JP4863466B2 - 基板検査用治具の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、プリント配線基板のような基板を検査する場合に使用される基板検査用治具の製造方法に関し、より詳しくは、先端が被検査基板の検査点に接触する検査端部と、検査制御部に接続される電極部に接触する電極端部と、それら両端部を連結する線状部とからなるプローブを、所定の間隔をもって配置された検査側支持体及び電極側支持体に支持して基板検査治具を製造する方法に関する。
尚、この発明は、プリント配線基板に限らず、例えば、フレキシブル基板、多層配線基板、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用の電極板、及び半導体パッケージ用のパッケージ基板やフィルムキャリアなど種々の基板における電気的配線の検査に適用でき、この明細書では、それら種々の配線基板を総称して「基板」と称する。

従来、回路基板上に設けられる配線パターンは、その回路基板に搭載されるIC等の半導体や抵抗器、コンデンサなどの電気・電子部品に電気信号を正確に伝達する必要があるため、電気・電子部品を実装する前のプリント配線基板、液晶パネルやプラズマディスプレイパネルに配線パターンが形成された回路配線基板、或いは、半導体ウェハ等の基板に形成された配線パターンに対して、検査対象となる配線パターンに設けられた検査点間の抵抗値を測定して、その良否が判定されていた。

このような判定検査に用いられる基板検査治具においては、弾性、可撓性を有する複数の線状プローブを所定の間隔をもって配置された検査側支持体及び電極側支持体に支持しその際、プローブが傾斜した状態になるよう、その一端部が他端部に対してずれた位置で保持されるようにした検査基板が提案されている(例えば、特許文献１参照)。
しかしながらこのように両端間でずれた状態で、両支持体の案内孔にプローブを挿通することは作業性が悪い。

また、特許文献２には、所定の間隔をもって配置された検査側支持体及び電極側支持体の間に、検査用プローブと略直角の方向にスライドする中間板の技術が開示されている。
この中間板は、検査用プローブに対して略直角方向にスライドすることによって、全ての検査用プローブの撓み方向を一定方向に制御しようとするものである。

特開２０００−３３８０６５号公報 特開２００５−５４６８号公報

本発明は、このような実情に鑑みてなされたもので、基板検査用治具を効率よく製造できる基板検査用治具の製造方法を提供する。

請求項１記載の発明は、先端が被検査基板の検査点に接触する検査端部と、基板を検査する基板検査装置の検査制御部に接続される電極部に接触する電極端部と、それら両端部を連結する弾性力を有する線状部とからなる検査用プローブを、所定の間隔を有して配置された検査側支持体及び電極側支持体に支持して基板検査治具を製造する方法において、前記検査側支持体と前記電極側支持体との間の中間位置に、前記検査用プローブの線状部を案内する案内孔を有する中間板を配し、前記検査側支持体における検査用プローブの検査端部を所望検査点に向けて案内する検査端部案内孔と、中間位置にある前記中間板の案内孔と、前記電極側支持体における検査用プローブの電極端部を所望電極に向けて案内する電極端部案内孔とを一直線上に整合させ、それら整合した各案内孔に検査用プローブを挿通し、前記中間板を移動して検査側支持体に接触させ、前記電極側支持体を、前記直線に対して直交する方向にずらし、前記検査用プローブを傾斜した状態で保持するようにしたことを特徴とする基板検査用治具の製造方法を提供する。
請求項２記載の発明は、前記電極側支持体は複数の支持板から成り、前記複数の支持板は、前記検査用プローブの電極端部を案内する案内孔が夫々形成され、前記電極側支持体が検査側支持体に対してずらされる時、前記電極部に近い支持板ほど、より多くの量がずらされることを特徴とする請求項１記載の基板検査用治具の製造方法を提供する。
請求項３記載の発明は、前記電極側支持体に、支持体本体と電極部との間に介在する保護板を設け、保護板と支持体本体との間に、弾性的に伸縮する弾性体を介在させ、基板検査治具の休止時には検査用プローブの電極側端部先端が保護板の案内孔内に位置し、基板検査装置の動作時には検査用プローブの電極側端部先端が保護板の案内孔から突出するようにしたことを特徴とする請求項１又は２記載の基板検査用治具の製造方法を提供する。
請求項４記載の発明は、前記電極部は、筒状に形成されていることを特徴とする請求項１乃至３いずれかに記載の基板検査用治具の製造方法を提供する。
請求項５記載の発明は、前記一直線上に配置される各案内孔は、垂直方向に配置されていることを特徴とする請求項１記載の基板検査用治具の製造方法を提供する。

