JP2001074779A - プローブ、プローブユニット及びプローブカード - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 プローブを高密度に配置し得るにもかか
わらず、ばねを必要とすることなく所定の針圧を得るこ
とができること 【解決手段】 プローブは、針先部と、該針先部に続く
針中間部と、該針中間部に続く針後部とを含む。針先
部、針中間部及び針後部は、それぞれ、板状領域を有す
る。針先部及び針後部の板状領域の幅方向は、針先端側
又は針後端側から見て針中間部の板状領域の幅方向に対
し角度を有する。プローブは、針先部及び針後部におい
て板状部材にほぼ垂直に組み付けられた縦型のプローブ
ユニット又はプローブカードに組み立てられる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエーハ上
の集積回路のような平板状被検査体の通電試験に用い
る、プローブ、プローブユニット及びプローブカードに
関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウエーハには、一般に、複数の半
導体デバイスすなわちＩＣチップ（本発明においては、
単に「チップ」という。）がマトリクス状に形成され
る。各チップは、矩形の形状を有しており、また四角形
の各辺に対応する複数の縁部のそれぞれに複数の電極パ
ッドすなわち電極を有する。マトリクスの各行及び各列
を形成するチップは、一列に整列されている。

【０００３】この種のチップは、回路が仕様書通りに動
作するか否かの通電試験をされる。そのような通電試験
は、ウエーハから切り離す前の状態において行われるこ
とが多く、また針先を電極に押圧される複数のプローブ
を備えたプローブカードを用いて行われる。

【０００４】この種のプローブカードとして、Ｌ字状又
はクランク状に曲げられた複数のプローブを基板に配置
したプローブカード、及び、棒状をした複数のプローブ
を基板に垂直に配置した縦型（垂直）のプローブカード
がある。

【０００５】

【解決しようとする課題】しかし、Ｌ字状又はクランク
状のプローブはそれらを狭ピッチに配置することに限度
があるから、そのようなプローブを用いたプローブカー
ドでは、十字状に交差する仮想的境界線を介して隣り合
う４つのチップ（すなわち、境界線の交差部の周りに位
置する４つのチップ）を同時に検査することができな
い。

【０００６】また、従来の縦型のプローブカードでは、
棒状のプローブの針先をチップの電極に押圧したとき
に、所定の針圧（プローブの針先とチップの電極とに作
用する押圧力）を得るためのばね部材がプローブ毎に必
要であるため、構造が複雑になり、高価になる。

【０００７】それゆえに、平板状被検査体の通電試験用
の、プローブ、プローブユニット及びプローブカードに
おいては、プローブを狭ピッチに配置し得るにもかかわ
らず、ばねを必要とすることなく所定の針圧を得ること
ができることが重要である。

【０００８】

【解決手段、作用、効果】本発明に係るプローブは、針
先部と、該針先部に続く針中間部と、該針中間部に続く
針後部とを含む。針先部、針中間部及び針後部は、それ
ぞれ、板状領域を有する。針先部及び針後部の板状領域
の幅方向は、針先端側又は針後端側から見て針中間部の
板状領域の幅方向に対し角度を有する。

【０００９】上記のように針先部及び針後部の板状領域
と針中間部の板状領域との幅方向が針先端側又は針後端
側から見て角度を有するプローブは、針先部及び針後部
において板状部材にほぼ垂直に組み付けられて、縦型の
プローブユニット又は縦型のプローブカードに組み立て
られる。

【００１０】縦型のプローブユニット又はプローブカー
ドに組み立てる際、本発明に係るプローブは、隣のプロ
ーブに対する位置決め及び隣り合うプローブ相互の姿勢
を針先部及び針後部において行うことができるから、隣
り合うプローブの位置調整及び姿勢調整が容易になり、
プローブを狭ピッチに配置することができる。

【００１１】縦型のプローブユニット又はプローブカー
ドに組み立てられた状態において、本発明に係るプロー
ブは、オーバードライブにより針中間部の板状領域にお
いて弾性変形するから、ばね部材を用いることなく所定
の針圧を得ることができる。

