JP2000292441A - プローブカード - Google Patents
プローブカードInfo
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Abstract
う4つのチップの同時検査が可能であるにもかかわら
ず、プローブを絶縁板に格子状に配置する作業を容易に
すること 【解決手段】 プローブカードは、互いに交差する2つ
の仮想的な境界線に沿って伸びる複数のスロットをほぼ
格子状に有する絶縁板と、スロットを貫通した状態に絶
縁板にほぼ格子状に配置されされた複数のプローブであ
って絶縁板に接着された複数のプローブとを含む。各ス
ロットを貫通するプローブは、針先が前記境界線に対し
て一方側に位置する複数のプローブを含む第1のプロー
ブ群と、針先が前記境界線に対して他方側に位置する複
数のプローブを含む第2のプローブ群とに分けられてい
る。境界線の交差部の周りの4対のプローブ群は、少な
くとも交差部の近傍に位置する複数のプローブの針先側
部分を絶縁板への接着位置に対し交差部の周りの方向に
おける同じ方向に延在させている。
Description
マトリクス状に形成された複数のチップの通電試験に用
いて好適なプローブカードに関する。
積回路部すなわちICチップ部(本発明においては、単
に「チップ」という。)がマトリクス状に形成される。
各チップは、矩形の形状を有しており、また四角形の各
辺に対応する縁部に複数の電極パッドすなわち電極部を
有する。マトリクスの各行及び各列を形成するチップ
は、一列に整列されている。チップは、最終的に1つ1
つに切り離される。
作するか否かの通電試験をされる。そのような通電試験
は、ウエーハの状態において行われることが多く、また
針先を電極部に押圧される複数のプローブを備えたプロ
ーブカードを用いて行われる。この種の通電試験におい
て、チップを1つずつ検査するのでは、1つのウエーハ
上の全チップを検査するのに長時間を要する。
プを複数ずつ検査するプローブカードは種々提案されて
いる。この種のプローブカードを用いる場合、1つのウ
エーハ上のチップを1つおき又は2つおきの複数のチッ
プ、若しくは、行又は列方向に一列に連続する複数のチ
ップからなる複数のグループに分け、グループ毎に検査
し、これにより1つのウエーハについての検査回数を減
らし、全チップの検査に要する時間を短縮する。
同時に検査可能のグループが1つおき又は複数おきのチ
ップ若しくは一列に連続するチップであるから、十字状
に交差する仮想的境界線を介して隣り合う4つのチップ
(すなわち、境界線の交差部の周りに位置する4つのチ
ップ)を同時に検査することができず、したがって1つ
のウエーハ当たりの通電試験回数(検査回数)が多く、
1つのウエーハ当たりの検査時間が長い。
とができるプローブカードの1つとして、多数のチップ
と同数のプローブを長い複数の支持体に取り付け、それ
らの支持体を配線基板に格子状に配置した技術がある
(特開平9−283575号公報)。
ドでは、各支持体に多数のプローブを装着しなければな
らないから、支持体へのプローブの装着作業が面倒であ
る。特に、装着ミスのプローブが1つでも存在すると、
その支持体が不良品となり、支持体及びプローブの歩留
りが悪く高価なるから、支持体へのプローブの装着作業
を慎重に行わなければならない。
検査に用いるプローブカードにおいては、十字状に交差
する境界線を介して隣り合う4つのチップの同時検査が
可能であるにもかかわらず、プローブを絶縁板に格子状
に配置する作業を容易にすることが重要である。
は、互いに交差する2つの仮想的な境界線に沿って伸び
る複数のスロットをほぼ格子状に有する絶縁板と、前記
スロットを貫通した状態に前記絶縁板にほぼ格子状に配
置されされた複数のプローブであって前記絶縁板に接着
された複数のプローブとを含む。各スロットを貫通する
プローブは、針先が前記境界線に対して一方側に位置す
る複数のプローブを含む第1のプローブ群と、針先が前
記境界線に対して他方側に位置する複数のプローブを含
む第2のプローブ群とに分けられている。前記境界線の
交差部の周りの4対のプローブ群は、少なくとも前記交
差部の近傍に位置する複数のプローブの針先側部分を前
記絶縁板への接着位置に対し前記交差部の周りの方向に
おける同じ方向に延在させている。
位置する第1及び第2のプローブ群の針先を、それぞ
れ、交差部から伸びる境界線部分の交差部を介して隣り
合う2つのチップの一方及び他方の電極群の電極部に対
向され、対向する電極部に押圧される。
は、少なくとも交差部近傍の複数のプローブの針先側部
分を絶縁板への装着位置に対し同じ側に(すなわち、風
車状に)延在させている。このため、交差部近傍の複数
のプローブが複数のプローブ群を絶縁板に格子状に配置