請求項１記載の発明によれば、検査側支持体と電極側支持体の間に中間板が配され、この中間板にも検査用プローブを案内する案内孔が形成されているので、この案内孔を用いて検査用プローブを装着することができ、検査用プローブを作業効率良く装着することができる基板検査用治具の製造方法を提供することができる。
また、電極側支持体が各案内孔の配置される直線に対して直交する方向に移動するので、検査用プローブを確実に支持することができる。
請求項２記載の発明によれば、電極端部を支持する支持体が複数の支持板から形成されるとともに、電極部に近い支持板ほど、より多くの量ずらされるので、検査用プローブを確実に保持することができる基板検査用治具の製造方法を提供することができる。
請求項３記載の発明によれば、検査用プローブの先端を保護する保護板が形成されるので、検査用プローブの耐久性を向上させることができる。
請求項４記載の発明によれば、電極部が筒状に形成されることにより、検査用プローブがこの電極部と導通接触を接触抵抗の低い安定したものとすることができる。
請求項５記載の発明によれば、各案内孔が垂直方向の一直線上に配置されることになるので、二つの案内孔に検査用プローブが配置されると、残り一つの案内孔にも効率良く検査用プローブを装着することができる。

本発明を実施するための最良の形態を説明する。
図１は、本発明に係る基板検査用治具を使用する場合の構成の概略を示している。
この図１で示される基板検査用治具１の実施形態では、複数の検査用プローブ２、これら検査用プローブ２を多針状に支持する支持体３、この支持体３を保持するとともに検査用プローブ２と接触して導通となる電極部を有する接続電極体４、検出される電気信号を処理する検査信号処理部である検査信号処理部５、及び検査用プローブ２と検査信号処理部５を接続するワイヤーケーブル６を示している。
この検査用プローブ２は、被検査基板に形成される配線パターンの各検査点に接触する端子であり、接続電極体４は検査用プローブ２と検査信号処理部５のピッチ変換を行って電気的に接続している。ワイヤーケーブル６は、接続電極体４の電極部と検査信号処理部５を夫々所定位置に電気的に接続しており、電気的接続を可能にすることができればワイヤーケーブルに限られない。
尚、本明細書中では、基板検査用治具１が有する検査用プローブとこのプローブを支持する支持体を、説明の都合上、基板検査用治具ヘッドと称する。

図２は、本発明に係る基板検査用治具ヘッドの概略側面の断面図である。尚、この図２で示される基板検査用治具ヘッド１１は未使用状態を示している。
この図２で示される如く、基板検査用治具１は、複数の検査用プローブ２を多針状に配置して支持している（図２では説明の都合上、二本の検査用プローブを示しているが、検査用プローブの本数は特に限定するものではない）。
この図２で示される基板検査用治具１の検査用プローブ２は、その先端が被検査基板（図示せず）の検査点に接触する検査端部２１と、被検査基板を検査する基板検査装置の検査制御部に接続される電極部に接触する電極端部２１と、それら両端部２１，２２を連結する弾性力を有する導電性の線状部２３とからなる。
検査端部２１は、上述の如く、被検査基板の検査点に導通接触して、電気的特性を測定するための電力を被検査基板へ供給したり、被検査基板から電気信号を検出したりする。
電極端部２１は、基板検査装置の電極部に導通接触して、電気的特性を測定するための電力を基板検査装置から供給したり、被検査基板から検出された電気信号を基板検査装置へ送信したりする。
この検査用プローブ２は、使用時において、検査端部２１が検査点に圧接され、電極端部２１が電極部に圧接され、検査点と電極部から押圧されることになる。このとき、検査用プローブ２は押圧されることになるので、検査用プローブ２の線状部２３が湾曲状になり撓む。この結果、検査用プローブ２の電極端部２１は電極部を弾性力により押圧し、検査用プローブ２の検査端部２２は検査点を弾性力により押圧することになる。
検査端部２１と電極端部２１の先端は、湾曲形状又は尖鋭形状に形成されることが好ましい。

