JP2000046871A - プロ―ブ及びこれを用いたプロ―ブカ―ド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 隣り合う被検査部を同時に検査するよう
に用いることができるプローブ及びプローブカードを提
供すること 【解決手段】 プローブは、針先部と、該針先部の後端
に続く変形された針中央部と、該針中央部の後端に続く
針後部とを含む。針先部及び針後部は、針中央部から同
じ側に向けて湾曲されている。プローブは、針先部及び
針後部が針中央部に対し隣の被検査部用のプローブの側
となるようにプローブカードに組み付けられる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエーハの
ＩＣチップ部のように、平板状被検査体に形成された複
数の被検査部の試験に用いるプローブ及びこれを用いた
プローブカードに関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウエーハに形成された多数のＩＣ
チップ部の通電試験（通電検査）は、隣り合うＩＣチッ
プ部の電極部の間隔が０．５ｍｍ以下ときわめて狭く、
複数のプローブをそのような狭い間隔で配置することが
できないことから、１つのＩＣチップ部ずつ検査するこ
とにより行われているか、１以上おきのＩＣチップ部を
同時に検査することにより行われている。

【０００３】

【解決しようとする課題】しかし、多数のＩＣチップ部
を１つずつ検査するのでは、１つの半導体ウエーハ上に
形成された全てのＩＣチップ部の検査に長時間を要す
る。また、連続しない複数のＩＣチップ部を同時に検査
するのでは、検査手順のためのプログラム、検査結果の
メモリへの記憶のためのプログラム等、検査のためのプ
ログラムが複雑になり、その結果半導体ウエーハ上のＩ
Ｃチップ部の配置パターン、各ＩＣチップ部上の回路素
子の配置パターンを変更するたびに、複雑な検査用プロ
グラムを作成しなければならない。

【０００４】本発明の目的は、隣り合う被検査部を同時
に検査するように用いることができるプローブ及びプロ
ーブカードを提供することにある。

【０００５】

【解決手段、作用及び効果】本発明のプローブは、針先
部と、該針先部の後端に続く変形された針中央部と、該
針中央部の後端に続く針後部とを含み、前記針先部及び
前記針後部は、前記針中央部から同じ側に向けて湾曲さ
れている。

【０００６】各プローブは、針先部及び針後部が針中央
部に対し隣の被検査部用のプローブの側となるようにプ
ローブカードに組み付けられる。それゆえに、本発明の
プローブによれば、隣り合う被検査部用のプローブの針
先部及び針後部を著しく接近させることができ、その結
果、隣り合う被検査部の同時検査用のプローブカードに
組み立てることができる。

【０００７】前記針先部及び前記針後部は、前記針中央
部から同じ側に弧状に湾曲された弧状部と、該弧状部か
ら伸びる延長部とを有する。各延長部は、ほぼ直線状に
伸びる直線部とすることができる。針先部の延長部はそ
の軸線が配線基板に直角の線に対して角度を有する方向
へ伸びる直線部とすることができる、また、針後部の延
長部は配線基板に直角の方向へ伸びる直線部とすること
ができる。

【０００８】前記針先部の先端をプローブにオーバード
ライブが作用したとき、針先が被検査体の電極部に対し
滑りを生じないＰラインに対し一方に変位させ位置にす
ることができる。これにより、針先がプローブに作用す
るオーバードライブにより被検査体の電極部に対し滑り
を確実に生じる。

【０００９】前記針先部の延長部はその軸線が前記針中
央部の中心線に対し角度を有する延長部とすることがで
きる。これにより、プローブにオーバードライブが作用
したとき針先が被検査体の電極部に対しより確実に滑
り、また、前記角度を所定の値とすることにより被検査
体の電極部に対する針先の滑り量を所定の値とすること
ができる。

【００１０】前記針中央部を、弧状、コ字状及びく字状
から選択される形状、又は、弧状、コ字状、く字状及び
Ｌ字状から選択される少なくとも２つの組合せから形成
される形状に変形させることができる。これにより、プ
ローブにオーバードライブが作用したとき、プローブは
針中央部と針後部との境界部分から針先側の部位におい
て確実に弾性変形し、被検査体の電極部に所定の圧力
（針圧）で押圧される。