する作業の妨げにならず、したがってほぼ十字状に交差
する仮想的境界線を介して隣り合う4つのチップを同時
に検査することができる。
プローブ群は、全てのプローブの針先側部分を前記絶縁
板への接着位置に対し前記交差部の周りの方向における
同じ方向に延在させていてもよい。このようにすれば、
交差部の周りの全てのプローブが絶縁板への接着位置に
対し同じ側に延在するから、絶縁板へのプローブの装着
作業が容易になる。
貫通するプローブが接着されたベースであって前記スロ
ットに配置されて前記スロットに接着されたベースを含
むことができる。このようにすれば、各スロットを貫通
するプローブをベースに針立てしてプローブブロックを
形成し、そのプローブブロックをスロットに接着するこ
とができるから、各スロットへのプローブの装着作業が
より容易になる。
群に対応されて対応するプローブ群のプローブに接続さ
れた複数のフラットケーブルを含んでいてもよいし、前
記絶縁板が装着された配線基板を含んでいてもよい。前
記配線基板は、前記スロットの周りに形成されて前記フ
ラットケーブルが接続される複数のコネクタと、該コネ
クタの周りに形成されて前記コネクタに個々に接続され
た複数のテスターランドとを備えることができる。
ーブカード10は、図6に一部を示すように、半導体ウ
エーハ12にマトリクス状に形成された多数のICチッ
プ14の通電試験に用いられる。ウエーハ12は、多数
のチップ14を行及び列の形に形成している。それえゆ
えに、チップ14は、互いに交差するX方向及びY方向
へ伸びる複数の仮想的な境界線(実施例では、スクライ
ブライン)16及び18において分けられている。
説明する格子の交差部に対応する。各チップ14は、矩
形の形状をしており、また矩形の辺に対応する各縁部に
電極群を有する。各電極群は、対応する縁部に境界線1
6又は18の方向に間隔をおいて一列に形成された複数
の電極パッドすなわち電極部22からなる。
30と、配線基板30の下面に配置された長方形の絶縁
板32と、絶縁板32にほぼ格子状に配置された複数の
プローブ34と、プローブ34に接続されたケーブル3
6とを含む。
を中央に有し、ケーブル36がその端部において電気的
に接続された複数のコネクタ40を開口38の周りに有
し、図示しないテスターに電気的に接続される複数のテ
スターランド42を外周部に有する。
貫通している。各コネクタ40は、複数の接点部を有し
ており、また配線基板30の上側に配置されている。コ
ネクタ40の各接点部は、配線基板30に形成された配
線パターンの配線部によりテスターランド42に電気的
に接続されている。
絶縁板32は、境界線16,18に沿って伸びる複数の
スロット44を有する。スロット44は、それらにより
ほぼ格子状の形を形成する位置に設けられている。各ス
ロット44は、検査すべきチップ14の1つの縁部に対
応されている。絶縁板32は、開口38を閉塞するよう
に、配線基板30の下面に複数のねじ部材46により取
り付けられている。
製作されている。各プローブ34は、図4に示すよう
に、チップ14の電極部22に押圧される針先部をその
針先部の後端に続く針主体部に対し一方側に曲げてお
り、また針主体部の後端に続く針後部を針主体部に対し
針先部と反対側に曲げている。
スロット44を貫通して上下方向へ伸び、かつ針主体部
が絶縁板32の下方側をスロット44の幅方向へ伸び、
さらに針先部が絶縁板32の下側において下方へ伸びる
状態に、スロット44に配置された接着剤48により絶
縁板32に接着されている。
4を貫通するプローブ34は、針先が境界線16又は1
8に対して一方側に位置する複数のプローブを含む第1
のプローブ群と、針先が境界線16又は18に対して他
方側に位置する複数のプローブを含む第2のプローブ群
とに分けられている。
ローブ34の針先と第2のプローブ群の全てのプローブ
34の針先とは、スロット44の幅方向(すなわち、X
方向又はY方向)に互いに間隔をおいているが、スロッ
ト44の幅方向における同じ側に位置されている。
のプローブ34の針先は、対応するスロット44の方向
にプローブ群毎に一列に整列されている。しかし、第1
及び第2のプローブ群のプローブの針先は、プローブ群
毎にジグザグ状に又は複数列に位置していてもよい。
子の交差部)20の周りの4対の第1及び第2のプロー
ブ群のプローブ34は、針主体部を含む針先側の部分を
絶縁板32への装着位置に対し交差部20の周りの方向
における同じ方向に(風車状に)延在させている。この
ため、それら4対のプローブ群のプローブ34の針先側
部分は、交差部20を中心とする回転対称の箇所に位置
させている。
プローブ群は、それぞれ、スロット44の幅方向(X方
向又はY方向)に隣り合う、すなわち境界線16又は1