図３は、本発明に係る基板検査用治具に用いられる検査用プローブの一実施形態を示している。図３（ａ）は検査用プローブの一実施形態を示している。図３（ａ）で示される検査用プローブ２は、一本の弾性力を有する線状部材２ａに、線状部材２ａの両端を除く部分に絶縁部２ｂが被覆されている。この両端の絶縁部２ｂが被覆されていない部分が、夫々検査端部２１と電極端部２１として形成されている。
この検査用プローブ２の検査端部２２は、線状部材２ａと絶縁部２ｂの境界面２ｃが後述する電極支持体の案内孔の内部に配置されるように形成されている。このように境界面２ｃが形成されることによって、多針状に検査用プローブ２が複数配置された場合に、隣接する検査用プローブ同士が接触しても短絡を起こさせないためである。

検査用プローブ２の電極端部２１は、線状部材２ａと絶縁部２ｂにより境界面２ｄが形成され、この電極端部２１が所定長さＬ１を有するように形成される。
この所定長さＬ１は、特に限定されるものではないが、電極部が筒状に形成される場合には、この電極部の内部に十分収容される長さに形成されることが好ましく、例えば、2〜5ｍｍに形成される。この電極端部２１は、電極部と導通接触するためにできるだけ広い表面積を有するように形成されることが好ましい。
尚、検査用プローブ２が基板検査用治具ヘッド１１に取り付けられ、後述する保護板３２５から検査用プローブ２が突出状態となる際には（図６参照）、この突出量が電極部へ収容されることになる。このため、この突出量は電極部に対して十分な長さを有していることが必要となる。

図３（ｂ）は、本発明で用いられる検査用プローブ２の他の実施形態を示す。この検査用プローブ２は、線状部材２ａと絶縁部２ｂと筒状部材２ｅを有している。
この検査用プローブ２は、この筒状部材２ｅを用いる点で、上記の検査用プローブと相違している。この筒状部材２ｅは、線状部材２ａの周囲を被覆するとともに線状部材２ａと導通可能に接続されている。図３（ｂ）で示す如く、電極端部２１では、線状部材２ａが筒状部材２ｅよりも所定長さＬ２分突出して配置されている。この所定長さＬ２は、特に限定されないが、電極部が筒状に形成される場合には、電極端部２１と電極部の接触面積を大きくするためにもできるだけ短く形成することが好ましい。
検査端部２２は、図３（ｂ）で示す如く、線状部材２ａが筒状部材２ｅよりも所定長さＬ３分突出して配置されている。
この所定長さＬ３は、特に限定されないが、線状部材２ａが検査点に接触した際に筒状部材２ｅもこの検査点に接触するように調整されていることが好ましい。このように調整された所定長さＬ３は、対応する一つの検査点と導通接触する場合に、線状部材２ａと筒状部材２ｅとが同時に接触するように設定することにより、接触安定性の高い状態とすることができる。
尚、この所定長さＬ３は、検査点の形状に応じて適宜変更される。

この基板検査用治具ヘッド１１は、複数の検査用プローブ２を多針状に支持するために、検査側支持体３１、電極側支持体３２と、これらの支持体を保持する支柱３３と中間板３４を具備している（図４参照）。
この検査側支持体３１は、検査用プローブ２の検査端部２２を支持するとともに検査点に案内する第一案内孔３１ａが形成されている。この第一案内孔３１ａは、検査用プローブ２を挿通可能なように検査用プローブ２の最大外径（絶縁部の外径）よりも僅かに大きい径に形成されている。
この検査側支持体３１は、図４で示される如く、二枚の板状部材３１１，３１２が積層されて形成されている。この積層構造を形成する板状部材の枚数は、二枚に限定されず、一枚又は三枚以上により積層構造を形成しても構わない。この図４での実施形態では、各板状部材３１１，３１２に夫々第一案内孔３１ａが形成されている。
尚、図４は、本基板検査用治具ヘッドから検査用プローブを抜き取った状態を示している。

電極側支持体３２は、検査用プローブ２の電極端部２１を支持するとともに電極部に案内する第二案内孔３２ａが形成されている。この第二案内孔３２ａは、検査用プローブ２の電極端部２１を電極部に案内することができるように形成されている。
図４で示される実施形態では、電極側支持体３２が複数の板状部材（符号３２１乃至３２５で示される部材）で形成されるとともに部材毎にこの第二案内孔が形成される構成を有している。詳細は後述するが、電極側支持体３２を複数の板状部材により積層構造として形成し、各板状部材に第二案内孔を形成することによって、板状部材を面方向にスライド移動させた場合に、第二案内孔がこのスライド分だけ傾斜した配置とすることができる（図４参照）。

