JP2014038100A - 被検体の電気検査のための検査ヘッド - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、被検体(17)、特にウエハを電気検査するための、少なくとも一つのスペーサ(5)により互いに離隔して配置された少なくとも二つの案内板(2、3、4)を備えた検査ヘッド(1)に関し、この案内板は、その面全体に分散配置された案内穴(9、10、11)を有しており、この案内穴内では、被検体(17)の接触コンタクトのための検査コンタクトピン(12)が変位可能に案内されている。スペーサ(5)は、案内板(2、3、4)の面全体に分散配置されて案内板(2、3、4)に固定された多数の点突張支持部(6)により形成されている。
【選択図】図2
Description
2、3、4 案内板
5 スペーサ
6 点突張支持部
7 離隔部材
9、10、11 案内穴
12 検査コンタクトピン
17 被検体
20 支持支柱
21 第1の端部ゾーン
22 中央ゾーン
23 第2の端部ゾーン
24 長手方向
25、25' 径方向
26 断面弱化ゾーン
31 開口
32 支持アーム
33、34 端面
35 要素
36 ねじれ防止部
37 突出部
38、39 固定穴
48 窪み
49 対向要素
50、54 ネジ要素
51 固定要素
53、56 シャフト
60 離隔スリーブ
66 中心
68 長穴凹部
69 案内ピン
70 真ん中センタリング装置
Claims (21)
- 被検体、特にウエハを電気検査するための、少なくとも一つのスペーサにより互いに離隔して配置された少なくとも二つの案内板を備えた検査ヘッドであって、前記案内板が、その面全体に分散配置された案内穴を有しており、前記案内穴内では、前記被検体の接触コンタクトのための検査コンタクトピンが変位可能に案内されている検査ヘッドにおいて、前記スペーサ(5)が、前記案内板(2、3、4)の面全体に分散配置されて前記案内板(2、3、4)に固定された多数の点突張支持部(6)により形成されていることを特徴とする検査ヘッド。
- 一方の前記案内板(2)が第1の案内板(2)であり、もう一方の前記案内板(3)が第2の案内板(3)であり、前記第2の案内板(3)が被検体に近い案内板(3)であり、前記第1の案内板(2)が被検体から遠い案内板(2)であることを特徴とする請求項1に記載の検査ヘッド。
- 前記第1の案内板(2)の隣に配置されているさらなる第3の案内板(4)が設けられており、それぞれの検査コンタクトピン(12)に、前記第1の案内板(2)にある第1の案内穴(9)と、前記第2の案内板(3)にある第2の案内穴(10)と、前記第3の案内板(4)にある第3の案内穴(11)とが割り当てられており、前記第2及び第3の案内穴(10、11)が互いに一直線上に並んでおり、前記第1の案内穴(9)が前記第2及び第3の案内穴(10、11)の一直線上の並びに対してずれているか、又は三つのすべての案内穴(9、10、11)が互いに対してずれていることを特徴とする請求項1又は2に記載の検査ヘッド。
- 前記点突張支持部(6)が、支持支柱(20)として、特に耐圧縮性及び耐引張性の支持支柱(20)として形成されていることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の検査ヘッド。
- 前記点突張支持部(6)のそれぞれが一つの長手方向(24)と、前記長手方向を特に直角に横切って、360°の角度範囲全体に分布する多数の径方向(25)とを有していることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の検査ヘッド。
- それぞれの前記点突張支持部(6)の機械的強度が、径方向の少なくとも一つ(25')においてその他の径方向(25)より小さいことを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の検査ヘッド。
- 前記点突張支持部(6)のそれぞれが、比較的小さい機械的強度を達成するために少なくとも一つの断面弱化ゾーン(26)を有していることを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載の検査ヘッド。
- 前記点突張支持部(6)のそれぞれがその周囲の互いに向かい合っている側に、それぞれ一つの断面弱化ゾーン(26)を有していることを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載の検査ヘッド。
