JP2001108708A - プローブカード - Google Patents
プローブカードInfo
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- JP2001108708A JP2001108708A JP28707399A JP28707399A JP2001108708A JP 2001108708 A JP2001108708 A JP 2001108708A JP 28707399 A JP28707399 A JP 28707399A JP 28707399 A JP28707399 A JP 28707399A JP 2001108708 A JP2001108708 A JP 2001108708A
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Abstract
ーブの配置ピッチを小さくすること 【解決手段】 プローブカードは、基板と、針先部がこ
れの後端に続く針主体部に対して曲げられた複数のプロ
ーブを針先がほぼ直線状の配列となる状態に基板に配置
し、プローブの針先部が変位可能に貫通した複数のガイ
ド穴を有するシート状のガイドを針主体部の下側を伸び
るように基板に配置し、ガイドを配置手段により張った
状態に維持している。張った状態のガイドは、吊り下げ
た状態のガイドに比べ、ガイド自体がプローブに対し変
位し難く、したがって被検査体の電極に対するプローブ
の針先の位置が安定すると共に、プローブの配置ピッチ
を小さくすることができる。
Description
液晶基板等の平板状被検査体の通電試験に用いるプロー
ブカードに関する。
の複数のプローブを用いたプローブカードにおいては、
プローブ自体の直径寸法を小さくすることに限度がある
から、プローブの配置ピッチを狭くすることに限度があ
るにもかかららず、プローブの配置ピッチを小さくする
ことが望まれている。
狭くする技術の1つとして、複数のプローブを一列に配
置した一対のプローブカードと、両プローブカードに支
持されたストッパとによりユニット化したもの(特許第
2827983号公報)が知られている。
化プローブカードでは、ストッパを一対のガイドライン
に吊り下げた状態に支持させているから、ストッパがプ
ローブに対して変位しやすく、被検査体の電極に対する
針先の位置が不安定であり、したがってプローブの配置
ピッチをあまり小さくすることができない。
針先の位置を安定化させると共に、プローブの配置ピッ
チを小さくすることが重要である。
ドは、基板と、針先部がこれの後端に続く針主体部に対
して曲げられた複数のプローブであって針先がほぼ直線
状の配列となる状態に前記基板に配置された複数のプロ
ーブと、前記プローブの針先部が変位可能に貫通した複
数のガイド穴を有しかつ前記針主体部に対し前記基板と
反対側を伸びるシート状のガイドと、該ガイドを前記基
板に張った状態に配置する配置手段とを含む。
ガイドに比べ、ガイド自体がプローブに対し変位し難
く、したがって被検査体の電極に対するプローブの針先
の位置が安定し、プローブの配置ピッチを小さくするこ
とができる。
から一方へ伸びる第1のプローブ群と、針主体部が針先
部から他方へ伸びる第2のプローブ群とに分けられてお
り、第1及び第2のプローブ群のプローブはそれらの針
先の配列方向に交互に位置されていてもよい。そのよう
にすれば、全てのプローブの針主体部が針先部から同じ
方向へ伸びる場合に比べ、各プローブ群のプローブの配
置ピッチを少なくとも2分の1にすることが可能にな
り、その結果プローブの配置ピッチをより小さくするこ
とができる。
主体部の高さ位置が異なる多層に配置されており、針主
体部の高さ位置が異なるプローブはそれらの針先の配列
方向に交互に位置されていてもよい。そのようにすれ
ば、全てのプローブの針主体部が針先部から同じ方向へ
伸びる場合に比べ、各プローブ群のプローブの配置ピッ
チを少なくとも2分の1にすることが可能になり、その
結果プローブの配置ピッチをより小さくすることができ
る。
から一方へ伸びる第1のプローブ群と、針主体部が針先
部から他方へ伸びる第2のプローブ群と、針主体部が針
先部から一方へ伸びかつ前記基板に対する針主体部の高
さ位置が前記第1のプローブ群のプローブと異なる第3
のプローブ群と、針主体部が針先部から他方へ伸びかつ
高さ位置が前記第2のプローブ群のプローブと異なる第
4のプローブ群とに分けられており、第1、第2、第3
及び第4のプローブ群のプローブはそれらの針先の配列
方向に交互に位置されていてもよい。そのようにすれ
ば、プローブが1層に配置されかつ全てのプローブの針
主体部が針先部から同じ方向へ伸びる場合に比べ、各プ
ローブ群のプローブの配置ピッチを少なくとも4分の1
にすることが可能になり、その結果プローブの配置ピッ
チを著しく小さくすることができる。
ーブ群のプローブを間にして前記基板に配置されたガイ
ドホルダと、該ガイドホルダに間隔をおいて配置された
一対のガイドサポートとを含み、前記ガイドは両ガイド
サポートに装着されていてもよい。そのようにすれば、
基板へのガイドホルダ及びガイドサポートの配置位置と
基板へのプローブの配置位置とが重ならず、ガイドをよ
り強く張った状態に維持することができる。
間隔をおいており、前記ガイドサポートは前記針主体部
の長手方向に間隔をおいていてもよい。そのようにすれ
ば、小面積のガイドをより強く張った状態に安定して維
持することができる。
有していてもよい。そのようにすれば、各プローブの針
先の滑り方向と滑り量とをガイド穴により規制すること