電極側支持体３２について図４に基づいて説明する。この電極側支持体３２は、第一支持板３２１、第二支持板３２２、第三支持板３２３、第四支持板３２４と保護板３２５からなる五枚の板状部材から形成されている。尚、この電極側支持体３２は、この枚数に限定されるものではなく、設計者により五枚以下又は五枚以上に設定することができる。
第一支持板３２１は、支柱３３と固定される。この第一支持板３２１を有することにより、検査側支持体３１とこの電極側支持体３２と一体的に固定することができる。
この第一支持板３２１は、検査用プローブ２が挿通する案内孔３２１ａが形成されている。この第一支持板３２１に形成される案内孔３２１ａは全ての検査用プローブ２が挿通可能なように大きな一つの空間（切欠き部）として形成されている。この第一支持板３２１に形成される案内孔３２１ａは、各検査用プローブが挿通可能な複数の孔により形成しても構わないし、図４で示される如き一つの切欠きとして形成してもよい。
尚、この第一支持板３２１は、支柱３３に固定されるので、スライド移動ができないため、一つの切欠きとして形成することにより、製造に係る作業工程を減少させ、コストを低減させて製造することができる。

第二支持板３２２は、第一支持板３２１に対して、その面方向の一軸方向（例えば、図４の紙面に向って左方向）にスライド移動することができるように固定されている。このような一軸方向のスライドによって、複数の検査用プローブ２を一定方向に傾斜させて支持することが可能となり、全ての検査用プローブ２が使用時において同一方向に湾曲するように調整することができる。この結果、検査用プローブ２の撓みを制御することができるようになる。
この第二支持板３２２は、第二案内孔として案内孔３２２ａが形成されている。この案内孔３２２ａは、図４で示される如く、径の相違する大小二つの案内孔３２２ａ１、３２２ａ２により形成されている。小さい径の案内孔３２２ａ１が第一支持板３２１側に形成されており、この案内孔３２２ａ１は、検査用プローブ２の絶縁部２ｂの外径よりも僅かに大きい径を有するように形成されている。案内孔３２２ａ２は、検査用プローブ２と接触しない大きさを有するように形成されている。このように検査用プローブ２と接触しない大きさに形成されることによって、検査用プローブ２を使用した際に検査用プローブ２がこの第二支持板３２２に接触して磨耗することを防止することができるからである。

第三支持板３２３は、第一支持板３２２に対して、その面方向の一軸方向（図４紙面で左方向）にスライド移動することができるように固定されている。
この第三支持板３２３は、第二支持板３２２に対して、その面方向の一軸方向（図４の紙面に向って左方向）にスライド移動することができるように固定されている。このため、第三支持板３２３は、第一支持板３２１に対して、第二支持体３２２よりもより大きな移動量で、一軸方向にスライドすることが可能とすることができる。

この第三支持板３２３は、第二案内孔として案内孔３２３ａが形成されている。この案内孔３２３ａは、図４で示される如く、径の相違する大小二つの案内孔３２３ａ１、３２３ａ２により形成されている。大きい径の案内孔３２３ａ１が第二支持板３２２側に形成されている。小さい案内孔３２３ａ２は、検査用プローブ２の絶縁部２ｂの外径よりも僅かに大きい径を有するように形成されている。案内孔３２３ａ１は、検査用プローブ２と接触しない程度の大きさを有するように形成されている。

第四支持板３２４は、第一支持板３２１に対して、その面方向の一軸方向（図４紙面で左方向）にスライド移動することができるように固定されている。図４で示される第四支持板３２４は、第三支持板３２３と同様にスライド移動する様子が示されているが、第三支持体３２３よりも大きなずれ量でスライド移動することができるように設計されても構わない。
この第四支持板３２４には、第二案内孔３２４ａとして、大小二つの径を有する案内孔３２４ａ１．３２４ａ２が形成されている。大きい径の案内孔３２４ａ２が第三支持板３２３側に形成されている。小さい案内孔３２４ａ１は、検査用プローブ２の絶縁部２ｂの外径よりも僅かに大きい径を有するように形成されている。案内孔３２４ａ２は、検査用プローブ２と接触しない程度の大きさを有するように形成されている。
尚、第二乃至第四支持板に形成される各案内孔は、本実施形態では二つの相違する径を有する孔により形成されているが、一つの孔から形成されても良いし、二種類以上の相違する径の複数の孔から形成されても構わない。また、この第一乃至第四支持板の厚みは、特に限定されるのもではなく、設計者により適宜設計される。

