JP2014173999A - 測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1筒状電極10aと、該第1筒状電極の側面を非接触で囲むように形成された第2筒状電極10bと、該第1筒状電極と該第2筒状電極の間を埋め、該第1筒状電極と該第2筒状電極を一体化させる絶縁体10cと、一端で該第1筒状電極の上端に接続され、他端で電源18に接続された第1上部配線12aと、一端で該第2筒状電極の上端に接続され、他端で該電源に接続された第2上部配線12bと、該第1筒状電極の下端に接続された第1下部配線20aと、該第2筒状電極の下端に接続された第2下部配線20bと、を備えたことを特徴とする。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の実施の形態1に係る測定装置の図である。測定装置は、低インダクタンス配線10を備えている。低インダクタンス配線10は、第1筒状電極10aと、第1筒状電極10aの側面を非接触で囲むように形成された第2筒状電極10bを備えている。第1筒状電極10aと第2筒状電極10bは、同心になるように配置されている。なお、第1筒状電極10aと第2筒状電極10bは例えば銅で形成する。
本発明の実施の形態2に係る測定装置は、実施の形態1との共通点が多いので実施の形態1との相違点を中心に説明する。図11は、本発明の実施の形態2に係る測定装置の図である。第1下部配線300aと第2下部配線300bには、湾曲部302が形成されている。湾曲部302は2つのこぶが形成された波型の形状を有している。このように湾曲部302を波型に湾曲させ、適宜にこの湾曲部の長さを調節することで、第1下部配線300aと第2下部配線300bが半導体装置の端子に及ぼす圧力を調整できる。
Claims (3)
- 第1筒状電極と、
前記第1筒状電極の側面を非接触で囲むように形成された第2筒状電極と、
前記第1筒状電極と前記第2筒状電極の間を埋め、前記第1筒状電極と前記第2筒状電極を一体化させる絶縁体と、
一端で前記第1筒状電極の上端に接続され、他端で電源に接続された第1上部配線と、
一端で前記第2筒状電極の上端に接続され、他端で前記電源に接続された第2上部配線と、
前記第1筒状電極の下端に接続された第1下部配線と、
前記第2筒状電極の下端に接続された第2下部配線と、を備えたことを特徴とする測定装置。 - 複数の貫通孔を有するガイド部材を備え、
前記第1下部配線と前記第2下部配線は、前記複数の貫通孔の別々の貫通孔を貫通していることを特徴とする請求項1に記載の測定装置。 - 前記第1下部配線と前記第2下部配線は、力を受けたときに弾性変形する湾曲部を備えたことを特徴とする請求項1又は2に記載の測定装置。
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2013
- 2013-03-08 JP JP2013046824A patent/JP2014173999A/ja active Pending
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