8を介して隣り合うチップ14の境界線16又は18を
介して隣り合う一方及び他方の電極群に対応されてい
る。
数の導電部50を電気絶縁性フィルムに印刷配線技術に
より並列的に形成した可撓性のフラットケーブル(いわ
ゆる、FPC)であり、またプローブ群毎に設けられて
いる。ケーブル36の各導電部50は、対応するプロー
ブ34の後端部に電気的に接続されていると共に、対応
するコネクタ40の接点部に電気的に接続されている。
ル、同軸ケーブル等、FPC以外のケーブルであっても
よい。また、ケーブル36を用いることなく、針後部の
長いプローブを用い、それらのプローブの後端をコネク
タ40又はテスターランド42に直接接続してもよい。
0、絶縁板32、プローブ34及びケーブル36を準備
し、次いでプローブ34を絶縁板32に上記のように配
置してプローブ組立体52を製作し、次いでプローブ組
立体52を絶縁板32において配線基板30にねじ止め
することにより、組み立てることができる。
き、全てのプローブ34の針先側部分が接着剤48によ
る絶縁板32への装着位置に対し交差部20の周りの方
向における同じ方向に延在するように、配置される。こ
れにより、交差部20の周りの4対のプローブ群は、プ
ローブ34の針先部側部分が絶縁板32への装着位置か
ら同じ側に延在するように、風車状に配置される。
ブ34を絶縁板32に配置するとき、各スロット44を
貫通する第1及び第2のプローブ群のプローブ34は、
それらの針先が境界線16又は18を介して反対の側と
なるように、絶縁板32に接着される。
30に組み付けた後に、図4及び5に示すように各導電
部50を各プローブ34の針端部に電気的に接続され
る。しかし、プローブ34を絶縁板32に装着する前に
又は絶縁板32を配線基板30に装着する前に、各ケー
ブル36をプローブ34に電気的に接続してもよい。各
ケーブル36は、最終的に対応するコネクタ40に接続
される。
ローブ34の位置の調整は、プローブ34を絶縁板32
に装着する際において行われると共に、プローブ組立体
52を配線基板30に組み付ける際に行われる。
34を対応するスロット44に接着剤48により直接針
立てして接着する代わりに、図4に示すようにそれらの
プローブ34を接着剤によりベース54に装着(針立
て)してプローブブロックを形成し、そのプローブブロ
ックをスロット44に接着してもよい。そのようにすれ
ば、各スロット44へのプローブ34の装着作業がより
容易になる。
貫通する第1及び第2のプローブ群のプローブ34の針
先が、それぞれ、境界線16又は18を介して隣り合う
チップ14の隣り合う一方及び他方の電極群の電極部に
対向されて、それらの電極部22に押圧することができ
るように、検査装置に組み付けられ、その状態でプロー
ブ34の針先を対応する電極群の電極部22に押圧され
る。
12上の全てのチップ14を同時に検査することができ
るように、1つの半導体ウエーハ12上の電極22の数
と同数のプローブを備えていてもよい。しかし、そのよ
うにすると、用いるプローブ数が多くなりすぎるから、
テスターの電気回路の負荷が大きくなりすぎると共に、
プローブの破損に起因してプローブカード10が損傷す
る可能性が高くなる。それゆえに、プローブカードは、
1つの半導体ウエーハ上の全てのチップを複数回(例え
ば、2から3回程度)に分けて検査する構造とすること
ができる。
の周りの4対のプローブ群のプローブ34が針先側部分
を同じ側に風車状に突出させているから、プローブ34
が同じ交差部20の周り他の組のプローブ34及び他の
交差部20の周りのプローブを絶縁板に装着する作業の
妨げにならず、したがって十字状に交差する境界線1
6,18を介して隣り合う4つのチップを同時に検査す
ることができる。
ローブ34が針先側部分を同じ側に延在させているか
ら、絶縁板32へのプローブ34の装着作業が容易にな
る。
絶縁板32に接着することができるから、多数のチップ
用のプローブ数と同数のプローブを装着する支持体を用
いる必要がなく、各スロット32に装着すべきプローブ
数を著しく少なくすることができる。
に、円形の断面形状を有するプローブ34aであっても
よい。しかし、プローブをプレス加工により又はプロー
ブを板材からの打ち抜き加工で製作することにより、プ
ローブを図7(B)又は(C)に示すように断面扁平の
プローブ34b又は断面楕円形のプローブ34cとし、
プローブをその厚さ方向に配列してもよい。後者のプロ
ーブを用いれば、プローブをより狭ピッチで配置するこ
とができる。。上記実施例では、各スロット44を貫通
する全てのプローブ34の針先側部分を同じ側に風車状
に延在させているが、図8に示すように、交差部20に
最も近い複数のプローブの針先側部分を風車状に同じ側
に延在させ、他のプローブの針先側部分を他の側に延在