【００１２】上記の結果本発明によれば、プローブを狭
ピッチに配置し得るにもかかわらず、ばねを必要とする
ことなく所定の針圧を得ることができる。

【００１３】針中間部の板状領域の厚さ方向における中
心は、針先部又は針後部の板状領域の幅方向における一
方側に偏位されていることができる。このようにすれ
ば、オーバドライブによる針中間部の板状領域の変形方
向が一定の方向になるから、プローブをより狭ピッチに
配置することができる。また、針中間部の板状領域の弾
性変形に起因して、針先が被検査体の電極に対し滑るか
ら、針先が被検査体の電極に擦り作用を与える。そのよ
うな擦り作用により電極表面の酸化膜のような電気絶縁
性の膜が擦り取られ、その結果針先と被検査体の電極と
が電気的に確実に接触する。

【００１４】針先部は、該針先部の軸線に直角な面に対
し角度を有する先端面であって針先部又は針後部の板状
領域に対する針中間部の板状領域の偏位方向側の部位ほ
ど前記直角な面から離れる先端面を有することができ
る。このようにすれば、被検査体の電極に対する針先の
擦り作用がより確実に行われるから、針先と被検査体の
電極とが電気的により確実に接触する。

【００１５】本発明に係るプローブユニットは、上記の
ような構造をした複数のプローブと、プローブの針後部
の板状領域が受け入れられた複数の第１のスリットを少
なくとも一列に有する板状又はシート状の第１のベース
と、プローブの針先部の板状領域が受け入れられた複数
の第２のスリットを少なくとも一列に有する板状又はシ
ート状の第２のベースと、前記第１及び第２のベースが
組み付けられた組み付け手段とを含む。

【００１６】同じ列のプローブは、針中間部の板状領域
の幅方向を、同じ方向、好ましくは前記列の方向とする
ことができる。このようにすれば、オーバードライブが
作用したときに、隣り合うプローブが同じ方向に弾性変
形するから、プローブをより狭ピッチに配置することが
できる。

【００１７】好ましい実施例において、前記組み付け手
段は、前記第１のベースが一方の面に配置された第３の
ベースであって前記プローブの後端部が受入られた複数
の第１の穴を少なくとも一列に有する第３のベースと、
前記第２のベースが一方の面に配置された第４のベース
であって前記プローブの針先部が貫通された複数の第２
の穴を少なくとも一列に有する第４のベースと、前記第
３及び第４のベースが組み付けられたフレームとを備え
る。

【００１８】前記第１のベースは前記第３のベースの前
記第２のベース側の面に配置されており、各プローブは
前記第３のベースの前記一方の面に当接する肩部を有す
ることができる。このようにすれば、プローブの針先が
被検査体の電極に押圧されたとき、肩部が第３のベース
に当接して、第３のベースがストッパの作用をすること
になる。

【００１９】好ましい実施例において、前記第１及び第
２のベースは、それぞれ、仮想的な矩形の各辺に前記第
１及び第２のスリットを有しており、前記第３及び第４
のベースは、それぞれ、矩形の各辺に前記第１及び第２
の穴を有しており、前記第３のベースはさらに前記第１
の穴から前記矩形の中央側へ伸びる複数の配線であって
前記プローブに電気的に接続された配線をしている。

【００２０】本発明に係るプローブカードは、上記のよ
うな構造をしたプローブユニットと、該プローブユニッ
トが中央部の一方の面に組み付けられた基板とを含む。

【００２１】本発明に係るプローブユニット及びプロー
ブカードによれば、プローブが針先部及び針後部の板状
領域と針中間部の板状領域との幅方向が針先端側又は針
後端側から見て角度を有するから、プローブを高密度に
配置し得るにもかかわらず、ばねを必要とすることなく
所定の針圧を得ることができる。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係るプローブ及び
これを用いたプローブユニットを備えた本発明に係るプ
ローブカードの実施例について説明する。

【００２３】図１から図１０を参照するに、プローブカ
ード１０は、半導体ウエーハ上にマトリクス状に形成さ
れた複数の半導体デバイス、すなわちチップの通電試験
に用いられる。以下の説明では、全てのチップが、矩形
の形状を有すると共に、矩形の各辺に複数の電極を一列
に配置した電極群を有するものとする。

