配置して、導体パターン層を構成する。
    (ロ)前記導体パターン層の表面に絶縁フィルムを貼り付けて、多極端子板を構成する。
    (ハ)前記多数の導体のそれぞれにおいてその導体の一部が露出するように、前記絶縁フィルムに貫通孔が形成されている。
    (b)前記プローブ装置に着脱可能に取り付けられたプローブブロック。
    (c)次の(ニ)〜(ヘ)の特徴を備える多数のプローブ針。
    (ニ)前記プローブ針は前記プローブブロックに配列されている。
    (ホ)各前記プローブ針の一端は前記多極端子板の導体の前記貫通孔から露出した部分に接触している。
    (ヘ)各前記プローブ針の他端は液晶表示パネルの電極に接触することになる部分である。
  2. 前記プローブ針は、両端が互いに逆方向に折れ曲がったクランク形のプローブ針であることを特徴とする請求項1記載のプローブ装置。
  3. 前記多極端子板は、液晶パネル駆動用のICを搭載したTABテープに形成されたものであることを特徴とする請求項1または2に記載のプローブ装置。
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