これらの第二支持板３２２乃至第四支持板３２４に設けられる第二案内孔３２ａは、検査側支持体３１の第一案内孔３１ａに対して、検査用プローブ２を挿通させる際には、一直線上に位置するように配置されている（図５参照）。検査用プローブ２を挿入し検査用プローブ２を支持する場合には、電極側支持体３２がこの面方向の一方向にスライド移動する。このため、第二案内孔３２ａが第一案内孔３１ａに対して、所定角だけ傾斜した位置に配置されることになる。この結果、検査用プローブ２を検査側支持体３１と電極側支持体３２で確実に支持することができる。
また、この電極側支持体３２は、この電極側支持体３２を構成する複数の支持板部材が、検査側支持体３１に対してずらされる時、電極部に近い支持板ほど、より多くの量ずらされることが好ましい。このようにずらせて配置させることにより、より確実に検査用プローブ２を支持することができるからである。

保護板３２５は、検査用プローブ２が電極部に接触しない未使用時（基板検査用治具１から取り外されている場合）において、検査用プローブ２の電極端部２１を、基板検査用治具ヘッド１１から突出しないように保護する。
この保護板３２５は、使用時と未使用時において、検査用プローブ２の電極端部２１が基板検査用治具ヘッド１１から突出させたり、この治具ヘッド１１内部に収容させたりすることにより保護する。
このような機構として、例えば、図４で示される如く、この保護板３２５と第四支持板３２４との間に伸縮機構３２６を配置して、二つの部材を接続する。この伸縮機構３２６は、未使用時において、図４で示される如く、一定の長さを有して（一定の長さの空間を有して）保護板３２５を支持する。しかしながら、使用時において、この保護板３２５を第四支持板３２４側に移動させて当接させる。
このとき、伸縮機構３２６が収縮して第四支持板３２４と保護板３２５の間に形成される空間がなくなるとともに検査用プローブ２の電極端部２１がこの保護板３２５から突出することになる（図６参照）。
また、使用終了後には、この保護板３２５を基の位置に戻すことにより、検査用プローブ２の電極端部２１が保護板３２５（又は基板検査用治具ヘッド１１）に収容されることになる。
このように伸縮機構３２６を用いることによって保護板３２５を効果的に用いることができ、検査用プローブ２を保護することができるようになる。
尚、この伸縮機構３２６は、例えば、図４の如き状態を平常状態とし、使用時に（保護板３２５が第四支持板３２４側に移動する状態）付勢状態とするスプリングを用いることができる。

この保護板３２５には、検査用プローブ２の電極端部２１を電極部に案内する第二案内孔３２ａである案内孔３２５ａが形成される。
この案内孔３２５ａは、電極端部２１を電極部へ案内する。この案内孔３２５ａが有する径は、検査用プローブ２の絶縁部２ｂの外径よりも僅かに大きく形成することもできるし、検査用プローブ２の絶縁部２ｂの外径よりも小さく且つ検査用プローブ２の線状部材２ａの外径よりも大きく形成することができる。
案内孔３２５ａの径が検査用プローブ２の絶縁部２ｂの外径より大きく形成された場合には、検査用プローブ２を電極側支持体３２から取り外すことが可能となる。
また、案内孔３２５ａの径が検査用プローブ２の絶縁部２ｂの外径より小さく且つ検査用プローブ２の線状部材２ａの外径よりも大きく形成された場合には、検査用プローブ２をこの基板検査用治具ヘッド１１に支持させた際に、電極側支持体３２の第二案内孔３２ａから抜け落ちることを防止することができるようになる。
尚、この保護板３２５から突出する検査用プローブ２は電極端部２２であることが好ましい。このように突出する検査用プローブ２が電極端部２２であると、筒状に形成される電極部に導体部分である電極端部２２のみが接触することになり、接触安定性を向上させることができるからである。