【００１１】本発明のプローブカードは、一方の面に複
数の配線部を有する配線基板と、前記被検査部に個々に
対応された複数の針ガイド領域を備える板状の針ガイド
であって前記配線基板の一方の面の側に組み付けられた
板状の針ガイドと、請求項１から５のいずれか１項に記
載の複数のプローブであって各針ガイド領域に配置され
た複数のプローブと、前記配線基板と前記針ガイドとの
間に配置された複数の弾性体とを含む。各針ガイド領域
は、前記プローブの針中央部を受け入れるべく前記針ガ
イドを貫通する複数の第１の穴と、前記プローブの後端
を受け入れるべく前記配線基板の側に開放する複数の第
２の穴とを有する。各プローブは、前記弾性体により針
中央部と針後部との境界部近傍において前記配線部に押
圧されており、また針先部及び針後部を隣りの針ガイド
領域の側とされている。

【００１２】本発明のプローブカードによれば、各プロ
ーブの針先部及び針後部を針中央部に対し隣りの針ガイ
ド領域の側としたから、隣り合う被検査部用のプローブ
の針先部及び針後部を大きく接近させることができ、そ
の結果隣り合う被検査部の同時検査に用いることができ
る。

【００１３】各プローブは、その針先を前記針ガイドか
ら前記配線基板と反対の側に突出させていると共に、針
中央部と針後部との境界部近傍を前記配線基板の側に突
出させていてもよい。これにより、各プローブの針先が
被検査体の電極部に確実に接触するとともに、針中央部
と針後部との境界部近傍が配線基板の配線部に確実に接
触する。

【００１４】前記配線基板は、前記プローブの針中央部
と針後部との境界部近傍を受け入れる凹所を各配線部に
有することができる。これにより、各プローブが凹所に
受け入れられた境界部近傍において配線基板に対し位置
決められるから、プローブカードの組立作業が容易にな
り、また配線部に対するプローブの変位が防止される。
各凹所は長穴とすることできる。

【００１５】プローブカードは、さらに、前記配線基板
の一方の面に配置されたシート状部材を含み、前記シー
ト状部材は前記プローブに個々に対応された複数の開口
を有し、各プローブはその針中央部と針後部との境界部
近傍を対応する開口に受け入れられて該境界部近傍を前
記配線部に接触させていてもよい。これによっても、各
プローブがシート状部材の開口に受け入れられた境界部
近傍において配線基板に対し位置決められるから、プロ
ーブカードの組立作業が容易になり、また配線部に対す
るプローブの変位が防止される。各開口も長穴とするこ
とができる。

【００１６】前記配線基板は、前記針ガイド領域ひいて
はＩＣチップ部に個々に対応された複数の配線領域を有
すると共に、１以上の配線領域毎の分離領域に分割され
ており、隣り合う分離領域は可撓性又は弾性変形可能の
１以上の連結部により連結されていてもよい。これによ
り、配線基板と針ガイド領域の位置決めを分離領域毎に
行うことができるし、各分離領域の熱的伸縮が連結部に
より吸収されて隣の分離領域に影響を与えない。

【００１７】好ましい実施例においては、連結部はＳ字
状にされた帯状の形状を有する。これにより、隣り合う
分離領域の変形及び変位が、隣の分離領域に影響を与え
ることなく、連結部に確実に吸収される。

【００１８】前記針ガイドは、隣り合う針ガイド領域の
第１の穴を他方の面の側において互いに連通させるべく
他方の面に開放する複数の溝を有することができる。ま
た、前記針ガイドを、複数のねじ部材、好ましくは針ガ
イド領域毎に設けられたねじ部材により前記配線基板に
組み付けることができる。

【００１９】プローブカードは、さらに、前記配線基板
を組み付ける組み付け基板を含み、該組み付け基板は、
前記配線基板の配線部に個々に対応されて対応する配線
部に電気的に接続された複数の他の配線部を一方の面に
有し、また他方の面を前記配線基板の他方の面の側とし
た状態に前記配線基板に配置されていてもよい。

【００２０】前記配線基板は前記被検査部に個々に対応
された複数の配線領域を備え、各配線領域は前記配線部
を有することができる。各配線領域は、前記針ガイドの
前記針ガイド領域に対応する。