【００２４】プローブカード１０は、檻状に組み立てら
れたプローブユニット１２と、プローブユニット１２が
組み付けられた円板状の基板１４とを含む、縦型すなわ
ち垂直のプローブカードに組み立てられている。プロー
ブユニット１２は、半導体ウエーハ上の各チップに対応
された矩形の複数のプローブ領域１６をマトリクス状に
有し、複数のプローブ１８を縦すなわち垂直に配置した
縦型すなわち垂直のプローブユニットに組み立てられて
いる。

【００２５】プローブ領域１６は、半導体ウエーハ上の
チップの境界線に対応する仮想的境界線により区画され
ている。各プローブ領域１６は、対応するチップと相似
の矩形の形状を有しており、またチップの電極群に対応
したプローブ群を矩形の各辺に有する。図示の例では、
矩形の辺に個々に対応する４つのプローブ群が設けられ
ている。各プローブ群は、チップの電極群の電極に個々
に対応されて一列に配置された複数のプローブ１８を含
む。

【００２６】各プローブ１８は、図５，図６及び図７に
示すように、先端側をテーパ状に形成された針先部２０
と、針先部２０の後端に続く針中間部２２と、針中間部
２２の後端に続く針後部２４とを含む。針先部２０、針
中間部２２及び針後部２４は、それぞれ、板状領域を有
する。各板状領域は、適宜な厚さ寸法と、その厚さ寸法
より大きい幅寸法と、その幅寸法より大きい長さ寸法と
を有する。

【００２７】針先部２０及び針後部２４の板状領域の幅
方向は、針先端側及び針後端側から見て、針中間部２２
の板状領域の幅方向に対しほぼ９０度の角度を有する。
このため、針先部２０及び針後部２４の板状領域と針中
間部２２の板状領域とは、針先端側及び針後端側から見
て、十字状に交叉している。

【００２８】針中間部２２の板状領域の厚さ方向におけ
る中心位置は、針先部２０及び針後部２４の板状領域の
幅方向における一方側に偏位されている。針先部２０
は、針先部２０の軸線に直角な面２６に対し角度を有す
る先端面２８を有する。

【００２９】先端面２８は、針先部２０及び針後部２４
の板状領域に対する針中間部２２の板状領域の偏位方向
側の部位ほど面２６から離れる傾斜面である。面２６
は、プローブ１８がプローブユニット１２又はプローブ
カード１０に組み立てられた状態において、チップの電
極面と平行になる面である。

【００３０】各プローブ１８は、図５，図８，図９及び
図１０に示すように、針後部２４の板状領域を板状又は
シート状をした第１のガイドすなわち第１のベース３０
の第１のスリット３２に受け入れられていると共に、針
先部２０の板状領域を板状又はシート状をした第２のガ
イドすなわち第２のベース３４の第２のスリット３６に
受け入れられている。

【００３１】各プローブ１８は、また、針後部２４の板
状領域を第３のベース３８の第１の穴４０に受け入れら
れていると共に、針先部２０の板状領域を第４のベース
４２の第２の穴４４に受け入れられている。

【００３２】第１のベース３０は第３のベース３８の下
面に配置されており、第２のベース３４は第４のベース
４２の上面に配置されている。第３及び第４のベース３
８及び４２は、第１及び第２のベース３０及び３４がプ
ローブの長手方向に間隔をおいた状態に、複数のフレー
ム４６により相互に結合されている。

【００３３】第１及び第２のベース３０及び３４並びに
第３及び第４のベース３８及び４２は、プローブ領域１
６に個々に対応する仮想的な複数の矩形領域をマトリク
ス状に有する。

【００３４】第１及び第２のベース３０及び３４は、そ
れぞれ、複数の第１のスリット３２及び複数の第２のス
リット３６を矩形領域の各辺に対応する箇所に一列に有
する。第３及び第４のベース３８及び４２は、それぞ
れ、複数の第１の穴４０及び複数の第２の穴４４を矩形
領域の各辺に対応する箇所に一列に有する。

【００３５】第１及び第２のスリット３０及び３４は、
互いに対向されていると共に、第１及び第２の穴４０及
び４４に対向されている。

【００３６】第１及び第２のスリット３２及び３６は、
矩形領域の対応する縁部の長手方向に間隔をおいて対応
する縁部と直角の方向へ伸びる切り込み又はスロットで
あり、また対応する板状領域の厚さ寸法及び幅寸法より
大きい幅寸法及び長さ寸法を有する。