させてもよい。
4の針先側部分をスロット44の位置からさらにスロッ
ト44の幅方向へ突出させているが、全て又は一部のプ
ローブ34の針先側部分をスロット44の位置からさら
にスロット44の幅方向へ突出させなくてもよい。
発明は、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更すること
ができる。
平面図であってケーブルを除去して示す平面図
平面図
立体のプローブとチップの電極部との関係を示す図
の配置例を示す図
Claims (5)
- 【請求項1】 互いに交差する2つの仮想的な境界線に
沿って伸びる複数のスロットをほぼ格子状に有する絶縁
板と、前記スロットを貫通した状態に前記絶縁板にほぼ
格子状に配置されされた複数のプローブであって前記絶
縁板に接着された複数のプローブとを含み、 各スロットを貫通するプローブは、針先が前記境界線に
対して一方側に位置する複数のプローブを含む第1のプ
ローブ群と、針先が前記境界線に対して他方側に位置す
る複数のプローブを含む第2のプローブ群とに分けられ
ており、 前記境界線の交差部の周りの4対の第1及び第2のプロ
ーブ群は、少なくとも前記交差部の近傍に位置する複数
のプローブの針先側部分を前記絶縁板への接着位置に対
し前記交差部の周りの方向における同じ方向に延在させ
ている、プローブカード。 - 【請求項2】 前記交差部の周りの4対の第1及び第2
のプローブ群は、全てのプローブの針先側部分を前記絶
縁板への接着位置に対し前記交差部の周りの方向におけ
る同じ方向に延在させている、請求項1に記載のプロー
ブカード。 - 【請求項3】 さらに、各スロットを貫通するプローブ
が接着されたベースを含み、該ベースは前記スロットに
配置されて前記スロットに接着されている、請求項1又
は2に記載のプローブカード。 - 【請求項4】 さらに、前記プローブ群に対応されて対
応するプローブ群のプローブに接続された複数のケーブ
ルを含む、請求項1,2又は3に記載のプローブカー
ド。 - 【請求項5】 さらに、前記絶縁板が装着された配線基
板を含み、前記配線基板は、前記スロットの周りに形成
されて前記フラットケーブルが接続される複数のコネク
タと、該コネクタの周りに形成されて前記コネクタに個
々に接続された複数のテスターランドとを備える、請求
項5に記載のプローブカード。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10041199A JP4060984B2 (ja) | 1999-04-07 | 1999-04-07 | プローブカード |
US09/361,719 US6271674B1 (en) | 1999-04-07 | 1999-07-27 | Probe card |
TW088112662A TW434407B (en) | 1999-04-07 | 1999-07-27 | Probe card |
KR1019990031492A KR100329293B1 (ko) | 1999-04-07 | 1999-07-31 | 프로브 카드 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10041199A JP4060984B2 (ja) | 1999-04-07 | 1999-04-07 | プローブカード |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000292441A true JP2000292441A (ja) | 2000-10-20 |
JP2000292441A5 JP2000292441A5 (ja) | 2005-08-11 |
JP4060984B2 JP4060984B2 (ja) | 2008-03-12 |
Family
ID=14273250
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10041199A Expired - Lifetime JP4060984B2 (ja) | 1999-04-07 | 1999-04-07 | プローブカード |
Country Status (1)
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-
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- 1999-04-07 JP JP10041199A patent/JP4060984B2/ja not_active Expired - Lifetime
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