【００２１】好ましい実施例においては、前記プローブ
は対応する被検査体の電極部の配列方向に間隔をおいて
おり、前記弾性体は前記配列方向へ伸びている。

【００２２】好ましい実施例においては、また、前記配
線基板は、さらに、当該配線基板の配線部に個々に対応
されて対応する配線部に電気的に接続された導電性の第
１のスルーホールを有し、前記組み付け基板は、当該組
み付け基板の配線部に個々に対応されて対応する配線部
に電気的に接続された導電性の第２のスルーホールを有
し、前記配線基板の配線部と前記組み付け基板の配線部
とは前記第１及び第２のスルーホール並びに前記第１及
び第２のスルーホールに差し込まれた導電性部材により
電気的に接続されている。

【００２３】プローブカードは、さらに、それぞれが前
記プローブの針先を受け入れて該針先の移動を規制する
複数のガイド穴を有する板状部材であって前記針ガイド
の前記配線基板の側と反対の側に配置された板状部材を
含むことができる。このようにすれば、オーバードライ
ブ時に各プローブの針先は、ガイド穴により案内され
て、電極部に対し所定の方向へ滑り、その結果針先は電
極部に確実に及び電気的に接続される。

【００２４】

【発明の実施の形態】図１から図３を参照するに、プロ
ーブカード１０は、電気絶縁材料で形成された円板状の
取付基板すなわち組み付け基板１２と、該組み付け基板
に組み付けられた電気絶縁材料製の長方形の配線基板１
４と、該配線基板に組み付けられる板状の針ガイド１６
と、電気絶縁材料製の棒状をした複数の弾性体１８と、
針ガイド１６及び弾性体１８により配線基板１４に組み
付けられた複数のプローブ２０とを含む。

【００２５】図４及び図５を参照するに、各プローブ２
０は、針先部２２と、該針先部の後端に続く針中央部２
４と、該針中央部の後端に続く針後部２６とを有する。
針中央部２４は、所定の極率半径を有する半円の形に湾
曲されている。

【００２６】針先部２２及び針後部２６は、それぞれ、
針中央部２４の側から同じ側に弧状に湾曲された弧状部
２２ａ及び２６ａと、該弧状部からほぼ同じ側に伸びる
延長部２２ｂ及び２６ｂとを有する。弧状部２２ａ，２
６ａの極率半径は、針中央部２４の極率半径より小さ
い。延長部２２ｂ，２６ｂは、針中央部２４からほぼ直
線状にほぼ同じ側に伸びる。

【００２７】検査される半導体ウエーハ２８は、図示し
てはいないが、多数のＩＣチップ部をマトリクス状に有
する。各ＩＣチップ部は、図示の例では長方形の形状を
有しており、また長方形の辺に対応する辺部分に複数の
電極部３０を有する。半導体ウエーハ２８は、プローブ
カード１０を用いて、長方形をした所定の領域内に存在
する複数のＩＣチップ部毎に検査される。

【００２８】組み付け基板１２は、セラミックのような
電気絶縁材料により形成された配線基板である。組み付
け基板１２は、検査用の適宜な電気回路系に接続される
複数のテスタランド３４（図１参照）を外周部に有して
おり、またそれぞれが一端部においてテスターランド３
４に電気的に接続された多数の配線部を一方の面に有す
る。

【００２９】組み付け基板１２の配線部は、配線パター
ンの一部であり、電気的に相互に絶縁されている。組み
付け基板１２の配線部は同時に検査可能のＩＣチップ部
毎の配線部群に分けられており、また各配線部の他端部
は検査すべきＩＣチップ部に対応する領域内に達してい
る。

【００３０】図３に示すように、組み付け基板１２は、
組み付け基板１２の配線部に個々に対応された導電性の
複数のスルーホール３６を有している。各スルーホール
３６は、対応する配線部に電気的に接続されている。こ
のようなスルーホール３６は、例えば、筒状の導電性部
材を対応する配線部を経て配線基板１２の厚さ方向に貫
通する穴に配置または形成することにより、製作するこ
とができる。

【００３１】図１及び図９に示すように、配線基板１４
は、同時に検査可能のＩＣチップ部毎の配線領域３８に
分けられている。配線領域３８は、同時に検査可能のＩ
Ｃチップ部の配列と同じ配列に形成されており、また検
査すべきＩＣチップ部に対応した長方形の形状を有す
る。

