JPH08315882A - 多極端子板およびプローブ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 貫通孔を形成した絶縁フィルムを導体パター
ン層の表面に貼り付けて、導体の一部だけを露出させる
ことにより、接触針と導体との電気的接続を可能にする
とともに、高密度に導体を配置しても導体間のショート
が起こりにくくする。 【構成】 絶縁基板２０上に多数の導体２２を形成して
導体パターン層２４を構成し、この導体パターン層２４
の上に絶縁フィルム２６を貼り付ける。絶縁フィルム２
６には貫通孔２８が形成され、ここから導体２２の一部
が露出している。接触針３０の先端は、貫通孔２８を通
過してから導体２２の表面に接触する。もし、接触針３
０と導体２２との相対位置が若干ずれていても、接触針
３０の先端付近の傾斜面３４が貫通孔２８の縁にガイド
されて、接触針３０は確実に導体２２に接触する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、高密度に多数配置さ
れた導体群に多数の接触針を接触させるようにした多極
端子板に関し、また、この多極端子板を備えたプローブ
装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図５は、多数の接触針を多数の導体に一
度に接触させるようにした多極端子板の従来例である。
絶縁基板１０上に多数の導体１２が等間隔で並んでお
り、これに多数の接触針１４が一度に接触する。接触針
１４の配列ピッチＰを狭くする場合には、それに対応し
て、導体１２の配列ピッチＰも狭くする必要がある。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】図５の従来例におい
て、接触針１４の配列ピッチＰを非常に狭くすると、次
のような問題が生じる。例えば、配列ピッチＰを７０μ
ｍにする場合、導体１２の幅Ｗは例えば４０μｍに、導
体と導体の間隔は３０μｍになる。導体１２の幅をこの
ように狭くすると、接触針１４と導体１２の位置決め精
度を非常に高精度にする必要がある。もし位置決め精度
が悪いと、接触針１４は導体１２から外れてしまう。ま
た、導体と導体の間隔が狭くなると、ここに微小なゴミ
が落ちただけでも、導体間のショートが起こりやすくな
る。

【０００４】この発明は上述の問題点を解決するために
なされたものであり、その目的は、接触針との位置決め
精度を厳密にしなくても確実に接触針と導体との接触が
可能になるとともに、高密度に導体を配置してもショー
トが起こりにくい多極端子板を提供することにある。ま
た、この発明の別の目的は、液晶表示パネルを検査する
ためのＴＡＢテープを備えたプローブ装置を提供するこ
とにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】この発明の多極端子板
は、導体パターン層の表面に、貫通孔を形成した絶縁フ
ィルムを貼り付けて、導体の一部だけを露出させたもの
である。この露出部分に接触針を押し付けることによ
り、接触針と導体との電気的接続を可能にする。貫通孔
は、導体の長手方向に細長い長孔とすることができる。
また、貫通孔の側壁を傾斜させてもよい。

【０００６】

【作用】絶縁基板上に高密度に配置された多数の帯状の
導体は、絶縁フィルムに覆われていて、貫通孔の部分だ
けが露出している。この露出部分に接触針を接触させる
ことができる。接触針の先端付近は、通常は、傾斜して
いるので、接触針と導体との相対位置が若干ずれていて
も、接触針の先端付近の傾斜面が絶縁フィルムの貫通孔
の縁にガイドされて、接触針は確実に導体パターンに接
触できる。また、貫通孔以外の部分では、導体は絶縁フ
ィルムに覆われているので、導体間にゴミが落ちること
がなくなり、導体間隔が狭くてもゴミによるショートが
避けられる。

【０００７】

【実施例】図１の（Ａ）は、この発明の多極端子板の一
実施例を部分的に示す正面断面図であり、図１の（Ｂ）
はその平面図である。そして（Ａ）は（Ｂ）の１Ａ−１
Ａ断面図となっている。図１の（Ａ）において、この多
極端子板は、絶縁基板２０上に多数の導体２２を形成し
て導体パターン層２４を構成し、この導体パターン層２
４の上に絶縁フィルム２６を貼り付けている。絶縁フィ
ルム２６には貫通孔２８が形成されていて、ここから導
体２２の一部が露出している。１本の導体２２に対して
は１個の貫通孔２８が対応しているので、それぞれの導
体２２において貫通孔２８のところだけが外部に露出し
ている。接触針３０は、貫通孔２８を通って導体２２に
接触する。導体２２の配列ピッチは、接触針３０の配列
ピッチに等しくなっている。

【０００８】貫通孔２８の側壁３２は、次のように傾斜
している。すなわち、絶縁フィルム２６の表面から導体
２２に向かって貫通孔２８の断面寸法が小さくなってい
くように、導体２２の表面に垂直な方向に対して、側壁
３２が傾斜している。貫通孔２８は、ポリイミド製の絶
縁フィルムにエキシマレーザを照射して形成している
が、レーザビームの断面寸法はその焦点に向かって減少
して行くので、焦点位置を適当に設定すると、自然に、
側壁の傾斜した貫通孔が形成される。