ができるから、針先を電極に確実に接触させることがで
きる。
くなる長穴の形状を有していてもよい。そのようにすれ
ば、電極への接触位置がより正確になる。
ーブカード10は、図6及び図7に一部を示すように、
一列に配置された複数の電極12を少なくとも有する半
導体集積回路のような平板状被検査体14の通電試験に
用いられる。電極12は、通常、それらの配置ピッチを
小さくする上から、それら配列方向が幅方向となる長方
形の形状を有する。
0,22,24,26をそれらの針先がほぼ直線状の配
列となる状態に基板28の下面に配置している。プロー
ブ20,24は一方の針押え30により基板28に装着
されており、プローブ22,26は他方の針押え30に
より基板28に装着されている。
れたニードルタイプのものであり、針先部32aをこの
後端に続く針主体部32bから一方側に曲げたL字状の
形状を有する。各プローブは、針主体部32bにおいて
針押え30に接着剤により針先部が下方へ向いた状態に
組み付けられている。各プローブのうち、針押え30へ
の装着箇所より前方の領域は直径寸法が針先(先端)側
ほど小さくなる円錐形(すなわち、テーパ状)の形状を
しており、先端は半球状の形状をしている。
し、開口の周りに複数の配線(図示せず)を有し、それ
ら配線に電気的に個々に接続された複数のテスターラン
ド36を前記配線の周りに多重に有する配線基板であ
り、また電気絶縁材料から形成されている。各プローブ
の後端部は、基板28に形成された前記配線に半田のよ
うな導電性接着剤38により電気的に接続されている。
向する2つの辺に対応する箇所の下側に、接着剤、複数
のねじ部材等により装着されている。図示の例では、両
針押え30は別部材に形成されているが、例えば両針押
えで平面矩形の形状を形成するように両針押え30を一
体に形成してもよい。
4,26の突出量はほぼ同じである、しかし、プローブ
20,22,24,26は、それらの針先(先端)が図
9に示すように電極12の大きさ(長さ寸法)の範囲内
でわずかにジグザグ状になるように配列されていると共
に、図6及び図9に示すように針先の配列方向に交互に
位置されている。
0及び24は、基板28からの針主体部の高さ位置は異
なるが、針主体部を針先部から同じ方向へ延在させてい
る。他一方の針押え30に装着されたプローブ22及び
26は、基板28からの針主体部の高さ位置は異なる
が、針主体部を針先部から同じ方向へかつプローブ2
0,24と反対方向へ延在させている。
つ全てのプローブの針主体部が針先部から同じ方向へ伸
びる場合に比べ、プローブの配置ピッチを少なくとも4
分の1にすることが可能になり、その結果直径寸法の小
さい針先部が針先の配列方向に隣り合うこととあいまっ
て、プローブの配置ピッチを著しく小さくすることがで
きる。
のような電気絶縁材料から形成されたシート状のガイド
40と、ガイド40を針主体部の下側を伸びた状態に基
板28に組み付けている配置手段とを含む。
26を間にして基板28に組み付けられた一対のガイド
ホルダ42と、ガイドホルダ42に間隔をおいた一対の
ガイドサポート44と、ガイド40をガイドサポート4
4に押圧しているガイド押え46とを含む。
隔をおいて針主体部の長手方向へ平行に伸びている。ガ
イドサポート44は、針主体部の長手方向に間隔をおい
て針先の配列方向へ伸びており、また針主体部の下側を
平行に伸びる状態にガイドホルダ42の下端部に組み付
けられている。ガイド40は、接着剤48により両ガイ
ドサポート44に接着されて、ピンと張った状態に維持
されている。
サポート44の配置位置とプローブの配置位とは重なら
ず、基板28とガイド40との間にプローブ用の配置空
間が形成される。
ブ20,22,24及び26の針先部が変位可能に個々
に貫通した複数のガイド穴50,52,54及び56を
ほぼ直線状に有する。ガイド穴50,52,54,56
は、幅寸法が先端側ほど小さくなる長穴の形状を有して
おり、また針先の配列方向に交互にかつ電極12の大き
さ(長さ寸法)の範囲内でわずかにジグザグの形状に形
成されている。
(A)に示すように、対応するガイド穴の幅寸法の大き
い後端側に位置している。
プローブの針先とが相対的に押圧されることにより、図
8(A)に示すように各プローブにオーバードライブ
(O・D)が作用するから、各プローブがわずかに弧状
に湾曲される。それにより、各プローブの針先部は、図
8(B)に示すように対応するガイド穴の幅寸法に小さ
い先端側へ変位する。
電極12に対し滑って移動し、その電極12に擦り作用
を与える。これにより、各電極12の表面に存在する酸
化膜のような電気絶縁膜が削り取られるから、プローブ
と電極とが電気的に確実に接続される。
と張った状態に維持されているから、ガイドを吊り下げ
た場合に比べ、ガイド40自体がプローブに対し変位し
難く、電極12に対するプローブの針先の位置が安定す
る。このため、針先と電極とが押圧されても、針先がそ
の配列方向へ変位するおそれがなく、プローブの配置ピ
ッチを小さくすることができる。
にガイド穴を有する。このため、各プローブの針先の滑
り方向と滑り量とをガイド穴により規制することができ
るから、針先を電極に確実に接触させることができる。
しかし、ガイド40は、複数のプローブ毎にガイド穴を
有していてもよい。
たときの針先の滑り方向及び滑り量並びに針先部のテー
パ角度を考慮した形状とすることが好ましい。これによ
り、電極への針先の接触位置がより正確になる。
を基板に配置しているにすぎないが、半導体ウエーハ上
の複数のチップの通電試験を同時に行う場合、複数組の