【００３２】図３から図６に示すように、各配線領域３
８は、電気的に相互に絶縁された複数の配線部４０と、
各配線部の一端部に電気的に接続された導電性のスルー
ホール４２と、配線領域３８を厚さ方向に貫通する１以
上のねじ穴４４と、該ねじ穴と同軸の円形の凹所４６
と、プローブ２０の針中央部２４と針後部２６との境界
部近傍を受け入れるように各配線部４０に形成された凹
所４８とを有する。

【００３３】各配線部４０は、一方の面（すなわち、組
み付け基板１２の側と反対の側の面）に形成された配線
パターンの一部であり、また対応するスルーホール４２
から配線領域３８の長方形の辺に対応する辺部分にまで
伸びている。各スルーホール４２は、組み付け基板１２
のスルーホール３６に対応されており、対応するスルー
ホール３６と同じ位置に形成されている。各スルーホー
ル４２は、スルーホール３６と同様に製作することがで
きる。

【００３４】図３に示すように、組み付け基板１２のス
ルーホール３６と配線基板１４のスルーホール４２と
は、両スルーホール３６，４２に嵌合された導電性のピ
ン５０により電気的に接続されている。これにより、組
み付け基板１２と配線基板１４とは、他方の面同士を対
向させた状態に組み合わされている。

【００３５】図９に示すように、針ガイド１６は、配線
基板１４とほぼ同じ大きさを有する長方形の板の形を有
しており、またＩＣチップ部に個々に対応された複数の
針ガイド領域５４を備える。針ガイド１６の針ガイド領
域５４、組み付け基板１２の配線部群及び配線基板１４
の配線領域３８は、互いに対応されている。

【００３６】図３から図１０に示すように、各針ガイド
領域５４には、プローブ２０の少なくとも針中央部２４
を受け入れる複数の貫通穴５６と、プローブ２０の後端
を受け入れるべく一方の面（すなわち、配線基板１４の
側の面）に開放する複数の穴５８と、配線基板１４に形
成された凹所４６に嵌合されたボス部６０とが形成され
ている。

【００３７】隣り合う針ガイド領域５４の貫通穴５６
は、長穴であり、また針ガイド１６の他方の面（すなわ
ち、配線基板１４の側と反対の側の面）に開口する溝６
２により連通されている。穴５８は、針ガイド１６の厚
さ方向へ伸びている。凹所４８、貫通穴５６及び溝６２
の最大幅寸法並びに穴５８の直径寸法は、プローブ２０
の直径寸法とほぼ同じ値、好ましくはそれよりやや大き
い値とすることができる。

【００３８】針ガイド１６は、配線領域３８のねじ穴４
４に螺合された複数のねじ部材６４により配線基板１４
に組み付けられている。各ねじ部材６４は、ボス部６０
を厚さ方向に貫通する穴を経てのねじ穴４４に螺合され
ている。図示の例では、配線基板１４と針ガイド１６と
を針ガイド領域５４毎に設けられたねじ部材６４により
結合させているが、そのようにしなくてもよい。

【００３９】図４，図５及び図１０に示すように、弾性
体１８は、配線基板１４と針ガイド１６との間にあって
検査すべきＩＣチップ部の電極部３０が配置された辺に
対応する辺部分にその辺部分と平行に配置されており、
また針中央部２４と針後部２６との境界部近傍を凹所４
８に押圧している。

【００４０】図４及び５に示すように、各プローブ２０
は、弾性体１８を針ガイド１６に配置した状態におい
て、針先部２２の側から貫通穴５６に通し、針後部２６
の延長部２６ｂを穴５８に差し込むことにより、針ガイ
ド１６に組み付けられる。これにより、各プローブ２０
の、針中央部２４と針後部２６との境界部付近は一方の
側（すなわち、配線基板の側）に突出され、針先部２２
は他方の側に突出され、針先部２２及び針後部２６は針
中央部２４に対し隣りの針ガイド領域の側とされる。

【００４１】上記のように、各プローブ２０の後端を穴
５８に差し込み、針中央部２４を貫通穴５６に差し込
み、針中央部２４と針後部２６との境界部近傍を配線基
板１４の凹所４８に受け入れさせるならば、プローブ２
０が配線基板１４及び針ガイド１６に対し位置決められ
るから、プローブカード１０の組立作業が容易になる。
また、針ガイド１６及び配線部４０に対するプローブ２
０の変位が防止されるから、熟練を要することなく各プ
ローブ２０を針ガイド１６に容易に組み付けることがで
きる。