【０００９】図１の（Ｂ）において、帯状の導体２２
は、その長手方向に垂直な方向に互いに平行に等間隔で
配列されている。貫通孔２８は、導体２２の長手方向に
細長い長孔となっている。

【００１０】図２は図１の（Ｂ）の２−２断面図であ
る。接触針３０は、導体２２の長手方向に突き出してい
てその先端が下方に曲がっており、いわゆる片持ち式の
接触針である。

【００１１】この実施例の具体的な寸法例を述べると、
銅箔製の導体２２の配列ピッチは７０μｍであり、導体
２２の幅が４０μｍ、導体間隔が３０μｍである。ポリ
イミド製の絶縁フィルム２６の厚さは５０μｍである。
貫通孔２８の表面側における幅は４０μｍ、導体２２側
における幅は約３５μｍ、長手方向の長さは約２００μ
ｍである。

【００１２】次に、この多極端子板の機能を説明する。
図１の（Ａ）において、接触針３０の先端は、貫通孔２
８を通過してから導体２２の表面に接触する。もし、接
触針３０と導体２２との相対位置が若干ずれていると、
接触針３０の先端付近の傾斜面３４が貫通孔２８の縁に
接触する。その後、接触針３０を下げて行くと接触針３
０は、その傾斜面３４に案内されて、貫通孔２８の内部
に入っていき、導体２２の表面に接触する。接触針３０
の先端付近に傾斜面３４がないような場合には、接触針
３０の先端が貫通孔２８の側壁３２に接触し、この傾斜
面３４に案内されて、導体２２に接触できる。したがっ
て、接触針３０と導体２２との相対位置が若干ずれてい
ても、接触針３０の先端は確実に導体２２に接触でき
る。ただし、接触針３０が貫通孔２８から完全に外れる
ほど位置決め精度が劣っている場合には、接触針３０は
絶縁フィルム２６の表面にぶつかるだけで、導体２２と
の接触は得られない。したがって、貫通孔２８のガイド
機能は、接触針３０と導体２２との相対位置のずれがわ
ずかなときだけ機能するものである。

【００１３】ところで、この多極端子板では、貫通孔２
８が導体の長手方向に細長くなっているので、接触針と
導体とを位置決めする場合、導体の長手方向には位置決
め精度は粗くてもよく、導体の長手方向に垂直な方向に
だけ所定の位置決め精度を持たせればよい。

【００１４】この多極端子板では、貫通孔２８のところ
だけで導体２２が外部に露出していて、その他の部分は
絶縁フィルム２６で覆われているので、導体と導体の間
にゴミが入って両者がショートする危険がなくなる。導
体の配列ピッチが例えば７０μｍのように非常に狭くな
ると、導体の幅が４０μｍの場合には導体間距離が３０
μｍ程度になり、微小なゴミでもショートの原因になる
が、このようなショートは避けられる。

【００１５】図３は多極端子板の別の実施例の平面図で
ある。この実施例では、導体２２ａの長手方向におい
て、貫通孔２８ａの配置位置が４種類あり、このような
配列が導体の４本ごとに繰り返されている。これに対応
して、接触針３０ａの突き出し長さも４種類に設定され
ている。このような多極端子板の構成は、接触針３０ａ
の配列ピッチが接触針の太さと同程度かそれ以下の高密
度配置の場合に、特に有効である。このような場合は、
接触針３０ａの配列高さを４種類にして、接触針同士の
接触を避けることができる。

【００１６】上述の実施例では貫通孔は長孔となってい
たが、貫通孔の形状はこれに限定されるものではなく、
円形などの別の形状としてもよい。

【００１７】図４はこの発明の多極端子板の使用例であ
る。図４の（Ａ）は、液晶表示パネルを検査するプロー
ブ装置の側面図である。液晶表示パネルはドライバＩＣ
によって駆動されることになり、完成状態では、このド
ライバＩＣが液晶表示パネルの電極部分に接着されるこ
とになる。しかし、検査段階では液晶表示パネルにはド
ライバＩＣが接着されていない。したがって、この液晶
表示パネルを検査するためのプローブ装置は、ドライバ
ＩＣを経由して検査装置と液晶表示パネルとが電気的に
接続されるような機能を備えている。液晶表示パネルが
大型であって電極が多数ある場合は、このようなプロー
ブ装置を複数個並べて液晶表示パネルが検査される。