中間板３４は、検査側支持体３１と電極側支持体３２との間の中間位置に配置されるとともに、検査用プローブ２の線状部２３を案内する案内孔３４ａを有している。
この中間板３４の案内孔３４ａ（第三案内孔）は、検査用プローブ２を基板検査用治具ヘッド１１に支持させる際の検査側支持体３１の第一案内孔３１ａと電極側支持体３２の第二案内孔３２ａが整列する一直線上に配置される。このため、第一案内孔３１ａ、第二案内孔３２ａと第三案内孔３４ａが、一直線上に並んで配置されることになる。
更に、これらの案内孔は、垂直方向の一直線上に配置されるように形成されることが好ましい。このように垂直方向の一直線上に配置されることによって、検査用プローブ２を取り付ける際に、図５で示される如く、第一案内孔３１ａに検査用プローブ２の電極端部２１を挿通させ、そして、この電極端部２１を中間板３４の第三案内孔３４ａに挿通させる。そうすると、第一案内孔３１ａ、第二案内孔３２ａと第三案内孔３４ａは、垂直方向に一直線上に整合されているので、第一案内孔３１ａと第三案内孔３４ａを挿通した電極端部２１は、その自重により落下させても、第二案内孔３２ａに挿入されることになる。この結果、基板検査用治具ヘッド１１に検査用プローブ２を取り付ける場合には、第一案内孔３１ａと第三案内孔３４ａに検査用プローブ２を挿入させれば、第二案内孔３２ａにも電極端部２１が挿入されることになり、効率良く検査用プローブ２を取り付けることができる。このため、第一案内孔と第二案内孔に検査用プローブ２を挿通させていた場合と比して、容易に検査用プローブ２を案内孔に挿入することができ、作業性を向上させることができる。

この中間板３４は、検査用プローブ２を取り付ける場合には、図５で示される如く、検査側支持体３１と電極側支持体３２の略中間位置に配置されている。この中間板３４が配置される中間位置は、作業性の効率の向上を考慮した場合、二つの支持体の略中間点に配置されることが好ましい。尚、検査用プローブ２を第一案内孔３１ａと第三案内孔３４ａに挿入した時に、第二案内孔３２ａの孔の位置を気にすることなく、検査用プローブ２をそのまま押し込んで、第二案内孔３２ａに電極端部２１が挿入されることのできる位置に配置されていれば特に限定されない。

この中間板３４は、検査側支持体３１と電極側支持体３２との空間を移動可能に設けられる。図５で示される実施形態では、この中間板３４が、これらの二つの支持体の間を、二つの支持体と平行に移動するように形成されている。この中間板３４は、支柱３３に移動可能に固定されている。中間板３４は、検査用プローブ２を取り付ける間は、検査側支持体３１と電極側支持体３２の略中間位置に配置されるが、検査用プローブ２の取り付けが完了すると、この中間板３４を移動させて、検査側支持体３１に当接させる（図２参照）。
このように検査側支持体３１に当接させることにより、検査側支持体３１と電極側支持体３２の間の空間で、検査用プローブ２が湾曲可能となる。

本実施形態では、図４に示される如く、検査側支持体３１と電極側支持体３２を夫々支柱３３に固定するための固定部材３４６を有してなる。この固定部材３４６は、例えば螺子を用いることができる。
この固定部材３４６を備えることにより、検査側支持体３１と電極側支持体３２を固定することができるとともに、電極側支持体３２が積層構造を有する場合に、所定量のずれを設けることが可能となる。

図７は、本基板検査用治具を使用する状態を示している。
この図７では、検査用プローブ２が電極側支持体３２の積層構造により、検査用プローブ２を傾斜して支持している。この実施形態では、電極部４１が筒状の形状を有しており、検査用プローブ２の電極端部２１を内部に収容している。
この筒状の電極部４１は、検査用プローブ２の電極端部２１の外径より僅かに大きい径を有している。この筒状の電極部４１は少なくとも電極端部２１の長さよりも長く形成されている。また、図７で示す如く、電極部４１の他端には導線４２が導通接続されている。この導線４２により検査信号処理部５へ電気的に接続されていることになる。

この電極部４１が設けられる接続電極体４は、複数の板状部材から形成されることが好ましい。図７に示される接続電極体４は、三枚の板状部材４ａ，４ｂ，４ｃから形成されている。このように複数の板状部材を積層して形成されることによって、例えば、図７で示される実施形態の中間位置に配置される板状部材を他の部材に対してスライド移動（板状部材の表面の一軸方向（例えば、紙面に向って左右方向のいずれか））させた場合、筒状の電極部４１が湾曲することになる。このため、電極部４１の内側表面が検査用プローブ２の電極端部２１と接触する面積を大きくすることができ、より安定した接触状態を提供することができる。
以上が本発明に係る基板検査用治具の構成の説明である。