【００４２】針ガイド１６は、プローブ２０を前記のよ
うに配置した後、弾性体１８を配線基板１４に押圧し、
プローブ２０の針中央部２４と針後部２６との境界部付
近を凹所４８に押圧した状態に、配線基板１４に組み付
けられる。

【００４３】組み付け基板１２と配線基板１４とは、針
ガイド１６を配線基板に組み付ける前にピン５０により
結合させてもよいし、針ガイド１６を配線基板に組み付
けた後にピン５０により結合させてもよい。

【００４４】組み付け基板１２，配線基板１４及び針ガ
イド１６は、いずれも、セラミック、ポリイミド樹脂、
他の合成樹脂等、適宜な材料を素材として用いることが
できる。

【００４５】検査時、各プローブ２０は、その針先をＩ
Ｃチップ部の電極部３０に押圧される。しかし、各プロ
ーブ２０の針先を針ガイド１６から配線基板１４と反対
の側に突出させていると共に、針中央部２４と針後部２
６との境界部付近を配線基板１４の側に突出させている
から、各プローブ２０の針先がＩＣチップ部の電極部３
０に確実に接触するとともに、針中央部と針後部との境
界部近傍が配線基板１４の配線部に確実に接触する。

【００４６】検査時、各プローブ２０は、その針先をＩ
Ｃチップ部の電極部に押圧されて、オーバードライブを
かけられる。その結果、各プローブ２０は、針先が電極
部３０に対し滑るように弾性変形して、電極部３０に擦
り作用を与える。

【００４７】しかし、各プローブ２０は、その後端を穴
５８に差し込まれていると共に、針中央部２４を貫通穴
５６に受け入れられており、針中央部２４と針後部２６
との境界部近傍を配線基板１４の凹所４８に受け入れら
れているから、プローブ２０が配線基板１４及び針ガイ
ド１４に対してずれるおそれがない。

【００４８】上記のように、各プローブ２０の針先部２
２及び針後部２６を針中央部２４に対し隣りの針ガイド
領域５４の側とするならば、図３，図４及び図５に示す
ように、隣り合うＩＣチップ部用（針ガイド領域５４）
のプローブ２０の針先部２２及び針後部２６を大きく接
近させることができるから、隣り合うＩＣチップ部を同
時に検査することができる。

【００４９】その結果、プローブカード１０は、半導体
ウエーハ２８に形成された多数のＩＣチップ部のうち、
縦横に隣り合う複数のＩＣチップ部を同時に検査するこ
とができ、検査用プログラムが簡略化する。

【００５０】配線基板１４の配線部４０に凹所４８を形
成する代わりに、図１１に示すように、それぞれがプロ
ーブ２０の針中央部２４と針後部２６との境界部近傍を
受け入れる複数の開口７２を有する電気絶縁性のシート
状部材７０を配線基板１４の一方の面（配線部４０の側
の面）に配置してもよい。各開口７２は、プローブ２０
の直径寸法とほぼ同じ幅寸法、好ましくはそれよりやや
大きい幅寸法を有する長穴である。

【００５１】シート状部材７０を用いても、各プローブ
２０は、針中央部２４と針後部２６との境界部近傍が開
口７２に受け入れられるから、配線基板１４に対して位
置決められ、その結果プローブカードの組立作業が容易
になり、また配線部４８に対するプローブ２０の変位が
防止される。シート状部材７０は配線基板１４に、接着
してもよいし、複数のねじ部材により装着してもよい。

【００５２】オーバードライブ時に電極部３０に対する
各プローブ２０の針先の滑りを案内するために、図１１
に示すように、複数のガイド穴７６を有する電気絶縁性
の板状部材７４を針ガイド１６の他方の面に配置し、各
プローブ２０の針先をガイド穴７６に通してもよい。ガ
イド穴７６は、針先部２２の直径寸法とほぼ同じ幅寸
法、好ましくはそれよりやや大きい幅寸法を有する長穴
とすることができる。板状部材７４は、複数のねじ部材
により針ガイド１６に装着することができる。