【００３７】これに対し、第１及び第２の穴４０及び４
４は、矩形領域の対応する縁部の長手方向に間隔をおい
た円形の貫通穴であり、また対応する板状領域の厚さ寸
法及び幅寸法より大きい直径寸法を有する。

【００３８】矩形領域の各縁部に配置されたプローブ１
８は、針中間部２２の板状領域の厚さ方向が対応する矩
形領域の縁部と直角の方向となりかつ針中間部２２の板
状領域が偏位する側を対応するプローブ領域の中央側と
なる状態に、整列されている。各プローブ１８は、その
先端部を第４のガイド４２の下方に突出させている。

【００３９】第３のベース３８は、さらに、第１の穴４
０に個々に対応された複数の配線４８を有する。各配線
４８は、対応する第１の穴４０から矩形領域の中央側へ
伸びており、また対応する第１の穴４０に対向された穴
を接続ランド部に有する。

【００４０】各プローブ１８は、対応する第１の穴４０
及び接続ランドに配置された半田のような導電性の接着
剤５０により針後部２４において、対応する配線４８に
電気的に接続されていると共に、第１のベース３０及び
第３のベース３８に接着されている。

【００４１】基板１４は、プローブユニット１２の平面
形状に対応する矩形の開口５２を中央に有し、複数のテ
スターランド５４を外周部上面に有し、テスターランド
５４に個々に接続された図示しない複数の配線（配線パ
ターン）をテスターランド５４の内側の領域に有する配
線基板である。

【００４２】開口５２は、基板１４を厚さ方向に貫通し
ている。プローブユニット１２は、開口５２と整合した
状態に第３の基板３８において複数の取付具５６により
基板１４の下側に組み付けられている。

【００４３】各テスターランド５４は、基板１４の配線
と、プローブ群毎又はプローブ領域毎に設けられたフラ
ットケーブル５８の配線と、第３のベース３８の配線４
８と、接着剤５０とを介してプローブ１８に電気的に接
続されている。

【００４４】各プローブ１８は、例えば、導電性の金属
細線を用いて、プレス加工又はエッチング加工により製
作することができる。第１及び第２のベース３０及び３
４は、例えば、ポリイミド樹脂のような電気絶縁性及び
弾性を有する板状部材又はシート状部材にスリットを形
成することにより、製作することができる。第３のベー
ス３８及び基板１４は、板状の電気絶縁材料を用いて公
知の印刷配線技術により製作することができる。第４の
ベース４２は、セラミック板のような板状電気絶縁材料
に加工を施すことにより製作することができる。

【００４５】第１及び第２のガイド３０及び３４がある
程度の剛性を有する場合、第３又は第４のガイド３８又
は４２を省略してもよい。第３のガイド３８を省略した
場合、配線４８を第１の基板３０に設け、各プローブ１
８をその針後部２４において第１の基板３０に接着する
ことができる。

【００４６】半導体ウエーハ上のチップの検査時、各プ
ローブ１８の先端がチップの電極に押圧される。プロー
ブ１８がチップの電極に押圧されると、図６（Ｃ）、図
９（Ａ）及び図１０に示すように、各プローブ１８はオ
ーバードライブにより針中間部２２の板状領域において
わずかに湾曲する。これにより、プローブ１８はチップ
の電極により確実に接触する。

【００４７】プローブ１８は、針中間部２２の板状領域
の厚さ方向及び偏位方向を対応するプローブ領域１６の
内側としているから、図１０に示すように対応するプロ
ーブ領域１６の内側に向けて湾曲する。このため、針中
間部２２の板状領域の厚さ方向及び偏位方向を対応する
辺の長手方向とした場合に比べ、多くのプローブ１８を
高密度、狭ピッチに配置することができる。

【００４８】上記の結果、プローブ１８、プローブユニ
ット１２及びプローブカード１０によれば、プローブ１
８を狭ピッチ、高密度に配置し得るにもかかわらず、ば
ね部材を用いることなく所定の針圧を得ることができ
る。

【００４９】プローブ１８が湾曲すると、針中間部２２
の弾性変形に起因して、プローブ１８はチップの電極に
対して滑る。これにより、プローブ１８は、チップの電
極を擦り、その電極表面の酸化膜のような電気絶縁性の
膜を削り取る。このため、プローブ１８はチップの電極
に確実に接触する。