次に、本発明に係る基板検査用治具１の製造方法について説明する。
まず、基板検査用治具ヘッド１１を製造する。このとき、基板検査用ヘッド１１は、検査側支持体３１と電極側支持体３２と支柱３３から形成され、検査側支持体３１は二枚の板状部材３１１，３１２で形成され、電極側支持体３２は五枚の板状部材３２１，３２２，３２３，３２４，３２５で形成される。
検査側支持体３１の二枚の板状部材３１１，３１２は、検査用プローブ２の絶縁部２ｂが貫通することのできる第一案内孔３１ａが夫々形成され、この第一案内孔３１ａが夫々一直線上に重なるように固着する。
電極側支持体３２の五枚の板状部材は、夫々第一支持板３２１、第二支持板３２２、第三支持板３２３、第四支持板３２４と保護板３２５として形成される。
この第一支持板３２１は、略中央に全ての検査用プローブ２が貫通する切欠き部３２１ａ（第二案内孔３２ａの一部）が一つ形成される。
第二支持板３２２、第三支持板３２３、第四支持板３２４には、相違する大小二つの径の案内孔が夫々形成され、第二案内孔３２ａの一部として形成される。尚、この場合、各支持板に形成される大小二つの案内孔は、夫々の支持体で同じ径を有する案内孔として形成される。
第一支持板３２１と第二支持板３２２は、第二支持板３２２の小さい径の案内孔３２２ａ１が第一支持板３２１の案内孔３２１ａに隣接するように配置される。第二支持板３２２と第三支持板３２３は、夫々の大きい径を有する案内孔３２２ａ２と案内孔３２３ａ１が隣接するように配置される。第三支持板３２３と第四支持板３２４とは、第三支持板３２３の小さい径の案内孔３２３ａ２と第四支持板３２４の案内孔３２４ａ２が隣接するように配置される。
このように第一支持板乃至第四支持板が積層されて電極側支持体３２が形成される。また、これら第二支持板乃至第四支持板は、第一支持板３２１に対して、これら板表面方向の一軸方向に移動することができるように設けられる。
また、保護板３２５は、第四支持板３２４に伸縮機構３２６を介して配置されるとともに、第四支持板３２４の案内孔３２４ａ１と保護板３２５の案内孔３２５ａが垂直方向に一直線上に配置される。

検査側支持体３１と電極側支持体３２が形成されると、固定部材３４６によって、検査側支持体３１２の板状部材３１２と第一支持板３２１が固定される。このとき、検査側支持体３１と電極側支持体３２の間を移動可能な中間板３４が取り付けられる。
この中間板３４の第三案内孔３４ａは、検査側支持体３１の案内孔３１ａと垂直方向に一直線上に配置されている。
図８（ａ）は、検査用プローブを取り付ける前の基板検査用治具ヘッド１１の組み立て状態を示す。
以上が、基板検査用治具ヘッド１１の組み立て工程である。

次に、検査用プローブ２を取り付ける工程を説明する。
基板検査用治具ヘッド１１の中間板３４を、図８（ａ）の如く、検査側支持体３１と電極側支持体３２の中間位置に配置する。この場合、検査側支持体３１の第一案内孔３１ａと電極側支持体３２の第二案内孔３２ａと中間板３４の第三案内孔３４ａは、垂直方向に一直線上に配置されることになる。
第一案内孔３１ａ、第二案内孔３２ａと第三案内孔３３ａが、垂直方向の一直線上に配置されると（図８（ａ）参照）、夫々の案内孔に、検査用プローブ２を挿入する。
このとき、第一案内孔３１ａと第三案内孔３４ａに検査用プローブ２を挿入することにより、微細な位置調整を行わずとも、第二案内孔３２ａに検査用プローブ２を挿入することができる（図８（ｂ）参照）。