【００５３】図１２及び図１３に示すように、配線基板
１４をそれぞれが１以上の配線領域３８を含む複数の分
離領域に分割し、隣り合う分離領域を可撓性又は弾性変
形可能の１以上の連結部７８により連結してもよい。各
分離領域は、１以上の整数の配線領域３８に対応するこ
とが好ましい。

【００５４】図示の例では、配線基板１４は配線領域３
８毎の分離領域に分離されており、各配線領域３８は図
９に示すような１以上のねじ部材６４により針ガイド１
６の針ガイド領域５４に結合されている。しかし、各分
離領域が複数の配線領域３８に対応する場合、各分離領
域は隣り合う複数の配線領域３８に対応される。

【００５５】上記のような配線基板１４は、スルーホー
ル４２，配線部４０及び凹所４８を電気絶縁性の基板に
形成した後に、連結部７８を残す状態に配線基板１４に
レーザ光線によるカッティング加工を施すことにより製
作することができる。。

【００５６】配線基板１４を上記のように複数の分離領
域に分割すれば、配線基板１４と針ガイド１６との位置
決めを分離領域毎に行うことができるし、各分離領域の
熱的伸縮のような変形及び変位が連結部により吸収され
て隣の分離領域に影響を与えない。また、連結部７８の
形状を図示のように帯状及びＳ字状の形状とするなら
ば、隣り合う分離領域の変形及び変位が隣の分離領域に
影響を与えることなく連結部７８に確実に吸収される。

【００５７】プローブ２０は、オーバードライブをかけ
られると、主として針中央部２４において弾性変形する
ことにより、針先が電極部に対し滑る。このため、プロ
ーブ２０には、オーバードライブが作用しても、電極部
に対する針先の滑りを生じないＰライン８０（図１４参
照）が存在する。このＰライン８０は、プローブ２０の
場合、図１４（Ａ）に示すように、針中央部２４の極率
中心を通りかつ配線基板１４に垂直の中心線８２に対し
右側に位置する。

【００５８】プローブ２０にオーバードライブが作用す
ると、プローブ２０の針先は、これがＰライン８０より
右側にあると図１４（Ａ）に示すように右方に滑り、Ｐ
ラインより左側にあると図１４（Ｂ）に示すように左方
に滑る。

【００５９】また、このときの針先の滑り量は、針先を
右方に滑らせるときは針先がより左方となるように、ま
た、針先を左方に滑らせるときは針先がより右方となる
ように、針先部２２の延長部２２ｂの曲げ角度θ（Ｐラ
イン８０に対する延長部２２ｂの軸線の角度）を数度変
更することにより、増大する。

【００６０】それゆえに、Ｐライン８０に対する針先の
位置と、延長部２２ｂの曲げ角度とを適宜な値に設定す
ることにより、オーバードライブ時の電極部に対する針
先の滑り方向及び滑り量を適宜な値にすることができ
る。

【００６１】上記の実施例では、プローブ２０の針中央
部２４が弧状に湾曲されているが、図１５及び図１６に
それぞれ示すプローブ８４及び８６のように、針中央部
８８及び９０は、コ字状、く字状等、他の適宜な形状に
曲げられていてもよいし、図１７及び図１８にそれぞれ
示すプローブ９２及び９４のように、針中央部９６及び
９８は、弧状、コ字状、く字状、Ｌ字状等から選択され
る少なくとも２つの組合せから形成される形状に曲げら
れていてもよい。

【００６２】図１５及び図１６にそれぞれ示すプローブ
８４及び８６の針先部２２及び針後部２６は、それぞ
れ、針中央部の側から同じ側に弧状に湾曲された弧状部
２２ａ及び２６ａと、該弧状部からほぼ同じ側に伸びる
延長部２２ｂ及び２６ｂとを有しており、また延長部２
２ｂ，２６ｂは針中央部からほぼ直線状にほぼ同じ側に
伸びている。針後部２６の延長部２６ｂは、配線基板１
４と直角の方向へ伸びている。