【００５０】第２のベース３４のスリット３６及び第４
のベースの穴４４は、図９（Ａ）に示すように、プロー
ブ１８が湾曲したとき、プローブ１８の先端がプローブ
ユニット１２に対し大きく変位することを防止するスト
ッパの作用をする。

【００５１】プローブ１８、プローブユニット１２及び
プローブカード１０においては、プローブ１８の先端面
２８が針中間部２２の板状領域の偏位方向側の部位ほど
面２６から離れる傾斜面であるから、チップの電極に対
する針先の擦り作用がより確実に行われ、針先とチップ
の電極とが電気的により確実に接触する。

【００５２】プローブ１８、プローブユニット１２及び
プローブカード１０は、プローブ領域１６の各配線４８
がプローブ１８から対応するプローブ領域１６の内側へ
伸びるから、隣り合うプローブ領域１６の配線４８が相
互に干渉するおそれがない。その結果、マトリクス状に
配置された複数のチップ、特に十字状に交差する仮想的
境界線を介して隣り合う４つのチップを同時に検査する
ことができる。

【００５３】図示の例では、比較的少ない数のプローブ
領域１６及びプローブ１８を示しているが、これは理解
を容易にするためであり、したがって実際には、一度に
検査すべきチップ数に応じた数のプローブ領域を有する
と共に、チップに設けられた電極の数に応じた数のプロ
ーブを備えている。

【００５４】図１１に示すように、プローブ１８の針中
間部２２と針後部２４との境界又は針後部２４に上向き
の肩部６０を形成し、その肩部６０を第３のベース３８
の下面に当接させてもよい。このようにすれば、プロー
ブにオーバードライブが作用したとき、肩部６０が第３
のベース３８に当接して、第３のベース３８がストッパ
として作用するから、プローブユニット１２に対するプ
ローブ１８の上昇を防止することができる。

【００５５】上記のプローブユニット１２は、矩形の複
数のプローブ領域１６をマトリクス上に有していると共
に、各プローブ領域１６の矩形の各辺に複数のプローブ
１８を垂直に配置しているから、プローブ領域に個々に
対応されかつマトリクス状に形成された矩形の複数のチ
ップ、特に仮想的境界線の交差部の周りの複数のチップ
を同時に検査することができる。

【００５６】プローブの形状は上記以外の他の適宜な形
状であってもよいし、プローブの配列は上記以外の他の
配列であってもよい。

【００５７】例えば、上記プローブユニット１２及びプ
ローブカード１０は、複数の電極を矩形の各辺に一列に
設けたチップの通電試験に用いられるため、複数のプロ
ーブを矩形の各辺に一列に設けている。しかし、矩形の
各辺に配置する複数の電極は、チップの電極の配列に応
じて、ジグザグ状のように、複数列に設けてもよい。

【００５８】また、各プローブの針中間部を予めわずか
に湾曲させておいてもよい。特に、第１及び第２のベー
ス３０及び３４の間隔を小さくして、各プローブをその
針中間部において予めわずかに弾性変形させた状態に維
持しておくならば、各プローブに予圧が与えられている
ことになり、その結果小さいオーバードライブ力で所定
の針圧を得ることができる。

【００５９】本発明は、液晶パネルのような他の平板状
被検査体の通電試験に用いる、プローブ、プローブユニ
ット及びプローブカードに適用することができる。ま
た、本発明は、少なくとも一列に有する平板状被検査体
の通電試験に用いる、プローブ、プローブユニット及び
プローブカードに適用することができる。

【００６０】本発明は、上記実施例に限定されない。本
発明は、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るプローブカードの一実施例を示す
底面図

【図２】図１の２−２線に沿って得た断面図

【図３】本発明に係るプローブユニットの一実施例を示
す正面図

【図４】第３のベースの一部の平面図

【図５】図３に示すプローブユニットの一部を拡大して
示す断面斜視図

【図６】本発明に係るプローブの一実施例を示す図であ
って、（Ａ）は左側面図、（Ｂ）は正面図、（Ｃ）はプ
ローブがオーバードライブにより湾曲した状態を示す図

【図７】（Ａ）は図６に示すプローブの平面図、（Ｂ）
は図６（Ａ）の７Ｂ−７Ｂ線に沿って得た断面図

【図８】プローブをベースに組み付けた状態を示す正面
図

【図９】プローブをベースに組み付けた状態を示す側面
図であって、（Ａ）はプローブにオーバドライブを作用
させた状態を示す図、（Ｂ）はプローブにオーバードラ
イブを作用させない状態を示す図