- 前記点突張支持部(6)のそれぞれが長手方向(24)において第1の端部ゾーン(21)と、それに続く中央ゾーン(22)と、それに続く第2の端部ゾーン(23)とを有しており、前記中央ゾーン(22)が少なくとも一つの前記断面弱化ゾーン(26)を有していることを特徴とする請求項1から8のいずれか一項に記載の検査ヘッド。
- 前記点突張支持部(6)のそれぞれが、前記断面弱化ゾーン(26)の領域内に少なくとも一つの開口(31)を有していることを特徴とする請求項1から9のいずれか一項に記載の検査ヘッド。
- 前記開口(31)の深さ方向が、少なくとも一つの前記断面弱化ゾーン(26)に基づく比較的小さい機械的強度が割り当てられている径方向(25)と同じか又はほぼ同じである径方向(25')において存在していることを特徴とする請求項1から10のいずれか一項に記載の検査ヘッド。
- 少なくとも一つの前記開口(31)により、それぞれの前記点突張支持部(6)の両方の前記端部ゾーン(21、23)の間に少なくとも二つの支持アーム(32)が形成されていることを特徴とする請求項1から11のいずれか一項に記載の検査ヘッド。
- 前記支持アーム(32)が互いに平行又は実質的に平行に延びており、前記支持アーム(32)がそれぞれの前記点突張支持部(6)の長手方向(24)に平行又は実質的に平行に延びていることを特徴とする請求項1から12のいずれか一項に記載の検査ヘッド。
- 両方の前記端部ゾーン(21、23)が、前記案内板(2、3、4)に突っ張り支持するための端面(33、34)を有していることを特徴とする請求項1から13のいずれか一項に記載の検査ヘッド。
- それぞれの前記点突張支持部(6)の前記端面(33、34)の少なくとも一方に、ねじれ防止部(36)の要素(35)が存在しており、前記要素が、割り当てられた前記案内板(2、3、4)において、前記ねじれ防止部(36)に属している対向要素(49)と協働することを特徴とする請求項1から14のいずれか一項に記載の検査ヘッド。
- それぞれの前記点突張支持部(6)の前記端面(33、34)が、前記案内板(2、3、4)を貫いている固定要素(51)、特にネジ要素(50、54)のシャフト(53、56)の端部が嵌まり込む固定穴(38、39)、特にネジ穴を備えていることを特徴とする請求項1から15のいずれか一項に記載の検査ヘッド。
- 前記ねじれ防止部(36)の前記要素(35)が、帰属の前記固定穴(38、39)によって径方向に離隔された少なくとも一つの突出部(37)であり、前記対向要素(49)が前記案内板(2、3、4)内の窪み(48)であることを特徴とする請求項1から16のいずれか一項に記載の検査ヘッド。
- 前記端面(33、34)の一方に割り当てられた前記固定要素(51)がそのシャフト(53、56)で前記案内板(2、3、4)のうちの二つを貫いており、前記両方の案内板(2、3、4)の間には離隔部材(7)、特に前記シャフト(53、56)に貫通される離隔スリーブ(60)が配置されており、前記離隔スリーブが前記案内板(2、3、4)上で支持されていることを特徴とする請求項1から17のいずれか一項に記載の検査ヘッド。
- 前記点突張支持部(6)が、前記比較的小さい機械的強度の作用方向がそれぞれの前記案内板(2、3、4)の中心(66)に向かって又はそれぞれの前記案内板(2、3、4)のほぼ中心(66)に向かってアライメントされているように回転配向されて前記案内板(2、3、4)の面全体に配置されていることを特徴とする請求項1から18のいずれか一項に記載の検査ヘッド。
- 真ん中センタリング装置(70)を形成するために、案内ピン(69)を収容するため少なくとも三つの長穴凹部(68)が設けられており、前記長穴凹部(68)の長手方向が、それぞれの前記案内板(2、3、4)の中心(66)に向かって又はそれぞれの前記案内板(2、3、4)のほぼ中心(66)に向かってアライメントされていることを特徴とする請求項1から19のいずれか一項に記載の検査ヘッド。
- 少なくとも三つの前記長穴凹部(68)に、前記長穴凹部(68)のそれぞれの長手方向にスライド可能に嵌まり込んでいる少なくとも三つの好ましくは不動に配置された前記案内ピン(69)を特徴とする請求項1から20のいずれか一項又は複数に記載の検査ヘッドを備えた検査装置。
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