【００６３】図１７及び図１８にそれぞれ示すプローブ
９２及び９４の針後部２６は、いずれも、針中央部９６
及び９８の側から同じ側に湾曲された弧状部２６ａと、
該弧状部からほぼ同じ側に伸びる延長部２６ｂとを有し
ており、また延長部２６ｂは針中央部９６及び９８から
ほぼ直線状にほぼ同じ側に伸びている。針後部２６の延
長部２６ｂは、配線基板１４と直角の方向へ伸びてい
る。プローブ９２及び９４の針先部２２は、いずれも、
針中央部９６及び９８の側から針後部２６と同じ側に曲
げられている。

【００６４】図１７及び図１８に示す実施例では、他の
実施例における溝６２を針ガイド１６に設けていない
が、そのような溝６２を設けてもよい。

【００６５】いずれのプローブ８４，８６，９２，９４
にも、オーバードライブが作用したときに、針先が電極
部３０に対して滑らないＰラインが存在する。このた
め、いずれのプローブ８４，８６，９２，９４も、Ｐラ
インに対する針先の位置と、延長部２２ｂ又は針先部２
２の曲げ角度とを適宜な値に設定することにより、オー
バードライブ時の電極部に対する針先の滑り方向及び滑
り量を適宜な値にすることができる。

【００６６】また、プローブ８４，８６，９２，９４を
用いる場合も、図１１に示すように針先を案内する複数
のガイド穴７６を有する板状部材７４を設けてもよい。

【００６７】本発明は、上記実施例に限定されない。例
えば、本発明は、金属細線を用いたプローブのみなら
ず、帯状のプローブすなわちブレードタイプのプローブ
にも適用することができる。また、本発明は、半導体ウ
エーハのみならず、液晶表示パネル用透明基板のよう
に、多数の被検査部を有する他の平板状被検査体の試験
に用いるプローブ及びそれを用いたプローブカードにも
適用することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るプローブカードの第１の実施例を
示す平面図である。

【図２】図１に示すプローブカードを図１において２−
２線の方向から見た図である。

【図３】図１における３−３線に沿って得た断面図であ
る。

【図４】隣り合う針ガイド領域に配置されたプローブの
近傍を拡大して示す断面図である。

【図５】図４に対応する箇所の斜視図である。

【図６】配線領域の配線状態の一実施例を示す図であ
る。

【図７】針ガイドの一部を拡大して示す平面図である。

【図８】図７における８−８線に沿って得た断面図であ
る。

【図９】配線基板と針ガイドとを分解した分解斜視図で
ある。

【図１０】プローブの配置例を示す針ガイド領域の斜視
図である。

【図１１】プローブカードの第２の実施例を示す、図４
と同様の断面図である。

【図１２】プローブカードの第３の実施例を示す、図５
と同様の斜視図である。

【図１３】図１２に示すプローブカードで用いる配線基
板の一実施例の一部を示す平面図である。

【図１４】電極部に対する針先の滑り方向及び滑り量を
説明するための図であり、（Ａ）は針先をＰラインより
右方に位置させており、（Ｂ）は針先をＰラインより左
方に位置させている。

【図１５】他の形状を有するプローブ及びこれを用いた
プローブカードの第４の実施例を示す、図４と同様の断
面図である。

【図１６】他の形状を有するプローブ及びこれを用いた
プローブカードのだい５の実施例を示す、図４と同様の
断面図である。

【図１７】他の形状を有するプローブ及びこれを用いた
プローブカードの第６の実施例を示す、図４と同様の断
面図である。

【図１８】他の形状を有するプローブ及びこれを用いた
プローブカードの第７の実施例を示す、図４と同様の断
面図である。

【符号の説明】

１０ プローブカード １２ 組み付け基板 １４ 配線基板 １６ 針ガイド １８ 弾性体 ２０，８４，８６，９２，９４ プローブ ２２ 針先部 ２４，８８，９０，９６，９８ 針中央部 ２６ 針後部 ２８ 半導体ウエーハ ３０ ＩＣチップ部の電極部 ３６，４２ スルーホール ３８ 配線領域 ４０ 配線基板の配線部 ４８ 配線基板の凹所 ５０ 導電性のピン ５４ 針ガイド領域 ５６ 貫通穴（第１の穴） ５８ 穴（第２の穴） ６２ 溝 ６４ ねじ部材 ７０ シート状部材 ７２ 開口 ７４ 板状部材 ７６ 針先用のガイド穴（長穴） ７８ 連結部 ８０ Ｐライン