プローブ及びガイドが基板に配置される。
ブを用いているが、本発明は、それ以上の種類のプロー
ブを備えるプローブカードにも適用することができる
し、プローブ20,22又はプローブ20,24のよう
な2種類のプローブを備えるプローブカードにも適用す
ることができ、さらにはいずれか1種類のプローブを備
えるプローブカードにも適用することができる。
ップ、切断された集積回路チップ、モールドされた集積
回路等、集積回路用のプローブカードのみならず、液晶
基板のような他の平板状被検査体用のプローブカードに
も適用することができる。
明の趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができ
る。
底面図
面図
ための図
Claims (8)
- 【請求項1】 基板と、針先部がこれの後端に続く針主
体部に対して曲げられた複数のプローブであって針先が
ほぼ直線状の配列となる状態に前記基板に配置された複
数のプローブと、前記プローブの針先部が変位可能に貫
通した複数のガイド穴を有しかつ前記針主体部に対し前
記基板と反対側を伸びるシート状のガイドと、該ガイド
を前記基板に張った状態に配置する配置手段とを含む、
プローブカード。 - 【請求項2】 前記複数のプローブは、針主体部が針先
部から一方へ伸びる第1のプローブ群と、針主体部が針
先部から他方へ伸びる第2のプローブ群とに分けられて
おり、第1及び第2のプローブ群のプローブはそれらの
針先の配列方向に交互に位置されている、請求項1に記
載のプローブカード。 - 【請求項3】 前記複数のプローブは前記基板に対する
針主体部の高さ位置が異なる多層に配置されており、針
主体部の高さ位置が異なるプローブはそれらの針先の配
列方向に交互に位置されている、請求項1又は2に記載
のプローブカード。 - 【請求項4】 前記複数のプローブは、針主体部が針先
部から一方へ伸びる第1のプローブ群と、針主体部が針
先部から他方へ伸びる第2のプローブ群と、針主体部が
針先部から一方へ伸びかつ前記基板に対する針主体部の
高さ位置が前記第1のプローブ群のプローブと異なる第
3のプローブ群と、針主体部が針先部から他方へ伸びか
つ高さ位置が前記第2のプローブ群のプローブと異なる
第4のプローブ群とに分けられており、第1、第2、第
3及び第4のプローブ群のプローブはそれらの針先の配
列方向に交互に位置されている、請求項1に記載のプロ
ーブカード。 - 【請求項5】 前記配置手段は、前記プローブを間にし
て前記基板に配置されたガイドホルダと、該ガイドホル
ダに間隔をおいて配置された一対のガイドサポートとを
含み、前記ガイドは両ガイドサポートに装着されてい
る、請求項1から4のいずれか1項に記載のプローブカ
ード。 - 【請求項6】 前記ガイドホルダは前記針先の配列方向
に間隔をおいており、前記ガイドサポートは前記針主体
部の長手方向に間隔をおいている、請求項5に記載のプ
ローブカード。 - 【請求項7】 前記ガイドは前記ガイド穴をプローブ毎
に有する、請求項1から6のいずれか1項に記載のプロ
ーブカード。 - 【請求項8】 前記ガイド穴は、幅寸法が先端側ほど小
さくなる長穴の形状を有する、請求項7に記載のプロー
ブカード。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28707399A JP4471424B2 (ja) | 1999-10-07 | 1999-10-07 | プローブカード |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28707399A JP4471424B2 (ja) | 1999-10-07 | 1999-10-07 | プローブカード |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001108708A true JP2001108708A (ja) | 2001-04-20 |
JP4471424B2 JP4471424B2 (ja) | 2010-06-02 |
Family
ID=17712715
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP28707399A Expired - Lifetime JP4471424B2 (ja) | 1999-10-07 | 1999-10-07 | プローブカード |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4471424B2 (ja) |
Cited By (5)
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US7791364B2 (en) | 2007-12-03 | 2010-09-07 | Kabushiki Kaisha Nihon Micronics | Electronic device probe card with improved probe grouping |
CN102213622A (zh) * | 2011-05-05 | 2011-10-12 | 浙江大学 | 一种pcr仪多通道测温系统的传感器夹具 |
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4471424B2 (ja) | 2010-06-02 |
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