JP2019200143A - プローブ、検査治具、検査装置、及びプローブの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
基板の検査を実行することができる。
3,3U,3D 検査治具
4 検査部
6 試料台
8 検査処理部
31 支持部材
32 検査側支持体(第二プレート,第一プレート)
33 電極側支持体(第一プレート,第二プレート)
34 連結部材
37 接続プレート
51 第一直線
52 第二直線
53 対向方向
100 半導体ウェハ(検査対象物)
101 検査点
322 対向プレート
323 案内プレート
324 プローブ挿通孔(第二貫通孔,第一貫通孔)
331 支持プレート
332 スペーサプレート
333 プローブ支持孔(第一貫通孔,第二貫通孔)
C 中央部
D 直径
F1 対向面
F2 背面
FV 正面図
Fw 幅広面
G ガイド溝
H 孔本体
K1 第一金型
K2 第二金型
Kf プレス面
M 棒状線材
Pa 先端部(一端部,他端部)
Pb 基端部(他端部,一端部)
PC,PC1,PC2,PC3 胴体部
Pc1 第一接続領域(第一幅領域)
Pc2 第二接続領域(第二幅領域)
Pc3 平坦領域
Pp1,Pp2 頂部
Pr,Pr1,Pr2,Pr3 プローブ
R 曲率半径
Rs 傾斜角度
SV 側面図
Tmin 最小値
W,Wt 幅
Wmax 最大値
Claims (15)
- 直線状に延びる略棒状形状を有し、一端部と、前記一端部に連なる胴体部と、前記胴体部に連なる他端部とを含み、
前記胴体部は、
前記棒状の軸方向と直交する厚み方向の厚さが、前記一端部から離れるに従って徐々に薄くなる第一接続領域と、
前記厚さが、前記他端部から離れるに従って徐々に薄くなる第二接続領域とを含み、
前記胴体部における、前記厚み方向と直交する幅方向の寸法が、前記一端部及び前記他端部よりも大きいプローブ。 - 前記胴体部は、前記第一接続領域と前記第二接続領域との間に延設され、その厚さが略一定の平坦領域をさらに含む請求項1記載のプローブ。
- 前記平坦領域は、前記幅方向の寸法が略一定である請求項2記載のプローブ。
- 前記第一接続領域及び前記第二接続領域のうち少なくとも一方における前記厚さの変化は、曲線状である請求項1〜3のいずれか1項に記載のプローブ。
- 前記第一接続領域及び前記第二接続領域のうち少なくとも一方における前記厚さの変化は、円弧に沿った曲線状である請求項1〜3のいずれか1項に記載のプローブ。
- 前記胴体部の厚さは、当該胴体部の前記軸方向の中央部で最も薄い請求項1〜5のいずれか1項に記載のプローブ。
- 前記胴体部の前記厚み方向の厚さは、当該胴体部の前記軸方向の中央部からずれた位置で最も薄い請求項1〜5のいずれか1項に記載のプローブ。
- 前記胴体部は、
前記幅方向の寸法が、前記一端部から離れるに従って徐々に増大する第一幅領域と、
前記幅方向の寸法が、前記他端部から離れるに従って徐々に増大する第二幅領域とを含む請求項1〜7のいずれか1項に記載のプローブ。 - 請求項1〜8のいずれか1項に記載のプローブと、
前記プローブが挿通される第一貫通孔が形成された第一プレートと、
前記プローブが挿通される第二貫通孔が形成された第二プレートと、
前記第一プレートと前記第二プレートとを間隔を空けて支持する連結部材とを備え、
前記第一貫通孔内に前記胴体部の少なくとも一部が位置し、
前記第一貫通孔は、
前記胴体部の前記第一貫通孔内に位置する部分における最大の前記幅方向の寸法よりも内径が小さく、かつ前記一端部を挿通可能な孔本体と、
前記孔本体の内壁面における互いに対向する位置に、前記第一貫通孔の貫通方向に沿って延びるように形成された一対のガイド溝とを含み、
前記一対のガイド溝内に、前記胴体部の少なくとも一部が位置している検査治具。 - 前記一対のガイド溝は、前記胴体部における前記幅方向の寸法の最大の部分を挿通可能にされている請求項9記載の検査治具。
- 複数の前記プローブを備え、
前記第一プレートには、前記複数のプローブに対応する複数の第一貫通孔が形成され、
前記第二プレートには、前記複数の第一貫通孔に対応する複数の第二貫通孔が形成され、
前記複数の第一貫通孔に形成された各対の前記ガイド溝の対向方向は、略同一である請求項9又は10記載の検査治具。 - 前記複数の第一貫通孔は、互いに平行な複数の第一直線と、互いに平行な複数の第二直線とが格子状に交差するその各交点に配置され、
前記各対向方向は、前記第一及び第二直線に対して傾斜している請求項11記載の検査治具。 - 請求項1〜8のいずれか1項に記載のプローブを、検査対象物に接触させることによって、当該検査対象物を検査する検査装置。
- 請求項1〜8のいずれか1項に記載のプローブの製造方法であって、
前記胴体部における、前記厚み方向に互いに対向し、両側から凹んだ表面の形状に対応するように突出した形状を有する第一金型及び第二金型を用い、
前記第一金型と前記第二金型との間に棒状部材を挟んでプレス加工するプローブの製造方法。 - 前記プレス加工は、
前記第一金型と前記第二金型との間隔を、順次狭めながら複数回プレスを実行することによって、前記プローブを成形する請求項14に記載のプローブの製造方法。
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