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 針先部と、該針先部の後端に続く変形さ
   れた針中央部と、該針中央部の後端に続く針後部とを含
   み、前記針先部及び前記針後部は、前記針中央部から同
   じ側に向けて湾曲されている、プローブ。
2. 【請求項２】 前記針先部及び前記針後部は、前記針中
   央部から同じ側に弧状に湾曲された弧状部と、該弧状部
   から伸びる延長部とを有する、請求項１に記載のプロー
   ブ。
3. 【請求項３】 前記針先部の先端は、プローブにオーバ
   ードライブが作用したとき、針先が被検査体の電極部に
   対し滑りを生じないＰラインに対し一方に変位されてい
   る、請求項１又は２に記載のプローブ。
4. 【請求項４】 前記針先部の延長部は前記針中央部の中
   心線に対し角度を有する、請求項１，２又は３に記載の
   プローブ。
5. 【請求項５】 前記針中央部は、弧状、コ字状及びく字
   状から選択される形状、又は、弧状、コ字状、く字状及
   びＬ字状から選択される少なくとも２つの組合せから形
   成される形状に変形されている、請求項１，２，３又は
   ４に記載のプローブ。
6. 【請求項６】 複数の被検査部を有する平板状被検査体
   の検査に用いるプローブカードにおいて、 一方の面に複数の配線部を有する配線基板と、前記被検
   査部に個々に対応された複数の針ガイド領域を備える板
   状の針ガイドであって前記配線基板の一方の面の側に組
   み付けられた板状の針ガイドと、請求項１から５のいず
   れか１項に記載の複数のプローブであって各針ガイド領
   域に配置された複数のプローブと、前記配線基板と前記
   針ガイドとの間に配置された複数の弾性体とを含み、 各針ガイド領域は、前記プローブの少なくとも針中央部
   を受け入れるべく前記針ガイドを貫通する複数の第１の
   穴と、前記プローブの後端を受け入れるべく前記配線基
   板の側に開放する複数の第２の穴とを有し、 各プローブは、前記弾性体により針中央部と針後部との
   境界部近傍において前記配線部に押圧されており、また
   針先部及び針後部を隣りの針ガイド領域の側とされてい
   る、プローブカード。
7. 【請求項７】 各プローブは、針先を前記針ガイドから
   前記配線基板と反対の側に突出させていると共に、針中
   央部と針後部との境界部近傍を前記配線基板の側に突出
   させている、請求項６に記載のプローブカード。
8. 【請求項８】 前記配線基板は、前記プローブの針中央
   部と針後部との境界部近傍を受け入れる凹所を各配線部
   に有する、請求項６又は７に記載のプローブカード。
9. 【請求項９】 さらに、前記配線基板の一方の面に配置
   されたシート状部材を含み、前記シート状部材は前記プ
   ローブに個々に対応された複数の開口を有し、各プロー
   ブはその針中央部と針後部との境界部近傍を対応する開
   口に受け入れられて該境界部近傍を前記配線部に接触さ
   せている、請求項４又は５に記載のプローブカード。
10. 【請求項１０】 前記配線基板は、前記針ガイド領域に
    個々に対応された複数の配線領域を有すると共に、１以
    上の配線領域毎の分離領域に分割されており、隣り合う
    分離領域は可撓性又は弾性変形可能の１以上の連結部に
    より連結されている、請求項６から９のいずれか１項に
    記載のプローブカード。
11. 【請求項１１】 前記連結部はＳ字状をした帯状の形状
    を有する、請求項１０に記載のプローブカード。
12. 【請求項１２】 さらに、前記配線基板を組み付ける組
    み付け基板を含み、該組み付け基板は、前記配線基板の
    配線部に個々に対応されて対応する配線部に電気的に接
    続された複数の第２の配線部を一方の面に有し、また他
    方の面を前記配線基板の他方の面の側とした状態に前記
    配線基板に配置されている、請求項６から１１のいずれ
    か１項に記載のプローブカード。
13. 【請求項１３】 さらに、それぞれが前記プローブの針
    先を受け入れて該針先の移動を案内する複数のガイド穴
    を有する板状部材であって前記針ガイドの前記配線基板
    の側と反対の側に配置された板状部材を含む、請求項６
    から１２のいずれか１項に記載のプローブカード。