検査用プローブ２の挿入が完成すると、次に、中間板３４を検査側支持体３１の板状部材３１２に当接するまで移動させる。
次いで、電極側支持体３２の第二支持板３２２を、第一支持板３２１よりも面方向の一軸方向へスライド移動させる。また、同時に、第三支持板３２３もこのスライド移動の量（長さ）よりも大きく同方向にスライドさせる。この図８（ｃ）の実施形態では、第三支持板３２３、第四支持板３２４と保護板３２５は、同じスライド移動の量、スライド移動させている。
このスライドによって、検査用プローブ２がこの一軸方向に湾曲することになり、被検査基板と電極部との間で押圧された場合に、検査用プローブ２が一定方向に湾曲することになる。
検査用プローブ２が取り付けられ、中間板３４が検査側支持体３１に当接されて、電極側支持体３２がスライド移動されると、基板検査用治具ヘッド１１の準備が完了する。

基板検査用治具ヘッド１１の準備が完了すると、この基板検査用治具ヘッド１１を接続電極体４の所定位置に取り付ける（図１参照）。このとき、図８（ｃ）で示される状態で治具ヘッド１１が接続電極体４へ取り付けられることになる。この治具ヘッド１１が所定位置に配置されると、保護板３２５を第四支持板３２４に当接させる。このとき、保護板３２５の案内孔３２５ａより所定長の検査用プローブ２の電極端部２１が突出する（図６参照）とともに、電極部４１の内部へ収容されることになる（図７参照）。
尚、接続電極体４が積層構造を有している場合には、上記の如き電極部４１が湾曲して電極端部２１と電極端部２１の内側表面が確実に接触するために、この積層構造の一部をスライド移動させる。
以上が、基板検査用治具１の製造方法である。

本発明に係る基板検査用治具を使用する場合の構成概略図である。 本発明に係る基板検査用治具ヘッドの一実施形態を示している。 本発明に係る基板検査用治具に用いられる検査用プローブの一実施形態を示している。 本基板検査用治具ヘッドから検査用プローブを抜き取った状態を示している。 本基板検査用治具ヘッドに検査用プローブが取り付けられる状態を示している。 本基板検査用治具ヘッドが使用される状態（使用時）の状態を示している。 本基板検査用治具ヘッドが接続電極体に接続されている状態を示している。 本基板検査用治具ヘッドを製造する工程を示す。

符号の説明

１・・・・・基板検査用治具
２・・・・・検査用プローブ
３１・・・・検査側支持体
３２・・・・電極側支持体
４１・・・・電極部

Claims (5)

1. 先端が被検査基板の検査点に接触する検査端部と、基板を検査する基板検査装置の検査制御部に接続される電極部に接触する電極端部と、それら両端部を連結する弾性力を有する線状部とからなる検査用プローブを、所定の間隔を有して配置された検査側支持体及び電極側支持体に支持して基板検査治具を製造する方法において、
   前記検査側支持体と前記電極側支持体との間の中間位置に、前記検査用プローブの線状部を案内する案内孔を有する中間板を配し、
   前記検査側支持体における検査用プローブの検査端部を所望検査点に向けて案内する検査端部案内孔と、中間位置にある前記中間板の案内孔と、前記電極側支持体における検査用プローブの電極端部を所望電極に向けて案内する電極端部案内孔とを一直線上に整合させ、
   それら整合した各案内孔に検査用プローブを挿通し、
   前記中間板を移動して検査側支持体に接触させ、
   前記電極側支持体を、前記直線に対して直交する方向にずらし、前記検査用プローブを傾斜した状態で保持するようにしたことを特徴とする基板検査用治具の製造方法。
2. 前記電極側支持体は複数の支持板から成り、前記複数の支持板は、前記検査用プローブの電極端部を案内する案内孔が夫々形成され、
   前記電極側支持体が検査側支持体に対してずらされる時、前記電極部に近い支持板ほど、より多くの量がずらされることを特徴とする請求項１記載の基板検査用治具の製造方法。
3. 前記電極側支持体に、支持体本体と電極部との間に介在する保護板を設け、保護板と支持体本体との間に、弾性的に伸縮する弾性体を介在させ、基板検査治具の休止時には検査用プローブの電極側端部先端が保護板の案内孔内に位置し、基板検査装置の動作時には検査用プローブの電極側端部先端が保護板の案内孔から突出するようにしたことを特徴とする請求項１又は２記載の基板検査用治具の製造方法。
4. 前記電極部は、筒状に形成されていることを特徴とする請求項１乃至３いずれかに記載の基板検査用治具の製造方法。
5. 前記一直線上に配置される各案内孔は、垂直方向に配置されていることを特徴とする請求項１記載の基板検査用治具の製造方法。

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