【００１８】図４の（Ａ）において、プローブ装置のプ
ローブブロック６０には、クランク形のプローブ針６２
が所定ピッチで多数本配列されている。ここでいうクラ
ンク形のプローブ針とは、両端が互いに逆方向に折れ曲
がっていて、この両端がそれぞれ接触部となっているよ
うな形状のプローブ針を指す。プローブ針６２の一端
は、液晶表示パネル６４の電極に接触する。このプロー
ブ針６２の配列ピッチは、液晶表示パネル６４の電極の
配列ピッチに等しくなっている。プローブ針６２の他端
は、ＴＡＢ（Tape Automated Bonding）テープ６６の出
力電極に接触する。さらに、ＴＡＢテープ６６の入力電
極はフレキシブル印刷配線板６８を介して検査装置に接
続される。このＴＡＢテープ６６は、プローブ装置に搭
載されている。

【００１９】図４の（Ｂ）は、プローブブロック６０と
ＴＡＢテープ６６を下から見たときの分解斜視図であ
る。ＴＡＢテープ６６には、液晶表示パネルのためのド
ライバＩＣ７４がボンディングされており、ＴＡＢテー
プ６６上の入力電極７０と出力電極７２は、ドライバＩ
Ｃ７４につながっている。ＴＡＢテープ６６の入力電極
７０は比較的本数が少なく、その電極幅も比較的広い。
したがって、この入力電極７０にフレキシブル印刷配線
板６８を容易に接続できる。これに対して、ＴＡＢテー
プ６６の出力電極７２は液晶表示パネルの電極に対応し
ているので、多数の電極が高密度に配列されている。プ
ローブブロック６０のプローブ針６２は、ＴＡＢテープ
６６の出力電極７２と液晶表示パネルの電極とを１対１
に対応させて接続する役割を果たしている。

【００２０】本発明の多極端子板は、このプローブ装置
のＴＡＢテープ６６の出力電極７２の部分に適用するこ
とができる。すなわち、この出力電極７２の部分を、第
１図に示したような絶縁フィルム付きの多極端子板で構
成する。このようにすると、プローブ針６２とＴＡＢテ
ープ６６の出力電極との位置決め精度が若干ずれても、
プローブ針６２は出力電極に確実に接触する。したがっ
て、この使用例では、プローブブロック６０は、プロー
ブ装置に対して着脱可能に取り付けてある。

【００２１】

【発明の効果】この発明の多極端子板は、接触針と導体
との相対位置が若干ずれていても、接触針の先端付近の
傾斜面が絶縁フィルムの貫通孔の縁にガイドされて、接
触針は確実に導体パターンに接触できる。また、貫通孔
以外の部分は導体は絶縁フィルムに覆われているので、
導体間にゴミが付着することがなくなり、導体間隔が狭
くてもゴミによるショートが避けられる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の多極端子板の一実施例の正面断面図
と平面図である。

【図２】図１の（Ｂ）の２−２断面図である。

【図３】この発明の多極端子板の別の実施例の平面図で
ある。

【図４】この発明の多極端子板の使用例を示す側面図と
斜視図である。

【図５】従来の多極端子板に接触針を接触させた状態の
斜視図である。

【符号の説明】

２０ 絶縁基板 ２２ 導体 ２４ 導体パターン層 ２６ 絶縁フィルム ２８ 貫通孔 ３０ 接触針 ３２ 側壁 ６０ プローブブロック ６２ プローブ針 ６４ 液晶表示パネル ６６ ＴＡＢテープ ６８ フレキシブル印刷配線板 ７０ 入力電極 ７２ 出力電極 ７４ ドライバＩＣ

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 次の（イ）〜（ハ）の特徴を備える多極
   端子板。 （イ）絶縁基板上に、多数の帯状の導体を、その長手方
   向に垂直な方向に互いに平行に配置して、導体パターン
   層を構成する。 （ロ）前記導体パターン層の表面に絶縁フィルムを貼り
   付けて、多極端子板を構成する。 （ハ）前記多数の導体のそれぞれにおいてその導体の一
   部が露出するように、前記絶縁フィルムに貫通孔が形成
   されている。
2. 【請求項２】 前記貫通孔は、前記導体の長手方向に細
   長い長孔であることを特徴とする請求項１記載の多極端
   子板。
3. 【請求項３】 前記絶縁フィルムの表面から前記導体に
   向かって前記貫通孔の断面寸法が小さくなっていくよう
   に、前記貫通孔の側壁が、前記導体に垂直な方向に対し
   て傾斜していることを特徴とする請求項１記載の多極端
   子板。
4. 【請求項４】 請求項１に記載した多極端子板と液晶パ
   ネル駆動用のＩＣとを備えるＴＡＢテープと、多数のプ
   ローブ針とを有し、このプローブ針の一端を前記多極端
   子板の導体に接触させ、プローブ針の他端を液晶表示パ
   ネルの電極に接触させるようにしたプローブ装置。
5. 【請求項５】 前記プローブ針は、両端が互いに逆方向
   に折れ曲がったクランク形のプローブ針であることを特
   徴とする請求項４記載のプローブ装置。