【図１０】プローブにオーバードライブを作用させた状
態を示すプローブユニットの一部を拡大して示す断面斜
視図

【図１１】プローブの変形例を示す図

【符号の説明】

１０ プローブカード １２ プローブユニット １４ 基板 １６ プローブ領域 １８ プローブ ２０ 針先部 ２２ 針中間部 ２４ 針後部 ２８ プローブの先端面 ３０，３４，３８，４２ ベース ３２，３６ スリット ４０，４４ 穴 ４６ フレーム ４８ 配線 ５０ 導電性の接着剤 ５２ 開口 ５４ テスターランド ５６ 取付具 ５８ ケーブル ６０ 肩部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 岩渕 哲哉 東京都武蔵野市吉祥寺本町２丁目６番８号 株式会社日本マイクロニクス内 Ｆターム(参考） 2G011 AA02 AA12 AB08 AC02 AC14 AD01 AE03 AF07 4M106 AA02 BA01 CA01 DD03 DD10 DD13 DD16

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 針先部と、該針先部に続く針中間部と、
   該針中間部に続く針後部とを含み、針先部、針中間部及
   び針後部はそれぞれ板状領域を有し、針先部及び針後部
   の板状領域の幅方向は針先端側又は針後端側から見て針
   中間部の板状領域の幅方向に対し角度を有する、プロー
   ブ。
2. 【請求項２】 針中間部の板状領域の厚さ方向における
   中心は針先部又は針後部の板状領域の幅方向における一
   方側に偏位されている、請求項１に記載のプローブ。
3. 【請求項３】 針先部は、該針先部の軸線に直角な面に
   対し角度を有する先端面であって針先部又は針後部の板
   状領域に対する針中間部の板状領域の偏位方向側の部位
   ほど前記直角な面から離れる先端面を有する、請求項２
   に記載のプローブ。
4. 【請求項４】 請求項１から３のいずれか１項に記載の
   複数のプローブと、プローブの針後部の板状領域が受け
   入れられた複数の第１のスリットを少なくとも一列に有
   する板状又はシート状の第１のベースと、プローブの針
   先部の板状領域が受け入れられた複数の第２のスリット
   を少なくとも一列に有する板状又はシート状の第２のベ
   ースと、前記第１及び第２のベースが組み付けられた組
   み付け手段とを含む、プローブユニット。
5. 【請求項５】 同じ列のプローブは針中間部の板状領域
   の幅方向を前記列の方向としている、請求項４に記載の
   プローブユニット。
6. 【請求項６】 前記組み付け手段は、前記第１のベース
   が一方の面に配置された板状の第３のベースであって前
   記プローブの針後部が受入られた複数の第１の穴を少な
   くとも一列に有する第３のベースと、前記第２のベース
   が一方の面に配置された板状の第４のベースであって前
   記プローブの針先部が貫通する複数の第２の穴を少なく
   とも一列に有する第４のベースと、前記第３及び第４の
   ベースが組み付けられたフレームとを備える、請求項４
   又は５に記載のプローブユニット。
7. 【請求項７】 前記第１のベースは前記第３のベースの
   前記第２のベース側の面に配置されており、各プローブ
   は前記第３のベースの前記一方の面に当接する肩部を有
   する、請求項６に記載のプローブユニット。
8. 【請求項８】 前記第１及び第２のベースは、それぞ
   れ、仮想的な矩形の各辺に前記第１及び第２のスリット
   を有し、前記第３及び第４のベースは、それぞれ、矩形
   の各辺に前記第１及び第２の穴を有し、前記第３のベー
   スはさらに前記第１の穴から前記矩形の中央側へ伸びる
   複数の配線であって前記プローブに電気的に接続された
   配線を有する、請求項６又は７に記載のプローブユニッ
   ト。
9. 【請求項９】 請求項４から８のいずれか１項に記載の
   プローブユニットと、該プローブユニットが中央部の一
   方の面に組み付けられた基板とを含む、プローブカー
   ド。